JPH0763689B2 - Method and device for arc processing of parts - Google Patents
Method and device for arc processing of partsInfo
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- JPH0763689B2 JPH0763689B2 JP2221389A JP22138990A JPH0763689B2 JP H0763689 B2 JPH0763689 B2 JP H0763689B2 JP 2221389 A JP2221389 A JP 2221389A JP 22138990 A JP22138990 A JP 22138990A JP H0763689 B2 JPH0763689 B2 JP H0763689B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は部品のアーク処理に関し、特に部品のアーク処
理方法および装置に関する。The present invention relates to arc treatment of parts, and more particularly to a method and apparatus for arc treatment of parts.
現在、コーティングを施す前に行う部品の高度処理に問
題がある。コーティングを施す前に部品を準備する既存
の工程は、基本的には化学的および機械的な処理である
が、それらの処理は労力を要ししかも生産性が低い。更
には、これらの方法は環境汚染の原因となっている。Currently, there is a problem with advanced processing of parts prior to coating. Existing processes for preparing parts prior to applying coatings are basically chemical and mechanical processes, which are labor intensive and less productive. Furthermore, these methods cause environmental pollution.
最近では、その他の処理方法も行われている。Recently, other processing methods are also used.
公知の技術として、被処理部品を真空室内で2つの電極
の間に置き、それらの電極同士の間にグロー放電を行う
部品処理方法がある(SU,A,322420,Cl.C23C)。この方
法では、生成物には、グロー放電の中でイオン衝撃を与
えて、その表面を浄化かつ活性化する。As a known technique, there is a component treatment method in which a component to be treated is placed between two electrodes in a vacuum chamber and a glow discharge is generated between the electrodes (SU, A, 322420, Cl.C23C). In this method, the product is ion bombarded in a glow discharge to clean and activate its surface.
上記方法は部品表面の均一浄化を特徴とするが、その生
産性はグロー放電の中での材料の微粒化が低速であるた
めに極めて不十分である。更には、この技法では微細な
バリを除去することができない。The above method is characterized by uniform cleaning of the surface of the part, but its productivity is extremely insufficient due to the slow atomization of the material in the glow discharge. Furthermore, this technique cannot remove fine burrs.
別の公知技術として、金属部品の表面をアーク浄化する
方法と、この方法を実施する装置がある(SU,A,935141,
B08B)。この技術においては、金属部品を室内に入れ、
その部品表面に、ガス圧力102〜104の下でアーク放電を
作用させる。被浄化表面にパルス・レート10〜100Hz、
個別パルス・エネルギー0.5〜60Jのパルス状のアーク放
電を浴びせる。Another known technique is a method of purifying the surface of a metal part with an arc, and a device for performing this method (SU, A, 935141,
B08B). In this technology, metal parts are put in the room,
An arc discharge is applied to the surface of the component under a gas pressure of 10 2 to 10 4 . Pulse rate 10 to 100 Hz on the surface to be cleaned,
A pulsed arc discharge with individual pulse energy of 0.5 to 60 J is exposed.
浄のパルス状のアーク放電を使用すれば、浄化工程を強
化するように個別パルスのパルス・レートおよびエネル
ギーを変えることによって部品の被浄化表面の温度を制
御できる。Using a clean pulsed arc discharge, the temperature of the cleaned surface of the component can be controlled by varying the pulse rate and energy of the individual pulses to enhance the cleaning process.
しかし、このアーク浄化方法では、部品の表面の所定部
域内においてパルス状放電スポットの位置を制御するの
が困難であるために全表面部域にわたって部品を均一処
理することができない。このため、部品の浄化されない
部分や不均一加熱が生じる。この方法を実施するには複
雑な装置が必要である。However, with this arc cleaning method, it is difficult to control the position of the pulsed discharge spot within a predetermined area of the surface of the component, so that the component cannot be uniformly processed over the entire surface area. Therefore, non-purified parts of the parts and uneven heating occur. Complex equipment is required to perform this method.
また別の公知技術として、アーク処理、好ましくは、部
品、例えば管の内面を浄化する方法があり(SU,A,95238
8,B08B)、この方法では、部品と電極とを電源に接続
し、媒体圧力100〜500Paの下で被処理部品と電極との間
にアーク放電を行う。次に電極を部品に対して移動させ
て、陰極として作用する被処理部品の表面に沿ってアー
ク放電のプラズマを移動させる。Another known technique is arc treatment, preferably a method of cleaning the inner surface of parts, such as tubes (SU, A, 95238).
In this method, the component and the electrode are connected to a power source, and arc discharge is performed between the component to be processed and the electrode under a medium pressure of 100 to 500 Pa. The electrode is then moved relative to the part to move the plasma of the arc discharge along the surface of the part to be treated which acts as the cathode.
上記方法を実施する装置は、ホルダーに取付けられか
つ、片方の線が被浄化管に接続されている電源の他方の
線に、給電部材によって接続されている電極と、アーク
励起系統と、電極を往復移動させる機構と、批浄化管の
内部空間をシールしかつ真空化する系統とから構成され
ている。The apparatus for carrying out the above method is attached to a holder, and one line is connected to the other line of the power source connected to the pipe to be purified, an electrode connected by a power supply member, an arc excitation system, and an electrode. It consists of a reciprocating mechanism and a system that seals and evacuates the internal space of the critical purification tube.
しかしながら、これらの方法と装置を使用する場合、処
理帯域における媒体圧力は少なくとも100Paでなければ
ならず、また残留ガスが、部品の、アーク放電によって
加熱処理される表面と反応する。この結果、上記表面の
すでに浄化された処理部品が酸化してしまう。However, when using these methods and apparatus, the medium pressure in the treatment zone must be at least 100 Pa and the residual gas reacts with the surface of the component that is heat treated by arc discharge. This results in oxidation of the already cleaned treated parts on the surface.
物理的観点から、可動電極スポットはそのような圧力の
下では形成されず、また大量の放電が発生して、その放
電の中で放出される電力の大部分が部品と電極の加熱に
消費されてしまう。結果的には、アーク放電の中で放出
される電力のほんのわずかの部分が有効な結果をもたら
す、すなわち部品表面を浄化するのに使用されるだけで
ある。大量の放電が発生するためにプラズマが生じて、
そのプラズマに、特に、電極ホルダーや、管の内部をシ
ールする系統の下で、接触する装置部品にプラズマが作
用して、それら部品の有効寿命が短くなってしまう。From a physical point of view, the movable electrode spot is not formed under such pressure, and a large amount of electric discharge occurs, and most of the electric power released in the electric discharge is consumed for heating the component and the electrode. Will end up. As a result, only a small fraction of the power emitted in the arc discharge has valid results, i.e. it is only used to clean the component surface. Plasma is generated because a large amount of discharge is generated,
The plasma acts on the device parts that come into contact with the plasma, especially under the system that seals the inside of the electrode holder or the tube, and the effective life of these parts is shortened.
そうした圧力の下で部品へ放出されるエネルギーの密度
は低いため、部品表面から除去できる酸化膜はわずか
(数μm)であり、この方法では厚い(深い)酸化膜や
スケールは除去できない。Due to the low density of energy released to the component under such pressure, only a small (several μm) oxide film can be removed from the component surface, and thick (deep) oxide film and scale cannot be removed by this method.
従来技術を実施するには、場合のいかんを問わず、可動
電極を有する複雑な装置を使用することが必要となり、
この装置は多くの用途に適合するものでなく、特に、寸
法が有限の単純な部品を処理する場合には、それが言え
る。The practice of the prior art requires the use of complex devices with movable electrodes, no matter what the case.
This device is not suitable for many applications, especially when dealing with simple parts of finite size.
以上、特に部品のアーク浄化のために提案された公知の
方法および装置の欠点について述べた。加熱、溶接、切
断等のアーク真空処理の分野における公知技術も同様な
欠点を有するが、それらについてはここでは述べない。The disadvantages of the known methods and devices proposed for the arc cleaning of components, in particular, have been mentioned above. Known techniques in the field of arc vacuum processing such as heating, welding and cutting have similar drawbacks, which will not be mentioned here.
本発明の目的の1つは、部品をアーク処理する方法であ
って、部品の表面全体にわたるプラズマの所定分配を行
う工程段階を選択することによって部品の所望処理品
質、高い生産性および処理の生態学的安全性の確保する
ことのできる方法を提供することにある。また本発明の
別の目的は、上記方法を実施する装置を提供しかつ本発
明の利点を最良の形態で達成するように装置の構成部分
を最適構成することにある。One of the objects of the present invention is a method of arc-treating a part, the desired process quality of the part, high productivity and process ecology by selecting the process steps that provide a predetermined distribution of the plasma over the surface of the part. It is to provide a method capable of ensuring the scientific safety. Yet another object of the invention is to provide an apparatus for carrying out the above method and to optimally configure the components of the apparatus so as to best achieve the advantages of the invention.
上記目的を達成するための本発明の部品アーク処理方法
は、被処理部品と少なくとも1つの電極とを電源に接続
し、被処理部品と電極との間に、大気圧以下の媒体圧力
の下でアーク放電して、少なくとも陰極に沿って移動す
るプラズマを発生させるが、上記工程を10Pa以下の媒体
圧力の下で実施し、アーク放電をアーク電圧電流特性の
垂下部分のモードで行い、および/または、垂下する外
部電圧電流特性をもった電源を使用し、アーク発生時
に、ゼロに等しいあるいはゼロに近い電界の電位差を、
部品の少なくとも処理帯域の表面に、および/または少
なくとも1つの電極の作用面に発生させ、そしてアーク
・プラズマの移動部域を部品の処理帯域および/または
上記電極表面に限定することを特徴とする。A part arc treatment method of the present invention for achieving the above object is to connect a component to be treated and at least one electrode to a power source, and to place a medium pressure below atmospheric pressure between the component to be treated and the electrode. Arcing to produce a plasma moving along at least the cathode, but carrying out the above step under a medium pressure of 10 Pa or less, carrying out the arcing in the mode of the drooping part of the arc voltage-current characteristic, and / or , Using a power supply with a drooping external voltage-current characteristic, when an arc occurs, the potential difference of the electric field equal to or close to zero,
Characterized in that it is generated on at least the surface of the treatment zone of the component and / or on the working surface of at least one electrode and limits the moving area of the arc plasma to the treatment zone of the component and / or said electrode surface. .
媒体圧力を10Pa以下とすれば、アークの電極スポットは
部品および電極の表面全体にわたって自然に移動し得、
またアーク放電を電圧電流特性の垂下部分のモードで行
えば、あるいはこれと同じであるが、垂下する外部電圧
電流特性を持った電源を使用すれば、電極スポットの移
動性が実質的に高くなり、このことは実験で証明されて
いる。ゼロに等しいあるいはゼロに近い電界の電位差が
部品の処理帯域の表面にまた/あるいは電極の作用面に
生じると、アークの電極スポットは対応の表面の全部域
において最も生じやすくなる。従って、電極スポットの
移動部域が上記表面に限定されると、アークによる部品
の十分な均一処理、特に浄化、を最少の電極侵食で得る
ことができる。なお、媒体圧力を低くすれば、部品の処
理表面の酸化がなくなる。有限寸法の部品を処理する場
合には、処理工程全体にわたって部品を移動させずに済
む。If the medium pressure is 10 Pa or less, the electrode spot of the arc can move naturally over the entire surface of the component and electrode,
If arc discharge is performed in the drooping mode of the voltage-current characteristics, or the same as this, but if a power supply with drooping external voltage-current characteristics is used, the mobility of the electrode spot will increase substantially. , This has been proven experimentally. When an electric field difference equal to or close to zero occurs on the surface of the treatment zone of the component and / or on the working surface of the electrode, the electrode spot of the arc is most likely to occur over the entire corresponding surface. Therefore, if the moving area of the electrode spot is limited to the above-mentioned surface, it is possible to obtain a sufficient uniform treatment of the component by the arc, especially the purification, with a minimum of electrode erosion. If the medium pressure is lowered, the treated surface of the component will not be oxidized. When processing parts of finite size, it is not necessary to move the parts throughout the process.
更に、上記目的を達成するための本発明の別の部品アー
ク処理方法は、被処理部品と少なくとも1つの電極とを
電源に接続し、被処理部品と少なくとも1つの電極との
間に、大気圧以下の媒体圧力の下でアーク放電して、少
なくとも陰極側にプラズマを発生させるが、上記工程を
10Pa以下の媒体圧力の下で実施し、アーク放電をアーク
の電圧電流特性の垂下部分のモードで行い、および/ま
たは、垂下する外部電圧電流特性をもった電源を使用
し、ゼロ以外の電界の電位差を部品の表面および/少な
くとも1つの電極の表面に発生させ、最低電位の部分を
被処理部品の表面および/または電極の表面に沿って、
あらかじめ設定したプログラムに従って移動させ、そし
てプラズマ移動部域を部品および/または電極の表面に
限定することを特徴とする。Furthermore, another component arc-processing method of the present invention for achieving the above object is to connect a component to be treated and at least one electrode to a power source, and to apply atmospheric pressure between the component to be treated and at least one electrode. Arc discharge under the following medium pressure to generate plasma at least on the cathode side.
Performing under a medium pressure of 10 Pa or less, performing arc discharge in the mode of the drooping part of the arc's voltage-current characteristic, and / or using a power supply with a drooping external voltage-current characteristic, and A potential difference is generated on the surface of the component and / or the surface of at least one electrode, and the portion of the lowest potential is along the surface of the treated component and / or the surface of the electrode,
It is characterized in that it is moved according to a preset program, and the plasma moving area is limited to the surface of the component and / or the electrode.
本発明の方法の上記実施においては、アークの電極スッ
トは両極端の電位値の上記部域に追従して移動して、あ
らかじめ設定したプログラムに従って部品を処理するこ
とができる。In the above implementation of the method according to the invention, the electrode suit of the arc can be moved following the above mentioned areas of extreme potential values to process the part according to a preset program.
好ましくは、アークの電極スットの位置する帯域から離
れた部品および/または電極の部分へ給電することによ
って電界の電位差を発生させ、電界の最高および/また
は最低電位の部域を、部品および/または電極上の給電
帯域の位置を変えることによって移動させる。Preferably, a potential difference of the electric field is generated by feeding a part and / or a part of the electrode away from the zone in which the electrode sut of the arc is located, and the areas of highest and / or lowest potential of the electric field are It is moved by changing the position of the feed band on the electrode.
この方法では、エネルギー・コストを追加せずに電極ス
ポットを部品に対して移動させることができる。In this way, the electrode spot can be moved relative to the component without adding energy cost.
細長い部品、例えば圧延品、を処理する場合には、好ま
しくは、被処理部品を少なくとも1つの電極に対して移
動させる、あるいは少なくとも1つの電極を部品に対し
て移動させる。When processing an elongated part, for example a rolled part, preferably the part to be treated is moved relative to the at least one electrode or the at least one electrode is moved relative to the part.
この移動によってそのような部品の全表面を均一に処理
することができる。This movement allows the entire surface of such parts to be treated uniformly.
また、上記目的を達成するための本発明の更に別の部品
アーク処理方法は、被処理部品と少なくとも1つの電極
とを電源に接続し、被処理部品と少なくとも1つの電極
との間に、大気圧以下の媒体圧力の下でアーク放電し
て、少なくとも陰極に沿って移動するプラズマを発生さ
せるが、上記工程を10Pa以下の媒体圧力の下で実施し、
アーク放電をアークの電圧電流特性の垂下部分のモード
で行い、および/または、垂下する外部電圧電流特性を
もった電源を使用し、被処理部品と少なくとも1つの電
極との間の空間におけるアーク放電部域を確実に圧縮す
る、あるいはその空間に部分的に限定し、このアーク放
電部域を部品に対して移動させ、よび/または部品をそ
のアーク放電部域に対して移動させることを特徴とす
る。Still another object arc treatment method of the present invention for achieving the above object is to connect a component to be treated and at least one electrode to a power source, and to provide a large value between the component to be treated and at least one electrode. Arc discharge under a medium pressure of atmospheric pressure or less to generate plasma moving along at least the cathode, the above steps are performed under a medium pressure of 10 Pa or less,
The arc discharge is performed in the mode of the drooping part of the voltage-current characteristic of the arc, and / or the power supply having the drooping external voltage-current characteristic is used, and the arc discharge in the space between the component to be processed and at least one electrode Characterized in that the area is positively compressed or partially limited to its space and that this arc discharge area is moved relative to the part and / or the part is moved relative to that arc discharge area To do.
上記実施例において、アーク電極スポットは部品表面に
沿べて移動して上記のアーク放電部域に追従し、部品の
所望処理を得ることができる。In the above embodiment, the arc electrode spot moves along the surface of the component and follows the above arc discharge area to obtain the desired treatment of the component.
好ましくは、アーク励起帯域とは反対側の、放電がそこ
に限定された部域において部品へ電流を与える。Preferably, the discharge provides a current to the component in an area confined thereto, opposite the arc excitation zone.
こうして、アーク電極スポットを電源帯域に向かって部
品に沿って移動させるが、アーク電極スポットの移動は
限定されているので、アーク放電をそこに限定した部域
の境界においてそれらスポットが集中させられ、また被
処理部品と、アーク放電がそこに限定されている上記部
域との相対的移動の際に、部品の所望表面の、それらの
スポットによる所望の処理が得られる。Thus, the arc electrode spot is moved along the part toward the power supply band, but since the movement of the arc electrode spot is limited, the spots are concentrated at the boundary of the area where the arc discharge is limited, Also, during the relative movement of the part to be treated and the above-mentioned areas where the arc discharge is limited thereto, the desired treatment of the desired surface of the part with these spots is obtained.
また好ましくは、少なくとも2つの電極を使用する場
合、少なくとも片方の電極の回路においては、あらかじ
め設定されたプログラムに従って電流値を限定するある
いは電流を遮断し、他方の電極の回路において電流を変
えないままにする、あるいは増大させる。Also preferably, when using at least two electrodes, in at least one electrode circuit, the current value is limited or the current is cut off according to a preset program, and the current is not changed in the other electrode circuit. To increase or increase.
こうして放電ギャップにおいて生じる電界の向きの変化
により、可動電極を使用しなくても部品に沿って電極ス
ポットを相応の指向移動させて、あらかじめ設定したプ
ログラムに従って部品を処理することができる。By changing the direction of the electric field generated in the discharge gap in this way, the electrode spot can be correspondingly moved along the component without using the movable electrode, and the component can be processed according to a preset program.
被処理部品は電源の負または正の端子のどちらに接続し
ても良い。前者の場合の部品は部品を浄化、スケール除
去、バリ取り、その材料の気化に最も好適でであり、後
者の場合の研磨、加熱、溶接および切断に最も適してい
る。The part to be processed may be connected to either the negative or positive terminal of the power supply. The parts in the former case are most suitable for cleaning, descaling, deburring and vaporizing the material of the parts, and in the latter case for polishing, heating, welding and cutting.
また好ましくは、アーク浄化の際のアーク電流値や処理
時間は、所定エネルギー消費が0.1〜0.8kW−h/m2μmの
範囲内となるようにすることである。Further, preferably, the arc current value and the treatment time during the arc purification are such that the predetermined energy consumption is within the range of 0.1 to 0.8 kW-h / m 2 μm.
上記条件で、被処理部品の著しい侵食を伴なわずにしか
も十分高い工程生産性を以って被処理表面からスケール
を完全に除去することができる。Under the above conditions, it is possible to completely remove the scale from the surface to be processed without significantly eroding the parts to be processed and with sufficiently high process productivity.
また本発明の別の目的である、上記の部品のアーク処理
方法を実施する装置は、ホルダーに取付けられかつ、片
方の線が被処理部品に接続されている電源の他方の線
に、給電部材によって接続されている少なくとも1つの
電極と、アーク励起系統と有しており、更には、電源に
電気的に接続されていて、アーク発生の際に、ゼロに等
しいかあるいはゼロに近い電界の電位差を、部品の処理
帯域の少なくとも表面および/または少なくとも1つの
電極の作用面において発生させる少なくとも1つの手段
と、部品の処理帯域および/または少なくとも1つの電
極の作用面へアーク放電プラズマの移動を限定する手段
とを有していることを特徴とする。Another object of the present invention is an apparatus for carrying out the above-described arc treatment method for a component, wherein a power supply member is attached to a holder and one line of which is connected to a component to be treated is connected to the other line of the power source. At least one electrode connected by means of an arc excitation system, and further electrically connected to a power supply, the potential difference of an electric field being equal to or close to zero when an arc is generated. At least one means for generating at least on the surface of the treatment zone of the component and / or on the working surface of the at least one electrode and limiting the transfer of the arc discharge plasma to the treatment zone of the component and / or the working surface of the at least one electrode And means for doing so.
本発明の装置において、ゼロに等しいかあるいはゼロに
近い電界の電位を発生させる上記手段およびアーク・プ
ラズマの移動を限定する手段を設けることによって、部
品の処理帯域および/または電極の作用面の全部域にお
ける電極スポットの発生を実質的に等しくし、また部品
および/または電極の表面のその他の部域への上記スポ
ットの移動を制御することによって、電極の侵食を最も
少なくしながら部品の選択した帯域をアークで十分均一
に処理することができる。In the device according to the invention, by providing said means for generating an electric field potential equal to or close to zero and means for limiting the movement of the arc plasma, the entire treatment zone of the component and / or the working surface of the electrode Selection of the component while minimizing electrode erosion by substantially equalizing the occurrence of electrode spots in the area and controlling the movement of the spot to other areas of the surface of the component and / or electrode. The zone can be treated sufficiently uniformly with an arc.
部品の処理帯域の少なくとも表面においてゼロに等しい
あるいはゼロに近い電界の電位差をアーク発生の際に生
じさせる上記手段は、処理帯域と対称的に部品に接続さ
れ、互いに電気的に接続されまた電源の線の片方に接続
された少なくとも2つの給電部材の形のものでよく、ま
た少なくとも1つの電極の作用面においてゼロ等しいあ
るいはゼロに近い電位差をアーク発生の際に生じさせる
上記手段は、部品の処理帯域あるいは電極の作用面と対
称的に電極に接続され、互いに電気的に接続され、また
電源の、部品の給電部材が接続している線とは反対側の
線に接続された少なくとも1つの給電部材の形のもので
よい。The means for producing a potential difference in the electric field during arcing that is equal to or close to zero on at least the surface of the treatment zone of the component is connected to the component symmetrically with the treatment zone, electrically connected to each other and of the power supply. The means may be in the form of at least two feeding members connected to one of the lines, and the means for producing a potential difference equal to or close to zero on the working surface of the at least one electrode during arcing are the treatment of the components. At least one power supply connected to the electrodes symmetrically to the working surface of the band or the electrodes, electrically connected to each other, and connected to a line of the power supply opposite to the line to which the power supply member of the component is connected. It may be in the form of a member.
上記手段のこの構成はその簡単な構成の故に実際面では
最も容易に実施できる。This construction of the above means is the easiest to implement in practice due to its simple construction.
装置に少なくとも2つの電極を設ける場合は、好ましく
はそれらの電極を処理帯域と対称的に位置付ける。If the device is provided with at least two electrodes, they are preferably positioned symmetrically with the treatment zone.
これによって被処理部品の非対称的な侵食が回避され
る。This avoids asymmetrical erosion of the part to be processed.
また好ましくは、装置に少なくとも2つの電極を設ける
場合、それら電極を互いに他に対して移動自在取付け
る。Also preferably, if the device is provided with at least two electrodes, the electrodes are movably mounted relative to each other.
これによって、処理帯域の幅を制御することができる。Thereby, the width of the processing band can be controlled.
アーク処理を行う、特に回転体の形をした部品を浄化す
る場合、好ましくは、電極の形を、被処理部品をその中
に受容する同軸孔を有する同軸取り付けされた円錐台と
し、それらの小さい方の底を互いに向き合わせ、母線と
高さとで規定される角度を35゜〜85゜の範囲とする。When purging parts which are to be arced, especially in the form of rotating bodies, the shape of the electrodes is preferably a conical-mounted frustum of a cone having coaxial holes for receiving the part to be treated, the smaller of which The bottoms of the two shall face each other, and the angle defined by the generatrix and the height shall be in the range of 35 ° to 85 °.
電極の上記構成の故に、被浄化部品の侵食生成物は放電
ギャップの部域から実際上完全に除去され、またこれら
の生成物のほんのわずかな部分が電極の作用面に沈着す
るだけなので装置の高い信頼性と長い有効寿命が保証さ
れる。35゜〜85゜の範囲の円錐台の母線と高さとで規定
される角度の決定は経験的に行なう。35゜以下の角度で
は、アーク発生の安定性が損なわれ、また85゜以上の角
度では、侵食生成物の大部分が電極に沈着して装置の急
速な誤動作を結果することになる。Due to the above configuration of the electrodes, the erosion products of the parts to be cleaned are practically completely removed from the area of the discharge gap, and only a small part of these products is deposited on the working surface of the electrode. High reliability and long service life are guaranteed. The determination of the angle defined by the generatrix and height of the truncated cone in the range 35 ° to 85 ° is empirical. At angles below 35 ° arc stability is compromised and at angles above 85 ° most of the erosion products deposit on the electrodes resulting in rapid malfunction of the device.
上記給電部材を円錐台の大き方の底に隣接した部位で電
極に接続する。更には、給電部材を電極の片方に、給電
部材同士の距離の1/2のところでもう一方の電極に向か
ってオフセットさせて、接続する。The power feeding member is connected to the electrode at a portion adjacent to the large bottom of the truncated cone. Further, the power feeding member is connected to one of the electrodes by offsetting it toward the other electrode at a distance 1/2 of the distance between the power feeding members.
給電部材の上記接続によって陰極のアーク・スポットを
被処理部品の周囲に沿ってジグザグ移動させることがで
きるので処理の均一性を高めるとともに同部品の浄化の
際の部品の融着の可能性を低下させることができる。The above connection of the power supply member allows the arc spot of the cathode to be moved in a zigzag manner along the periphery of the component to be processed, which improves the uniformity of processing and reduces the possibility of fusion of the components when cleaning the same. Can be made.
アーク処理を実施する、特に圧延品のアーク処理を実施
する場合には、好ましくは、電極を、互いに向き合った
面同士の傾斜角度を35゜〜85゜として少なくとも1対の
鏡面平行なプリズムの形とする。円錐台の形の電極の上
記実施例と同様に、この構成によれば、被浄化部品から
の侵食生成物の大部分が放電ギャップから除去されるの
で装置の信頼性を高め有効寿命を延長することができ
る。この角度の35゜〜85゜の範囲は上記のようにして選
んだ。When performing an arc treatment, particularly when performing an arc treatment of a rolled product, it is preferable that the electrodes have a shape of at least one pair of mirror-parallel prisms with an angle of inclination between mutually facing surfaces of 35 ° to 85 °. And Similar to the above-described embodiment of the truncated cone-shaped electrode, this configuration removes most of the erosion products from the component to be cleaned from the discharge gap, thus increasing the reliability of the device and prolonging its useful life. be able to. The range of 35 ° to 85 ° of this angle was selected as described above.
また処理を実施する、特に圧延品を浄化する場合には、
好ましくは、少なくとも1対の鏡面平行プリズムの形の
電極を圧延品の軸線と対称的にかつその軸と平行に取付
け、また少なくとも2対の鏡面平行プリズムを設ける場
合には、好ましくはそれらのプリズムを条帯品の移動路
に沿って位置付ける。In addition, when performing treatment, especially when purifying rolled products,
Preferably, at least one pair of mirror-parallel prism-shaped electrodes are mounted symmetrically and parallel to the axis of the rolled product, and if at least two pairs of mirror-parallel prisms are provided, then those prisms are preferred. Position along the path of travel of the strip.
これによって被浄化条帯品の広い表面部域を均一に浄化
し、工程の生産性を高めることができる。As a result, it is possible to uniformly purify a wide surface area of the article to be purified and improve the productivity of the process.
特定の応用面においては、好ましくは、電極と互いに他
に対して取付けて各アーク放電の処理帯域を少なくとも
他の1つの放電処理帯域で覆われるようする。In certain applications, the electrodes are preferably mounted relative to each other so that the treatment zone of each arc discharge is covered by at least one other discharge treatment zone.
これによって部品を一度に複数のアークで均一に処理で
きるので、これに相応して工程の生産性を高めることが
できる。This allows the parts to be uniformly treated with multiple arcs at a time, which can correspondingly increase the productivity of the process.
なお、圧延条帯品を処理する場合には、好ましくは装置
に、ホルダーに取付けた少なくとも2対の同一電極を設
け、それらの電極を好ましくは、圧延品の被処理帯域の
中央を実質的に通って圧延品の移動方向に対して直角を
放す平面と対称的に対配置で設ける。In the case of processing a rolled strip, the apparatus is preferably provided with at least two pairs of the same electrodes attached to a holder, and these electrodes are preferably placed substantially in the center of the zone to be processed of the rolled product. It is provided as a pair symmetrically with a plane passing through at a right angle to the moving direction of the rolled product.
上記の装置構成によって、圧延条帯品の移動時にアーク
放電よって処理される表面の平行性および連続性の故に
所望の速度でその圧延条帯品のど部位でも浄化すること
ができる。With the above device configuration, the throat portion of the rolled strip can be cleaned at a desired speed because of the parallelism and continuity of the surface treated by arc discharge when the rolled strip is moved.
また好ましくは、装置には圧延品の反対側の主電極と対
称的に取付けた補助電極を設ける。Also preferably, the apparatus is provided with an auxiliary electrode mounted symmetrically with the main electrode on the opposite side of the rolled product.
これによって条帯品の二面処理を同時に行うことができ
る。This allows two-sided treatment of strips to be performed simultaneously.
さらに好ましくは、装置が少なくとも2つの電極を有す
る場合、装置にはそれらの電極の給電部材を切り替え、
少なくとも一方の電極を電源に常時接続することのでき
るスイッチを設ける。More preferably, if the device has at least two electrodes, the device switches the feed members of those electrodes,
A switch is provided so that at least one of the electrodes can be constantly connected to the power supply.
上記スイッチは、アークを中断することなく放電ギャッ
プにおける電界の方向を逆転して、電極を移動させるこ
となく部品に沿ってアークの電極スポットの指向移動を
得るのに使用する。The switch is used to reverse the direction of the electric field in the discharge gap without interrupting the arc to obtain a directional movement of the electrode spot of the arc along the part without moving the electrode.
上記目的を達成する本発明の、上記部品のアーク処理方
法を実施する別の装置は、ホルダーに取付けられかつ、
片方の線が被処理部品に接続されている電源の他方の線
に、給電部材によって接続されている少なくとも1つの
電極と、アーク励起系統と有しており、更には、電源に
電気的に接続されていて、アーク発生の際に、部品およ
び/または少なくとも1つの電極の表面に、その表面の
他の部分の電位より高いおよび/または低い電位の部域
を生じさせそしてこれらの部域を上記表面に沿って移動
させる少なくとも1つの手段と、部品の処理帯域および
/または少なくとも1つの電極の作用面へアーク放電プ
ラズマの移動を限定する手段とを有していることを特徴
とする。Another apparatus for carrying out the method for arcing a component according to the present invention which achieves the above object, is attached to a holder, and
One line has at least one electrode connected by a power supply member to the other line of the power source connected to the component to be processed, and an arc excitation system, and further electrically connected to the power source. And, during the arcing, on the surface of the component and / or at least one of the electrodes, areas of higher and / or lower potential than the electric potential of other parts of the surface are produced and these areas are It is characterized by having at least one means for moving along the surface and means for limiting the movement of the arc discharge plasma to the treatment zone of the component and / or the working surface of the at least one electrode.
部品および/または電極の表面において、他の面の電位
よりも高いおよび/または低い電位の部域を、アーク発
生の際に生じさせまたそれらの部域を上記表面に沿って
移動させる上記手段と、またアークのプラズマの移動を
限定する手段とを本発明の装置に設けることによって、
上記部域に追従してアークの電極スポットの極端電位を
移動させることができるとともに、部品および/または
電極のその他の部域への上記スポットの移動をなくして
選択された部品帯域を、あらかじめ設定されたプログラ
に従って処理することができる。Said means for producing areas on the surface of the component and / or electrode, of higher and / or lower potential than the electric potential of the other surface, during the arcing and for moving those areas along said surface; And by providing the apparatus of the invention with means for limiting the movement of the plasma of the arc,
It is possible to move the extreme potential of the electrode spot of the arc following the above-mentioned area and to preset the selected component band by eliminating the movement of the spot to other areas of the component and / or the electrode. Can be processed according to the programmed program.
好ましくは、アーク発生の際に、部品の表面に、より高
いおよび/またはより低い電位を持った部域を生じさせ
また上記表面に沿って上記部域を移動させる手段を、部
品の相異なった部分に接続された少なくとも2つの給電
部材と、部品と電源とを常時接続させる、それらの給電
部材のスイッチで構成する。Preferably, the means for producing areas of higher and / or lower potential on the surface of the part during arcing and for moving said areas along said surface are different from each other. It is composed of at least two power feeding members connected to the parts and switches of the power feeding members that constantly connect the component and the power source.
また、アーク発生の際に、少なくとも1つの電極の表面
に、より高いおよび/またはより低い電位を持った部域
を生じさせまた上記表面に沿って上記部域を移動させる
手段を、電極の相異なった部分に接続された少なくとも
2つの給電部材と、電極と電源とを常時接続させる、そ
れらの給電部材のスイッチで構成しても良い。Also, means for producing areas with a higher and / or lower potential on the surface of at least one electrode and for moving said areas along said surface during arcing are provided by means of electrode phase It may be configured by at least two power feeding members connected to different portions and switches of the power feeding members that constantly connect the electrodes and the power source.
上記手段の上記構成は極めて簡単であり、電極スポット
を移動させるのに追加のエネルギー・コストを要しな
い。The arrangement of the above means is extremely simple and does not require additional energy cost to move the electrode spot.
好ましくは、給電部材を、部品の処理帯域および/また
は電極の作用面と対称的に部品および/または電極に接
続する。Preferably, the feed member is connected to the component and / or the electrode symmetrically with the treatment zone of the component and / or the working surface of the electrode.
このような給電部材を同一レートで切り替えると、アー
ク・スポットを部品の処理帯域および/または電極の作
用面に沿って均一かつ指向的に移動させて、部品をアー
ク放電で均一処理することができる。By switching such power feeding members at the same rate, the arc spot can be uniformly and directionally moved along the treatment zone of the component and / or the working surface of the electrode, and the component can be uniformly treated by arc discharge. .
上記給電部材スイッチは、変圧器と整流器および交流電
源で構成しても良く、この場合、それらの変圧器と整流
器を給電部材と、電源の対応線をその中間タップに接続
した、変圧器の二次側の端末線との間に接続し、また交
流電源を変圧器の一次側に接続する。The power feeding member switch may be composed of a transformer, a rectifier, and an AC power supply. In this case, the transformer and the rectifier are connected to the power feeding member and the corresponding line of the power source is connected to the intermediate tap thereof. Connect to the terminal line on the secondary side, and connect the AC power supply to the primary side of the transformer.
このスイッチの動作時に、上記の整流器は交流電圧の対
応半周期で交互に導通して、電気回路を開路しなくとも
給電部材を自動的に電子切り替えすることができる。上
記スイッチは好ましくは、標準的な直流電源、例えば溶
接用整流変換器と組合わせて使用する。When the switch is in operation, the rectifiers are alternately conducted in corresponding half cycles of the AC voltage, so that the power feeding member can be automatically switched electronically without opening the electric circuit. The switch is preferably used in combination with a standard DC power source, such as a welding rectifying converter.
電極と部品とを多相交流電源あるいは多相交流変換器に
接続しても良く、またこの場合の給電部材の個数を上記
多相交流電源あるいは多相交流変換器の相数またはその
倍数と等しくし、給電部材スイッチを、上記多相交流電
源または多相交流変換器の各出力線と少なくとも1つの
給電部材との間に接続した整流器で構成する。The electrodes and parts may be connected to a polyphase AC power supply or a polyphase AC converter, and the number of power supply members in this case is equal to the number of phases of the polyphase AC power supply or polyphase AC converter or a multiple thereof. Then, the power feeding member switch is configured by a rectifier connected between each output line of the polyphase AC power source or the polyphase AC converter and at least one power feeding member.
この接続によって、交流の整流および、電気回路を開路
せずに給電部材の自動電子切り替えの両方に上記整流器
を使用して、給電部材の所望切り替えを行なうだけでな
く、電気回路の構成部分の個数を減らすとともに装置の
動作信頼性を高めることできる。By this connection, the rectifier is used for both the rectification of alternating current and the automatic electronic switching of the power feeding member without opening the electric circuit, and not only the desired switching of the power feeding member is performed, but also the number of the constituent parts of the electric circuit is changed. Can be reduced and the operational reliability of the device can be improved.
装置の給電部材個数が交流多相電源または多相交流変換
器の相数の倍数である場合、好ましくは、それらの給電
部材をグループで接続し、それらのグループの個数を上
記交流多相電源または多相交流変換器の相数と等しく
し、各グループの給電部材を部品の処理帯域および/ま
たは電極の作用面に沿って分布させる。When the number of power supply members of the device is a multiple of the number of phases of the AC polyphase power supply or the polyphase AC converter, preferably, those power supply members are connected in groups, the number of those groups is the AC polyphase power supply or The number of phases of the multi-phase AC converter is made equal, and the feeding members of each group are distributed along the processing zone of the component and / or the working surface of the electrode.
給電部材の上記接続によって、同時に切り替えられる電
極または部品(または電極)の個数を数倍増して、被処
理部品の処理帯域のサイズを数分の一にすることができ
る。With the above connection of the power feeding member, the number of electrodes or parts (or electrodes) that can be simultaneously switched can be increased several times, and the size of the processing zone of the processed part can be reduced to a fraction.
装置が少なくとも3つ以上の給電部材を有する場合、好
ましくは、それらの給電部材を部品の処理面に対してあ
るいは電極の作用面に沿って、これらの給電部材に接続
した多相交流電源または多相交流変換器の出力線におけ
る昇圧の順序に対応する順序で位置付ける。If the device comprises at least three or more power supply members, it is preferred that the power supply members are connected to these power supply members with respect to the processing surface of the component or along the working surface of the electrodes. Position in the order corresponding to the order of boosting in the output line of the phase-to-ac converter.
これによって、部品(電極)の1つの給電帯域から他方
の給電帯域あるいは1つに電極から別の電極へ電極スポ
ットを徐々に移動する条件が得られ、多相交流電源によ
って設定された座標変動プログラムに従って部品を処理
することができる。As a result, the condition for gradually moving the electrode spot from one power supply band of the component (electrode) to the other power supply band or one electrode to another electrode is obtained, and the coordinate fluctuation program set by the polyphase AC power supply is obtained. The parts can be processed according to.
本発明の各種実施例において、部品または電極を多相交
流電源あるいは多相交流変換器の中性点またはその出力
線のいずれかへ、主整流器とは反対に接続された補助整
流器を通じて接続しても良い。In various embodiments of the invention, a component or electrode is connected to either the neutral point of the polyphase ac power supply or the polyphase ac converter or its output line through an auxiliary rectifier connected opposite the main rectifier. Is also good.
上記の電源あるいは変換器の中性点に電極を接続する実
施例はより簡単であるが、それらを補助整流器を通じて
出力線に接続する実施例では放電電流の変動を小さくし
て、アークの安定性を高めることができる。これらの選
択事項の選択は特定の応用例によって決める。Although the embodiment in which the electrodes are connected to the neutral point of the power supply or the converter is simpler, the embodiment in which they are connected to the output line through the auxiliary rectifier reduces the fluctuation of the discharge current and stabilizes the arc. Can be increased. The choice of these choices will depend on the particular application.
好ましくは、部品の処理帯域および/または少なくとも
1つの電極の作用面へのアーク放電プラズマ移動を限定
する手段を、電気回路から絶縁され、部品および/ある
いは電極から離して位置付けられ、また処理する必要の
ない部品部分および/または電極の非作用面を保護する
スクリーンの形とし、少なくとも、部品の処理帯域およ
び/または電極の作用面の直ぐ近くのスクリーン部分を
耐熱材料で作るあるいは確実に冷却する。Preferably, the means for limiting the arc discharge plasma transfer to the treatment zone of the component and / or to the working surface of the at least one electrode needs to be insulated from the electrical circuit, positioned away from the component and / or the electrode and treated. In the form of a screen that protects the non-active parts and / or the non-active surface of the electrode, and at least the part of the screen in the immediate vicinity of the active area of the electrode and / or the electrode is made of refractory material or reliably cooled.
上記手段のこの構成は極めて簡単であるとともに、機能
的観点から見て極めて効率的であるので本発明の実施に
好適である。This configuration of the above means is extremely simple and is very efficient from a functional point of view, and is suitable for carrying out the present invention.
本発明の特定応用例では、上記スクリーンの形状および
位置は変更可能である。従って、回転体形状の部品を処
理する、あるいは電極の形状が同軸孔を有する円錐台で
ある場合には、スクリーンを好ましくはそれらの孔の中
に取付ける。圧延条帯品を二面処理する場合であれば、
好ましくは、スクリーンを被処理圧延条帯品のどちらか
の側において電極の間に位置付け、スクリーンを電極と
被処理圧延品の表面と間の空間に取付ける。In particular applications of the invention, the shape and position of the screen can vary. Thus, if one is to process parts in the shape of a rotor or if the electrodes are frustoconical in shape with coaxial holes, the screen is preferably mounted in those holes. If you want to process rolled strips on two sides,
Preferably, the screen is positioned between the electrodes on either side of the strip to be treated and the screen is mounted in the space between the electrode and the surface of the strip to be treated.
スクリーンの上記位置によって装置は上記のような応用
例において最良の性能を発揮する。The position of the screen allows the device to perform best in such applications.
また、上記目的を達成する本発明の、上記部品のアーク
処理方法を実施する更に別の装置は、ホルダーに取付け
られかつ,片方の線が少なくとも1つの他の給電部材に
よって被処理部品に接続されている電源または多相交流
変換器の他方の線に、給電部材によって接続されている
少なくとも1つの電極と、アーク励起系統と有してお
り、更には、被処理部品と電極との間の空間におけるア
ーク放電部域を圧縮または部分的に限定する手段と、部
品と、上記の、アーク放電部域を圧縮または部分的に限
定する手段とを相対的に移動させる機構とを有している
ことを特徴とする。Yet another object of the present invention, which achieves the above object, is a device for carrying out the arc treatment method for a component, which is mounted on a holder and has one wire connected to a component to be processed by at least one other power supply member. The power supply or the other line of the polyphase AC converter, at least one electrode connected by a power supply member, and an arc excitation system, and further, a space between the component to be processed and the electrode. A means for compressing or partially limiting the arc discharge area, a part, and a mechanism for relatively moving the means for compressing or partially limiting the arc discharge area. Is characterized by.
被処理部品と電極との間の空間に置けるアーク放電部域
を圧縮または部分的に限定する上記手段と、部品とこの
手段とを相対的に移動させる上記機構との設置により、
電極スポットを部品に沿って移動させてアークの圧縮ま
たは部分的限定部域に追従することによって部品の所望
処理を、あらかじめ設定したプログラムに従って行うこ
とができる。By installing the means for compressing or partially limiting the arc discharge area in the space between the part to be processed and the electrode, and the installation of the mechanism for moving the part and this means relatively,
The desired treatment of the part can be performed according to a preset program by moving the electrode spots along the part to follow the compression or the partially confined area of the arc.
好ましくは、被処理部品と電極との間の空間におけるア
ーク放電の部域を圧縮する上記手段を、電極と部品との
間に位置付けられておりまた、被処理部品の部域に対応
した開口を有するスクリーンで構成する。Preferably, the means for compressing the area of arc discharge in the space between the part to be processed and the electrode is located between the electrode and the part, and an opening corresponding to the area of the part to be processed is provided. It is composed of a screen that has.
装置のこの構成は極めて簡単であり、容易に実施でき
る。This configuration of the device is extremely simple and easy to implement.
好ましくは、給電部材を励起帯域とは反対の側で部品に
接続し、また被処理部品と少なくとも1つの電極との間
の空間に置けるアーク放電の部域を部分的に限定する手
段を、電極と被処理部品との間に位置付けられて処理帯
域と給電部材との間の部品部分を覆うようにしたスクリ
ーンの形とするあるいはそれで構成する。Preferably, the means for connecting the power supply member to the part on the side opposite to the excitation zone and for partially limiting the area of the arc discharge in the space between the part to be treated and the at least one electrode are electrode means. And a component to be treated, which is in the form of or is constituted by a screen which is positioned between the treatment zone and the feeding member to cover the component portion.
こうして、アークの電極スポットを部品に沿って給電部
材に向かって移動させ、スクリーンの境界の近傍に集中
させ、被処理部品とスクリーンとの相対移動の際に、そ
れらのスポットで部品の所望面を初期通り処理する。Thus, the electrode spot of the arc is moved toward the power supply member along the part and concentrated near the boundary of the screen, and when the target part and the screen are relatively moved, the desired surface of the part is moved by those spots. Process as before.
以下、添付図面に従って、本発明の実施例を詳細に説明
する。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
本発明の第1実施例による,部品のアーク処理方法で
は、被処理部品1(第1図)を真空室(図示せず)、そ
の部品1とこの部品を取り囲む少なくとも1つの電極と
を電源3に接続する。10Pa以下の媒体圧力の下で部品1
と電極2との間で、アーク外部電圧電流特性の垂下部分
のモードであるいは、これと同じであるが、垂下する外
部電圧電流特性を持った電源3を使用してアーク放電を
励起する。アーク励起は、少量のプラズマを電極間ギャ
ップに注入して部品1と電極2との間に導電路を形成す
る、例えば、電極2と抵抗5によって限流される補助点
弧電極4との接続を断路することによって行う。アーク
発生モードの設定は放電電流を、例えば安定抵抗6によ
って制御することによって行う。In the arc treatment method for components according to the first embodiment of the present invention, the component 1 to be treated (FIG. 1) is provided with a vacuum chamber (not shown), and the component 1 and at least one electrode surrounding this component are supplied with a power source 3 Connect to. Part 1 under medium pressure below 10Pa
Between the electrode 2 and the electrode 2, the arc discharge is excited in the mode of the drooping part of the arc external voltage-current characteristic, or the same as this, but using the power supply 3 having the drooping external voltage-current characteristic. The arc excitation injects a small amount of plasma into the gap between the electrodes to form a conductive path between the component 1 and the electrode 2, for example, the connection between the electrode 2 and the auxiliary ignition electrode 4 which is limited by the resistor 5. Do by disconnecting. The arc generation mode is set by controlling the discharge current by, for example, the stable resistor 6.
アーク発生の際に、ゼロに等しいあるいはゼロに近い電
界の電位差が部品1の処理帯域および電極2の作用面に
生じる。これは、部品1にその処理帯域と対称的に接続
され、互いに電気的に接続されかつ電源3の片方の線に
接続された2つの給電部材8によって部品1と電源3に
接続し、また同様に対称的に接続した給電部材9,10によ
って電極2と電源3に接続することにによって得ること
ができる。When an arc is generated, a potential difference of the electric field equal to or close to zero is produced in the treatment zone of the component 1 and the working surface of the electrode 2. It is connected to the component 1 and the power supply 3 by means of two power supply members 8 which are connected symmetrically to the component 1 in its processing band, electrically connected to each other and to one line of the power supply 3. It can be obtained by connecting the electrode 2 and the power source 3 by the power feeding members 9 and 10 symmetrically connected to each other.
更には、アーク・プラズマの移動部域を、例えばスクリ
ーン11,12によって部品1の処理帯域に、また例えばス
クリーン13によって電極2の作用面にそれぞれ限定す
る。Furthermore, the moving area of the arc plasma is limited to the treatment zone of the component 1, for example by the screens 11 and 12, and to the working surface of the electrode 2, for example by the screen 13.
電極、特に、純粋な真空の放電等の、アークを発生する
陰極スポット、は部品1および電極2の表面に沿って自
然に連続移動し、その電圧電流特性の垂下部分のモード
でアークを励起すれば、あるいは垂下する外部特性を持
った電源3によって放電を行えば、スポットの移動性が
実質的に高められる。低圧アークの場合には最も望まし
くないことの多い、上記現象を本発明の方法において用
いて有用な結果、すなわち、部品表面の均一あるいはそ
の他のプログラム通りの処理を得ることができる。The electrodes, in particular the arcing cathode spot, such as a pure vacuum discharge, move naturally along the surface of the component 1 and the electrode 2 and excite the arc in the drooping mode of its voltage-current characteristic. If the discharge is performed by a power source 3 having a drooping external characteristic, the mobility of the spot is substantially enhanced. The above phenomena, which are often less desirable in the case of low pressure arcs, can be used in the method of the present invention to obtain useful results, namely uniform or other programmed treatment of the part surface.
本発明の方法の上記実施例においては、ゼロに近い電界
の電位差を上記表面に生じさせるので、スクリーン11,1
2によって規定された部品1の処理帯域の全部域におい
て実質的に等しくアークの電極スポットを発生させるこ
とができる。電極スポットは帯域の全表面に沿って無秩
序に移動しその表面を均一に処理することができる。In the above-described embodiment of the method of the present invention, a potential difference of near zero electric field is produced on the surface, so that the screen 11,1
The electrode spots of the arc can be generated substantially equally over the entire treatment zone of the component 1 defined by 2. The electrode spots can move randomly along the entire surface of the zone to treat it uniformly.
本発明の方法の実施例はこれを実施する装置の極度の簡
単さを特長としており、電極2を真空室の内面の形にし
ても良い。しかしながら、この実施例を使用する場合、
高い均一性の処理は全部が全部の場合に得ることができ
るとは限らず、一般的には部品が非磁性材料で作られて
いてそれらの部品が処理帯域の近傍に対称的に位置付け
た場合にその高い処理均一性が得られることを念頭に置
くことが必要である。本方法の上記実施例の特別の応用
例におては、ゼロに等しいかあるいはゼロに近い電界の
電位差を、上記と同様に部品1の処理帯域の表面および
電極2の作用面に同時、あるいは特定応用例に応じて、
部品1の表面または電極2作用面にのみ生じさせること
が必要である。Embodiments of the method of the invention are characterized by the extreme simplicity of the apparatus for doing this, and the electrodes 2 may be in the form of inner surfaces of the vacuum chamber. However, when using this example,
High homogeneity treatments are not always available in all cases, typically when components are made of non-magnetic material and are positioned symmetrically near the treatment zone. It is necessary to keep in mind that high processing uniformity is obtained. In a special application of the above embodiment of the method, a potential difference of the electric field equal to or close to zero is applied simultaneously to the surface of the treatment zone of the component 1 and the working surface of the electrode 2 as described above, or Depending on the specific application
It only needs to occur on the surface of the component 1 or the working surface of the electrode 2.
本発明の方法の上記第1実施例で所望の均一性の処理を
何らかの理由で得ることができない、あるいはその反対
に、部品の相異なった部分を相異なった方法で処理しな
ければならない場合、以下に述べるこの方法のその他の
実施例を使用することができる。If the desired homogeneity treatment cannot be obtained for some reason in the first embodiment of the method of the invention, or vice versa, different parts of the component must be treated differently, Other embodiments of this method described below can be used.
本発明の第2実施例による部品のアーク処理方法の、上
記第1実施例の方法との違いは、アーク発生の際に、部
品14(第2図)の表面にゼロ以外の電界電位差を生じさ
せ、最高あるいは最低電位の部域をアーク処理の極性に
応じて、あらかじめ設定したプログラムに従って指向的
に移動させることである。なお、アークの電極スポット
は指向的に移動して部品14の表面に沿って極端な電位値
の部域に追従し、予め設定したプログラムに従って部品
14を処理し、また全内表面にわたって放電が十分均一に
それに沿って分配される真空室のケーシング15を電極
(陰極)として使用する。The difference between the arc treatment method of the component according to the second embodiment of the present invention and the method of the first embodiment is that a non-zero electric field potential difference is generated on the surface of the component 14 (Fig. 2) when an arc occurs. That is, the highest or lowest potential area is directionally moved according to a preset program according to the polarity of arc processing. Note that the electrode spot of the arc moves directionally to follow the area of extreme potential value along the surface of the component 14, and the component is moved according to a preset program.
A vacuum chamber casing 15 is used as an electrode (cathode) on which 14 is treated and in which the discharge is distributed evenly over the entire inner surface.
本発明の方法の第2実施例の別の応用例が、上記の例と
異なっている点は、アーク発生の際に、少なくとも1つ
の電極16(第3図、第4図)の表面にゼロ以外の電界電
位差を生じさせ、最高あるいは最低電位の部域をアーク
処理の極性に応じて、予め設定したプログラムに従って
指向的に移動させることである。なお、アークの電極ス
ポットは指向的に移動して電極16(第3図、第4図)の
表面に沿って極端電位値の部域に追従し、また部品17の
処理帯域の表面は、特定応用例に応じて、プラズマ霧に
よって十分均一に囲まれるあるいはアーク電極スポット
が処理帯域の表面に沿って指向的に移動して、電極16に
沿って移動する電極スポットに追従する。Another application of the second embodiment of the method of the invention differs from the above example in that at the time of arcing, at least one electrode 16 (FIGS. 3 and 4) has a zero surface. Other than that, the electric field potential difference is generated, and the highest or lowest potential area is directionally moved according to a preset program according to the polarity of the arc processing. The electrode spot of the arc moves directionally and follows the area of the extreme potential along the surface of the electrode 16 (Figs. 3 and 4), and the surface of the treatment zone of the component 17 is specified. Depending on the application, the arc mist is sufficiently uniformly surrounded by the plasma mist or the arc electrode spot moves directionally along the surface of the treatment zone to follow the electrode spot moving along the electrode 16.
アーク処理方法の第2実施例の上記例を組み合わせるこ
とも可能であり、この場合、アーク発生の際に、電極お
よび部品の両方の表面の極端電位の部域を移動させて上
記両表面上でアークの電極スポットを確実に移動させ
る。実際には、この方法を使用できるのは極めて稀であ
り、その理由は、この方法を実施するにはより複雑な装
置が必要であることにある。It is also possible to combine the above examples of the second embodiment of the arc treatment method, in which case, during arcing, the areas of extreme potential on the surfaces of both the electrode and the part are moved so that Make sure to move the electrode spot of the arc. In practice, this method is very rarely used, because it requires more complex equipment to perform it.
上記のように、最も好ましくは、アークの電極スポット
が位置する帯域からは遠い、部品14(第2図)または電
極16(第3図、第4図)の部域へ給電することによって
電界の電位差を得、最高および/または最低の電界電位
差の部域の移動を、例えば、部品14(第2図)または電
極16(第3図、第4図)の相異なった部分に接続した給
電部材18,19,20(第2図、第3図)および部14(第2
図)と一方では電極16との間、またもう一方では部品14
と電源3(第2図、第3図、第4図)とを常時接続させ
ることのできる、上記給電部材のスイッチ21(第2図、
第3図)(図示の簡略を期して電磁接点式のスイッチを
ここに示すが、以下に述べるように信頼性の高い電子ス
イッチを用いることもできる)とによって部品14(第2
図)あるいは電極16(第3図、第4図)の給電帯域の位
置を変えることによって行う。As mentioned above, most preferably, the electric field of the electric field is fed by feeding to the area of the component 14 (Fig. 2) or the electrode 16 (Fig. 3, 4) far from the zone in which the electrode spot of the arc is located. A power supply member that obtains a potential difference and moves the area of the highest and / or lowest electric field potential difference to, for example, different parts of the component 14 (Fig. 2) or the electrode 16 (Figs. 3 and 4). 18,19,20 (Figs. 2 and 3) and part 14 (Fig. 2)
(Fig.) With the electrode 16 on the one hand and the component 14 on the other hand.
And the power source 3 (Figs. 2, 3, 4) can be constantly connected to the switch 21 (Fig. 2, Fig. 2,
(Fig. 3) (A magnetic contact type switch is shown here for the sake of simplicity of illustration, but a highly reliable electronic switch can be used as described below.)
(Fig.) Or by changing the position of the feed band of the electrode 16 (Figs. 3 and 4).
アークの電極スポットを移動させる電極電位値の部域を
生させかつ移動させる上記段階は下記通りである。アー
クの電極スポットのある帯域から離れた部品14(第2
図)あるいは電極16(第3図、第4図)の部域へ給電す
ると電流が部品14(第2図)または電極16(第3図、第
4図)に流れ、これによってそれらの表面における電荷
の平衡分布が破れ、電界強度の正接成分が生じる。部品
14(第2図)あるいは電極16(第3図、第4図)の表面
上の、上記の結果として生じた電界およびそれらの部品
または電極に流れる電流の磁界がアーク放電の電極スポ
ットに作用して、そのスポットを、アーク処理の極性に
応じて、最高および最低の電位の部域に向かって移動さ
せる。ここで、給電部材18,19,20(第2図、第3図、第
4図)が、電気回路を開路することなく、スイッチ21に
よって切り替えられると部品14(第2図)または電極16
(第2図、第3図、第4図)上の給電帯域の位置が変え
られると、極端電位値の部域が部品および電極の上で移
動し、これに放電電極スポットが追従する。応用例に応
じて、給電部材18,19,20の各々を付勢する時間は同じあ
るいは異ならせて、予め設定したプログラムに従って部
品14(第2図)または17(第4図)を処理するように同
じもしくは違わせても良い。The above steps of generating and moving the area of the electrode potential value for moving the electrode spot of the arc are as follows. Part 14 (second part away from the zone of the arc electrode spot)
(Fig.) Or an area of electrode 16 (Figs. 3, 4) is energized and a current flows through component 14 (Fig. 2) or electrode 16 (Figs. 3, 4), thereby causing The equilibrium distribution of charges is broken, and a tangent component of electric field strength is generated. parts
The resulting electric field on the surface of 14 (Fig. 2) or electrode 16 (Figs. 3, 4) and the magnetic field of the current flowing through those components or electrodes act on the electrode spot of the arc discharge. And moves the spot towards the areas of highest and lowest potential, depending on the polarity of the arc treatment. Here, when the power feeding members 18, 19, 20 (FIG. 2, FIG. 3, FIG. 4) are switched by the switch 21 without opening the electric circuit, the component 14 (FIG. 2) or the electrode 16 is switched.
When the position of the feeding band on (FIG. 2, FIG. 3, FIG. 4) is changed, the area of the extreme potential value moves on the component and the electrode, and the discharge electrode spot follows it. Depending on the application, the time for energizing each of the power supply members 18, 19, 20 may be the same or different, and the component 14 (Fig. 2) or 17 (Fig. 4) may be processed according to a preset program. May be the same or different.
本発明の両方の上記の両方の実施例は細長い部品を処理
するのに用いることもできる。この目的では、部品1
(第1図)または17(第3図、第4図)を電極2あるい
は16(第3図、第4図)とそれぞれ相対的に移動させ、
および/または電極2(第1図)あるいは16(第3図、
第4図)を部品1(第1図)あるいは17(第4図)とそ
れぞれ相対的に移動させて細長い部品をその全長にわた
って均一またはその他の態様で移動、プログラムされた
アーク溶接する。Both of the above-described both embodiments of the present invention can also be used to process elongated components. For this purpose, part 1
(Fig. 1) or 17 (Figs. 3 and 4) are moved relative to the electrodes 2 or 16 (Figs. 3 and 4), respectively,
And / or electrode 2 (Fig. 1) or 16 (Fig. 3,
(FIG. 4) is moved relative to part 1 (FIG. 1) or 17 (FIG. 4), respectively, to move the elongated part uniformly or otherwise along its length for programmed arc welding.
本発明の方法の第3実施例が、上記実施例と異なってい
る点は、被処理部品22(第5図)と電極23(いわゆる
「放電カラム」)との間の空間においてアーク放電プラ
ズマが占める部域は、好ましくは、電極23と部品22との
間に設けられかつ、部品22の処理帯域26に対応した開口
25を持ったスクリーン24からなる、上記のアーク放電部
域を圧縮する手段によって確実に移動させ、また、この
場合は上記スクリーン24に接続した相対移動機構27によ
って上記アーク部域を部品22に対して、また/あるいは
部品22を上記部域に対して移動させることである。The third embodiment of the method of the present invention differs from the above embodiment in that the arc discharge plasma is generated in the space between the component 22 to be treated (Fig. 5) and the electrode 23 (so-called "discharge column"). The occupied area is preferably an opening provided between the electrode 23 and the component 22 and corresponding to the treatment zone 26 of the component 22.
The arc discharge area is composed of a screen 24 having 25 and is reliably moved by a means for compressing the arc discharge area, and in this case, the arc area is relative to the part 22 by a relative movement mechanism 27 connected to the screen 24. And / or moving the part 22 with respect to the area.
このアーク処理段階では基本的には、アークの電極スポ
ットが電極23から部品22へのまたスクリーン24の開口25
への最短距離に対応した部品22の処理帯域26のの限度を
越えて移動すると、放電カラムの長さが増し、その結
果、その抵抗が増大しまたアーク発生の条件が損なわれ
る。こうして電極スポットは部分26へ戻るか消滅するか
のいずれかとなる。後者の場合、アークの新しい電極ス
ポットが、利用できる電極スポットを分割することによ
って形成される。機構27によるスクリーン24と部品22と
の相対移動の際、電極23から部品22への最短距離に対応
する帯域26が部品22に沿って移動する。他方、上記の理
由で、電極スポットがこの部分に発生する可能性がかな
り高いので、それらの電極スポットは移動してその部分
に追従し、機構27によって設定されたプログラムに従っ
て部品22をアーク処理することになる。During this arcing stage, basically the electrode spot of the arc is from the electrode 23 to the part 22 and to the opening 25 in the screen 24.
Moving the component 22 beyond the limit of the treatment zone 26, which corresponds to the shortest distance, increases the length of the discharge column, which increases its resistance and impairs the conditions for arcing. Thus, the electrode spot either returns to portion 26 or disappears. In the latter case, a new electrode spot of the arc is formed by dividing the available electrode spot. During the relative movement of the screen 24 and the component 22 by the mechanism 27, the zone 26 corresponding to the shortest distance from the electrode 23 to the component 22 moves along the component 22. On the other hand, for the reasons mentioned above, it is quite likely that electrode spots will occur in this part so that they move and follow that part, arcing the part 22 according to the program set by the mechanism 27. It will be.
部品と電極との間の空間におけるアーク放電部域の部分
的限定の例を第3図、第4図および第6図、第7図に示
す。この例においてその限定を行うのは、電極16と部品
17との間に位置付けられて、あるいは部域29,30,31(第
6図、第7図)と部品との間に位置付けられて、部品の
処理帯域と給電部材32との間の、その部品部分を覆うス
クリーン28(第4図)あるいは28′(第7図)によって
行われ、アーク励起側とは反対側の部品17へ給電され
る。アークの電極スポットは部品17に沿って給電部材32
に向って移動し、スクリーン28,28′の境界の近傍に集
中し、また部品17、スクリーン28および電極15(第4
図)あるいはスクリーン28′、電極29,30,31(第6図、
第7図)の相対移動の場合、上記スポットによって部品
17の所望表面が必要に応じて処理される。Examples of partial limitations of the arc discharge area in the space between the component and the electrode are shown in FIGS. 3, 4, 6 and 7. In this example, it is limited to the electrode 16 and the component.
Between the processing zone of the component and the feeding member 32, located between the component 29, or between the areas 29, 30, 31 (FIGS. 6, 7) and the component. This is done by means of a screen 28 (Fig. 4) or 28 '(Fig. 7) which covers the part of the part and supplies the part 17 on the side opposite to the arc excitation side. The electrode spot of the arc is the power supply member 32 along the part 17.
Towards the screen, concentrated near the boundaries of the screens 28, 28 ', and also to the component 17, screen 28 and electrode 15 (fourth
Fig.) Or screen 28 ', electrodes 29, 30, 31 (Fig. 6,
In the case of relative movement (Fig. 7), parts are
Seventeen desired surfaces are optionally treated.
本方法において使用するアーク電極スポットを確実に移
動させる別の方法では、少なくとも2つの電極を使用す
る場合、電流値はより低くし、あるいは電流を少なくと
も片方の電極の回路における予め設定されたプログラム
に従って遮断され、それらの電極回路における電流を変
えないでおくあるいは大きくする。電流は、上記部域2
9,30,31(第6図)の給電部材33,34,35のスイッチ21に
よって電極29,30,31の回路においては上記のように遮断
することができるが、上記電極29,30,31の回路において
は電極を給電部材33,34,35と直列接続された抵抗(図示
せず)によって最も簡単な方法で増大させることができ
る。Another method of reliably moving the arc electrode spot used in this method is to use a lower current value if at least two electrodes are used, or the current should be according to a preset program in the circuit of at least one electrode. It is interrupted and the current in those electrode circuits remains unchanged or increases. Current is in area 2 above
In the circuit of the electrodes 29,30,31 can be cut off as described above by the switch 21 of the power feeding members 33,34,35 of 9,30,31 (Fig. 6). In this circuit, the electrodes can be increased in the simplest way by means of resistors (not shown) connected in series with the feed members 33, 34, 35.
電極29,30,31の回路における電流の上記のような遮断あ
るいは変動で、放電ギャップにおける電界の方向が逆転
されて部品17に沿った電極スポットの指向的移動(ある
いは第6図、第7図に示す例においてスクリーン28′に
隣接した帯域における部品17の周囲に沿った上記スポッ
トの回転)を生じさせる。Due to the interruption or fluctuation of the current in the circuit of the electrodes 29, 30, 31 as described above, the direction of the electric field in the discharge gap is reversed and the directional movement of the electrode spot along the component 17 (or FIG. 6, FIG. 7). In the example shown in FIG. 1), the rotation of the spot along the periphery of the component 17 in the zone adjacent to the screen 28 ').
本発明の方法を実施する上記の例においては、被処理部
品は、第2図および第6図、第7図に示す例を除き、電
源3の負または正端子のいずれかに接続でき、この例に
おいては、好ましくは、部品14(第2図)または部品17
の電源3の負端子に接続する。これは、逆極性では、電
極として機能する、真空室のケーシングが陰極スポット
の作用で侵食されるためであり、また第6図、第7図に
示す例においては、電極29,30,31のスイッチングの際に
アーク・ブレークが生じ、そのアーク・ブレークの発生
可能性がスイッチング・レートが高くなるにつれて高く
なるが、これはアーク陰極スポットが、切替えられた電
極29,30,31に生じる時間がないためであって、このスポ
ットが放電発生の決め手となる。In the above examples of carrying out the method of the present invention, the part to be processed can be connected to either the negative or positive terminal of the power supply 3, except for the examples shown in FIGS. 2, 6 and 7. In the example, preferably part 14 (FIG. 2) or part 17
Connected to the negative terminal of the power supply 3. This is because in the opposite polarity, the casing of the vacuum chamber, which functions as an electrode, is eroded by the action of the cathode spot, and in the examples shown in FIGS. 6 and 7, the electrodes 29, 30, 31 An arc break occurs during switching, and the probability of an arc break occurring increases with the switching rate, which is the time it takes for the arc cathode spot to occur on the switched electrodes 29, 30, 31. This is because this spot is the decisive factor for the occurrence of discharge.
上記のように、部品の負極性は部品の浄化、スケール除
去およびバリ取り、また部品の材料の気化に使用するの
が好ましく、また部品の正極性は部品の加熱、溶接、切
断、および研磨に使用するのが好ましい。As mentioned above, the negative polarity of the component is preferably used for cleaning, descaling and deburring the component, and vaporizing the material of the component, and the positive polarity of the component for heating, welding, cutting and polishing the component. Preference is given to using.
アーク浄化行程では基本的には、アーク陰極スポットを
被処理部品の表面に沿って移動させ、スポット部域の温
度を3000〜5000℃とする。陰極スポットに移動速度は部
品表面のスケール種類や汚れ程度によって決まるが10-2
〜102m/sであり、陰極スポットが、移動するにつれて、
スケールを除去するとともに気化させて部品表面を浄化
する。部品表面のバリ取りや小さな凹凸の除去も同様に
行われる。In the arc purification process, basically, the arc cathode spot is moved along the surface of the component to be processed, and the temperature of the spot area is set to 3000 to 5000 ° C. The moving speed to the cathode spot depends on the scale type and the degree of dirt on the surface of the component, but it is 10 -2
~ 10 2 m / s, and as the cathode spot moves,
The scale is removed and vaporized to clean the surface of the component. Deburring on the surface of the component and removal of small irregularities are similarly performed.
上記もしくは下記の例のいずれかに述べるようにアーク
浄化を行う場合、好ましくは、処理の際のアーク電流や
処理時間を、特定のエネルギー消費が0.1〜0.8kW−h/m2
μmの範囲内となるレベルに維持して、被処理部品の目
立った侵食が無くかつ工程の生産性が十分高く被浄化表
面からスケールを完全除去する。When performing arc purification as described in any of the above or the following examples, preferably, the arc current and the treatment time during the treatment, the specific energy consumption is 0.1 ~ 0.8kW-h / m 2
By maintaining the level within the range of μm, there is no noticeable erosion of the parts to be processed and the productivity of the process is sufficiently high to completely remove the scale from the surface to be cleaned.
材料をアーク気化する工程では基本的には、真空アーク
の陰極スポットにプラズマ噴流を発生させる。アーク浄
化とは異り、この工程におけるアーク陰極スポットは被
気化材料からなる陰極の清潔な表面に沿って移動し、そ
して電極の侵食によって、放電を点弧するのに必要な媒
体が生成される。その結果生じた金属プラズマ流を、そ
こで濃縮してコーティングを形成する基板に向わせる。In the process of arc vaporizing the material, a plasma jet is basically generated at the cathode spot of the vacuum arc. Unlike arc cleaning, the arc cathode spot in this process travels along the clean surface of the cathode made of material to be vaporized, and the erosion of the electrodes creates the medium needed to ignite the discharge. . The resulting metal plasma stream is directed there to a substrate on which it is concentrated to form a coating.
代表的なコーティング形成レート10-2〜5×10-1μm/s
で、本発明の方法では、20〜100%(陰極の材料によっ
て決まる)の高イオン化度の蒸気を生じさせることがで
き、そしてイオンのエネルギーを10〜100eVとして、こ
れによって、従来の熱気化や陰極スパッタリング方法と
比較してより高いコーチィング粘着性を得ることができ
る。金属および合金の両方からなるコーティングを形成
することができ、また試薬ガス(窒素、メタン等)を供
給することによって、直接的な合成プラズマ化学反応を
用いて複雑な構成の層を形成することができる。Typical coating formation rate 10 -2 to 5 x 10 -1 μm / s
In the method of the present invention, it is possible to generate a vapor having a high ionization degree of 20 to 100% (depending on the material of the cathode), and the energy of the ions is 10 to 100 eV, which enables the conventional thermal vaporization and Higher coating adhesion can be obtained compared to the cathode sputtering method. It is possible to form coatings consisting of both metals and alloys, and by supplying reagent gases (nitrogen, methane, etc.) it is possible to form layers of complex composition using direct synthetic plasma chemistries. it can.
本発明による方法を用いた部品の溶接および切断の際に
起こる工程はシールド・アーク溶接および切断の際に起
こる工程と同様である。それらの違いは、アーク電極ス
ポットの移動を、従来の方法におけるように電極を移動
させるのではなく上記技法を用いて行うことである。本
発明の方法の利点は、部品の処理を真空中で行って部品
の白熱材料の媒体との反応を完全に回避することがで
き、こうして、チタンおよびその合金等の活性材料で作
った部品の処理(溶接)品位を高めることができる。The steps that occur during welding and cutting of parts using the method according to the invention are similar to those that occur during shielded arc welding and cutting. The difference between them is that the movement of the arc electrode spot is done using the above technique rather than moving the electrodes as in conventional methods. The advantage of the method of the invention is that the treatment of the component can be carried out in a vacuum to completely avoid the reaction of the incandescent material of the component with the medium, and thus of components made of active materials such as titanium and its alloys. The processing (welding) quality can be improved.
本発明の方法の上記実施例を実施する装置の特定実施例
を以下に説明する。Specific embodiments of the apparatus for carrying out the above embodiments of the method of the present invention are described below.
アーク処理装置、好ましくは、細長い部品、例えば、棒
をアーク処理する装置は、被処理部品1を受容する同軸
孔を有する少なくとも2つの同軸取付けされ、かつ確実
に冷却される電極36,37(第8図)を含む。電極36,37は
短い底同士を互いに向き合わせた円錐台の形とし、それ
らの円錐台の母線と高さとの間に規定される角度を35゜
〜85゜としている。部品1と電極36,37との間で、電極
の上記孔の中にはスクリーン38,39をそれぞれ設ける
が、それらのスクリーンは耐熱性材料で作られ、かつ部
品1の処理面および電極36,37の作用面にアーク放電プ
ラズマの移動を限定する手段として機能するものであ
る。An arc treatment device, preferably a device for arc treatment of elongated parts, for example rods, comprises at least two coaxially mounted and positively cooled electrodes 36, 37 (first) having coaxial holes for receiving the part to be treated 1. Figure 8) is included. The electrodes 36, 37 are in the form of truncated cones with their short bases facing each other and the angle defined between the generatrix and the height of these truncated cones is between 35 ° and 85 °. Between the part 1 and the electrodes 36, 37 there are provided screens 38, 39 respectively in the said holes of the electrodes, which screens are made of a heat-resistant material and which are the treated surface of the part 1 and the electrodes 36, 37. It functions as a means for limiting the movement of arc discharge plasma on the working surface of 37.
上記装置はまた、アーク発生の際に、部品1の処理帯域
の表面にゼロに等しいまたはゼロに近い電界電位を発生
させる手段を含み、この手段は2つの給電部材7,8で形
成され、これら部材は処理帯域と対称的に部品1と接続
され、互いに電気的に接続され、また電源3の負端子に
接続されており、また装置は電極36,37の作用面にゼロ
に等しいあるいはゼロに近い電界電位差を生じさせる手
段をも含んでおり、この手段は給電部材40,41,42(第9
図)、43,44,45(第10図)で構成されており、これらの
給電部材は互いに電気的に接続され、電極の作用面とは
対称的に電極36,37の円錐台の長い底に接続され、また
給電部材40,41,42は第9図、第10図に示すように、給電
部材43,44,45同士の間の距離の1/2だけ電極37に向って
オフセットして電極36に接続されている。上記給電部材
40,41,42も電極36のホルダーとして作用し、給電部材4
3,44,45は電極37のホルダーとして作用する。The device also includes means for generating an electric field potential on the surface of the treatment zone of the component 1 which is equal to or close to zero when an arc is generated, the means being formed by two feeding members 7,8. The member is connected symmetrically to the treatment zone with the component 1, electrically connected to each other and to the negative terminal of the power supply 3, and the device is at the working surface of the electrodes 36, 37 equal to or equal to zero. It also includes means for producing a close electric field potential difference, and this means is used for feeding members 40, 41, 42 (9th
Fig.), 43, 44, 45 (Fig. 10), these feeding members are electrically connected to each other, and the long bottoms of the truncated cones of the electrodes 36, 37 are symmetrical to the working surface of the electrodes. And the feeding members 40, 41, 42 are offset toward the electrode 37 by 1/2 of the distance between the feeding members 43, 44, 45 as shown in FIGS. 9 and 10. It is connected to the electrode 36. The power supply member
40, 41, 42 also act as a holder for the electrode 36, and the power feeding member 4
3,44,45 act as a holder for the electrode 37.
電極36,37(第8図)は互いに他に対して移動自在に取
り付けられており、処理帯域の幅を調整し、また部品1
は機構46によって処理の際に移動できる。真空室(図示
せず)内に取り付けられるのは、被処理部品1、電極3
6,37、点弧電極4、スクリーンの少なくとも一部であ
る。Electrodes 36 and 37 (Fig. 8) are movably attached to each other to adjust the width of the processing zone and to
Mechanism 46 allows movement during processing. The parts to be processed 1 and the electrodes 3 are mounted in the vacuum chamber (not shown).
6,37, the ignition electrode 4, and at least a part of the screen.
この装置は本発明の方法の第1実施例を実施するのに使
用され、下記のように機能する。This device is used to carry out a first embodiment of the method of the invention and functions as follows.
真空室内の媒体圧力を10Pa以下にして、電極36,37(第
8図)と被処理部品1との間に点弧電極4によってアー
ク放電を行い。放電電流を安定抵抗6によって調整す
る。With the medium pressure in the vacuum chamber set to 10 Pa or less, arc discharge is performed between the electrodes 36, 37 (FIG. 8) and the workpiece 1 by the ignition electrode 4. The discharge current is adjusted by the stabilizing resistor 6.
浄化工程では基本的には、アークの陰極スポットを部品
1の表面に沿って移動させ、それらのスポットの温度を
3000〜5000℃という値にする。陰極スポットの移動速度
を、部品1の表面のスケールの種類や汚れの程度に応じ
て決めるが、10-2〜102m/sとして、それらの陰極スポッ
トを移動させながらスケールを除去しかつ気化させ、こ
うして表面を浄化する。In the cleaning process, basically, the cathode spot of the arc is moved along the surface of the component 1 and the temperature of those spots is adjusted.
The value should be 3000-5000 ℃. The moving speed of the cathode spot is determined according to the type of scale on the surface of the component 1 and the degree of contamination, but it is set to 10 -2 to 10 2 m / s and the scale is removed and vaporized while moving those cathode spots. And thus purify the surface.
部品1および電極36,37へ対称的に給電することによっ
て、アーク発生の際にも、それらの表面に、ゼロに等し
いあるいはゼロに近い電界電位差を維持して、部品1の
処理帯域の、部域36,37同士の間に位置し、スクリーン3
8,39によって規定されたすべて部域において陰極スポッ
トを実質的に同じく発生させるようにしている。陰極ス
ポットは処理帯域の全表面にわたって無作為に移動して
その帯域において部品1を均一浄化する。部品1の全表
面を浄化する場合、送り機構46によって電極36,37に対
し部品を直線的に移動させる。By symmetrically feeding the component 1 and the electrodes 36, 37, an electric field potential difference equal to or close to zero is maintained on the surface of the component even when an arc is generated, and the part of the treatment band of the component 1 is maintained. Located between areas 36 and 37, screen 3
The cathode spot is generated substantially the same in all areas defined by 8,39. The cathode spots move randomly over the entire surface of the treatment zone to uniformly clean the part 1 in that zone. When cleaning the entire surface of the component 1, the feed mechanism 46 moves the component linearly with respect to the electrodes 36, 37.
電極36,37の作用面が円錐形になっているために、被浄
化部品1の侵食生成物がアーク・ギャップの部域から実
質的に完全に除去され、それらの生成物のほんのわずか
の部分が電極36,37の作用面に堆積するだけなので、装
置の信頼性が高くなり、またその有効寿命が長くなる。
35゜〜85゜の円錐母線の傾斜角度の値35゜〜85゜は、侵
食生成物の陽極への堆積の可能性が低くその一方ではア
ーク発生の安定性が高い、侵食生成物の放出角度を念頭
において経験によって選択している。円錐の母線と高さ
と角度が30゜以下では、アークが破断し、またその角度
が85゜以上であれば、侵食生成物の大部分が電極36,37
に堆積するので、アーク発生の条件は変化してしまう。Due to the conical working surfaces of the electrodes 36, 37, the erosion products of the part to be cleaned 1 are virtually completely removed from the area of the arc gap, with only a small fraction of these products. Is deposited on the working surfaces of the electrodes 36, 37, the reliability of the device is increased and the useful life thereof is extended.
The value of the inclination angle of the conical generatrix between 35 ° and 85 ° is between 35 ° and 85 °, the possibility of erosion products depositing on the anode is low, while the stability of arc generation is high, and the emission angle of erosion products is high. It is selected by experience in mind. If the angle with the generatrix of the cone is 30 ° or less and the arc breaks, and if the angle is 85 ° or more, most of the erosion products are generated by the electrodes 36,37.
Therefore, the conditions for arc generation change.
経験的に発見したことであるが、第9図、第10図に示す
ように、給電部材43,44,45同士の距離1/2だけ電極37に
向ってオフセットさせて給電部材40,41,42を電極36に接
続すると、部品1の周囲に沿ってアーク陰極スポットが
ジグザグ移動し、処理の均一性を高め、その浄化の際に
ける部品の融解可能性を低くし、表面積の大きい部品、
特に綿花ハーベスターのスピンドルを処理する場合の浄
化の品位を向上させる。It has been empirically discovered that, as shown in FIGS. 9 and 10, the feeding members 40, 41, 45 are offset by a distance 1/2 between the feeding members 43, 44, 45 toward the electrode 37. When 42 is connected to the electrode 36, the arc cathode spot moves zigzag along the perimeter of the component 1 to enhance process uniformity, reduce the likelihood of melting the component during its cleaning, and increase surface area of the component,
Improves the quality of purification, especially when processing cotton harvester spindles.
アーク発生条件、電極36,37同士の距離、部品1の移動
速度を選択することによって最高の浄化品位を得ること
ができる。The highest purification quality can be obtained by selecting the arc generation condition, the distance between the electrodes 36 and 37, and the moving speed of the component 1.
12mm径の鋼棒および、外面に4列の歯列を有する630mm
長の管の形をした綿花ハーベスターのスピンドルスケー
ル除去を商業規模で実施した。アーク電極50A、被浄化
部品の移動速度30〜50mm/s、電極間距離30〜35mm条件で
良好な浄化品位が得られた。630mm with 12mm diameter steel rod and 4 rows of teeth on the outer surface
Spindle descaling of cotton harvesters in the form of long tubes was performed on a commercial scale. Good cleaning quality was obtained under the conditions of the arc electrode 50A, the moving speed of the parts to be cleaned 30 to 50 mm / s, and the distance between the electrodes 30 to 35 mm.
好ましくは圧延条帯品のアーク処理装置を第11図、第12
図、第13図に示す。この装置は、ケーシング用電極48と
点弧用電極4,4′とを収容する真空室47(第11図)を含
む。上記電極48は共通ホルダー(図示せず)に剛着され
ている。真空室47の端末部分は入口閉止装置49と出口閉
止装置50とを内蔵している。Preferably, the arc treatment device for rolled strips is shown in FIGS. 11 and 12.
Shown in FIG. This device includes a vacuum chamber 47 (FIG. 11) containing a casing electrode 48 and an ignition electrode 4, 4 '. The electrode 48 is rigidly attached to a common holder (not shown). The terminal portion of the vacuum chamber 47 contains an inlet closing device 49 and an outlet closing device 50.
真空室47はパイプライン51によって真空系の真空ポンプ
52に接続されている。上記入口閉止装置49、出口閉止装
置50にはそれぞれ従動引張ローラ53,54が取付けられ、
電極48に対して条帯品55を(張力で)移動させるように
なっている。The vacuum chamber 47 is a vacuum system vacuum pump by a pipeline 51.
Connected to 52. The inlet closing device 49 and the outlet closing device 50 are provided with driven tension rollers 53, 54, respectively.
The strip 55 is adapted to move (in tension) with respect to the electrode 48.
装置は更には、圧延品55の処理帯域の表面にゼロに等し
かあるいはゼロに近い電界電位差を、アークの際に生じ
させる手段を含んでおり、この手段は、給電部材7′,
8′の形をしており、これらの処理帯域とは対称的に被
処理圧延品55に接続され、互いに電気的に接続されま
た、正端子が電極48に接続された電源3の負端子に接続
されている。The apparatus further comprises means for producing an electric field potential difference on the surface of the treatment zone of the rolled product 55 which is equal to or close to zero in the event of an arc, which means is provided by the feeding member 7 ',
In the shape of 8 ', they are connected to the rolled product 55 to be processed symmetrically to these processing zones, electrically connected to each other, and the positive terminal to the negative terminal of the power source 3 connected to the electrode 48. It is connected.
電極48は少なくとも1対(この実施例では4対)の鏡面
平行プリズムで構成されており、このプリズムはその面
が互いに他に他と面し、角度が35゜〜85゜に傾斜してお
り、それらの作用面が条帯品55の軸線と対称的かつ第13
図に示すようにその軸線と平行に位置付けられている。
装置において鏡面平行プリズムで構成した電極48を2対
以上使用する場合は、それらを圧延条帯品55(第12図に
示す)の移動路に沿って取り付ける。The electrodes 48 are composed of at least one pair (4 pairs in this embodiment) of mirror-parallel prisms whose surfaces face each other and are inclined at an angle of 35 ° to 85 °. , Their working surfaces are symmetrical to the axis of the strip 55 and
It is positioned parallel to its axis as shown.
When using two or more pairs of electrodes 48 composed of mirror-parallel prisms in the apparatus, they are attached along the moving path of the rolled strip 55 (shown in FIG. 12).
圧延品を二面処理する必要がある場合、装置には補助電
極56(第11図、第12図、第13図)を設け、それらの電極
を圧延品55の反対側で主電極48と対称的に取付けかつ電
極48と同様に電源3に接続している。If rolled products need to be double-sided, the device is equipped with auxiliary electrodes 56 (Figs. 11, 12, 13) that are symmetrical to the main electrode 48 on the opposite side of the rolled product 55. Mounted and connected to the power supply 3 in the same manner as the electrode 48.
確実に冷却されるスクリーン57はアーク放電プラズマの
移動を、圧延品55の処理帯域および電極48,56の作用面
に限定するようになっている。圧延品の二面処理の場
合、上記57は好ましくは、圧延品55(第13図)の反対側
に取り付けた電極48,56の間に置く。好ましくは、スク
リーン57を電極48,58の外小面に固定し、またそれらか
ら絶縁スリーブ58(第13図)によって絶縁する。真空室
47のケーシングの底部には、真空密封ゲート60を有する
ホッパー59を設ける。The positively cooled screen 57 limits the movement of the arc discharge plasma to the treatment zone of the rolled product 55 and the working surfaces of the electrodes 48, 56. In the case of a two-sided treatment of a rolled product, the 57 is preferably placed between the electrodes 48, 56 mounted on the opposite side of the rolled product 55 (Fig. 13). Preferably, the screen 57 is secured to the outer facets of the electrodes 48,58 and insulated from them by an insulating sleeve 58 (Fig. 13). Vacuum chamber
A hopper 59 having a vacuum sealing gate 60 is provided at the bottom of the casing of 47.
こ装置の動作は下記の通りである。条帯品55(第11図)
を引張りローラ53,54で真空室47へ送り、電極48,56の間
の空間に張力下で位置付ける。真空室47内の圧力がパイ
プライン51を通じて真空ポンプ52によって10Pa以下に下
げられる。電源3を投入し、点弧電極4,4′により電極4
8,56と条帯品55との間にアーク放電を生じさせる。放電
を開始すると、引張りローラ53,54は真空室47の中を通
る条帯品55の移動を開始する。The operation of this device is as follows. Strip article 55 (Fig. 11)
Is sent to the vacuum chamber 47 by the tension rollers 53 and 54, and is positioned under tension in the space between the electrodes 48 and 56. The pressure in the vacuum chamber 47 is reduced to 10 Pa or less by the vacuum pump 52 through the pipeline 51. Turn on the power supply 3 and start the electrode 4 by the ignition electrodes 4 and 4 '.
An arc discharge is generated between 8,56 and the strip 55. When the electric discharge is started, the pulling rollers 53, 54 start moving the strip 55 passing through the vacuum chamber 47.
本発明に係わる調査の結果、判明したところでは、スケ
ールを純金属に還元する作用が生じ、スケールの残りは
気化し、真空室の壁面に付着する。この壁面付着スケー
ルを、ブラシを用いて真空室47の底へ除去してゲート付
き特別閉止室60を有するホッパー59の中へ入れ、真空室
47の気密性を失わずに真空室の外側に移送する。放出ガ
スはポンプを継続運転して除去する。従って、円錐台形
の鏡面配置したプリズムの形をした電極48,56を設ける
ことにより、2つの問題が同時に解決される。すなわ
ち、一方では、侵食された部分がアーク発生帯域の障害
とならず、またその侵食部分が電極48,56(プリズム小
面の傾斜角度の範囲について前述した)に堆積せず、ま
たもう一方では、それらの電極によって、陰極面の近傍
に、すなわち、被浄化条帯品55上に均一電界を生じさ
せ、その表面上での陰極スポットの分布に対し、同表面
の高品位浄化をもたらす条件を得ることができる。陰極
スポットの個数は放電電流に比例するが、無限ではな
い。臨界電流とみなされ、その値が装置の構造的特徴、
圧延品の材料および媒体の圧力に応じて決まる特定の電
流では、アーク放電モードに変化が生じ、アーク放電
が、スポットが移動するアークからスポットが集中した
アークへ代り、片方あるいは両方の電極48が融解する。
この現象によって、陰極スポットの十分均一な分布を得
ることのできる、条帯品55の最大幅が限定される。圧延
品55の幅を広げると、アーク電流が大きくなるので、陰
極スポットを十分な個数だけ得ることができる。しかし
ながら、これが特定の限度内でのみ可能であり、その理
由は、臨界電流を越えた電流によって電極が融解するこ
とにある。アーク電流は、狭い条帯品55の処理を実施す
る際には不明確に下げてはならない。もしそうすると、
アークが遮断されるからである。経験上これまでに判明
したところでは、本発明の装置によって20〜100mm幅の
条帯品を完全に浄化できる。As a result of the investigation according to the present invention, it was found that the scale had an action of reducing it to pure metal, and the rest of the scale was vaporized and adhered to the wall surface of the vacuum chamber. The scale attached to the wall surface is removed to the bottom of the vacuum chamber 47 with a brush and put into a hopper 59 having a special closed chamber 60 with a gate.
Transfer to the outside of the vacuum chamber without losing the airtightness of 47. The released gas is removed by continuously operating the pump. Thus, the provision of the frustoconical mirror-arranged prism-shaped electrodes 48, 56 solves two problems simultaneously. That is, on the one hand, the eroded part does not obstruct the arcing zone, and the eroded part does not deposit on the electrodes 48, 56 (described above for the range of tilt angles of the prism facets), and on the other hand , Those electrodes, in the vicinity of the cathode surface, that is, to generate a uniform electric field on the article 55 to be purified, the conditions for bringing high-quality purification of the surface to the distribution of the cathode spot on the surface. Obtainable. The number of cathode spots is proportional to the discharge current, but not infinite. Is considered the critical current, the value of which is a structural feature of the device,
At a certain current, which depends on the material of the rolled product and the pressure of the medium, there is a change in the arc discharge mode, which causes the arc to move from a moving arc to a concentrated arc instead of one or both electrodes 48. To thaw.
This phenomenon limits the maximum width of the strip 55, which makes it possible to obtain a sufficiently uniform distribution of the cathode spots. When the width of the rolled product 55 is increased, the arc current increases, so that a sufficient number of cathode spots can be obtained. However, this is only possible within certain limits, because the currents above the critical current cause the electrodes to melt. The arc current must not be reduced unambiguously when carrying out the treatment of narrow strips 55. If so,
This is because the arc is cut off. Experience has shown that the apparatus of the present invention is capable of completely cleaning strips of width 20 to 100 mm.
上記の装置は真空内のアーク放電で圧延条帯品を浄化す
るのに使用でき、金属、非金属および合金の金属条帯を
処理する際に条帯品の両面を高品位かつ均一に浄化でき
るものであるが、これは電源3が独立して働くからであ
る。The above equipment can be used to clean rolled strips by arc discharge in vacuum, and can clean both sides of strips in high quality and uniformly when treating metal strips of metal, non-metals and alloys. This is because the power source 3 works independently.
真空内のアーク放電で処理した条帯品55はその外観が品
として良好である。その耐食性は高く、表面積が広くな
っており、このことがコーティング形成において特に重
要である。The strip 55 treated by arc discharge in vacuum has a good appearance. Its high corrosion resistance and large surface area, which is especially important in coating formation.
100mm以上の幅の圧延品を処理(浄化)する場合、第14
図、第15図、第16図に示す装置を使用する。この装置
が、上記の装置と違っている点は、鏡面平行プリズムの
形をした電極61,62を条帯品64の移動方向と直角をなし
て、この条帯品64の処理帯域の中央を通る平面63(第16
図)と対称的に対で取り付けており、隣接電極61をアー
ク放電の各々の処理帯域を少なくとも1つの他の放電の
処理帯域で覆うように互いに他に対して取付け、スクリ
ーン65,66(第14図、第15図、第16図)を電極61,62と条
帯品64の被処理面との間の空間に中に位置付けたことで
ある。When processing (purifying) rolled products with a width of 100 mm or more,
The apparatus shown in FIGS. 15, 15 and 16 is used. This device is different from the above-mentioned device in that the electrodes 61 and 62 in the form of mirror-parallel prisms are formed at right angles to the moving direction of the strip 64, and the center of the treatment zone of the strip 64 is formed. Passing plane 63 (16th
(Fig.), And the adjacent electrodes 61 are attached to each other so as to cover each treatment zone of the arc discharge with the treatment zone of at least one other discharge, and the screens 65, 66 (first (Fig. 14, Fig. 15, Fig. 16) are located in the space between the electrodes 61, 62 and the surface to be treated of the strip 64.
この装置構成によって、どのよ断面の圧延条帯品でも所
望の速度で浄化できるが、これは圧延品の移動の際に、
被処理表面が平行かつ連続的に覆われるからである。With this device configuration, it is possible to purify rolled strips of any cross section at a desired speed.
This is because the surface to be treated is covered in parallel and continuously.
以上、主として部品のアーク浄化用の装置について述べ
て来た。しかしながら、上記のように、本発明の方法は
コーティングを形成するために各種材料を気化させるの
に使用しても極めて有効である。この方法のそうした使
用を第17図、第18図、第19図、第20図に示すが、これら
の図は、本発明の方法の第2実施例を実施するための装
置を示している。Above, we have mainly described an apparatus for purifying arcs of parts. However, as mentioned above, the method of the present invention is also very effective when used to vaporize various materials to form coatings. Such use of this method is shown in FIGS. 17, 18, 19, and 20, which show an apparatus for practicing a second embodiment of the method of the present invention.
アーク処理、すなわち、第17図に示す気化用の装置が、
第2図に示す装置と異っている点は、部品14の代りに、
平板なバスの形をした被気化材料の消耗陰極67(第17
図)を使用し、これと対向して細長い被メッキ支持体68
を位置付けしており、またアーク発生の際に、陰極67の
他の部分の電位より低い電位の部域を陰極の表面に発生
させ、またこれらの部域をその表面に沿って移動させる
手段が、陰極67の対向端と接続され、また陰極ホルダー
としても作用する2つの給電部材18,20と、変圧器69お
よび、上記給電部材18,20と、電源3の負端子がその中
間タップに接続されているその変圧器69の二次側の端末
線との間に接続された整流器70,71で構成された、給電
部材18,20のスイッチと、上記変圧器69の一次側に接続
された交流電源72とを含んでいることである。Arc treatment, that is, the vaporization device shown in FIG. 17,
The difference from the device shown in FIG. 2 is that instead of the component 14,
Consumable cathode 67 (No. 17)
(See Figure) and facing the elongated slender support 68
Is positioned, and a means for generating areas on the surface of the cathode having a potential lower than that of the other parts of the cathode 67 during the arcing and for moving these areas along the surface. , The two feeding members 18 and 20 connected to the opposite ends of the cathode 67 and also acting as a cathode holder, the transformer 69, the feeding members 18 and 20, and the negative terminal of the power supply 3 connected to the intermediate tap thereof. Is connected to the secondary side terminal line of the transformer 69 and is connected to the switch of the power feeding member 18, 20 and the primary side of the transformer 69, which is composed of rectifiers 70 and 71 The AC power supply 72 is included.
この装置の動作は下記の通りである。媒体圧力10-2Pa以
下(この媒体圧力は残留ガスとの被気化材料の反応を除
外するのに必要)で、ケーシング15(陽極)と消耗電源
67との間に点弧電極4によってアーク放電を生じさせる
が、このアーク放電は消耗電極67の材料の蒸気の中で生
じてスクリーン11によって陰極67の作用面に集中する。The operation of this device is as follows. Medium pressure less than 10 -2 Pa (this medium pressure is necessary to exclude the reaction of vaporized material with residual gas), casing 15 (anode) and consumable power supply
An arc discharge is generated between the consumable electrode 67 and the discharge electrode 67 by the ignition electrode 4. This arc discharge is generated in the vapor of the material of the consumable electrode 67 and is concentrated on the working surface of the cathode 67 by the screen 11.
そのいずれかが所定の瞬間に電源3に接続する給電部材
18または20に向ってアーク陰極スポットから陰極67を流
れるアーク放電電流によって陰極67の表面に、電界電位
差が生じ、これによってアーク陰極スポットがより低電
位の帯域に向って移動させられる。整流器70,71は電源3
2の交流電圧の交番半サイクルで交互に導通して、陰極6
7の給電部材18,20を自動切り替えし、これによって陰極
67の表面における電界の方向が逆転されまた交流電圧の
周波数に対応したレートで陰極スポットが陰極67に沿っ
て往復させられる。A power supply member, one of which is connected to the power supply 3 at a predetermined moment
The arc discharge current flowing from the arc cathode spot toward the cathode 18 or 20 through the cathode 67 creates a field potential difference on the surface of the cathode 67, which causes the arc cathode spot to move towards the lower potential band. Rectifier 70,71 is power supply 3
Alternating half-cycles of alternating voltage of 2 alternating the cathode 6
The power supply members 18 and 20 of 7 are automatically switched, and
The direction of the electric field on the surface of 67 is reversed and the cathode spot is reciprocated along the cathode 67 at a rate corresponding to the frequency of the alternating voltage.
こうして、陰極67の材料の均一侵食が、支持体68の全長
にわたってコーティングの厚みが均一になるように生じ
る。Thus, uniform erosion of the cathode 67 material occurs so that the coating thickness is uniform over the length of the support 68.
支持体68の周囲に沿って均一なコーティングを生じさせ
るには、この支持体をの軸線を中心に回転させ、またコ
イル巻きされた部品を金属メッキする場合は、その被処
理品を陰極67の上でコイル巻き状態を解除する。必要で
あれば、この装置はいかなる空間位置にても使用可能で
ある。To produce a uniform coating around the perimeter of the support 68, the support is rotated about its axis, and if the coiled part is to be metal plated, the work piece should be placed on the cathode 67. Release the coil winding state above. If desired, the device can be used in any spatial position.
第18図は、アーク処理、特に気化処理用装置を示してお
り、この装置においては、陰極73は被気化材料のリング
の形をしており、また陽極は上記装置と同様に、陰極73
と被金属メッキ支持体75とを収容する真空室のケーシン
グ74の形をしている。この装置は多相交流変換器の電源
に接続され、またアーク発生の際に陰極73の表面の他の
部分の電位より低い電位の部域を陰極73の表面に生じさ
せかつそれらの部域を上記表面に沿って移動させる手段
が、その個数が電源の交流電圧変換器76の双数に対応し
ている給電部材77,78,79と、変換器76の各出力線と対応
の給電部材との間に接続された整流器80,81,82の形をし
た上記給電部材のスイッチとから構成されており、上記
整流器80,81,82の陰極が変換器76に続され、またその変
換器の中性点が装置のケーシング74(陽極)に接続され
ている。上記給電部材77,78,79はその周囲に沿って間隔
をとって配置した陰極73の各部分に接続され、その陰極
73のホルダーとして作用する。整流器80,81,8がその同
様の線で陰極73と接続されているので、電流はこの実施
例においては、ケーシング74(陽極)−陰極73−給電部
材77,78または79(このいずれかの回路の電位が所定の
瞬間に最低となる)−その給電部材と直列接続された整
流器80,81あるいは82−変換器76−ケーシング74(陽
極)という回路だけに流れる。FIG. 18 shows a device for arcing, in particular vaporization, in which the cathode 73 is in the form of a ring of material to be vaporized and the anode is similar to the device described above, the cathode 73
And in the form of a vacuum chamber casing 74 containing the metal plated support 75. This device is connected to the power supply of the polyphase AC converter and also produces areas of potential on the surface of the cathode 73 which are lower than those of the other parts of the surface of the cathode 73 during arcing. Means for moving along the surface, the number of power supply members 77, 78, 79, the number of which corresponds to the divisor of the AC voltage converter 76 of the power supply, and the power supply member corresponding to each output line of the converter 76. And a switch of the power supply member in the form of a rectifier 80, 81, 82 connected between, the cathode of the rectifier 80, 81, 82 is connected to the converter 76, and also of that converter. The neutral point is connected to the casing 74 (anode) of the device. The power supply members 77, 78, 79 are connected to respective portions of the cathode 73 arranged at intervals along the periphery thereof, and the cathode thereof is
Acts as a holder for 73. Since the rectifiers 80, 81, 8 are connected in similar lines to the cathode 73, the current flow in this embodiment is casing 74 (anode) -cathode 73-feeding member 77, 78 or 79 (either of these). The electric potential of the circuit becomes minimum at a given moment) -flows only in the circuit of the rectifier 80, 81 or 82 connected in series with the power supply member-the converter 76-the casing 74 (anode).
この装置においては、アークの陰極スポットは陰極73の
気化面に沿って指向的に移動して交流変換器76によって
設定された座標変更プログラムに従ってその電極の最低
電位部域に追従する。給電部材77,78,79の対称多相(こ
の実施例においては三相)系および対称位置で、陰極73
に沿った陰極スポットの均一移動および陰極材料の均一
気化が得られる。In this device, the cathode spot of the arc moves directionally along the vaporization surface of the cathode 73 and follows the lowest potential area of that electrode according to the coordinate changing program set by the AC converter 76. In the symmetrical polyphase (three phases in this embodiment) system and symmetrical positions of the power supply members 77, 78, 79, the cathode 73
Uniform movement of the cathode spot along and uniform vaporization of the cathode material is obtained.
この装置における陰極73のリグ形状のために、従来のア
ーク気化装置におけるディスク形状の小径陰極の場合よ
りかなり大きい表面部域においてより均一な膜厚が得ら
れる。Due to the rigged shape of the cathode 73 in this device, a more uniform film thickness is obtained over a much larger surface area than in the case of the disk-shaped small diameter cathode in conventional arc vaporizers.
第19図、第20図に示す装置が第18図に示す装置と違って
いる点は、その陽極が、主整流器80,81,82の向き合って
変換器76の出力線に接続された補助整流器84,85,86の陰
極に接続された被金属メッキ支持体83(第19図、第20
図)の形をしていることである。消耗リング状陰極87が
気化内表面を有しており、また陰極87のホルダーとして
も機能する給電部材88,89,90,91,92,93がその周囲と対
称的に接続されており、給電部材の個数が交流電源電圧
の総数の2倍に対応している(一般的には、給電部材数
は相数の倍数である)。給電部材88および91,89および9
2,90および93がグループで電気的に接続されており、そ
のグループ数は変換器76の相数と等しく、また各グルー
プは整流器80,81,82を通じて上記電源の出力線と接続さ
れている。また給電部材91,92,93は給電部材88,89,90の
下手に電極の周囲に沿って直列接続されており、給電部
材88,89,90,91,92,93はこれらの給電部材88,89,90,91,9
2,93に接続された変換器76の出力線における昇圧の順序
で次々と設けられている。陰極87の外側面および端面か
ら離されて耐熱性スクリーン94(第20図)が設けられて
いて、被気化陰極の表面に陰極スポットを集中させる。The device shown in FIGS. 19 and 20 is different from the device shown in FIG. 18 in that its anode is an auxiliary rectifier whose main rectifiers 80, 81 and 82 face each other and are connected to the output line of the converter 76. 84,85,86 metallized support 83 (Figs. 19 and 20) connected to the cathodes
It is in the shape of (Fig.). The consumable ring-shaped cathode 87 has a vaporized inner surface, and the power feeding members 88, 89, 90, 91, 92, 93 that also function as holders of the cathode 87 are connected symmetrically with the surroundings, The number of members corresponds to twice the total number of AC power supply voltages (generally, the number of power feeding members is a multiple of the number of phases). Power supply members 88 and 91, 89 and 9
2, 90 and 93 are electrically connected in groups, the number of groups is equal to the number of phases of the converter 76, and each group is connected to the output line of the power source through the rectifiers 80, 81, 82. . Further, the power feeding members 91, 92, 93 are connected in series below the power feeding members 88, 89, 90 along the circumference of the electrodes, and the power feeding members 88, 89, 90, 91, 92, 93 are these power feeding members 88. , 89,90,91,9
The output lines of the converter 76 connected to 2,93 are provided one after another in the order of boosting. A heat resistant screen 94 (FIG. 20) is provided apart from the outer and end surfaces of the cathode 87 to concentrate the cathode spot on the surface of the vaporized cathode.
第19図、第20図に示す装置の動作の際に、陰極スポット
は消耗陰極87の内面に沿って移動し、また気化した材料
は部品83の外面に沈着する。この装置の、上述した装置
との違いも、給電部材88,89,90の帯域を通過した陰極ス
ポットが給電部材91,92,93の帯域に入るあるいはその逆
となり、陰極87の最大直径を2倍とすることができ、ま
た被コーティング部品83の最大直径もより大きくするこ
とができることである(陰極直径をかなり大きく増大す
る必要がある場合、給電部材の個数を増大するおよび/
または電源電圧の周波数を低下させることができる。) この場合、陰極87の円筒内面に沿ってスポットを均一移
動させることができるので、部品83を回転させないでそ
の全周にわたって部品83に均一厚みのコーティングを施
すことができる。部品83の長手方向に均一厚みコーティ
ングを施すには、部品を陰極87の軸線に沿って直線的に
移動させる。この装置において整流器84,85,86を設ける
ので、放電電流の変動は第18図の示す装置よりも低くな
り、こうして、特に材料を低い部分的な蒸気圧で気化さ
せる場合にアーク発生の安定性を高くすることができ
る。During operation of the device shown in FIGS. 19 and 20, the cathode spot moves along the inner surface of the consumable cathode 87 and the vaporized material deposits on the outer surface of the component 83. The difference between this device and the device described above is that the cathode spot passing through the band of the feeding members 88, 89, 90 enters the band of the feeding members 91, 92, 93 or vice versa, and the maximum diameter of the cathode 87 is set to 2 And the maximum diameter of the coated component 83 can also be larger (if the cathode diameter needs to be increased significantly, the number of feed members can be increased and / or
Alternatively, the frequency of the power supply voltage can be reduced. In this case, since the spot can be uniformly moved along the inner surface of the cylinder of the cathode 87, the component 83 can be coated with a uniform thickness over the entire circumference without rotating the component 83. To apply a uniform thickness coating to the length of component 83, the component is moved linearly along the axis of cathode 87. Since the rectifiers 84, 85, 86 are provided in this device, the fluctuation of the discharge current is lower than that of the device shown in Fig. 18, and thus the stability of the arc generation, especially when the material is vaporized with a low partial vapor pressure. Can be higher.
第17図、第18図、第19図、第20図に示すアーク気化装置
の機能性は上記の例に限定されない。これは、上記気化
装置がリング状および直線状の陰極のみならず、楕円
状、多角形、ジグザグ状その他の形状の陰極(第18図、
第19図、第20図の線図参照)や開放端陰極(第17図)も
使用できるので、複雑な形をした部品にコーティングを
施しかつ必要あれば厚みが不均一のコーティングでも形
成することができるからである。このような陰極のある
部分を別々の材料で作って、コーティングの成分比を、
そのような成分で作った陰極部分の長さの比率を変える
ことによって広い範囲内で変えることができるようすれ
ば複雑な構成のコーティングを形成する独自の機会を得
ることができる。The functionality of the arc vaporizer shown in FIGS. 17, 18, 19, and 20 is not limited to the above examples. This is because the vaporizer is not only a ring-shaped and linear cathode, but also an elliptical, polygonal, zigzag-shaped cathode (FIG. 18,
It is also possible to use open-ended cathodes (see Fig. 19 and Fig. 20) and open-ended cathodes (Fig. 17), so coat parts with complicated shapes and, if necessary, even coatings with uneven thickness. Because you can Part of such a cathode is made of different materials, and the composition ratio of the coating is
By allowing the ratio of the lengths of the cathode part made of such components to be varied within a wide range, one has the unique opportunity to form coatings of complex composition.
第21図、第22図は、空気あるいはシールド・ガスの中で
は処理することができなあるいは困難なチタンやそ合金
等の活性金属の部品を真空溶接するのに上記装置を使用
する可能性を示している。被溶接部品95,96の組み合せ
(第22図、これは97のところがフランジになっている)
を電極87の孔の中に入れ、アーク・スポットを、部品96
から離して取り付けた耐熱性スクリーン98によって部品
同士の継ぎ目に集中させて第3図、第4図および第6
図、第7図に関連して述べた実施例で説明したように被
溶接継ぎ目97とその部品の給電部材99との間の、部品96
の部分を覆う。アークが発生し始めたら、第19図、第20
図に示す実施例同様、その陰極スポットが電極87の内面
に沿って指向的に移動し(第22図)また陽極スポットは
上記フランジ97の周囲に沿って移動してその縁部を均一
に融解し、こうして部95,96を高品位、気密に溶接する
ことができる。Figures 21 and 22 show the possibility of using the above equipment to vacuum weld parts of active metals such as titanium and its alloys that are difficult or difficult to process in air or shielding gas. Shows. Combination of parts to be welded 95, 96 (Fig. 22, this is a flange at 97)
Electrode into the hole in electrode 87 and place the arc spot in
The heat-resistant screen 98, which is installed apart from each other, allows the joints to be concentrated at the joints between the parts, and FIGS.
As described in the embodiment described with reference to FIGS. 7 and 7, the part 96 between the welded seam 97 and the feeding member 99 of the part 96 is welded.
Cover the part. When the arc begins to occur, Fig. 19, Fig. 20
Similar to the embodiment shown in the figure, the cathode spot moves directionally along the inner surface of the electrode 87 (Fig. 22), and the anode spot moves along the periphery of the flange 97 to melt its edge uniformly. In this way, the parts 95 and 96 can be welded in a high quality and airtight manner.
フラジなしでの溶接も行ない得るが、その場合は、高品
位の溶接を得るため、溶接工程を、特別の機構(図示せ
ず)によって継ぎ目をアップセットすることで終了する
必要がある。Welding can also be done without bulges, in which case the welding process must be terminated by upsetting the seam by a special mechanism (not shown) in order to obtain a high quality weld.
ステンレス・スチールおよびチタン合金の小径パイプラ
イン溶接を、第1図、第21図、第22図に示す装置によっ
て商業規模で真空下で(媒体圧力2×10-2Pa)行った。
外径10mmのパイプの場合、アーク電流を120A、アーク電
圧を30V、電源電圧を80Vとした。アップセット溶接にお
けるアーク発生時間を7秒とし、フランジ付き縁部を用
いた火花溶接では、アーク発生時間を10秒とした。どち
らの場合にも、強く気密の継ぎ目が形成されたが、第21
図、第22図に示す装置によれば、第1図に示す装置で形
成したものに比べ、溶接した製品の周囲に沿ってより均
一の継ぎ目の融解を得ることができた。Small diameter pipeline welding of stainless steel and titanium alloys was carried out under vacuum (medium pressure 2 × 10 -2 Pa) on a commercial scale with the equipment shown in FIGS. 1, 21 and 22.
For a pipe with an outer diameter of 10 mm, the arc current was 120 A, the arc voltage was 30 V, and the power supply voltage was 80 V. The arc generation time in upset welding was 7 seconds, and the arc generation time was 10 seconds in spark welding using a flanged edge. In both cases strong and airtight seams were formed, but
The apparatus shown in FIGS. 22 (a) and 22 (b) was able to obtain a more uniform seam fusion along the perimeter of the welded product as compared to that formed by the apparatus shown in FIG.
同じ装置(第1図、第18図)を、真空内で部品を切断す
るのに使用することもでき、そしてこのためには、被切
断部品を電極2または87で包囲し、そしてアーク電流を
高くするかあるいはアークに対する被処理部品の露出時
間を長くするが、これらのどちらの場合も切断作用が結
果する。The same device (Figs. 1, 18) can also be used to cut parts in a vacuum, and for this purpose the part to be cut is surrounded by electrodes 2 or 87 and the arc current is Either higher or longer exposure of the part to be treated to the arc, either of which results in a cutting action.
前述電子スイッチは第18図、第19図、第20図、第21図、
第22図に示すように単一電極の給電部材を接続するのに
使用できるだけでなく、パイプその他の中空部品内面の
アーク浄化を示す第23図、第24図に示すように相異った
電極の給電部材を切り替えるためにも使用できる。The electronic switch is shown in FIG. 18, FIG. 19, FIG. 20, FIG.
Not only can it be used to connect a single electrode feed member as shown in FIG. 22, but also different electrodes as shown in FIG. 23 and FIG. 24 showing arc purification of the inner surface of pipes and other hollow parts. It can also be used to switch the power feeding member of.
第23図に示す装置の電極100,101,102,103,104,105を被
処理中空部106(第24図))の内部に位置付け、ホルダ
ーに取り付ける。このホルダーは部品106に対して電極
を移動させる機構に連結されている(このホルダーと機
構は図示せず)。電極100,101,102,103,104,105(第23
図)の個数は電源電圧の相数の2倍に等しく(一般的に
は、これは相数に等しいか、相数の倍数である)、そし
て給電部材88,89,90,91,92,93はこれらの給電部材に接
続された変換器の出力線における昇圧の順序に対応した
順序で電極100,101,102,103,104,105に接続されてい
る。被処理部品106の端面には給電部材107(第24図)が
接続され、スクリーン108が第7図に示すスクリーン2
8′と同じ機能をもっている。抵抗109,110(第24図)は
抵抗5と同じ機能を有し、そして電源電圧の第2半周期
毎に抵抗5の回路に電圧が無くなるのでそれら抵抗を設
けることが必要となる。The electrodes 100, 101, 102, 103, 104, 105 of the device shown in FIG. 23 are positioned inside the hollow portion 106 to be treated (FIG. 24)) and attached to the holder. The holder is connected to a mechanism that moves the electrodes relative to the component 106 (the holder and mechanism not shown). Electrodes 100, 101, 102, 103, 104, 105 (23rd
Number) is equal to twice the number of phases of the power supply voltage (generally this is equal to or a multiple of the number of phases), and the feeding members 88, 89, 90, 91, 92, 93 is connected to the electrodes 100, 101, 102, 103, 104, 105 in an order corresponding to the order of boosting in the output line of the converter connected to these power supply members. A power supply member 107 (Fig. 24) is connected to the end surface of the processed part 106, and the screen 108 is the screen 2 shown in Fig. 7.
It has the same function as 8 '. The resistors 109 and 110 (FIG. 24) have the same function as the resistor 5, and since there is no voltage in the circuit of the resistor 5 every second half cycle of the power supply voltage, it is necessary to provide these resistors.
装置はまた部品106(図示せず)の内部を真空引きする
手段も有する。The device also has means for evacuating the interior of component 106 (not shown).
第24図に示す装置の運転時には、陰極スポットは中空部
品106の内面に沿って移動してその内面の円形部分を浄
化する。電極100,101,102の帯域を通過すると、陰極ス
ポット電極103,104,105の帯域に入り、あるいはこれと
逆になり、それによって、浄化できる106の最大径を大
きくすることができる(更に大きな直径の部品を処理す
る必要のある場合、電極個数を増すとともに電源電圧の
周波数を低くする必要がある)。部品106の軸線に沿っ
て電極100,102,103,104,105およびスクリーン108を移動
させることによって、部品の全内面を均一に浄化するこ
とができる。During operation of the apparatus shown in FIG. 24, the cathode spot moves along the inner surface of the hollow part 106 to clean the circular portion of the inner surface. Passing through the zone of electrodes 100, 101, 102 enters the zone of cathode spot electrodes 103, 104, 105 and vice versa, thereby increasing the maximum diameter of 106 that can be purified (need to process larger diameter components). In some cases, it is necessary to increase the number of electrodes and lower the frequency of the power supply voltage). By moving the electrodes 100, 102, 103, 104, 105 and the screen 108 along the axis of the part 106, the entire inner surface of the part can be uniformly cleaned.
以上説明したように、本発明の部品処理方法およびその
装置によれば、部品のスケール除去、浄化、バリ取り、
および各種材料の気化およびコーティングの形成、各種
部品の加熱、溶接および切断、およびその他の種類の、
部品のアーク処理を真空内でアークを移動させて行う生
態学的に安全な生産工程がもたらされる。なお、可動の
電極または外部電界はアークを移動させるためには必要
でなく、このために装置が簡単になっている。As described above, according to the component processing method and the apparatus thereof of the present invention, scale removal, purification, deburring of components,
And vaporization of various materials and formation of coatings, heating of various parts, welding and cutting, and other types of
This results in an ecologically safe production process in which the arcing of parts is accomplished by moving the arc in a vacuum. Note that a movable electrode or external electric field is not required to move the arc, which simplifies the device.
上記の方法および装置によって浄化された部品は商業的
に十分良好な外観を有する。それらの耐食性は高く、か
つその部品に施されたコーティングの接着性は高い。The parts cleaned by the above method and apparatus have a commercially good enough appearance. Their corrosion resistance is high, and the coating applied to their parts is highly adhesive.
本発明によるアーク気化装置によれば、所望の方向にむ
けることができる金属プラズマの集中的流れを発生させ
ることができる。これらの装置は、金属および合金の気
化、強く展性のある構造用コーティングの形成、複雑な
構成の材料(酸化物、硝酸塩等)の層の沈着を、プラズ
マ化学直接合成反応を用いて行うのに使用できる。According to the arc vaporizer of the present invention, it is possible to generate a concentrated flow of metal plasma that can be directed in a desired direction. These devices perform the vaporization of metals and alloys, the formation of strong and malleable structural coatings, the deposition of layers of complex materials (oxides, nitrates, etc.) using plasma-chemical direct synthesis reactions. Can be used for
本発明の真空内各種部品の溶接によれば、被溶接部品の
縁部を予備的に浄化し、溶融金属の媒体との反応を除外
して、特にチタンおよびその合金等の活性金属の部品の
溶接において溶接した継ぎ目の品位を高くすることがで
きる。According to the welding of various parts in a vacuum of the present invention, the edges of the parts to be welded are preliminarily cleaned and the reaction with the medium of the molten metal is excluded, and particularly, for the parts of the active metal such as titanium and its alloys. In welding, the quality of the welded seam can be improved.
本発明の方法および装置は生産工程を地上および宇宙の
どちらにでも行うことを可能にするものであり、様々な
技術分野の有望な上級生産設備の開発のベースとして利
用できる。The method and apparatus of the present invention allow the production process to be carried out both on the ground and in space and can be used as a basis for the development of promising advanced production equipment in various technical fields.
第1図は本発明の、部品をアーク処理する方法の第1実
施例を実施する装置の概略図、 第2図は本発明の、部品をアーク処理する方法の第2実
施例の1つの例を実施する装置の概略図、 第3図は本発明の方法の第2実施例の別の例を実施する
装置を示し、 第4図は第3図の線IV−IVによる断面図、 第5図は本発明の、部品をアーク処理する方法の第3実
施例を実施する装置の概略図、 第6図は電極を切り替えることによって部品に沿ってア
ーク電極スポットを確実に移動させる段階を実施する装
置の概略図、 第7図は第6図の線VII−VIIによる断面図、 第8図は本発明による、細長い部品をアーク処理(浄
化)する装置の概略図、 第9図は第8図の矢印A視図、 第10図は第8図の矢印B視図、 第11図は本発明による、圧延条帯品アーク処理(浄化)
用装置の概略図、 第12図は第11図に示す装置の電極装置の構成を示す、 第13図は第12図の矢印C視図、 第14図は本発明による、圧延条帯品アーク処理(浄化)
用装置の概略図、 第15図は第14図に示す装置の電極装置の構成を示す、 第16図は第15図に示す電極装置の矢印D視図、 第17図は本発明の非密閉構造の細長い消耗陰極によるア
ーク気化用装置の概略図、 第18図はエンドレス消耗陰極を有するアーク気化装置を
示し、 第19図は細長い部品の外面にコーティングを施すアーク
気化装置を示し、 第20図は第19図の線XX−XXによる断面図、 第21図は本発明による、可動アークで真空溶接および切
断を行う装置の概略図、 第22図は第21図の線XX II−XX IIによる断面図、 第23図は本発明による中空部品(パイプ)の内面をアー
ク処理(浄化)する装置の概略図、及び 第24図は第23図の線XX IV−XX IVによる断面図である。 (符号の説明) 1……部品、2……電極、 3……電源、4……点弧電極、 5……抵抗、6……安定抵抗、 7,8……給電部材、9,10……給電部材、 11,12,13……スクリーン、 14……部品、 15……電極(真空室ケーシング)、 16……電極、17……部品、 18,19,20……給電部材、21……給電部材スイッチ、 22……部品、23……電極、 24……スクリーン、25……スクリーン孔、 26……被処理部品、27……機構、 28,28′……スクリーン、29,30,31……電極、 32,33,34,35……給電部材、 36,37……被冷却電極、 38,39……スクリーン。FIG. 1 is a schematic view of an apparatus for carrying out a first embodiment of a method for arcing a component according to the present invention, and FIG. 2 is an example of a second embodiment of a method for arcing a component according to the present invention. FIG. 3 shows an apparatus for carrying out another example of the second embodiment of the method according to the invention, FIG. 4 shows a sectional view according to line IV-IV in FIG. 3, FIG. FIG. 1 is a schematic view of an apparatus for carrying out a third embodiment of a method for arcing a part of the present invention, and FIG. 6 is a step for reliably moving an arc electrode spot along a part by switching electrodes. FIG. 7 is a schematic view of the apparatus, FIG. 7 is a sectional view taken along line VII-VII of FIG. 6, FIG. 8 is a schematic view of an apparatus for arcing (cleaning) an elongated component according to the present invention, and FIG. 9 is FIG. FIG. 10 is an arrow A view, FIG. 10 is an arrow B view of FIG. 8, and FIG. 11 is a rolling strip arc treatment according to the present invention. Purification)
12 is a schematic view of the apparatus for use in the present invention, FIG. 12 shows the structure of the electrode device of the apparatus shown in FIG. 11, FIG. 13 is a view on arrow C of FIG. 12, and FIG. Processing (purification)
15 is a schematic view of the electrode device, FIG. 15 shows the structure of the electrode device of the device shown in FIG. 14, FIG. 16 is a view of the electrode device shown in FIG. FIG. 18 is a schematic view of a device for arc vaporization using an elongated consumable cathode having a structure, FIG. 18 shows an arc vaporizer having an endless consumable cathode, FIG. 19 shows an arc vaporizer for coating the outer surface of an elongated component, and FIG. FIG. 21 is a sectional view taken along line XX-XX in FIG. 19, FIG. 21 is a schematic view of an apparatus for performing vacuum welding and cutting with a movable arc according to the present invention, and FIG. 22 is taken along line XX II-XX II in FIG. FIG. 23 is a cross-sectional view, FIG. 23 is a schematic view of an apparatus for arcing (cleaning) the inner surface of a hollow component (pipe) according to the present invention, and FIG. 24 is a cross-sectional view taken along the line XX IV-XX IV in FIG. (Explanation of symbols) 1 ... part, 2 ... electrode, 3 ... power supply, 4 ... ignition electrode, 5 ... resistor, 6 ... stable resistance, 7,8 ... feeding member, 9,10 ... … Power supply member, 11,12,13 …… Screen, 14 …… Component, 15 …… Electrode (vacuum chamber casing), 16 …… Electrode, 17 …… Component, 18,19,20 …… Power supply component, 21… … Feeding member switch, 22 …… parts, 23 …… electrodes, 24 …… screen, 25 …… screen hole, 26 …… processed parts, 27 …… mechanism, 28,28 ′ …… screen, 29,30, 31 …… electrode, 32,33,34,35 …… feeding member, 36,37 …… cooled electrode, 38,39 …… screen.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 モイセイ ハイモビチ エステルリス ソビエト連邦,タシケント,マシフ ユヌ ス‐アバド,クバルタル 11,7,クバル チーラ 74 (72)発明者 ユリイ バレンチノビチ ホロシヒン ソビエト連邦,タシケント,プロスペクト コスモナフトフ,6,クバルチーラ 5 (72)発明者 フラディミール ニコラエビチ アルスタ モフ ソビエト連邦,タシケント,テーエス- 1,33,クバルチーラ 34 (72)発明者 エマヌエル イサハロビチ アミノフ ソビエト連邦,タシケント,ウリツァ 1 サペルナヤ,23 (72)発明者 アルベルト エフゲニエビチ アスタフィ エフ ソビエト連邦,タシケント,マシフフィソ コボルトニイ,129,クバルチーラ 41 (72)発明者 イバン フィリポビチ ドゥボルザーク ソビエト連邦,クラマトルスク,ウリツァ シコルナヤ,12,クバルチーラ 115 (72)発明者 バレリー ニコラエビチ カザコフ ソビエト連邦,タシケント,マシフ ユヌ ス‐アバド,クバルタル 7,7,クバル チーラ 27 (72)発明者 アレクサンダー アナトリエビチ ソコロ フ ソビエト連邦,タシケント,マシフ ユヌ ス‐アバド,クバルタル 2,13,クバル チーラ 1 (72)発明者 ルスタム マドライモビチ タングリベル ゲノフ ソビエト連邦,タシケント,ウリツァ ム ミノバ,1/4,クバルチーラ 11 (72)発明者 エフゲニイ ニコラエビチ トカレフ ソビエト連邦,タシケント,マシフセベロ ボストク 2,ウリツァ カディロバ, 13,クバルチーラ 49 (72)発明者 フラディミール エメリアノビチ ブラト ソビエト連邦,タシケント,ウリツァ ア ビドボイ,127,クバルチーラ 38 (72)発明者 アレクセイ イバノビチ ベロボロドフ ソビエト連邦,イゼフスク,ウリツァ パ ストゥホバ,88,クバルチーラ 37 (72)発明者 ジェナディ フィリポビチ プリス ソビエト連邦,クラマトルスク,ウリツァ エヌ.クルチェンコ,7,クバルチーラ 79 (72)発明者 ユリイ モイセエビチ ツアイ ソビエト連邦,タシケント,ウリツァ ノ ボモスコフスカヤ,21アー,クバルチーラ 115 (72)発明者 パベル フェリクソビチ キルソン ソビエト連邦,タシケント,チランザル, クバルタル 3,4,クバルチーラ 7 (72)発明者 ドゥシャン ドゥラグティノビチ グルイ チ ソビエト連邦,タシケント,マシフ ユヌ ス‐アバド,クバルタル 6,22,クバル チーラ 23 (72)発明者 エフゲニイ ウシェロビチ ゲルショビチ ソビエト連邦,クラマトルスク,ウリツァ パルコバヤ,10,クバルチーラ 47 (72)発明者 グリゴリイ ルビモビチ ヘイフェツ ソビエト連邦,クラマトルスク,ウリツァ ルナチャルスコゴ,8,クバルチーラ 20 (72)発明者 レオンテイ ニコラエビチ ドゥミトロフ ソビエト連邦,ペルムスカヤ オブラス ト,ニトゥバ,ウリツァ レニナ,12,ク バルチーラ 5 (72)発明者 セルゲイ フラディミロビチ ナシャティ レフ ソビエト連邦,トゥーラ,ウリツァ クツ ゾバ,44/2,クバルチーラ 69 (72)発明者 イバン ペトロビチ ベロブロフ ソビエト連邦,クラマトルスク,ウリツァ サドバヤ ボルシャヤ,60,クバルチー ラ 4 (72)発明者 ユリイ ミハイロビチ マルツェフ ソビエト連邦,ボルゴドンスク,プロスペ クト クルチャトバ,27/1,クバルチー ラ 193 (72)発明者 アスカル フラディミロビチ アブドゥロ フ ソビエト連邦,タシケント,テーエス- 4,31,クバルチーラ 19 (72)発明者 アブドゥカイ イサエビチ ユヌソフ ソビエト連邦,タシケント,ウリツァ ア ズィアツカヤ,5/7 (72)発明者 スベトゥラナ フヤチェスラボフナ ピチ コ ソビエト連邦,タシケント,ウリツァ カ ディロバ,25,クバルチーラ 58 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Moisei Haimoviti Esteris Soviet Union, Tashkent, Massif Yunus-Abad, Kbaltar 11,7, Kbalchiera 74 (72) Inventor Yuri Valentinovic Holoshhin Soviet Union, Tashkent, Prospect Cosmonaphtov, 6, Kvartilla 5 (72) Inventor Hradimir Nikolaevich Arsta Moff Soviet Union, Tashkent, Tees-1,33, Kvartilla 34 (72) Inventor Emanuel Isahalovic Aminof Soviet Union, Tashkent, Uritsa 1 Sapernaya, 23 Person Albert Evgenyevich Astafiev Soviet Union, Tashkent, Massiffiso Koboltni , 129, Kvartilla 41 (72) Inventor Ivan Filipovich Dubolzak Soviet Union, Kramatorsk, Ulyza Sikornaya, 12, Kvartilla 115 (72) Inventor Valery Nikolaevich Kazakov Soviet Union, Tashkent, Masif Yunus-Abad, 7 Kbaltal Chira 27 (72) Inventor Alexander Anatolyevich Sokolov Soviet Union, Tashkent, Massif Yunus-Abad, Kbaltar 2,13, Kbal Thira 1 (72) Inventor Rustam Madryimovic Tangli Bergenov Soviet Union, Tashkent, Urizam Minor 4, Kvartilla 11 (72) Inventor Evgenii Nikolaevich Tokarev Soviet Union, Tashkent, Masif Severo Bostok 2, Ulitsa Kadirova, 13, Kvartilla 49 (72) Inventor Fradymir E Ryanovich Brato Soviet Union, Tashkent, Uritsa Abidboi, 127, Kvarchira 38 (72) Inventor Alexei Ivanovich Veloborodov Soviet Union, Izevsk, Ulyza Pastujova, 88, Kbaruchila 37 (72) Inventor Jenadi Filipovich Priusvic N. Kurchenko, 7, Kubaruchila 79 (72) Inventor Yuri Moiseevich Zui Soviet Union, Tashkent, Ulitsa Novomoskovskaya, 21 Ar, Kvartilla 115 (72) Inventor Pavel Felixovich Kirson Soviet Union, Tashkent, Chiranzar, Kbaltal 3, 4, Kbaltala 3, (72) Inventor Dushan Duragtinovich Gulych Soviet Union, Tashkent, Massif Yunus-Abad, Kbaltar 6,22, Kbalchiera 23 (72) Inventor Evgeny Usherovich Gelsovich Soviet Union, Kramatorsk, Uritsaparkobala, 10 47 (72) Inventor Grigori Irubimovich Heifetz Soviet Union, Kramatorsk, Uritsa Lunacharskogo, 8, Kvartilla 20 (72) Inventor Leonty Nikolaevich Dmitrov Uto, Permuskaya Oblast, Nituba, Uritsa Renina, 12, Kvartilla 5 (72) Inventor Sergei Hrady Milovich Nashaty Lev Soviet Union, Tula, Ulitza Kutzova, 44/2, Kvartilla 69 (72) Inventor Ivan Petrovich Velovrov Soviet Union, Kramatrsk, Ulitsa Sadobaya Borshaya, 60, Kvartilla 4 (72) Inventor Yuri Mikhailovich Martsev Soviet Union, Borgodonsk, Prospect Kurchatova, 27/1, Kvartilla 193 (72) Inventor Askar Hradidi Milovich Abichov Tashkent, TS-4,31, Kvartilla 19 (72) Inventor Abdukhai Isaevich Yunusov Soviet Union, Tashkent, Ulitsa Aziaskaya, 5/7 (72) Inventor Svetlana Fyachi Surabofuna Pichi co-Soviet Union, Tashkent, Uritsua mosquitoes Diroba, 25, Kubaruchira 58
Claims (21)
(2)とを電源(3)に接続し、被処理部品(1)と少
なくとも1つの電極(2)との間に、大気圧以下の媒体
圧力の下でアーク放電させ、少なくとも陰極に沿って移
動するプラズマを発生させる部品のアーク処理方法にお
いて、 上記工程を10Pa以下の媒体圧力の下で実施し、アーク放
電をアークの電圧電流特性の垂下部分のモードで行い、
垂下する外部電圧電流特性をもった電源(3)を使用し
てゼロに等しいかあるいはゼロに近い電界の電位差を、
被処理部品(1)の少なくとも処理帯域の表面若しくは
少なくとも1つの電極(2)の作用面に発生させ、そし
てアーク・プラズマの移動部域を部品の処理帯域及び上
記電極面若しくは一方に限定するようにしたことを特徴
とする部品のアーク処理方法。1. A part to be processed (1) and at least one electrode (2) are connected to a power source (3), and atmospheric pressure is applied between the part to be processed (1) and at least one electrode (2). In the arc treatment method of the parts which arc discharge under the following medium pressure and generate plasma moving at least along the cathode, the above steps are carried out under the medium pressure of 10 Pa or less, and the arc discharge is performed by the arc voltage current. Perform in the mode of the drooping part of the characteristic,
Using a power supply (3) with a drooping external voltage-current characteristic, the potential difference of the electric field equal to or close to zero is
To be generated on the surface of at least the treatment zone of the component (1) to be treated or on the working surface of at least one electrode (2), and to limit the moving area of the arc plasma to the treatment zone of the component and / or the electrode surface. Arc processing method for parts, characterized in that
電極(16)とを電源(3)に接続し、被処理部品(14,1
7)と少なくとも1つの電極(16)との間に、大気圧以
下の媒体圧力の下でアーク放電させ、少なくとも陰極に
沿って移動するプラズマを発生させる部品のアーク処理
方法おいて、 上記工程を10Pa以下の媒体圧力の下で実施し、アーク放
電をアークの電圧電流特性の垂下部分のモードで行い、
垂下する外部電圧電流特性をもった電源(3)を使用し
てゼロ以外の電界の電位差を、被処理部品(14)の少な
くとも処理帯域の表面及び少なくとも1つの電極(16)
の作用面に発生させ、そしてアーク・プラズマの移動部
域を部品(14)の処理帯域び上記電極(16)の表面若し
くは一方に限定するようにしたことを特徴とする部品の
アーク処理方法。2. The parts to be processed (14,1) are connected to a power source (3) to connect the parts (14,17) to be processed and at least one electrode (16).
In a method of arc treatment of a part, wherein arc discharge is performed under a medium pressure below atmospheric pressure between 7) and at least one electrode (16) to generate plasma moving at least along the cathode, It is carried out under a medium pressure of 10 Pa or less, and the arc discharge is performed in the mode of the drooping part of the voltage-current characteristic of the arc.
A power source (3) having a drooping external voltage-current characteristic is used to generate a potential difference of an electric field other than zero, at least the surface of the treated zone of the component (14) and at least one electrode (16).
The arc treatment method for the part, wherein the moving part of the arc / plasma is limited to the treatment zone of the part (14) and the surface of the electrode (16) or one of them.
離れた部品(14)及び電極(16)若しくは一方の部分へ
給電することによって電界の電位差を発生させ、電界の
最高及び最低電位若しくは一方の部域を、部品(14)及
び電極(16)若しくは一方の上の給電帯域の位置を変え
ることによって移動させる請求項2に記載の方法。3. A potential difference of an electric field is generated by feeding power to a part (14) and an electrode (16) or one part away from a zone where an electrode spot of an arc is located, and a maximum and minimum potential of the electric field or one of Method according to claim 2, wherein the area is moved by changing the position of the feed band on the component (14) and / or the electrode (16).
16)に対して移動させるか、若しくは少なくとも1つの
電極(2,16)を部品(1,17)に対して移動させる請求項
1又は2に記載の方法。4. A component (1, 17) comprising at least one electrode (2,
Method according to claim 1 or 2, wherein it is moved with respect to 16) or at least one electrode (2,16) is moved with respect to the component (1,17).
電極(16,23,29,30,31)とを電源(3)に接続し、被処
理部品(17,22)と少なくとも1つの電極(16,23,29,3
0,31)との間に、大気圧以下の媒体圧力の下でアーク放
電して、少なくとも陰極に沿って移動するプラズマを発
生させる部品のアーク処理方法において、 上記工程を10Pa以下の媒体圧力の下で実施し、アーク放
電をアークの電圧電流特性の垂下部分のモードで行い、
垂下する外部電圧電流特性をもった電源(3)を使用し
て被処理部品(17,22)と少なくとも1つの電極(16,2
3,29,30,31)との間の空間におけるアーク放電部域を圧
縮するか、若しくはそ空間に部分的に限定し、このアー
ク放電部域を所定プログラムに従って部品(17,22)に
対して移動させ、(17,22)部品をそのアーク放電部域
に対して移動させるようにしたことを特徴とする部品の
アーク処理方法。5. A component (17,22) to be treated and at least one electrode (16,23,29,30,31) are connected to a power source (3), and at least one component (17,22) is treated. One electrode (16,23,29,3
0,31) and arc discharge under a medium pressure of atmospheric pressure or less, to generate a plasma moving along at least the cathode in the arc treatment method of the component, the step of the medium pressure of 10Pa or less It is carried out under the following conditions, arc discharge is performed in the mode of the drooping part of the voltage-current characteristic of the arc,
Using a power supply (3) with a drooping external voltage-current characteristic, the processed part (17,22) and at least one electrode (16,2)
(3,29,30,31) The arc discharge area in the space between (3,29,30,31) is compressed or partially limited to that space And (17,22) parts are moved with respect to the arc discharge area thereof.
するときは、少なくとも片方の電極(29,30,31)の回路
において、予め設定されたプログラムに従って電極値を
下げるか、若しくは電流を遮断し、他方の電極(29,30,
31)の回路においては電流を変えないままにするか、若
しくは増大させる請求項1又は5に記載の方法。6. When using at least two electrodes (29,30,31), lower the electrode value according to a preset program in the circuit of at least one electrode (29,30,31), or Cuts off the current and the other electrode (29,30,
The method according to claim 1 or 5, wherein the current in the circuit according to 31) is left unchanged or increased.
に接続する請求項1,2又は5に記載の方法。7. A method according to claim 1, 2 or 5, wherein the parts to be treated (1, 14, 17, 22) are connected to the negative terminal of the power supply.
に取付けられかつ、片方の線が被処理部品(1,55,64)
に接続されている電源(3)の他方の線に、給電部材
(40,41,42,43,44,45)によって接続されている少なく
とも1つの電極(36,37,48,56,61,62)と、アーク励起
系統と有する部品のアーク処理装置において、 電源(3)に電気的に接続されていて、アーク発生の際
に、ゼロに等しいか若しくはゼロに近い電界の電位差
を、部品(1,55,64)の処理帯域の表面及び少なくとも
1つの電極(36,37,48,56,61,62)の作用面若しくは一
方において発生させる少なくとも1つの手段と、部品
(1,55,64)の処理帯域及び少なくとも1つの電極(36,
37,48,56,61,62)の作用若しくは一方へアーク放電プラ
ズマの移動を限定する手段とを有していることを特徴と
する部品のアーク処理装置。8. An arc processing device for parts, wherein one line is attached to a holder and one of the lines is a processed part (1,55,64).
At least one electrode (36,37,48,56,61, connected to the other line of the power source (3) connected to the power supply member (40,41,42,43,44,45) by 62) and an arc processing device of a component having an arc excitation system, which is electrically connected to a power source (3) and generates a potential difference of an electric field equal to or close to zero when the arc is generated. 1,55,64) treatment zone surface and at least one electrode (36,37,48,56,61,62) working surface or at least one means for generating, and a component (1,55,64) ) Processing zone and at least one electrode (36,
37, 48, 56, 61, 62) or a means for limiting the movement of arc discharge plasma to one side.
表面においてゼロに等しいか若しくはゼロに近い電界の
電位差をアーク発生の際に生じさせる上記手段は、処理
帯域と対称的に部品(1,55,64)に接続され、互いに電
気的に接続されまた電源(3)の線の片方に接続された
少なくとも2つの給電部材(7,8,7′,8′)で構成され
ている、請求項7に記載の装置。9. The means for producing a potential difference of an electric field, which is equal to or close to zero, at least on the surface of the treatment zone of the component (1,55,64) during the arcing, is symmetrical to the treatment zone. Composed of at least two feeding members (7,8,7 ', 8') connected to (1,55,64), electrically connected to each other and connected to one of the lines of the power supply (3) The device of claim 7, wherein
面においてゼロに等しか若しくはゼロに近い電位差をア
ーク発生の際に生じさせる上記手段は、部品(1)の処
理帯域若しくは電極(36,37)の作用面と対称的に電極
(36,37)に接続され、互いに電気的に接続され、ま
た、電源(3)の部品(1)の給電部材(7,8)が接続
している線とは反対側の線に接続された少なくとも2つ
の給電部材(40,41,42,43,44,45)で構成される請求項
8に記載の装置。10. The means for producing a potential difference at or near zero on the working surface of at least one electrode (36, 37) during arcing in the process zone of the component (1) or the electrode (36). , 37) are connected to the electrodes (36, 37) symmetrically to the working surface, electrically connected to each other, and the power supply members (7, 8) of the component (1) of the power source (3) are connected. 9. The device according to claim 8, comprising at least two feeding members (40, 41, 42, 43, 44, 45) connected to a line on the side opposite to the line.
るときは、それらが処理帯域と対称的に位置付けられて
いる請求項8に記載の装置。11. The device according to claim 8, wherein when at least two electrodes (36, 37) are provided, they are positioned symmetrically with respect to the treatment zone.
ける場合、それらが互いに他に対して移動自在に取付け
られ、処理帯域の幅を制御する請求項8に記載の装置。12. A device according to claim 8, wherein if at least two electrodes (36, 37) are provided, they are mounted movably with respect to each other and control the width of the processing zone.
るときは、電極(48,56,61,62)を、互いに向き合った
面同士の傾斜角度を35゜〜85゜として少なくとも1対の
鏡面平行なプリズムの形としている請求項8に記載の装
置。13. When carrying out the arc treatment of a rolled product (55, 64), the electrodes (48, 56, 61, 62) are inclined at an angle of 35 ° to 85 ° between the surfaces facing each other and at least 1. 9. The device of claim 8 in the form of a pair of mirror-parallel prisms.
くとも1対の鏡面平行プリズムの形の電極(48)を圧延
品(55)の軸線と対称的にかつこの軸と平行に取付けら
れている請求項11又は13に記載の装置。14. When processing a rolled strip (55), at least one pair of electrodes (48) in the form of mirror-parallel prisms are mounted symmetrically to and parallel to the axis of the rolled strip (55). 14. A device according to claim 11 or 13 which is provided.
場合、それら電極を互いにに他に対して取付けて各アー
ク放電の処理帯域が少なくとも他の1つの放電の処理帯
域で覆われるようにした請求項8に記載の装置。15. If at least two electrodes (61) are used, they are attached to each other so that the treatment zone of each arc discharge is covered by the treatment zone of at least one other discharge. The device according to claim 8.
ダーに取付けた少なくとも2対の同一電極(61)が設け
られ、これらの電極が、圧延品(4)の被処理帯域の中
央を実質的に通って圧延品(4)の移動方向に対して直
角を成す平面(63)と対称的に対配置で設けられている
請求項13又は15に記載の装置。16. When processing a rolled strip (4), at least two pairs of identical electrodes (61) mounted on a holder are provided, these electrodes being located in the center of the zone to be processed of the rolled strip (4). 16. The device according to claim 13 or 15, which is arranged symmetrically with respect to a plane (63) which is substantially perpendicular to the direction of movement of the rolled product (4) through.
び少なくとも1つの電極(2,16,36,37,48,56,61,62,8
7)の作用面若しくは一方へアーク放電プラズマの移動
を限定する手段が、電気回路から絶縁され、部品(1,1
4,15,64,67,96)及び電極(2,16,36,37,48,56,61,62,8
7)若しくは一方から離して位置付けられ、部品(1,14,
15,64,67,96)の処理帯域外の部分及び電極(2,16,36,3
7,48,56,61,62,87)の非作用面を保護するスクリーン
(11,12,13,38,39,57,65,66,94,98)で形成され、少な
くとも、部品(1,14,15,64,67,96)の処理帯域及び電極
(2,16,36,37,48,56,61,62,87)の作用面若しくは一方
の直近のスクリーン(11,12,13,38,39,57,65,66,94,9
8)の部分が耐熱材料で作られている若しくは確実に冷
却されるようにした請求項8に記載の装置。17. A treatment zone of components (1,14,15,64,67,96) and at least one electrode (2,16,36,37,48,56,61,62,8).
Means for limiting the movement of the arc discharge plasma to the working surface of (7) or one of them is isolated from the electrical circuit and
4,15,64,67,96) and electrodes (2,16,36,37,48,56,61,62,8)
7) Or positioned away from one of the parts (1,14,
15,64,67,96) outside the treatment zone and electrodes (2,16,36,3)
7,48,56,61,62,87) non-working surface protection screen (11,12,13,38,39,57,65,66,94,98), at least part (1 , 14,15,64,67,96) and the working surface of the electrodes (2,16,36,37,48,56,61,62,87) or the screen (11,12,13) closest to one of them. , 38,39,57,65,66,94,9
9. The device according to claim 8, wherein the part 8) is made of a heat-resistant material or is surely cooled.
リーン(57)が被処理条帯品(55)のどちらかの側にお
いて電極(48,56)の間に位置付けられている請求項13
又は14に記載の装置。18. A double-sided treatment of a strip (35), the screen (57) being positioned between the electrodes (48,56) on either side of the strip (55) to be treated. Claim 13
Or the apparatus according to 14.
クリーン(65,66)が電極(61,62)と被処理条帯品(6
4)の表面との間の空間に取付けられている請求項15又
は16に記載の装置。19. When processing a rolled strip (64), a screen (65, 66) is used for the electrode (61, 62) and the strip to be treated (6).
The device according to claim 15 or 16, which is mounted in a space between the surface of 4).
て、ホルダーに取付けられかつ、片方の線が少なくとも
1つの給電部材(32,107)によって被処理部品(17,22,
106)に接続されてる電源(3)若しくは多相交流変換
器(76)の他方の線に、少なくとも1つの給電部材(1
8,19,20,33,34,35,88,89,90,91,92,93)によって接続さ
れている少なくとも1つの電極(16,23,29,30,31,100,1
01,102,103,104,105)と、アーク励起系統と有する部品
のアーク処理装置において、 被処理部品(17,22,106)と少なくとも1つの電極(16,
23,29,30,31,100,101,102,103,104,105)との間の空間
におけるアーク放電部域を圧縮又は部分的に限定する手
段と、、部品と、上記の、アーク放電部域を圧縮または
部分的に限定する手段とを相対的に移動させる機構(2
7)とを有することを特徴とする部品のアーク処理装
置。20. A component (17,22,22) to be treated in a vacuum in an arc treatment device, wherein the component is attached to a holder and one wire of which is provided by at least one feeding member (32,107).
At least one feeding member (1) on the other line of the power source (3) or the polyphase AC converter (76) connected to the (106).
8,19,20,33,34,35,88,89,90,91,92,93) connected by at least one electrode (16,23,29,30,31,100,1)
01,102,103,104,105), and an arc treatment device for a component having an arc excitation system, the component to be treated (17,22,106) and at least one electrode (16,
23,29,30,31,100,101,102,103,104,105) means for compressing or partially limiting the arc discharge area in the space between, and parts, above, means for compressing or partially limiting the arc discharge area Mechanism for moving the
7) An arc treatment device for parts, characterized by having and.
空間におけるアーク放電の部域を圧縮する上記手段が、
電極(23)と部品(22)との間に位置付けられており、
又は被処理部品(22)の処理帯域(26)に対応して開口
(25)を有するスクリーン(24)で構成されている請求
項20に記載の装置。21. The means for compressing an area of arc discharge in a space between a component to be treated (22) and an electrode (23),
It is located between the electrode (23) and the component (22),
21. The device according to claim 20, further comprising a screen (24) having an opening (25) corresponding to the treatment zone (26) of the component (22) to be treated.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2221389A JPH0763689B2 (en) | 1990-08-24 | 1990-08-24 | Method and device for arc processing of parts |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2221389A JPH0763689B2 (en) | 1990-08-24 | 1990-08-24 | Method and device for arc processing of parts |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04110084A JPH04110084A (en) | 1992-04-10 |
| JPH0763689B2 true JPH0763689B2 (en) | 1995-07-12 |
Family
ID=16766009
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2221389A Expired - Lifetime JPH0763689B2 (en) | 1990-08-24 | 1990-08-24 | Method and device for arc processing of parts |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0763689B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6552469B2 (en) * | 2016-10-17 | 2019-07-31 | 福伸工業株式会社 | Plasma generation apparatus and method, and fine particle production apparatus and method using the same |
-
1990
- 1990-08-24 JP JP2221389A patent/JPH0763689B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04110084A (en) | 1992-04-10 |
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