JPH0760658B2 - 透過電子顕微鏡の明るさ制御装置 - Google Patents
透過電子顕微鏡の明るさ制御装置Info
- Publication number
- JPH0760658B2 JPH0760658B2 JP63167163A JP16716388A JPH0760658B2 JP H0760658 B2 JPH0760658 B2 JP H0760658B2 JP 63167163 A JP63167163 A JP 63167163A JP 16716388 A JP16716388 A JP 16716388A JP H0760658 B2 JPH0760658 B2 JP H0760658B2
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- exciting
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、透過電子顕微鏡に係り、特に、倍率によらず
常に所望の明るさの投影像が得られるようにした透過電
子顕微鏡の明るさ制御装置に関するものである。
常に所望の明るさの投影像が得られるようにした透過電
子顕微鏡の明るさ制御装置に関するものである。
［従来の技術］ 一般に、電子顕微鏡では、従来、投影面の明るさを適正
な明るさにするために自動明るさ制御（Automatic Brig
htness Control、以下単にABCと称す。）が行われてい
る。第３図に透過電子顕微鏡におけるACBの概略を示
す。電子銃21から放射された電子線は、コンデンサーレ
ンズ22を通って試料20に当たる。試料を透過した電子線
を対物レンズ23、投影レンズ24を介して投影面25に結像
させる。投影面は通常蛍光面になされているので、オペ
レータは図示しない観測窓を通して投影面を見ることが
できる。また、投影面にフィルムを置くことによって、
写真撮影を行うこともできる。以上は、良く知られた透
過電子顕微鏡の構造である。
な明るさにするために自動明るさ制御（Automatic Brig
htness Control、以下単にABCと称す。）が行われてい
る。第３図に透過電子顕微鏡におけるACBの概略を示
す。電子銃21から放射された電子線は、コンデンサーレ
ンズ22を通って試料20に当たる。試料を透過した電子線
を対物レンズ23、投影レンズ24を介して投影面25に結像
させる。投影面は通常蛍光面になされているので、オペ
レータは図示しない観測窓を通して投影面を見ることが
できる。また、投影面にフィルムを置くことによって、
写真撮影を行うこともできる。以上は、良く知られた透
過電子顕微鏡の構造である。
さて、このような透過電子顕微鏡において、投影面の明
るさを調整するには、コンデンサーレンズの励磁電流を
制御して電子ビームを試料上に集束させたり、拡散させ
たりすることによって行うのであるが、従来は、励磁電
流走査回路27で励磁電流を最大値から最小値まで走査さ
せ、電流増幅器26で得られた投影面の電流値が、所定の
明るさに対応する所定の値になったときに励磁電流の走
査を停止させるようにしていた。
るさを調整するには、コンデンサーレンズの励磁電流を
制御して電子ビームを試料上に集束させたり、拡散させ
たりすることによって行うのであるが、従来は、励磁電
流走査回路27で励磁電流を最大値から最小値まで走査さ
せ、電流増幅器26で得られた投影面の電流値が、所定の
明るさに対応する所定の値になったときに励磁電流の走
査を停止させるようにしていた。
［発明が解決しようとする課題］ 従来上述したような構成を採っているのは、コンデンサ
ーレンズの励磁電流に対する明るさの関係が、第２図の
ように、励磁電流がIc（以下、この点をクロスオーバー
という。）のときを最大として、そこから大きくなって
も（以下、この領域を強励磁側という。）、小さくなっ
ても（以下、この領域を弱励磁側という。）明るさが減
少するという特性であり、しかもこの特性が予め知られ
ていない、という理由による。つまり、第２図で現在の
励磁電流の値がI1であり、適正な明るさにするために励
磁電流を変えようとしても、この特性曲線が分からない
ためにI1の値より大きくすればいいのか、小さくすれば
いいのか判断できず、従って、励磁電流の全範囲を走査
して最適な明るさに調整しなければならなかった。
ーレンズの励磁電流に対する明るさの関係が、第２図の
ように、励磁電流がIc（以下、この点をクロスオーバー
という。）のときを最大として、そこから大きくなって
も（以下、この領域を強励磁側という。）、小さくなっ
ても（以下、この領域を弱励磁側という。）明るさが減
少するという特性であり、しかもこの特性が予め知られ
ていない、という理由による。つまり、第２図で現在の
励磁電流の値がI1であり、適正な明るさにするために励
磁電流を変えようとしても、この特性曲線が分からない
ためにI1の値より大きくすればいいのか、小さくすれば
いいのか判断できず、従って、励磁電流の全範囲を走査
して最適な明るさに調整しなければならなかった。
従来のACBは以上のようであったので、明るさ調整に時
間が掛かって、実用的なものとはいえないものであっ
た。
間が掛かって、実用的なものとはいえないものであっ
た。
本発明は、上記の課題を解決するものであって、現在の
励磁電流が弱励磁側にあるか強励磁側にあるかを識別す
ることによって、励磁電流の走査時間を短縮できるよう
にした透過電子顕微鏡の明るさ制御装置を提供すること
を目的とするものである。
励磁電流が弱励磁側にあるか強励磁側にあるかを識別す
ることによって、励磁電流の走査時間を短縮できるよう
にした透過電子顕微鏡の明るさ制御装置を提供すること
を目的とするものである。
［課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために、本発明の透過電子顕微鏡
の明るさ制御装置は、コンデンサーレンズの励磁電流を
変化させて所望の明るさの像を得る透過電子顕微鏡の明
るさ制御装置において、コンデンサーレンズのクロスオ
ーバー励磁電流値と、コンデンサーレンズの現在の励磁
電流値とを比較して、現在の励磁電流値がクロスオーバ
ー励磁電流値より強励磁側にあるか弱励磁側にあるかを
識別する比較手段と、比較回路の出力が、現在の励磁電
流値がクロスオーバー励磁電流値より強励磁側にあるこ
とを示す場合には、当該コンデンサーレンズの励磁電流
を強励磁側のみを走査し、比較回路の出力が、現在の励
磁電流値がクロスオーバー励磁電流値より弱励磁側にあ
ることを示す場合には、当該コンデンサーレンズの励磁
電流を弱励磁側のみを走査する励磁電流走査手段とを備
えることを特徴とする。
の明るさ制御装置は、コンデンサーレンズの励磁電流を
変化させて所望の明るさの像を得る透過電子顕微鏡の明
るさ制御装置において、コンデンサーレンズのクロスオ
ーバー励磁電流値と、コンデンサーレンズの現在の励磁
電流値とを比較して、現在の励磁電流値がクロスオーバ
ー励磁電流値より強励磁側にあるか弱励磁側にあるかを
識別する比較手段と、比較回路の出力が、現在の励磁電
流値がクロスオーバー励磁電流値より強励磁側にあるこ
とを示す場合には、当該コンデンサーレンズの励磁電流
を強励磁側のみを走査し、比較回路の出力が、現在の励
磁電流値がクロスオーバー励磁電流値より弱励磁側にあ
ることを示す場合には、当該コンデンサーレンズの励磁
電流を弱励磁側のみを走査する励磁電流走査手段とを備
えることを特徴とする。
［作用］ 従来、励磁電流の全範囲を走査しなければならなかった
理由が、前述したように第２図のような特性が予め測定
されていなかったためであることから、予めクロスオー
バー時の励磁電流が分かっていれば現在の励磁電流が強
励磁側にあるのか、あるいは弱励磁電流側にあるのかを
識別でき、それによって走査する範囲をどちら側かに限
定できることが分かる。
理由が、前述したように第２図のような特性が予め測定
されていなかったためであることから、予めクロスオー
バー時の励磁電流が分かっていれば現在の励磁電流が強
励磁側にあるのか、あるいは弱励磁電流側にあるのかを
識別でき、それによって走査する範囲をどちら側かに限
定できることが分かる。
そこで本発明では、予め測定したクロスオーバー時の励
磁電流と現在の励磁電流とから、現在強励磁側にあるの
か弱励磁側にあるのかを識別し、強励磁側にあるなら強
励磁側だけを走査し、弱励磁側にあるなら弱励磁側だけ
を走査するようにしたのである。
磁電流と現在の励磁電流とから、現在強励磁側にあるの
か弱励磁側にあるのかを識別し、強励磁側にあるなら強
励磁側だけを走査し、弱励磁側にあるなら弱励磁側だけ
を走査するようにしたのである。
［実施例］ 以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
第１図は本発明に係る透過電子顕微鏡の明るさ制御装置
の１実施例の構成を示す図で、図中、１はコンデンサー
レンズ、２は投影板、３は電流増幅器、４は励磁電流設
定手段、５は比較回路、６は走査駆動回路、７、８、11
および14はスイッチ（以下、スイッチをSWと記す。）、
９は弱励磁側走査回路、10は強励磁側走査回路、12はク
ロスオーバー励磁電流設定手段、13は比較回路、15はコ
ンデンサーレンズ制御回路、16は手動調整回路である。
の１実施例の構成を示す図で、図中、１はコンデンサー
レンズ、２は投影板、３は電流増幅器、４は励磁電流設
定手段、５は比較回路、６は走査駆動回路、７、８、11
および14はスイッチ（以下、スイッチをSWと記す。）、
９は弱励磁側走査回路、10は強励磁側走査回路、12はク
ロスオーバー励磁電流設定手段、13は比較回路、15はコ
ンデンサーレンズ制御回路、16は手動調整回路である。
コンデンサーレンズ１、投影板２、電流増幅器３は第３
図で述べたものと同様である。励磁電流設定手段４は、
投影板２を直接観察する場合の適正明るさに対応する投
影板２における電流値、およびフィルム撮影する場合
の、フィルム毎の適正明るさに対応する投影板２におけ
る電流値を予め設定したもので、例えば、これらの電流
値をテーブルに記憶させておき、フィルムの種類を入力
してそれに対応する電流値を呼び出すようにすればよ
い。なお、この電流値は適当な倍率毎に、強励磁側と弱
励磁側にそれぞれ設定する。第２図からも分かるよう
に、所定の明るさに対する電流値は強励磁側と弱励磁側
にそれぞれ存在するからである。また、オペレータが任
意の明るさに設定できるように、手動調整の手段を設け
てもよいことは当然である。比較回路５は電流増幅器３
と励磁電流設定手段４の出力を比較し、その差を得るも
のである。走査駆動回路６は、比較回路５の出力と比較
回路13の出力を得て、二つの走査回路９および10を駆動
するものであるが、この回路の動作の詳細は後述する。
SW7、８は、相補的に動作するSWで、一方が閉路状態の
とき他方は開路状態にある。このようなSWは、リレー、
電子SW等で構成することができる。弱励磁側走査回路９
は、コンデンサーレンズの励磁電流を弱励磁側の範囲に
限って走査するもので、同様に、強励磁側走査回路10は
強励磁側の範囲内だけを走査するものである。SW11は比
較回路13の出力で切り替わるものである。クロスオーバ
ー励磁電流設定手段12は、予め設定されたクロスオーバ
ーの励磁電流値を格納しているもので、比較回路13で現
在の励磁電流値と比較するときと基準値となる。比較回
路13は、クロスオーバー励磁電流設定手段12の値とレン
ズ制御回路15の出力である現在の励磁電流の値とを比較
して現在の励磁電流が強励磁側にあるのか、弱励磁側に
あるのかを識別し、例えば、強励磁側にあるときは
「１」、弱励磁側にあるときは「０」を出力するように
なされている。この出力により走査駆動回路６を制御す
ると共に、SW7,8および11の接続状態を制御する。ま
た、この出力により、励磁電流設定手段４は、設定され
ている電流値のうちの強励磁側の値を採用するのか、弱
励磁側の値を採用するのかを決定する。SW14は明るさ調
整を自動で行うのか、手動で行うのかを選択するもので
ある。レンズ制御回路16はコンデンサーレンズ１に励磁
電流を供給するための回路である。手動調整回路16は手
動で明るさ調整を行うもので、周知の回路である。
図で述べたものと同様である。励磁電流設定手段４は、
投影板２を直接観察する場合の適正明るさに対応する投
影板２における電流値、およびフィルム撮影する場合
の、フィルム毎の適正明るさに対応する投影板２におけ
る電流値を予め設定したもので、例えば、これらの電流
値をテーブルに記憶させておき、フィルムの種類を入力
してそれに対応する電流値を呼び出すようにすればよ
い。なお、この電流値は適当な倍率毎に、強励磁側と弱
励磁側にそれぞれ設定する。第２図からも分かるよう
に、所定の明るさに対する電流値は強励磁側と弱励磁側
にそれぞれ存在するからである。また、オペレータが任
意の明るさに設定できるように、手動調整の手段を設け
てもよいことは当然である。比較回路５は電流増幅器３
と励磁電流設定手段４の出力を比較し、その差を得るも
のである。走査駆動回路６は、比較回路５の出力と比較
回路13の出力を得て、二つの走査回路９および10を駆動
するものであるが、この回路の動作の詳細は後述する。
SW7、８は、相補的に動作するSWで、一方が閉路状態の
とき他方は開路状態にある。このようなSWは、リレー、
電子SW等で構成することができる。弱励磁側走査回路９
は、コンデンサーレンズの励磁電流を弱励磁側の範囲に
限って走査するもので、同様に、強励磁側走査回路10は
強励磁側の範囲内だけを走査するものである。SW11は比
較回路13の出力で切り替わるものである。クロスオーバ
ー励磁電流設定手段12は、予め設定されたクロスオーバ
ーの励磁電流値を格納しているもので、比較回路13で現
在の励磁電流値と比較するときと基準値となる。比較回
路13は、クロスオーバー励磁電流設定手段12の値とレン
ズ制御回路15の出力である現在の励磁電流の値とを比較
して現在の励磁電流が強励磁側にあるのか、弱励磁側に
あるのかを識別し、例えば、強励磁側にあるときは
「１」、弱励磁側にあるときは「０」を出力するように
なされている。この出力により走査駆動回路６を制御す
ると共に、SW7,8および11の接続状態を制御する。ま
た、この出力により、励磁電流設定手段４は、設定され
ている電流値のうちの強励磁側の値を採用するのか、弱
励磁側の値を採用するのかを決定する。SW14は明るさ調
整を自動で行うのか、手動で行うのかを選択するもので
ある。レンズ制御回路16はコンデンサーレンズ１に励磁
電流を供給するための回路である。手動調整回路16は手
動で明るさ調整を行うもので、周知の回路である。
このような構成でSW14を第１図の接続状態にしてACBを
行う場合の動作は次のようである。今、ある倍率で観測
しており、その倍率での励磁電流対明るさの特性が第２
図の曲線17のようであったとする。また、現在の励磁電
流がI1で明るさがL1（第２図の点P1）、適正な明るさが
L0で、そのときの励磁電流がI2（第２図の点P2）である
とする。この状態において、比較回路13は、クロスオー
バーの励磁電流値Icと現在の値であるI1との比較を行
い、現在強励磁側にあることが識別され、「１」を出力
する。これによって、励磁電流設定手段４は強励磁側の
電流値I2を設定し、SW7,8,10は第１図の状態になり、走
査駆動回路６は強励磁側を走査する。
行う場合の動作は次のようである。今、ある倍率で観測
しており、その倍率での励磁電流対明るさの特性が第２
図の曲線17のようであったとする。また、現在の励磁電
流がI1で明るさがL1（第２図の点P1）、適正な明るさが
L0で、そのときの励磁電流がI2（第２図の点P2）である
とする。この状態において、比較回路13は、クロスオー
バーの励磁電流値Icと現在の値であるI1との比較を行
い、現在強励磁側にあることが識別され、「１」を出力
する。これによって、励磁電流設定手段４は強励磁側の
電流値I2を設定し、SW7,8,10は第１図の状態になり、走
査駆動回路６は強励磁側を走査する。
また、比較回路５では、電流増幅器３の出力である励磁
電流I1に対応した電流値と、励磁電流設定手段４からの
励磁電流I2に対応した値との差が求められる。比較回路
５の演算が、励磁電流設定手段４の値から電流増幅器３
の値を減算するものとすると、この場合正の出力が得ら
れる。走査駆動回路６は、比較回路５からの正の出力
と、比較回路13からの「１」の出力から、励磁電流を増
やすように強励磁側走査回路10を駆動する。もし、比較
回路５の出力が負であれば励磁電流を減らすように駆動
する。また、比較回路13の出力が「０」、即ち弱励磁側
のときも同様である。このような回路は適当な論理回路
で構成できることは明かである。
電流I1に対応した電流値と、励磁電流設定手段４からの
励磁電流I2に対応した値との差が求められる。比較回路
５の演算が、励磁電流設定手段４の値から電流増幅器３
の値を減算するものとすると、この場合正の出力が得ら
れる。走査駆動回路６は、比較回路５からの正の出力
と、比較回路13からの「１」の出力から、励磁電流を増
やすように強励磁側走査回路10を駆動する。もし、比較
回路５の出力が負であれば励磁電流を減らすように駆動
する。また、比較回路13の出力が「０」、即ち弱励磁側
のときも同様である。このような回路は適当な論理回路
で構成できることは明かである。
さて、このようにして強励磁側走査回路10が励磁電流を
増やしていくと、第２図の点P1は点P2に近付いていき、
点P2に達すると比較回路５で差が０になるので走査駆動
回路６は強励磁側走査回路10の走査を停止させる。これ
で適正な明るさが得られたことになる。
増やしていくと、第２図の点P1は点P2に近付いていき、
点P2に達すると比較回路５で差が０になるので走査駆動
回路６は強励磁側走査回路10の走査を停止させる。これ
で適正な明るさが得られたことになる。
次に、この状態から倍率を上げて第２図の曲線18で示さ
れるような特性で観測するとする。この場合適正な明る
さは点P4であるから、励磁電流設定手段４にはそのとき
の励磁電流I3に対応した値が設定される。現在は点P3の
位置にあり、従って、電流増幅器３の出力はI2に対応し
た値であるから、比較回路５は負の出力となり、走査駆
動回路６は励磁電流を減らすように強励磁側走査回路10
を駆動する。これにより点P3は点P4に達し、適正な明る
さが得られるものである。
れるような特性で観測するとする。この場合適正な明る
さは点P4であるから、励磁電流設定手段４にはそのとき
の励磁電流I3に対応した値が設定される。現在は点P3の
位置にあり、従って、電流増幅器３の出力はI2に対応し
た値であるから、比較回路５は負の出力となり、走査駆
動回路６は励磁電流を減らすように強励磁側走査回路10
を駆動する。これにより点P3は点P4に達し、適正な明る
さが得られるものである。
以上の説明では、強励磁側で明るさを制御する場合を述
べたが、弱励磁側でも同様にできることは明かであろ
う。また、倍率を下げて観測するときにも同様に動作す
るものであることは、これまで述べてきたところから明
かであろう。更に、本発明が上記実施例に限定されるも
のではなく種々の変形が可能であることも明かである。
べたが、弱励磁側でも同様にできることは明かであろ
う。また、倍率を下げて観測するときにも同様に動作す
るものであることは、これまで述べてきたところから明
かであろう。更に、本発明が上記実施例に限定されるも
のではなく種々の変形が可能であることも明かである。
［発明の効果］ 以上の説明から明かなように、本発明によれば、倍率に
よらず常に所望の明るさで観測でき、しかも、現在の励
磁電流が強励磁側にあるのか、弱励磁側にあるのか識別
することによって、励磁電流の走査を強励磁側または弱
励磁側に限定できるので、所望の明るさを得るのに必要
な時間を従来のものに比して短縮することができる。
よらず常に所望の明るさで観測でき、しかも、現在の励
磁電流が強励磁側にあるのか、弱励磁側にあるのか識別
することによって、励磁電流の走査を強励磁側または弱
励磁側に限定できるので、所望の明るさを得るのに必要
な時間を従来のものに比して短縮することができる。
第１図は本発明に係る透過電子顕微鏡の明るさ制御装置
の１実施例の構成を示す図、第２図はコンデンサーレン
ズの励磁電流と明るさの関係を示す図、第３図は従来の
明るさ制御装置の例を示す図である。 １……コンデンサーレンズ、２……投影板、３……電流
増幅器、４……励磁電流設定手段、５……比較回路、６
……走査駆動回路、7,8,11,14……スイッチ、９……弱
励磁側走査回路、10……強励磁側走査回路、12……クロ
スオーバー励磁電流設定手段、13……比較回路、15……
レンズ制御回路、16……手動調整回路。
の１実施例の構成を示す図、第２図はコンデンサーレン
ズの励磁電流と明るさの関係を示す図、第３図は従来の
明るさ制御装置の例を示す図である。 １……コンデンサーレンズ、２……投影板、３……電流
増幅器、４……励磁電流設定手段、５……比較回路、６
……走査駆動回路、7,8,11,14……スイッチ、９……弱
励磁側走査回路、10……強励磁側走査回路、12……クロ
スオーバー励磁電流設定手段、13……比較回路、15……
レンズ制御回路、16……手動調整回路。
Claims (1)
- 【請求項１】コンデンサーレンズの励磁電流を変化させ
て所望の明るさの像を得る透過電子顕微鏡の明るさ制御
装置において、 コンデンサーレンズのクロスオーバー励磁電流値と、コ
ンデンサーレンズの現在の励磁電流値とを比較して、現
在の励磁電流値がクロスオーバー励磁電流値より強励磁
側にあるか弱励磁側にあるかを識別する比較手段と、 比較回路の出力が、現在の励磁電流値がクロスオーバー
励磁電流値より強励磁側にあることを示す場合には、当
該コンデンサーレンズの励磁電流を強励磁側のみを走査
し、比較回路の出力が、現在の励磁電流値がクロスオー
バー励磁電流値より弱励磁側にあることを示す場合に
は、当該コンデンサーレンズの励磁電流を弱励磁側のみ
を走査する励磁電流走査手段と を備えることを特徴とする透過電子顕微鏡の明るさ制御
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63167163A JPH0760658B2 (ja) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | 透過電子顕微鏡の明るさ制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63167163A JPH0760658B2 (ja) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | 透過電子顕微鏡の明るさ制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0218846A JPH0218846A (ja) | 1990-01-23 |
| JPH0760658B2 true JPH0760658B2 (ja) | 1995-06-28 |
Family
ID=15844587
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63167163A Expired - Lifetime JPH0760658B2 (ja) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | 透過電子顕微鏡の明るさ制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0760658B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2521761Y2 (ja) * | 1990-12-27 | 1997-01-08 | 横浜ゴム株式会社 | ゴムタイルブロックの構造 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5221763A (en) * | 1975-08-13 | 1977-02-18 | Hitachi Ltd | Electronic microscope |
| JPS6161360A (ja) * | 1984-08-31 | 1986-03-29 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡における明るさ制御方法 |
-
1988
- 1988-07-05 JP JP63167163A patent/JPH0760658B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0218846A (ja) | 1990-01-23 |
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