JPH0762916B2 - Read-only optical disc - Google Patents
Read-only optical discInfo
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- JPH0762916B2 JPH0762916B2 JP1176534A JP17653489A JPH0762916B2 JP H0762916 B2 JPH0762916 B2 JP H0762916B2 JP 1176534 A JP1176534 A JP 1176534A JP 17653489 A JP17653489 A JP 17653489A JP H0762916 B2 JPH0762916 B2 JP H0762916B2
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- JP
- Japan
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- layer
- film
- read
- glass substrate
- optical disc
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- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明はレーザーを用いて情報の読み出しを行う光ディ
スクに関し、特に信頼性、耐候性に優れた読み出し専用
の光ディスクに関するものである。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to an optical disc for reading information using a laser, and more particularly to a read-only optical disc excellent in reliability and weather resistance.
(従来の技術) 読み出し専用の光ディスクとしてコンパクトディスク
(以下、CDと呼ぶ。)が広く知られている。CDはポリカ
ーボネート基板(以下、PC基板と呼ぶ。)上にアルミニ
ウムからなる反射膜及びUV硬化樹脂からなる保護膜を設
けた構成になっており、予めPC基板上に形成された微小
な凹凸(以下、ピットと呼ぶ。)による光の変調を利用
して、音声の再生を可能にするものである。(Prior Art) A compact disc (hereinafter referred to as a CD) is widely known as a read-only optical disc. The CD has a structure in which a reflection film made of aluminum and a protective film made of a UV curable resin are provided on a polycarbonate substrate (hereinafter, referred to as a PC substrate), and minute unevenness (hereinafter, referred to as a fine irregularity) formed on the PC substrate in advance. , Pits) is used to enable sound reproduction.
また、近年、上述した音声再生用のみならず、CD−ROM
と呼ばれる各種データの読み出し専用光ディスクもいろ
いろな分野に用いられつつある。例えば、パーソナルコ
ンピュータ用のデータ媒体、電子出版媒体などへ展開し
ている。In recent years, the CD-ROM has been used not only for the audio reproduction described above.
Read-only optical disks for various types of data called "data" are also being used in various fields. For example, it is being applied to data media for personal computers and electronic publishing media.
(発明が解決しようとする課題) CD−ROMは従来のCD作製技術によりPC基板を用いて容易
に作製できるが、読み出しの信頼性、データの保存性
(CD−ROMの耐候性)を強く要求される場合はPC基板で
は問題となる。即ち、PC基板が持つ吸水性、透湿性のた
めに反りあるいは反射膜の腐食、剥離などの劣化を生じ
易い。更に、CDにおいても、例えば車両搭載などを考え
ると、その環境条件は苛酷なものであり、より高品質の
ものが求められる。(Problems to be solved by the invention) Although a CD-ROM can be easily manufactured using a conventional CD manufacturing technique using a PC substrate, it is strongly required to have reliability of reading and data storability (weather resistance of CD-ROM). If so, it will be a problem with the PC board. That is, due to the water absorption and moisture permeability of the PC substrate, warpage or deterioration of the reflective film such as corrosion and peeling is likely to occur. Further, even in the case of a CD, for example, when it is installed in a vehicle, the environmental conditions are severe, and higher quality is required.
本発明の目的は高信頼性、高耐候性を有する読み出し専
用光ディスクを提供することにある。An object of the present invention is to provide a read-only optical disc having high reliability and high weather resistance.
(課題を解決するための手段) 以下、第1図を用いて本発明を説明する。第1図は、本
発明の概略断面図である。(Means for Solving the Problems) The present invention will be described below with reference to FIG. FIG. 1 is a schematic sectional view of the present invention.
本発明によれば、吸湿性、透湿性のないガラス基板を用
い、まず、拡散防止層2a,2bを両面に形成する。次に、
この拡散防止層の一方の面にいわゆるゾルゲル法と呼ば
れる手法を用いて、有機金属化合物を焼成することによ
り得られるガラス状のピットパターンをもった金属アル
コレートの焼成層3を形成し、次いで高耐食性の反射膜
4、保護膜5を順次積層することにより、高信頼性の読
み出し専用光ディスクが得られる。According to the present invention, a glass substrate having neither hygroscopicity nor moisture permeability is used, and first, the diffusion prevention layers 2a and 2b are formed on both surfaces. next,
A baking layer 3 of metal alcoholate having a glass-like pit pattern obtained by baking an organometallic compound is formed on one surface of the diffusion preventing layer by using a so-called sol-gel method. A highly reliable read-only optical disc can be obtained by sequentially stacking the anticorrosion reflective film 4 and the protective film 5.
ガラス基板1としては通常のソーダライムガラス、アル
ミノケイ酸ガラスなどが用いられるが、光ディスクとし
ての信頼性の観点からみると、化学強化を施されたもの
が好ましい。Usual soda lime glass, aluminosilicate glass, or the like is used as the glass substrate 1, but from the viewpoint of reliability as an optical disc, a chemically strengthened one is preferable.
しかしながら、通常の化学強化を行うためにはガラスが
Li,Naなどのアルカリ金属を含むことが必要になる。こ
のアルカリ金属は、ガラスを高温高湿下に置いた場合、
ガラス表面に拡散し、例えばNa2CO3のような塩に変化す
ることが良く知られている。このような変化はレーザ光
を照射して読み出しを行う際の障害となり、光ディスク
としての特性上好ましくない。そこで、この様な塩の析
出を防ぐ拡散防止層2a,2bが必要になる。この拡散防止
層2a,2bとしては各種無機酸化物を用いることが出来る
が、光ディスクとしての特性を勘案すると、Si,Ti,Ta,Z
r,Al,Sn,Crの酸化物を単独もしくは組み合わせて使用す
ることが好ましい。また、Si3N4も良好な結果を示す。
これらの酸化物あるいは窒化物はスパッタ法などにより
容易に形成することが出来る。However, in order to carry out normal chemical strengthening, the glass
It is necessary to contain alkali metals such as Li and Na. This alkali metal, when the glass is placed under high temperature and high humidity,
It is well known that it diffuses on the glass surface and changes into a salt such as Na 2 CO 3 . Such a change becomes an obstacle when performing reading by irradiating a laser beam and is not preferable in terms of characteristics as an optical disc. Therefore, diffusion prevention layers 2a and 2b that prevent such salt precipitation are required. Various inorganic oxides can be used as the diffusion prevention layers 2a and 2b, but considering the characteristics of the optical disk, Si, Ti, Ta, Z
It is preferable to use r, Al, Sn, and Cr oxides alone or in combination. In addition, Si 3 N 4 also shows good results.
These oxides or nitrides can be easily formed by a sputtering method or the like.
所望のピットパターンを拡散防止層の上に形成するに
は、以下に示すようにゾルゲル法を用いて容易に行うこ
とが出来る。A desired pit pattern can be easily formed on the diffusion preventing layer by using a sol-gel method as shown below.
まず、金属アルコレート、水、塩酸、アルコールなどか
ら成る塗布溶液を調製し、ガラス基板上に所定の厚さに
なるようにスピンコートする。次いで、所望のピットパ
ターンになるように設計された樹脂製の型を押し当て、
60〜120℃程度の温度で一次焼成を行う。その後、ガラ
ス基板を離型し、250〜400℃で二次焼成を行い、溶剤、
添加剤などの有機成分を除去することにより所望のピッ
トパターンを有する非晶質の金属酸化物層3を形成でき
る。First, a coating solution containing a metal alcoholate, water, hydrochloric acid, alcohol, etc. is prepared and spin-coated on a glass substrate so as to have a predetermined thickness. Then, press a resin mold designed to have the desired pit pattern,
Primary firing is performed at a temperature of about 60 to 120 ° C. After that, the glass substrate is released from the mold, the secondary baking is performed at 250 to 400 ° C., the solvent,
By removing organic components such as additives, the amorphous metal oxide layer 3 having a desired pit pattern can be formed.
ここで用いられる金属アルコレートとしては各種の金属
アルコーレト、例えばSi,Ti,Zr,Al,Bなどのアルコレー
ト、が使用できるが、光ディスクとしての特性、製造上
の取り扱いやすさなどから、Si系アルコレートあるいは
Si系アルコレートとTi系アルコレートの混合系が好まし
い。As the metal alcoholate used here, various metal alcoholates, for example, alcoholates such as Si, Ti, Zr, Al, and B can be used. Alcoholate or
A mixed system of Si-based alcoholate and Ti-based alcoholate is preferable.
このようにして所望のピットパターンを有する透明なガ
ラス基板を得ることができる。In this way, a transparent glass substrate having a desired pit pattern can be obtained.
次に、得られたピットパターンを有する焼成層の上に、
反射膜4をスパッタ法などにより付け、更に、保護膜5
をその上に被覆することにより読み出し専用光ディスク
が得られる。Next, on the fired layer having the obtained pit pattern,
The reflective film 4 is attached by a sputtering method, and the protective film 5 is further added.
A read-only optical disc is obtained by coating the above with.
反射膜4の材料としては、各種の金属、金属窒化物など
を用いることが出来るが、高耐食性を示すものが好まし
く、Au,Au系合金、TiNが本発明の目的を満たす。As the material of the reflective film 4, various metals, metal nitrides, etc. can be used, but those showing high corrosion resistance are preferable, and Au, Au-based alloys and TiN satisfy the object of the present invention.
保護膜5としては、SiO2などの無機酸化物、Si3N4など
の無機窒化物のような無機系のものあるいはUV硬化樹脂
などのような有機系のものが単独もしくは組み合わせて
使用できる。As the protective film 5, an inorganic oxide such as SiO 2 or an inorganic nitride such as Si 3 N 4 or an organic one such as a UV curable resin can be used alone or in combination.
(作用) 本発明による読み出し専用光ディスクは、耐湿性に優れ
る拡散防止層付きのガラス基板及び耐食性に優れる反射
膜を有しているために、高い信頼性を実現できる。(Operation) Since the read-only optical disc according to the present invention has the glass substrate with the diffusion prevention layer having excellent moisture resistance and the reflective film having excellent corrosion resistance, high reliability can be realized.
(実施例) 以下、実施例に基づき詳細に説明する。(Example) Hereinafter, it demonstrates in detail based on an Example.
実施例1 化学強化されたガラス基板上に、スパッタ法によりガラ
ス基板の両面にSiO2膜を1000Å形成し、拡散防止層とし
た。次いで、一方のSiO2膜の上に、テトラエトキシシラ
ン、塩酸、水、ポリエチレングリコールを含むエチルア
ルコール溶液をスピンコートし、有機金属化合物を2000
〜3000Å形成した。次いで、表面に所定のピットパター
ンを有する樹脂製の型を有機金属化合物層に押し当て、
ピットパターンを転写すると共に120℃で一次焼成を行
った。その後、ガラス基板を離型し、350℃で二次焼成
を行った。Example 1 On a chemically strengthened glass substrate, a SiO 2 film of 1000 liters was formed on both surfaces of the glass substrate by a sputtering method to form a diffusion prevention layer. Next, an ethyl alcohol solution containing tetraethoxysilane, hydrochloric acid, water, and polyethylene glycol was spin-coated on one of the SiO 2 films, and an organometallic compound was added to 2000
~ 3000Å formed. Then, a resin mold having a predetermined pit pattern on the surface is pressed against the organometallic compound layer,
The pit pattern was transferred and primary firing was performed at 120 ° C. After that, the glass substrate was released, and secondary firing was performed at 350 ° C.
このようにして作製したピットパターンを有する焼成層
の上に、反射膜としてスパッタ法でAu−Ta合金膜を約10
00Å、保護膜としてSiO2膜を1000Å順次成膜した。On the fired layer having a pit pattern produced in this way, an Au-Ta alloy film was formed as a reflective film by a sputtering method in an amount of about 10 μm.
00Å and 1000Å SiO 2 film was sequentially formed as a protective film.
得られた光ディスクを80℃、90%RH下で耐候性を評価し
たところ、初期値が1.8×10-3であったブロックエラー
レートが、500時間後には2.1×10-3にやや増加した。し
かしながら、この程度の変化は再生特性上、何ら問題と
なるレベルではない。また、80℃、90%RHの条件下に1
時間ほど放置した後、取り出して再生を行ったところ、
何ら異常なく再生できた。When the weather resistance of the obtained optical disk was evaluated at 80 ° C. and 90% RH, the block error rate, which had an initial value of 1.8 × 10 −3 , slightly increased to 2.1 × 10 −3 after 500 hours. However, such a change does not cause any problem in reproduction characteristics. Also, under the conditions of 80 ℃ and 90% RH, 1
After leaving it for about an hour, taking it out and playing it,
I was able to reproduce without any abnormalities.
実施例2 化学強化されたガラス基板両面に、スパッタ法によりSi
O2−Ta2O5膜を1000Å形成した。次いで、一方のSiO2−T
a2O5膜のに、テトラエトキシシラン、塩酸、水、ポリエ
チレングリコールを含むエチルアルコール溶液をスピン
コート、有機金属化合物層を2000〜3000Å形成した。次
いで、表面に所定のピットパターンを有する樹脂製の型
を有機金属化合物層に押し当て、ピットパターンを転写
すると共に120℃で一次焼成を行った。その後、ガラス
基板を離型し、350℃で二次焼成を行った。Example 2 Si was sputtered on both sides of a chemically strengthened glass substrate.
An O 2 —Ta 2 O 5 film was formed at 1000 Å. Then one of the SiO 2 -T
An ethyl alcohol solution containing tetraethoxysilane, hydrochloric acid, water, and polyethylene glycol was spin-coated on the a 2 O 5 film to form an organometallic compound layer at 2000 to 3000 Å. Next, a resin mold having a predetermined pit pattern on the surface was pressed against the organometallic compound layer to transfer the pit pattern and perform primary baking at 120 ° C. After that, the glass substrate was released, and secondary firing was performed at 350 ° C.
このようにして作製したピットパターンを有する焼成層
の上に、スパッタ法でAu−Ta合金膜を約1000Å、SiO2膜
を1000Å順次成膜した。An Au-Ta alloy film of about 1000 Å and an SiO 2 film of 1000 Å were sequentially formed on the fired layer having a pit pattern thus produced by a sputtering method.
得られた光ディスクを80℃、90%RH下で耐候性を評価し
たところ、初期値が2.2×10-3あったブロックエラーレ
ートが、500時間後には2.4×10-3にやや増加した。しか
しながら、この程度の変化は再生特性上、何ら問題とな
るレベルではない。また、80℃、90%RHの条件下に1時
間ほど放置した後、取り出して再生を行ったところ、何
ら異常なく再生できた。The resulting 80 ° C. The optical disc was evaluated for weather resistance under 90% RH, the block error rate that the initial value was 2.2 × 10 -3 it is after 500 hours showed a slight increase in the 2.4 × 10 -3. However, such a change does not cause any problem in reproduction characteristics. Also, after leaving it for about 1 hour under the conditions of 80 ° C. and 90% RH, and taking it out and regenerating it, it could be regenerated without any abnormality.
実施例3 化学強化されたガラス基板の両面に、スパッタ法により
SiO2−TiO2膜を1000Å形成した。次に、実施例2と同様
に、順次焼成層、反射膜、保護膜を形成した。Example 3 Both sides of a chemically strengthened glass substrate were sputtered.
A SiO 2 —TiO 2 film of 1000 Å was formed. Next, as in Example 2, a firing layer, a reflective film, and a protective film were sequentially formed.
得られた光ディスクを80℃、90%RH下で耐候性を評価し
たところ、初期値が1.3×10-3であったブロックエラー
レートが、500時間後には1.9×10-3にやや増加した。し
かしながら、この程度の変化は再生特性上、何ら問題と
なるレベルではない。また、80℃、90%RHの条件下に1
時間ほど放置した後、取り出して再生を行ったところ、
何ら異常なく再生できた。When the weather resistance of the obtained optical disk was evaluated at 80 ° C. and 90% RH, the block error rate, which had an initial value of 1.3 × 10 −3 , slightly increased to 1.9 × 10 −3 after 500 hours. However, such a change does not cause any problem in reproduction characteristics. Also, under the conditions of 80 ℃ and 90% RH, 1
After leaving it for about an hour, taking it out and playing it,
I was able to reproduce without any abnormalities.
実施例4 化学強化されたガラス基板の両面に、スパッタ法により
SiO2−ZrO2膜を800Å形成した。次に、実施例2と同様
に、順次焼成層、反射膜層、保護膜層を形成した。Example 4 Both sides of a chemically strengthened glass substrate were sputtered.
A SiO 2 —ZrO 2 film was formed at 800 Å. Next, as in Example 2, a firing layer, a reflective film layer, and a protective film layer were sequentially formed.
得られた光ディスクを80℃、90%RH下で耐候性を評価し
たところ、初期値が3.1×10-3であったブロックエラー
レートが、500時間後には3.9×10-3にやや増加した。し
かしながら、この程度の変化は再生特性上、何ら問題と
なるレベルではない。また、80℃、90%RHの条件下に1
時間ほど放置した後、取り出して再生を行ったところ、
何ら異常なく再生できた。When the weather resistance of the obtained optical disk was evaluated at 80 ° C. and 90% RH, the block error rate, which had an initial value of 3.1 × 10 −3 , slightly increased to 3.9 × 10 −3 after 500 hours. However, such a change does not cause any problem in reproduction characteristics. Also, under the conditions of 80 ℃ and 90% RH, 1
After leaving it for about an hour, taking it out and playing it,
I was able to reproduce without any abnormalities.
実施例5 化学強化されたガラス基板の両面に、スパッタ法により
SiO2−CrO2膜を800Å形成した。次に、実施例2と同様
に、順次焼成層、反射膜層、保護膜層を形成した。Example 5 Both sides of a chemically strengthened glass substrate were sputtered.
A SiO 2 —CrO 2 film was formed at 800 Å. Next, as in Example 2, a firing layer, a reflective film layer, and a protective film layer were sequentially formed.
得られた光ディスクを80℃、90%RH下で耐候性を評価し
たところ、初期値が2.3×10-3であったブロックエラー
レートが、500時間後には2.9×10-3にやや増加した。し
かしながら、この程度の変化は再生特性上、何ら問題と
なるレベルではない。また、80℃、90%RHの条件下に1
時間ほど放置した後、取り出して再生を行ったところ、
何ら異常なく再生できた。When the weather resistance of the obtained optical disk was evaluated at 80 ° C. and 90% RH, the block error rate, which had an initial value of 2.3 × 10 −3 , slightly increased to 2.9 × 10 −3 after 500 hours. However, such a change does not cause any problem in reproduction characteristics. Also, under the conditions of 80 ℃ and 90% RH, 1
After leaving it for about an hour, taking it out and playing it,
I was able to reproduce without any abnormalities.
実施例6 化学強化されたガラス基板の両面に、スパッタ法により
SiO2−Al2O3膜を800Å形成した。次に、実施例2と同様
に、順次焼成層、反射膜、保護膜を形成した。Example 6 Both sides of a chemically strengthened glass substrate were sputtered.
A SiO 2 —Al 2 O 3 film was formed at 800 Å. Next, as in Example 2, a firing layer, a reflective film, and a protective film were sequentially formed.
得られた光ディスクを80℃、90%RH下で耐候性を評価し
たところ、初期値が2.6×10-3であったブロックエラー
レートが、500時間後には3.1×10-3にやや増加した。し
かしながら、この程度の変化は再生特性上、何ら問題と
なるレベルではない。また、80℃、90%RHの条件下に1
時間ほど放置した後、取り出して再生を行ったところ、
何ら異常なく再生できた。When the weather resistance of the obtained optical disk was evaluated at 80 ° C. and 90% RH, the block error rate, which had an initial value of 2.6 × 10 −3 , slightly increased to 3.1 × 10 −3 after 500 hours. However, such a change does not cause any problem in reproduction characteristics. Also, under the conditions of 80 ℃ and 90% RH, 1
After leaving it for about an hour, taking it out and playing it,
I was able to reproduce without any abnormalities.
実施例7 化学強化されたガラス基板の両面に、スパッタ法により
SiO2−SnO2膜を1000Å形成した。次に、実施例2と同様
に、順次焼成層、反射膜、保護膜を形成した。Example 7 Both sides of a chemically strengthened glass substrate were sputtered.
A SiO 2 —SnO 2 film of 1000 Å was formed. Next, as in Example 2, a firing layer, a reflective film, and a protective film were sequentially formed.
得られた光ディスクを80℃、90%RH下で耐候性を評価し
たところ、初期値が2.2×10-3であったブロックエラー
レートが、500時間後には2.6×10-3にやや増加した。し
かしながら、この程度の変化は再生特性上、何ら問題と
なるレベルではない。また、80℃、90%RHの条件下に1
時間ほど放置した後、取り出して再生を行ったところ、
何ら異常なく再生できた。When the weather resistance of the obtained optical disk was evaluated at 80 ° C. and 90% RH, the block error rate, which had an initial value of 2.2 × 10 −3 , slightly increased to 2.6 × 10 −3 after 500 hours. However, such a change does not cause any problem in reproduction characteristics. Also, under the conditions of 80 ℃ and 90% RH, 1
After leaving it for about an hour, taking it out and playing it,
I was able to reproduce without any abnormalities.
実施例8 化学強化されたガラス基板の両面に、スパッタ法により
SiO2−Ta2O5膜を1000Å形成した。次いで、一方のSiO2
−Ta2O5膜上にテトラエトキシシラン、テトラブトキシ
チタン、塩酸、水、ポリエチレングリコールを含むエチ
ルアルコール溶液をスピンコートし、有機金属化合物層
を2000〜3000Å形成した。次いで、表面に所定のピット
パターンを有する樹脂製の型を有機金属化合物層に押し
当て、ピットパターンを転写すると共に100℃で一次焼
成を行った。その後、ガラス基板を離型し、350℃で二
次焼成を行った。Example 8 Both sides of a chemically strengthened glass substrate were sputtered.
An SiO 2 —Ta 2 O 5 film of 1000 Å was formed. Then one of the SiO 2
An ethyl alcohol solution containing tetraethoxysilane, tetrabutoxytitanium, hydrochloric acid, water, and polyethylene glycol was spin-coated on the Ta 2 O 5 film to form an organometallic compound layer of 2000 to 3000 liters. Then, a resin mold having a predetermined pit pattern on the surface was pressed against the organometallic compound layer to transfer the pit pattern and perform primary baking at 100 ° C. After that, the glass substrate was released, and secondary firing was performed at 350 ° C.
このようにして作製したピットパターンを有する焼成層
の上に、反射膜としてスパッタ法でAu−Ge合金膜を約10
00Å、SiO2膜を1000Å順次成膜した。更にその上をUV硬
化樹脂層で被覆した。On the fired layer having the pit pattern produced in this manner, an Au-Ge alloy film was formed as a reflective film by a sputtering method to about 10
00Å and 1000Å SiO 2 films were sequentially formed. Furthermore, it was covered with a UV curable resin layer.
得られた光ディスクを80℃、90%RH下で耐候性を評価し
たところ、初期値が1.5×10-3であったブロックエラー
レートが、500時間後には2.0×10-3にやや増加した。し
かしながら、この程度の変化は再生特性上、何ら問題と
なるレベルではない。また、80℃、90%RHの条件下に1
時間ほど放置した後、取り出して再生を行ったところ、
何ら異常なく再生できた。When the weather resistance of the obtained optical disk was evaluated at 80 ° C. and 90% RH, the block error rate, which had an initial value of 1.5 × 10 −3 , slightly increased to 2.0 × 10 −3 after 500 hours. However, such a change does not cause any problem in reproduction characteristics. Also, under the conditions of 80 ℃ and 90% RH, 1
After leaving it for about an hour, taking it out and playing it,
I was able to reproduce without any abnormalities.
実施例9 化学強化されたガラス基板の両面上のりょうめに、スパ
ッタ法によりSi3N4膜を800Å形成した。次いで、一方の
Si3N4膜の上にテトラエトキシシラン、テトラブトキシ
チタン、塩酸、水、ポリエチレングリコールを含むエチ
ルアルコール溶液をスピンコートし、有機金属化合物層
を2000〜3000Å形成した。次いで、表面に所定のピット
パターンを有する樹脂製の型を有機金属化合物層に押し
当て、ピットパターンを転写すると共に100℃で一次焼
成を行った。その後、ガラス基板を離型し、350℃で二
次焼成を行った。Example 9 A Si 3 N 4 film having a thickness of 800 Å was formed on the both sides of a chemically strengthened glass substrate by a sputtering method. Then one of
An ethyl alcohol solution containing tetraethoxysilane, tetrabutoxytitanium, hydrochloric acid, water and polyethylene glycol was spin-coated on the Si 3 N 4 film to form an organometallic compound layer of 2000 to 3000 liters. Then, a resin mold having a predetermined pit pattern on the surface was pressed against the organometallic compound layer to transfer the pit pattern and perform primary baking at 100 ° C. After that, the glass substrate was released, and secondary firing was performed at 350 ° C.
このようにして作製したピットパターンを有する焼成層
の上に、スパッタ法でAu−Ge合金膜を約1000Å、SiO2膜
を1000Å順次成膜した。更にその上をUV硬化樹脂層で被
覆した。On the fired layer having a pit pattern thus produced, an Au—Ge alloy film of about 1000 Å and a SiO 2 film of 1000 Å were sequentially formed by a sputtering method. Furthermore, it was covered with a UV curable resin layer.
得られた光ディスクを80℃、90%RH下で耐候性を評価し
たところ、初期値が1.4×10-3あったブロックエラーレ
ートが、500時間後には1.6×10-3にやや増加した。しか
しながら、この程度の変化は再生特性上、何ら問題とな
るレベルではない。また、80℃、90%RHの条件下に1時
間ほど放置した後、取り出して再生を行ったところ、何
ら異常なく再生できた。The resulting 80 ° C. The optical disc was evaluated for weather resistance under 90% RH, the block error rate that the initial value was 1.4 × 10 -3 it is after 500 hours showed a slight increase in the 1.6 × 10 -3. However, such a change does not cause any problem in reproduction characteristics. Also, after leaving it for about 1 hour under the conditions of 80 ° C. and 90% RH, and taking it out and regenerating it, it could be regenerated without any abnormality.
実施例10 実施例2と同様にして作製したピットパターンを有する
焼成層の上に、クラスターイオンビーム法でTiN膜を約1
000Å、スパッタ法でSi3N4膜を800〜10000Å順次成膜し
た。更にその上をUV硬化樹脂層で被覆した。Example 10 A TiN film of about 1 was formed by a cluster ion beam method on a firing layer having a pit pattern produced in the same manner as in Example 2.
000Å, Si 3 N 4 film was sequentially formed by 800 to 10000Å by the sputtering method. Furthermore, it was covered with a UV curable resin layer.
得られた光ディスクを80℃、90%RH下で耐候性を評価し
たところ、初期値が2.0×10-3であったブロックエラー
レートが、500時間後には2.5×10-3にやや増加した。し
かしながら、この程度の変化は再生特性上、何ら問題と
なるレベルではない。また、80℃、90%RHの条件下に1
時間ほど放置した後、取り出して再生を行ったところ、
何ら異常なく再生できた。When the weather resistance of the obtained optical disk was evaluated at 80 ° C. and 90% RH, the block error rate, which was an initial value of 2.0 × 10 −3 , slightly increased to 2.5 × 10 −3 after 500 hours. However, such a change does not cause any problem in reproduction characteristics. Also, under the conditions of 80 ℃ and 90% RH, 1
After leaving it for about an hour, taking it out and playing it,
I was able to reproduce without any abnormalities.
実施例11 実施例2と同様にして作製したピットパターン層の上
に、スパッタ法を用いてAu膜を約1000Å、Si3N4膜を800
〜1000Å順次成膜した。更にその上をUV硬化樹脂層で被
覆した。Example 11 On the pit pattern layer produced in the same manner as in Example 2, an Au film of about 1000 Å and a Si 3 N 4 film of 800 were formed by the sputtering method.
~ 1000Å The film was formed sequentially. Furthermore, it was covered with a UV curable resin layer.
得られた光ディスクを80℃、90%RH下で耐候性を評価し
たところ、初期値が2.4×10-3であったブロックエラー
レートが、500時間後には3.3×10-3にやや増加した。し
かしながら、この程度の変化は再生特性上、何ら問題と
なるレベルではない。また、80℃、90%RHの条件下に1
時間ほど放置した後、取り出して再生を行ったところ、
何ら異常なく再生できた。When the weather resistance of the obtained optical disk was evaluated at 80 ° C. and 90% RH, the block error rate, which had an initial value of 2.4 × 10 −3 , slightly increased to 3.3 × 10 −3 after 500 hours. However, such a change does not cause any problem in reproduction characteristics. Also, under the conditions of 80 ℃ and 90% RH, 1
After leaving it for about an hour, taking it out and playing it,
I was able to reproduce without any abnormalities.
比較例 市販されている音楽用のCDディスクについて同様に耐候
性の評価を行ったところ、ブロックエラーレートは5×
10-4(初期値)から著しく変化し、500時間後には測定
不能になっていた。また、80C、90%RH条件下に1時間
ほど放置した後、取り出して再生を行ったところ、反り
が大きいため再生不能であった。Comparative Example When the weather resistance of a commercially available music CD disk was evaluated in the same manner, the block error rate was 5 ×.
It changed significantly from 10 -4 (initial value), and it became impossible to measure after 500 hours. Also, after leaving it under conditions of 80 C and 90% RH for about 1 hour, it was taken out and regenerated, and it was impossible to regenerate because of a large warp.
(発明の効果) 以上述べてきたように、本発明による読み出し専用光デ
ィスクは信頼性、耐候性に優れており、従来使用できな
かった応用分野への展開を可能にするものである。(Effects of the Invention) As described above, the read-only optical disk according to the present invention is excellent in reliability and weather resistance, and can be applied to an application field that cannot be used conventionally.
第1図は本発明による読み出し専用光ディスクの概略断
面図である。 1……ガラス基板、2a,2b……拡散防止層、 3……金属アルコレートの焼成層、4……反射膜層、 5……保護膜層FIG. 1 is a schematic sectional view of a read-only optical disc according to the present invention. 1 ... glass substrate, 2a, 2b ... diffusion prevention layer, 3 ... metal alcoholate firing layer, 4 ... reflection film layer, 5 ... protective film layer
フロントページの続き (72)発明者 齋藤 美紀子 東京都港区芝5丁目33番1号 日本電気株 式会社内 (72)発明者 塚本 雄二 東京都港区芝5丁目33番1号 日本電気株 式会社内 (72)発明者 佐藤 明伸 東京都港区芝5丁目33番1号 日本電気株 式会社内 (72)発明者 松野 好洋 大阪府大阪市中央区道修町3丁目5番11号 日本板硝子株式会社内 (72)発明者 角 俊雄 大阪府大阪市中央区道修町3丁目5番11号 日本板硝子株式会社内 (72)発明者 片山 慎也 大阪府大阪市中央区道修町3丁目5番11号 日本板硝子株式会社内 (72)発明者 松田 厚範 大阪府大阪市中央区道修町3丁目5番11号 日本板硝子株式会社内 (56)参考文献 特開 平3−30132(JP,A) 特開 平3−30133(JP,A) 特開 平3−40243(JP,A)Front Page Continuation (72) Inventor Mikiko Saito 5-33-1 Shiba, Minato-ku, Tokyo NEC Corporation Stock company (72) Yuji Tsukamoto 5-33-1 Shiba, Minato-ku, Tokyo NEC Corporation In-house (72) Inventor Akinobu Sato 5-33-1 Shiba, Minato-ku, Tokyo NEC Corporation In-house (72) Inventor Yoshihiro Matsuno 3-5-11 Doshomachi, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka Nippon Sheet Glass Incorporated (72) Inventor Toshio Kaku 3-5-11 Doshumachi, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka Inside Nippon Sheet Glass Co., Ltd. (72) In-house Shinya Katayama 3-5-11 Dosho-cho, Chuo-ku, Osaka Within Nippon Sheet Glass Co., Ltd. (72) Inventor Atsunori Matsuda 3-5-11 Doshomachi, Chuo-ku, Osaka City, Osaka Prefecture Within Nippon Sheet Glass Co., Ltd. (56) Reference JP-A-3-30132 (JP, A) Flat 3-30133 (JP, A) JP 3-40243 (JP, A)
Claims (3)
成し、この拡散防止層のどちらか一方の拡散防止層の上
に、微小な凹凸を有する金属アルコレートの焼成層、A
u,Au合金もしくはTiNからなる反射膜及び保護膜を順次
積層したことを特徴とする読み出し専用光ディスク。1. A diffusion preventive layer is formed on both sides of a transparent glass substrate, and one of the diffusion preventive layers is a metal alcoholate calcined layer having fine irregularities, A.
A read-only optical disk comprising a reflective film and a protective film, which are made of u, Au alloy or TiN, sequentially laminated.
ら選ばれた少なくとも一種類以上の元素からなる酸化物
であることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の読
み出し専用光ディスク。2. The diffusion preventing layer is an oxide composed of at least one element selected from Si, Ti, Ta, Al, Zr, Sn and Cr. The read-only optical disc according to item 1.
る特許請求の範囲第1項記載の読み出し専用光ディス
ク。3. The read-only optical disk according to claim 1, wherein the diffusion prevention layer is Si 3 N 4 .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1176534A JPH0762916B2 (en) | 1989-07-06 | 1989-07-06 | Read-only optical disc |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1176534A JPH0762916B2 (en) | 1989-07-06 | 1989-07-06 | Read-only optical disc |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0340244A JPH0340244A (en) | 1991-02-21 |
| JPH0762916B2 true JPH0762916B2 (en) | 1995-07-05 |
Family
ID=16015289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1176534A Expired - Lifetime JPH0762916B2 (en) | 1989-07-06 | 1989-07-06 | Read-only optical disc |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0762916B2 (en) |
Families Citing this family (6)
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|---|---|---|---|---|
| US6821707B2 (en) | 1996-03-11 | 2004-11-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical information recording medium, producing method thereof and method of recording/erasing/reproducing information |
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| JP4777313B2 (en) | 2007-08-16 | 2011-09-21 | 富士フイルム株式会社 | Manufacturing method of information recording medium for optical reading |
-
1989
- 1989-07-06 JP JP1176534A patent/JPH0762916B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0340244A (en) | 1991-02-21 |
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