JPH0767034B2

JPH0767034B2 - Parts mounting device

Info

Publication number: JPH0767034B2
Application number: JP62279607A
Authority: JP
Inventors: 正文中村
Original assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Current assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Priority date: 1987-11-05
Filing date: 1987-11-05
Publication date: 1995-07-19
Anticipated expiration: 2010-07-19
Also published as: JPH01120898A

Description

【発明の詳細な説明】（イ）産業上の利用分野本発明は、リードレス電子部品のような小型の部品を基
板に装着する装置に関する。The present invention relates to an apparatus for mounting a small component such as a leadless electronic component on a substrate.

（ロ）従来の技術リードレス電子部品の装着装置は、特開昭62−85490号
公報、特開昭62−114289号公報等にその例を見ることが
できる。ところで、一口にリードレス電子部品と言って
も様々で、通常のチップ状電子部品とIC（LSIを含む）
のベアチップとでは機械的性質も大きく異なり、同一の
装着動作を適用することはできない。そしてこれまでの
ところ、通常のチップ状電子部品に加え、ICのベアチッ
プまでも装着できる単一装置は提案されていない。(B) Prior Art Examples of leadless electronic component mounting devices can be found in JP-A-62-85490 and JP-A-62-114289. By the way, there are various kinds of leadless electronic components, such as ordinary chip-shaped electronic components and ICs (including LSI).
The mechanical properties of the bare chip are significantly different, and the same mounting operation cannot be applied. So far, no single device has been proposed which can mount bare chips of ICs in addition to ordinary chip-shaped electronic components.

（ハ）発明が解決しようとする課題本発明は、通常のチップ状部品とICのベアチップのよう
に、機械的性質の大きく異なる部品を共に装着対象とす
ることのできる部品装着装置を提供することを目的とす
る。更には、機械的性質のみならず、部品の質量も勘案
して装着モードを設定できる部品装着装置を提供するこ
とを目的とする。(C) Problem to be Solved by the Invention The present invention provides a component mounting apparatus capable of mounting both a chip-shaped component and a component having largely different mechanical properties such as an IC bare chip. With the goal. Further, it is an object of the present invention to provide a component mounting apparatus capable of setting a mounting mode in consideration of not only mechanical properties but also mass of components.

（ニ）課題を解決するための手段本発明装置では、部品供給ステーションと部品装着ステ
ーションを含む作業ステーション群を、移動装置に支持
された真空吸着装置が移動する。部品供給ステーション
には部品供給装置を配置し、部品装着ステーションには
基板支持装置を配置し、前記真空吸着手段は、部品供給
装置から基板支持装置へと、部品のピックアンドブレー
ス作業を行う。部品供給ステーションから部品装着ステ
ーションまで部品が移動する途中、保持された部品の保
持位置を規制する位置規制爪を設ける。移動装置の動力
源と位置規制爪の駆動源は各々別個の電動機であって、
制御装置により個別に動作速度を制御される。(D) Means for Solving the Problem In the device of the present invention, the vacuum suction device supported by the moving device moves through the work station group including the component supply station and the component mounting station. A component supply device is arranged in the component supply station, a substrate support device is arranged in the component mounting station, and the vacuum suction means performs pick and brace work of components from the component supply device to the substrate support device. Position control claws for restricting the holding position of the held component are provided during the movement of the component from the component supply station to the component mounting station. The power source of the moving device and the drive source of the position regulating pawl are separate electric motors,
The operating speed is individually controlled by the control device.

（ホ）作用衝撃に対し耐性を有する部品を取り扱う場合は、位置規
制爪を部品に向け急速に接近させる。位置規制爪が部品
に当るとき、部品は衝撃を受けるが、衝撃が過度にわた
らないようにすれば、特に問題なく、短い動作時間で位
置規制作業を進めて行くことができる。ICベアチップの
ような繊細な部品の場合には、位置規制爪をゆっくりと
部品に接近させ、また部品を吸着した真空吸着装置をゆ
っくりと基板に接近させ、静かに位置規制を行う。これ
により、動作時間は犠牲になるが、安全に位置規制作業
を遂行できる。また、同じく繊細な部品であっても、そ
の質量が小さく、急加速・急減速を行っても真空吸着装
置からずれる危険がないときには、移動速度を高速で動
かして作業時間を短縮する。質量が大きく、急加速・急
減速に耐えられない部品の場合には、位置規制爪の動作
速度のみならず、移動装置の速度も低下させ、すべてに
ゆっくりと動作を進行させる。(E) Action When handling parts that are resistant to impact, quickly position the position-regulating claws toward the parts. When the position-regulating claw hits the component, the component receives an impact, but if the impact is not excessively applied, the position-regulating work can proceed in a short operation time without any particular problem. In the case of a delicate component such as an IC bare chip, the position regulating claws are slowly moved closer to the component, and the vacuum suction device that has suctioned the component is slowly moved closer to the substrate to quietly regulate the position. As a result, the operation time is sacrificed, but the position regulation work can be safely performed. Also, even for delicate parts, when the mass is small and there is no danger of slipping from the vacuum suction device even when performing rapid acceleration / deceleration, the moving speed is moved at a high speed to shorten the working time. In the case of a part that has a large mass and cannot withstand sudden acceleration / deceleration, not only the operation speed of the position regulating pawl but also the speed of the moving device is reduced, and the operation is slowly advanced.

部品装着装置（10）を構成するユニットの平面的配置関
係を第２図に模型的に示す。そのユニットとは、装着ユ
ニット（11）、部品供給ユニット（12）、基板支持ユニ
ット（13）、基板ローディングユニット（14）、基板ア
ンローディングユニット（15）である。装着ユニット
（11）は、ロータリーインデックステーブル型の移動装
置の周縁に複数個の真空吸着装置を配置したものであ
る。部品供給ユニット（12）は、直線的に移動する支持
台（20）の上に複数個の部品供給装置（21）を並べ、こ
れらの部品供給装置（21）の中から所要の部品を貯蔵し
たものを選択できるようにしている。部品貯蔵手段とし
て使用するのはテープである。第４図に示す部品供給テ
ープ（22）がそれであって、図の構成では、プラスチッ
ク素材にエンボス加工を施すことにより一定ピッチで形
成した凹部（23）に部品（１）を１個づつ入れ、その上
をカバーテープ（24）で覆い、カバーテープ（24）を剥
ぎ取りながら部品供給テープ（22）を１ピッチづつ送っ
て、部品装着ユニット（11）に部品（１）を引き渡す。
基板支持ユニット（13）は基板（２）を位置決めして載
置する２次元移動テーブル型の基板支持装置（30）がそ
の主体をなす。基板ローディングユニット（14）は、基
板マガジン（図示せず）を内部でエレベータ状に昇降さ
せつつ、そこから基板（２）を１枚づつ押し出すローダ
（40）と、押し出された基板（２）をベルト（図示せ
ず）によって基板支持ユニット（13）のところまで運ぶ
ローディングブリッジ（41）からなる。基板アンローデ
ィングユニット（15）は、ベルト（図示せず）により基
板支持ユニット（13）のところから部品装着済の基板
（２）を運び去るアンローディングブリッジ（51）と、
内部でエレベータ状に昇降する基板マガジン（図示せ
ず）へ、アンローディングブリッジ（51）から基板
（２）をとり込むアンローダ（50）からなる。FIG. 2 schematically shows the planar arrangement relationship of the units constituting the component mounting device (10). The units are a mounting unit (11), a component supply unit (12), a substrate support unit (13), a substrate loading unit (14), and a substrate unloading unit (15). The mounting unit (11) is a rotary index table type moving device in which a plurality of vacuum suction devices are arranged around the periphery thereof. The component supply unit (12) has a plurality of component supply devices (21) arranged on a support (20) which moves linearly, and stores the required components from the component supply devices (21). I am able to choose one. A tape is used as the component storage means. This is the component supply tape (22) shown in FIG. 4, and in the configuration shown in the figure, the components (1) are individually inserted into the recesses (23) formed at a constant pitch by embossing the plastic material, The top of the cover is covered with a cover tape (24), the component supply tape (22) is fed one pitch at a time while the cover tape (24) is stripped off, and the component (1) is delivered to the component mounting unit (11).
The substrate supporting unit (13) is mainly composed of a two-dimensional moving table type substrate supporting device (30) for positioning and mounting the substrate (2). The substrate loading unit (14) lifts and lowers a substrate magazine (not shown) like an elevator inside the substrate magazine, and pushes out the substrates (2) one by one from the loader (40) and the pushed substrate (2). It consists of a loading bridge (41) which is carried by a belt (not shown) to the substrate support unit (13). The board unloading unit (15) includes an unloading bridge (51) for carrying away the board (2) on which the components are mounted from the board supporting unit (13) by a belt (not shown).
The unloader (50) takes in the substrate (2) from the unloading bridge (51) into a substrate magazine (not shown) that moves up and down like an elevator.

−装着ユニット− 装着ユニット（11）の主体をなすものは移動装置（60）
であるが、その構造は第３図及び第４図により良く理解
されるだろう。移動装置（60）はロータリーインデック
ステーブルの一種であり、一定方向に間歇回転を行な
う。移動装置（60）は上部回転体（61）と下部回転体
（62）を有し、これらはいずれも平面形状円形で、垂直
なインデックスシャフト（63）に固定されている。イン
デックスシャフト（63）は第１図に示すインデックス装
置（72）から垂下し、移動装置（60）の上に差し掛けら
れた支持デッキ（64）の軸受部（65）に下部を支えられ
ている。インデックスシャフト（63）の内部には、図示
しない真空源に連通する吸気路（66）が形設されてい
る。移動装置（60）は８分の１回転、すなわち45゜づつ
歩進回転するものであり、周囲には、第３図に示すよう
に、計８個所の作業ステーション（１）…（VIII）を配
している。そして作業ステーションの数に合わせ、下部
回転体（62）から、計８本のアーム（67）が等間隔で放
射状に突出している。アーム（67）は下部回転体（62）
の周面に垂直に取り付けたスライダ（68）に支持され、
垂直方向に移動可能である。スライダ（68）は、上部回
転体（61）との間に張り渡した引張コイルばね（69）に
より、上部回転体（61）に固定したストッパ（図示せ
ず）に当たるまで引き上げられている。スライダ（68）
は外向きにローラ（71）を突出させており、所定の作業
ステーションで昇降体がローラ（71）を押し、スライダ
（68）を降下させる。昇降体とその動作機構については
後述する。-Mounting unit-The main unit of the mounting unit (11) is the moving device (60).
However, its structure will be better understood by referring to FIGS. The moving device (60) is a kind of rotary index table, and intermittently rotates in a fixed direction. The moving device (60) has an upper rotating body (61) and a lower rotating body (62), both of which are circular in plan shape and fixed to a vertical index shaft (63). The index shaft (63) hangs from the index device (72) shown in FIG. 1 and is supported at its lower part by the bearing portion (65) of the support deck (64) mounted on the moving device (60). . An intake passage (66) communicating with a vacuum source (not shown) is formed inside the index shaft (63). The moving device (60) is one-eighth rotation, that is, it rotates in steps of 45 °, and as shown in FIG. 3, there are eight work stations (1) ... (VIII) in the surroundings. It is arranged. Then, a total of eight arms (67) radially project from the lower rotary body (62) at equal intervals in accordance with the number of work stations. Arm (67) is lower rotating body (62)
Supported by a slider (68) mounted perpendicular to the peripheral surface of
It can move vertically. The slider (68) is pulled up by a tension coil spring (69) stretched between the slider (68) and the upper rotary body (61) until it hits a stopper (not shown) fixed to the upper rotary body (61). Slider (68)
Has a roller (71) protruding outward, and an elevating body pushes the roller (71) at a predetermined work station to lower the slider (68). The lifting body and its operating mechanism will be described later.

−真空吸着装置− アーム（67）が支持する部材、及びアーム（67）自身か
らなる構造体を、真空吸着装置（80）と総称する。真空
吸着装置（80）の詳細構造は次のようになっている。
（81）はアーム（67）の先端に支持されたタレットであ
る。タレット（81）は円筒形をしていて、アーム（67）
の先端に外側から嵌合し、アーム（67）の軸線まわり
に、すなわち水平軸まわりに、回転可能である。タレッ
ト（81）の、外向きの端面には従動ギヤ（82）が固設さ
れる。タレット（81）の周面からは、寸法・形状におい
て規格の異なる４種類のノズル（83）（84）（85）（8
6）が90゜間隔で放射状に突出している。各ノズルはい
ずれもタレット（81）の中心方向に退避可能であり、圧
縮コイルばね（87）により突出位置に押し出されてい
る。アーム（67）の中心は吸気路（88）となっている。
この吸気路（88）は、ノズル（83）（84）（85）（86）
の内、真下に来たものとのみ、連通孔（89）を介して連
通する。（90）は吸気路（88）の端を塞ぐねじ栓で、タ
レット（81）の抜け止めとしての役割も果たす。—Vacuum Adsorption Device— A structure supported by a member supported by the arm (67) and the arm (67) itself is collectively referred to as a vacuum adsorption device (80). The detailed structure of the vacuum suction device (80) is as follows.
(81) is a turret supported at the tip of the arm (67). The turret (81) has a cylindrical shape and the arm (67)
It is fitted to the tip of the arm from the outside and is rotatable about the axis of the arm (67), that is, about the horizontal axis. A driven gear (82) is fixedly mounted on the outward end surface of the turret (81). From the peripheral surface of the turret (81), four types of nozzles (83) (84) (85) (8
6) are protruding radially at 90 ° intervals. Each of the nozzles can be retracted toward the center of the turret (81), and is pushed to the projecting position by the compression coil spring (87). The center of the arm (67) is the intake passage (88).
This intake passage (88) is provided with nozzles (83) (84) (85) (86)
Among them, only the one that comes directly below communicates with each other through the communication hole (89). (90) is a screw plug that closes the end of the intake passage (88) and also serves as a retainer for the turret (81).

−真空切替バルブ− 上部回転体（61）は真空切替バルブ（100）を支持す
る。真空切替バルブ（100）はアーム（67）と同数設け
られており、吸気路（88）とホース（101）で接続す
る。真空切替バルブ（100）はホース（102）により吸気
路（66）に連結しており、吸気路（88）の吸引ON−OFF
制御するものである。真空切替バルブ（100）の開閉操
作は先端にローラを有するレバー形アクチュエータ（10
3）によって行なう。すなわちアクチュエータ（103）を
押し下げた時がバルブ開、そうでない時がバルブ閉であ
る。アクチュエータ（103）の制御は、作業ステーショ
ン（Ｉ）においてはエアシリンダ（104）によって上下
する押圧子（105）により、作業ステーション（Ｖ）及
び（VI）においてはエアシリンダ（106）によって上下
する押圧子（107）により、その間の作業ステーション
（II）（III）（IV）においては軸受部（65）に固定し
た押圧板（108）により、それぞれ行なう。押圧板（10
8）はエアシリンダ（104）（106）の支持部材を兼ね、
また押圧子（105）（107）は降下した時その下面が押圧
板（108）の下面にほぼ連続する平面を構成するように
なっている。各バルブ（100）がその属するアーム（6
7）に対し遅れ位置に配されているので、押圧子（105）
（107）もその属する作業ステーションより偏位した位
置にある。-Vacuum switching valve-The upper rotary body (61) supports the vacuum switching valve (100). The vacuum switching valves (100) are provided in the same number as the arms (67), and are connected to the intake passage (88) by the hose (101). The vacuum switching valve (100) is connected to the intake passage (66) by the hose (102), and suction ON-OFF of the intake passage (88).
To control. The vacuum switching valve (100) is opened and closed by lever type actuator (10
3) That is, when the actuator (103) is pushed down, the valve is open, and when not, the valve is closed. The actuator (103) is controlled by a pusher (105) that moves up and down by an air cylinder (104) in the work station (I), and a pressure that moves up and down by an air cylinder (106) in the work stations (V) and (VI). The work is performed by the child (107) and the work stations (II), (III) and (IV) between them by the pressing plate (108) fixed to the bearing portion (65). Pressing plate (10
8) also serves as a support member for the air cylinders (104) (106),
Further, when the pushers (105) (107) are lowered, their lower surfaces form a plane substantially continuous with the lower surface of the pressing plate (108). Each valve (100) has its own arm (6
Since it is placed behind the 7), the pusher (105)
(107) is also offset from the work station to which it belongs.

−作業ステーション− 上述のように構成された装着ユニット（11）は、その保
有する真空吸着装置（80）を、各々円形の軌道を描かせ
つつ、作業ステーションから作業ステーションへと間歇
的に移動させる。（Ｉ）から（VIII）までの作業ステー
ションには、真空吸着装置（70）に対し格別の作業を行
なわない遊びステーションを交えつつも、各種装置を配
置する。以下、各作業ステーションに配置される装置に
ついて説明する。なおここで、いくつかの作業ステーシ
ョンには、その作業ステーションで行なわれる作業内容
を表象する、特別の名称をつける。すなわち作業ステー
ション（Ｉ）は部品供給ステーションと、作業ステーシ
ョン（II）は部品位置規正ステーションと、作業ステー
ション（IV）は部品認識ステーションと、作業ステーシ
ョン（Ｖ）は部品装着ステーションと、作業ステーショ
ン（VI）は部品投棄ステーションと、作業ステーション
（VII）はノズル選択ステーションと、それぞれ命名す
る。他の作業ステーション（III）（VIII）は遊びステ
ーションとなる。-Work Station-The mounting unit (11) configured as described above intermittently moves the vacuum suction device (80) held therein from the work station to the work station while drawing a circular orbit. . In the work stations (I) to (VIII), various devices are arranged while interposing a play station in which special work is not performed on the vacuum suction device (70). The devices arranged in each work station will be described below. Note that, here, some work stations are given special names that represent the contents of work performed at the work stations. That is, the work station (I) is a parts supply station, the work station (II) is a parts position adjusting station, the work station (IV) is a parts recognition station, the work station (V) is a parts mounting station, and the work station (VI). ) Is the parts disposal station, and the work station (VII) is the nozzle selection station. The other work stations (III) and (VIII) are play stations.

部品供給ステーション（Ｉ）、部品位置規正ステーショ
ン（II）、部品認識ステーション（IV）、部品装着ステ
ーション（Ｖ）には第４図に示すような昇降体（110）
を置く。昇降体（110）は支持デッキ（64）の軸受部（1
11）に支持されたロッド状部材で、下端にはスライダ
（68）のローラ（71）に対向する押圧ヘッド（112）を
固定しており、後述するカム装置により上下せしめられ
る。The component supply station (I), the component position regulation station (II), the component recognition station (IV), and the component mounting station (V) have a lifting body (110) as shown in FIG.
Put. The lifting body (110) is attached to the bearing part (1
The pressing head (112) facing the roller (71) of the slider (68) is fixed to the lower end of the rod-shaped member supported by 11), and is vertically moved by a cam device described later.

−部品供給ステーション− 部品供給ステーション（Ｉ）は、「全体的構成」の項で
述べた部品供給ユニット（12）がこれを占拠する。-Parts supply station-The parts supply station (I) is occupied by the parts supply unit (12) described in the section "Overall configuration".

−部品位置規正ステーション− 部品位置規正ステーション（II）には部品位置規正装置
（120）（第１図）を配置する。部品位置規正装置（12
0）は、円盤状の回転台（121）と、これに点対称的に支
持された２対の位置規正爪（122）（各対は互に直交し
ており、図では１対のみ示す）とを主な構成要素とす
る。回転台（121）は周囲に三角形断面のエッジ（123）
を有し、これを図示しない支持構造体に取り付けた複数
個の支持ローラ（124）に係合させて、垂直軸まわりに
回転できるよう支持されている。（125）は回転台（12
1）を回転させるための電動機で、図示しないベルト
（タイミングベルト）により回転台（121）に連結す
る。位置規正爪（112）は回転台（121）に対し求心方向
及び遠心方向にスライド自在となっており、常時は引張
コイルばね（126）により求心方向に引き寄せられてい
る。位置規正爪（122）からは先端にローラ（128）を有
する脚部（127）が垂下する。（129）は向かい合うロー
ラ（128）の間に割り込む截頭円錐形のカムで、回転カ
ム（130）によって上下せしめられ、上昇時、位置規正
爪（122）の間隔を押し拡げる。（131）は回転カム（13
0）を駆動する電動機である。-Part position control station-A part position control device (120) (Fig. 1) is arranged in the part position control station (II). Parts position control device (12
0) is a disk-shaped turntable (121) and two pairs of position regulating claws (122) supported in a point-symmetrical manner on the turntable (each pair is orthogonal to each other, and only one pair is shown in the figure). And are the main components. The turntable (121) has a triangular cross-section edge (123) around it.
Is supported by being engaged with a plurality of support rollers (124) attached to a support structure (not shown) so as to be rotatable about a vertical axis. (125) is the turntable (12
It is an electric motor for rotating 1) and is connected to the rotary base (121) by a belt (timing belt) not shown. The position adjusting claw (112) is slidable in the centripetal direction and the centrifugal direction with respect to the rotary table (121), and is normally attracted in the centripetal direction by a tension coil spring (126). A leg portion (127) having a roller (128) at the tip thereof hangs down from the position regulating claw (122). Reference numeral (129) is a frusto-conical cam that cuts between the rollers (128) facing each other, and is vertically moved by the rotating cam (130) so as to widen the space between the position regulating claws (122) when ascending. (131) is the rotating cam (13
It is an electric motor that drives 0).

−部品認識ステーション− 部品認識ステーション（IV）には部品認識装置（140）
（第１図）を配置する。部品認識装置（140）は、視覚
センサ（141）と、視覚センサ支持装置（142）とを主な
構成要素とする。視覚センサ支持装置（142）は回転台
（121）と同様のつくりの回転台（143）をベースとし、
これにエレベータ（144）を取り付けたものである。回
転台（143）は、図示しないベルト（タイミングベル
ト）を介して、電動機（145）により回転せしめられ
る。エレベータ（144）は、回転台（143）に装着した電
動機（146）がねじ軸（147）を回転させることにより、
ねじ作用で上下する。而して視覚センサ（141）は次の
ように構成される。すなわち第10図に示すように、２個
のラインセンサ（148）（149）をその配置方向が直交す
るように置き、これらのラインセンサ（148）（149）に
向かい合う形で照射ユニット（150）（151）を配置し
て、四画な枠組をつくる。ラインセンサ（148）（149）
は、受光窓（152）（153）の内側に、多数の受光素子を
水平方向に並べて配置している。照射ユニット（150）
（151）は受光窓（152）（153）に向け幅広の平行光を
照射する。かかる平行光は、第11図に原理の概念を示す
ように、半導体レーザー（154）と、凹レンズ（155）及
び凸レンズ（156）の組み合わせによって得られるもの
である。-Parts recognition station-Parts recognition station (IV) has a parts recognition device (140)
(Fig. 1). The component recognition device (140) mainly includes a visual sensor (141) and a visual sensor support device (142). The visual sensor support device (142) is based on a turntable (143) made similarly to the turntable (121),
The elevator (144) is attached to this. The turntable (143) is rotated by the electric motor (145) via a belt (timing belt) not shown. In the elevator (144), the electric motor (146) mounted on the turntable (143) rotates the screw shaft (147),
It moves up and down by the screw action. The visual sensor (141) is constructed as follows. That is, as shown in FIG. 10, two line sensors (148) and (149) are placed so that their arrangement directions are orthogonal to each other, and the irradiation unit (150) faces these line sensors (148) and (149). Place (151) and make a four-framed framework. Line sensor (148) (149)
Has a large number of light-receiving elements arranged in the horizontal direction inside the light-receiving windows (152) (153). Irradiation unit (150)
(151) emits wide parallel light toward the light receiving windows (152) (153). Such parallel light is obtained by a combination of a semiconductor laser (154) and a concave lens (155) and a convex lens (156), as shown in the concept of the principle in FIG.

−部品装着ステーション− 部品装着ステーション（Ｖ）には、「全体的構成」の項
で述べた基板支持ユニット（13）を配置する。基板支持
装置（30）に支持された基板には、所定個所に接着剤ま
たは半田ペーストが塗られている。-Component mounting station-The substrate mounting unit (13) described in the section "Overall configuration" is arranged in the component mounting station (V). The substrate supported by the substrate supporting device (30) is coated with an adhesive or a solder paste at predetermined places.

−部品投棄ステーション− 部品投棄ステーション（VI）には真空吸着装置（80）か
ら落下した部品（１）を受け止める部品回収箱（160）
を配置する。-Parts disposal station-The parts disposal station (VI) receives the parts (1) dropped from the vacuum suction device (80) in the parts collection box (160).
To place.

−ノズル選択ステーション− ノズル選択ステーション（VII）には第６、第８図に示
すノズル選択装置（170）を配置する。ノズル選択装置
（170）は支持デッキ（64）に支持させたエレベータ（1
71）を主たる構成要素としている。エレベータ（171）
は垂直方向に摺動するスライダ（172）に取り付けられ
ており、図示しないカムの動きを伝えるレバー（173）
によって昇降動作を与えられる。エレベータ（171）の
下部にはセレクタギヤ（174）が、移動装置（60）の回
転中心を向く形で水平に軸支されている。セレクタギヤ
（174）はエレベータ（171）に支持された電動機（17
5）にベベルギヤ（176）（177）を介して連結し、エレ
ベータ（171）が降下するとタレット（81）の従動ギヤ
（82）にかみ合い、従動ギヤ（82）に電動機（175）の
回転を伝える。（177）はエレベータ（171）の降下の下
限を定めるストッパである。-Nozzle selection station-The nozzle selection station (VII) is provided with a nozzle selection device (170) shown in Figs. The nozzle selection device (170) is an elevator (1) supported by a support deck (64).
71) is the main component. The elevator (171)
Is attached to a slider (172) that slides vertically, and a lever (173) that transmits the movement of a cam (not shown).
Lifting motion is given by. A selector gear (174) is horizontally supported in the lower part of the elevator (171) so as to face the center of rotation of the moving device (60). The selector gear (174) is an electric motor (17) supported by the elevator (171).
5) Bevel gears (176) (177) are connected, and when the elevator (171) descends, it meshes with the driven gear (82) of the turret (81) and transmits the rotation of the electric motor (175) to the driven gear (82). . (177) is a stopper that determines the lower limit of the descent of the elevator (171).

アーム（67）の上面にはロックピン（180）を装着す
る。ロックピン（180）はアーム（67）に固定したホル
ダ（181）に、アーム（67）の軸線と平行にスライドで
きるよう保持され、タレット（81）の方へ圧縮コイルば
ね（182）で押されている。タレット（81）の端面に
は、ロックピン（180）の先端を受け入れる溝（183）
を、ノズル（83）（84）（85）（86）の背後に各１条づ
つ、計４条形設する。ロックピン（180）の後端にはＵ
字形のレバー受（184）を固定する。レバー受（184）は
支持デッキ（64）に支持されたベルクランク形レバー
（185）の一端を受け入れる。レバー（185）の他端はエ
レベータ（171）にコネクティングロッド（186）で連結
されている。A lock pin (180) is attached to the upper surface of the arm (67). The lock pin (180) is held by a holder (181) fixed to the arm (67) so that it can slide parallel to the axis of the arm (67) and is pushed toward the turret (81) by a compression coil spring (182). ing. Groove (183) that receives the tip of lock pin (180) on the end face of turret (81)
Are formed behind the nozzles (83) (84) (85) (86), one for each, for a total of four. U on the rear end of the lock pin (180)
Secure the L-shaped lever support (184). The lever receiver (184) receives one end of a bell crank type lever (185) supported by the support deck (64). The other end of the lever (185) is connected to the elevator (171) by a connecting rod (186).

−接近駆動装置− （190）は一群の回転カム（191）（192）（193）（19
4）と、これらを回転させる電動機（195）を含む接近駆
動装置である（第１図）。回転カム（191）（192）（19
3）（194）は部品供給ステーション（Ｉ）、部品位置規
正ステーション（II）、部品認識ステーション（IV）、
及び部品装着ステーション（Ｖ）に配置された昇降体
（110）を、直接的に、あるいはリンク、レバー等適当
な伝達手段を介して間設的に、昇降させるものである。-Approach drive device- (190) is a group of rotating cams (191) (192) (193) (19
4) and an approach drive device including an electric motor (195) for rotating them (Fig. 1). Rotating cam (191) (192) (19
3) (194) is a parts supply station (I), a parts position regulating station (II), a parts recognition station (IV),
In addition, the elevating body (110) arranged at the component mounting station (V) is elevated or lowered either directly or intermittently via an appropriate transmission means such as a link or a lever.

−制御装置− （200）（第１図）は、各種データの演算処理を含め、
装置全体の制御を司る制御装置である。基板支持装置
（30）駆動用のＸ軸電動機（31）、Ｙ軸電動機（32）、
インデックス装置（72）の駆動用電動機（73）を含め、
これまでに記述した電動機はすべて制御装置（200）に
より速度制御される。-Control device- (200) (Figure 1), including the arithmetic processing of various data,
A control device that controls the entire device. An X-axis electric motor (31) for driving the substrate supporting device (30), a Y-axis electric motor (32),
Including the electric motor (73) for driving the index device (72),
All the electric motors described so far are speed-controlled by the control device (200).

−全体的動作− 上記装置は次のように動作する。第１図は部品供給ステ
ーション（Ｉ）、部品位置規正ステーション（II）、部
品認識ステーション（IV）、部品装着ステーション
（Ｖ）、ならびに部品投棄ステーション（VI）において
真空吸着装置（80）に加えられる操作の状況を示す。部
品供給ステーション（Ｉ）に到着した真空吸着装置（8
0）は、図のケースでは、ノズル（83）を下に向けた状
態で停止する。到着時点では押圧子（105）は上昇位置
にあり、真空吸着装置（80）は吸引力を発生していな
い。ここで、昇降体（110）が降下してスライダ（68）
を押し下げ、ノズル（83）を部品（１）に押し付ける。
この時エアシリンダ（104）が制御装置（200）からの制
御信号によって押圧子（105）を降下させ、真空切替バ
ルブ（100）は開となり、ノズル（83）は部品（１）を
吸着する。部品（１）を吸着した真空吸着装置（80）は
昇降体（110）の上昇と共に上昇し、移動装置（60）の
間歇回転により、部品供給ステーション（Ｉ）から部品
位置規正ステーション（II）へと運ばれて行く。移動
中、真空切替バルブ（100）のアクチュエータ（103）は
押圧板（108）に押され続けており、部品（１）の吸着
は中断することがない。-Overall Operation- The above device operates as follows. FIG. 1 is added to the vacuum suction device (80) at the component supply station (I), the component position control station (II), the component recognition station (IV), the component mounting station (V), and the component dumping station (VI). Indicates the operation status. Vacuum suction device (8
0) stops in the case of the figure with the nozzle (83) facing downward. At the time of arrival, the pusher (105) is in the raised position, and the vacuum suction device (80) does not generate a suction force. Here, the lifting body (110) descends and the slider (68)
, And press the nozzle (83) against the part (1).
At this time, the air cylinder (104) lowers the pusher (105) by a control signal from the control device (200), the vacuum switching valve (100) is opened, and the nozzle (83) adsorbs the component (1). The vacuum suction device (80) that has sucked the component (1) rises as the lifting body (110) rises, and the intermittent movement of the moving device (60) causes the component supply station (I) to move to the component position regulating station (II). I will be carried. During the movement, the actuator (103) of the vacuum switching valve (100) is continuously pressed by the pressing plate (108), and the suction of the component (1) is not interrupted.

部品位置規正ステーション（II）では、１対の位置規制
爪（122）が、カム（129）により相互の間隔を押し拡げ
られた状態で待機している。このステーションに真空吸
着装置（80）が到着し、昇降体（110）により部品
（１）が方向調整爪（122）の間に入り込むところまで
降下せしめられると、カム（129）が下がって方向調整
爪（122）同士が接近し、部品（１）を側面から挾みつ
ける。このようにしてノズル（83）に対する部品（１）
のセンタリングを終えた後、制御装置（200）からの制
御信号に基き電動機（125）が回転台（121）を回転させ
て（あるいは回転させずして）、その部品に対する基板
上における指定配置角度に部品（１）の向きを合わせ
る。この場合、当然のことながら、部品装着ステーショ
ン（Ｖ）に到着した時点での部品（１）の角度が指定配
置角度に一致するよう、方向調整を行なう。方向調整完
了後、カム（129）が上昇して位置規制爪（122）を部品
（１）から離脱させ、真空吸着装置（80）は上昇する。
部品（１）が位置規制爪（122）の間から抜け出して行
った後、カム（129）が降下してローラ（128）から離
れ、電動機（125）は回転台（121）を待機位置の角度に
復帰させ、カム（129）が再び上昇して、次の部品
（１）に備えるべく方向調整爪（122）を押し開く。In the component position regulating station (II), the pair of position regulating claws (122) stand by with the cam (129) expanding the mutual space. When the vacuum suction device (80) arrives at this station and the elevator (110) lowers the component (1) into the space between the direction adjusting claws (122), the cam (129) lowers and the direction is adjusted. The claws (122) approach each other and pinch the component (1) from the side. In this way, the parts (1) for the nozzle (83)
After the centering of the motor is completed, the electric motor (125) rotates (or does not rotate) the rotary base (121) based on the control signal from the control device (200), and the specified arrangement angle on the board with respect to the component. Align the direction of part (1) with. In this case, as a matter of course, the direction is adjusted so that the angle of the component (1) when it arrives at the component mounting station (V) matches the designated arrangement angle. After the direction adjustment is completed, the cam (129) rises to disengage the position regulating claw (122) from the component (1), and the vacuum suction device (80) rises.
After the part (1) slips out from between the position regulating pawls (122), the cam (129) descends and separates from the roller (128), and the electric motor (125) moves the rotary base (121) to the standby position angle. Then, the cam (129) rises again and pushes the direction adjusting claw (122) open to prepare for the next part (1).

部品位置規正ステーション（II）を離れた真空吸着装置
（80）は、作業ステーション（III）を経て部品認識ス
テーション（IV）に到着し、昇降体（110）により一定
高さまで降下せしめられる。この場合、昇降体（110）
の昇降ストロークが定まっているから一定と言うのであ
って、真空吸着装置（80）の先端たるノズル端において
高さが一定になるようにするということではない。真空
吸着装置（80）の降下により、部品（１）は視覚センサ
（141）の部品認識領域のただ中に突入する。部品認識
領域、すなわち照射ユニット（150）がラインセンサ（1
48）に向け、照射ユニット（151）がラインセンサ（14
9）に向け、各々平行光を照射している領域に入り込ん
だ部品（１）は、第12図に示すように、ラインセンサ
（148）（149）に自己のシルエット（平行斜線で示す）
を投じる。視覚センサ（141）に対する、すなわちライ
ンセンサ（148）（149）に対するノズルの平面的位置関
係は一定不変のこととされているから、ラインセンサ
（148）（149）でシルエットの位置を計測すれば、ノズ
ル（83）に対する部品（１）の位置ずれ量を計測できる
ことになる。部品の種類によっては位置規正爪（122）
を完全な挾みつけに至る一歩手前で停止させなければな
らないものがあり、このようなものについて位置ずれ量
計測が有効となる。計測データは制御装置（200）に伝
えられる。なお、部品（１）のＸ、Y2方向の位置ずれ量
を正確に知るためには、部品（１）の直交する２辺の延
在方向と、ラインセンサ（148）（149）の配置方向と
が、一致している、言葉を変えれば平行であることが望
ましい。このため、視覚センサ（141）は予め部品
（１）の向きに自己の向きを一致させて待機している。
すなわち、部品位置規正ステーション（II）で部品
（１）の角度をどのように設定したかにより、それに応
じた方向制御指令が制御装置（200）から電動機（145）
に与えられ、電動機（145）は視覚センサ支持装置（14
2）を所定角度回転させる。視覚センサ（141）の方向変
更範囲は90゜あれば十分で、特にそれ以上大きくとる必
要はない。このようにして、ラインセンサ（148）（14
9）を部品（１）の辺と平行に置いた状態で計測した結
果は制御装置（200）に伝えられ、これに基き制御装置
（200）は、基板支持装置（30）の移動量をどのように
補正したら良いかを演算する。計測完了後、真空吸着装
置（80）は上昇し、視覚センサ（141）は、次に到来す
る部品（１）に備えてそれに応わしい方向を向く。エレ
ベータ（144）の高さ調節も必要に応じて行なわれる。The vacuum suction device (80) leaving the part position regulating station (II) arrives at the part recognition station (IV) via the work station (III) and is lowered to a certain height by the elevating body (110). In this case, the lifting body (110)
Since the lifting stroke is fixed, it does not mean that the height is constant at the nozzle end, which is the tip of the vacuum suction device (80). As the vacuum suction device (80) descends, the component (1) plunges into the middle of the component recognition area of the visual sensor (141). The part recognition area, that is, the irradiation unit (150) is the line sensor (1
The irradiation unit (151) faces the line sensor (14).
As shown in FIG. 12, the part (1) that has entered the areas radiating parallel light toward 9) has its own silhouette on the line sensors (148) and (149) (shown by parallel diagonal lines).
Throw. Since the planar positional relationship of the nozzle with respect to the visual sensor (141), that is, with respect to the line sensors (148) (149) is assumed to be constant, if the position of the silhouette is measured by the line sensors (148) (149). Therefore, it is possible to measure the positional deviation amount of the component (1) with respect to the nozzle (83). Positioning claw (122) depending on the type of parts
There are some things that must be stopped one step before the full grasping, and the positional deviation amount measurement is effective for such things. The measurement data is transmitted to the control device (200). In addition, in order to accurately know the amount of positional deviation of the component (1) in the X and Y2 directions, the extending direction of the two orthogonal sides of the component (1) and the arranging direction of the line sensors (148) (149) are determined. However, it is desirable that they are in agreement and that they are parallel in other words. For this reason, the visual sensor (141) is in a standby state in which its own orientation is matched with the orientation of the component (1) in advance.
That is, depending on how the angle of the component (1) is set in the component position regulating station (II), a direction control command corresponding to the angle is issued from the control device (200) to the electric motor (145).
The electric motor (145) is provided to the visual sensor support device (14).
2) Rotate the specified angle. The direction change range of the visual sensor (141) need only be 90 °, and need not be particularly large. In this way, the line sensor (148) (14
The measurement result of 9) placed in parallel with the side of the component (1) is transmitted to the control device (200). Based on this, the control device (200) determines the movement amount of the substrate supporting device (30). Calculate whether to correct After the measurement is completed, the vacuum suction device (80) rises, and the visual sensor (141) faces in a direction corresponding to the component (1) coming next. The height of the elevator (144) is also adjusted as needed.

真空吸着装置（80）が部品装着ステーション（Ｖ）に到
着した時点では、基板支持装置（30）は既に基板（２）
を、部品（１）を装着すべき個所をノズル（83）の真下
に位置づけて、待機している。もちろんこの場合、制御
装置（200）からＸ軸電動機（31）及びＹ軸電動機（3
2）に与える指令には部品（１）の位置ずれデータを織
り込み済みで、基板支持装置（30）は位置ずれに見合う
分だけ補正された位置に停止している。ここで昇降体
（110）が真空吸着装置（80）を降下させ、部品（１）
を、基板（２）の所定位置に、所定角度で押し付ける。
押圧子（107）は、真空吸着装置（80）が部品装着ステ
ーション（Ｖ）に到着する時点で降下位置にあって部品
（１）の吸着を維持させているが、部品（１）が基板
（２）上の接着剤または半田ペーストに押し付けられた
時点で第１図のように上昇し、ノズル（83）の吸引を断
つ。従ってこの後真空吸着装置（80）が上昇する折に
は、部品（１）は接着剤または半田ペーストの粘着力で
基板（２）の表面に残留するものである。By the time the vacuum suction device (80) arrives at the component mounting station (V), the substrate support device (30) is already on the substrate (2).
The position where the component (1) is to be mounted is positioned immediately below the nozzle (83) and is on standby. Of course, in this case, the control device (200) causes the X-axis electric motor (31) and the Y-axis electric motor (3
The command given to 2) has already incorporated the positional deviation data of the component (1), and the substrate supporting device (30) is stopped at the position corrected by an amount commensurate with the positional deviation. Here, the lifting body (110) lowers the vacuum suction device (80), and the component (1)
Is pressed at a predetermined position on the substrate (2) at a predetermined angle.
The pusher (107) is in the lowered position at the time when the vacuum suction device (80) arrives at the component mounting station (V) to maintain the suction of the component (1), but 2) When it is pressed against the above adhesive or solder paste, it rises as shown in FIG. 1 and the suction of the nozzle (83) is cut off. Therefore, after this, when the vacuum suction device (80) rises, the component (1) remains on the surface of the substrate (2) due to the adhesive force of the adhesive or solder paste.

部品装着ステーション（Ｖ）を離れた真空吸着装置（3
0）は部品投棄ステーション（VI）を経てノズル選択ス
テーション（VII）に至る。ノズル選択ステーション（V
II）に真空吸着装置（80）が到着した時点では、セレク
タギア（174）は第６図に示すように従動ギヤ（82）の
上方にあり、レバー（175）の先端はレバー受（174）の
中に入り込んでいる。ロックピン（180）は第７図のよ
うに溝（183）に係合しており、タレット（81）をしっ
かりと固定している。ここで、使用するノズルを（83）
から他のものに変える必要が生じたときは、第８図のよ
うにエレベータ（171）が降下し、セレクタギヤ（174）
を従動ギヤ（82）にかみ合わせる。エレベータ（171）
の下降によりレバー（175）も回動し、ロックピン（18
0）を圧縮コイルばね（182）に抗しスライドさせる。こ
れによりロックピン（180）は溝（183）から抜け出し、
タレット（81）は回転可能となる。この状態で電動機
（175）を駆動し、タレット（81）を所定角度回転させ
る。タレット（81）の角度変更を終えた後エレベータ
（171）を上昇されると、レバー（185）が旧位置に復帰
してロックピン（180）が再び溝（183）に係合し、タレ
ット（81）をロックするものである。Vacuum suction device (3
0) goes to the nozzle selection station (VII) through the parts dumping station (VI). Nozzle selection station (V
When the vacuum suction device (80) arrives at (II), the selector gear (174) is above the driven gear (82) as shown in FIG. 6, and the tip of the lever (175) is at the lever receiving (174). It's getting inside. The lock pin (180) engages with the groove (183) as shown in FIG. 7, and firmly fixes the turret (81). Here, the nozzle to be used (83)
When it becomes necessary to change from one to another, the elevator (171) descends and the selector gear (174)
Engage the driven gear (82). The elevator (171)
The lever (175) also rotates due to the lowering of the lock pin (18
0) slide against the compression coil spring (182). As a result, the lock pin (180) comes out of the groove (183),
The turret (81) becomes rotatable. In this state, the electric motor (175) is driven to rotate the turret (81) by a predetermined angle. When the elevator (171) is raised after the angle of the turret (81) has been changed, the lever (185) returns to the old position, the lock pin (180) engages with the groove (183) again, and the turret (181) 81) to lock.

真空吸着装置（80）は、部品供給装置（21）から部品
（１）を吸い上げる訳であるが、時として、部品供給テ
ープ（22）の送り運動のため部品（１）がはね上がる等
の理由により、部品（１）の、本来吸い付けるべきでな
い側面を吸い付けてしまうことがある。このように異常
姿勢で吸着された部品（１）は、装着に到らせることな
く排除しなければならない。部品（１）の姿勢が正常で
あるか異常であるかは視覚センサ（141）の計測データ
から判定する。第12図のようにラインセンサ（148）（1
49）に部品（１）のシルエットを投影すると、シルエッ
トの位置と長さが計測データとして得られることにな
る。この長さデータに基き、制御装置（200）で部品
（１）の周囲方向長さ量（水平方向のもの）を求めるこ
とができる。第13図に示す正常姿勢の場合と、第14図に
示す異常姿勢の場合とでは、得られる結果に顕著な差が
生じるから、これをもって容易に正常・異常を判定でき
る。正常姿勢の場合の周囲方向長さと異常姿勢の場合の
周囲方向長さの差が小さい、すなわち立方体に近い形状
の部品というのは殆んど例を見ないから、この判定手法
は有効である。部品姿勢が異常であるとの演算結果を得
た場合には、制御装置（200）は、その部品（１）を装
着対象から除外する。すなわち、部品装着ステーション
（Ｖ）に配置された昇降体（110）の駆動機構と、エア
シリンダ（106）とに指令を発し、真空吸着装置（80）
が部品装着ステーション（Ｖ）に到着しても、これを降
下させず、また部品（１）の吸着を終了させもしない。
この真空吸着装置（80）が部品投棄ステーション（VI）
に移ってしまうまで、押圧子（107）は降下状態を保
ち、入れ替りに部品装着ステーション（Ｖ）に到着した
真空吸着装置（80）に対し通常の装着操作が加えられ、
押圧子（107）が上昇して基板（２）に付着した部品
（１）に対する吸着を解除した時点で、部品投棄ステー
ション（VI）においても部品装着が解除され、異常姿勢
の部品（１）は部品回収箱（160）に投棄される。装着
し損ねた分の部品（１）については、直ちに装着プログ
ラムが変更され、部品（１）を投棄した真空吸着装置
（80）によって、あるいは他の真空吸着装置（80）によ
ってでも良いが、同種の部品（１）を指定個所に装着し
直す回復措置がとられる。The vacuum suction device (80) sucks up the component (1) from the component supply device (21), but sometimes because of the feeding motion of the component supply tape (22), the component (1) jumps up. , The side surface of the component (1) that should not be sucked may be sucked. The component (1) thus sucked in the abnormal posture must be removed without reaching the mounting. Whether the posture of the component (1) is normal or abnormal is determined from the measurement data of the visual sensor (141). Line sensor (148) (1
When the silhouette of part (1) is projected on 49), the position and length of the silhouette can be obtained as measurement data. Based on this length data, the length (in the horizontal direction) of the component (1) in the peripheral direction can be calculated by the control device (200). Since there is a significant difference in the obtained results between the case of the normal posture shown in FIG. 13 and the case of the abnormal posture shown in FIG. 14, it is possible to easily judge whether the posture is normal or abnormal. This determination method is effective because there is almost no case where there is a small difference between the circumferential length in the normal posture and the circumferential length in the abnormal posture, that is, a component having a shape close to a cube is rare. When the control device (200) excludes the component (1) from the mounting target when the calculation result that the component posture is abnormal is obtained. That is, a command is issued to the drive mechanism of the lifting body (110) arranged in the component mounting station (V) and the air cylinder (106), and the vacuum suction device (80).
When the component arrives at the component mounting station (V), it is not lowered and the adsorption of the component (1) is not terminated.
This vacuum suction device (80) is a parts disposal station (VI)
The pusher (107) is kept in a lowered state until it is moved to, and a normal mounting operation is added to the vacuum suction device (80) that has arrived at the component mounting station (V).
When the pressing element (107) rises to release the suction to the component (1) attached to the substrate (2), the component mounting is also released at the component disposal station (VI), and the component (1) in the abnormal posture is It is dumped in the parts collection box (160). For the component (1) that is not properly mounted, the mounting program is immediately changed, and the vacuum suction device (80) that discards the component (1) may be used, or another vacuum suction device (80) may be used. Recovery measures will be taken to reattach the part (1) of (1) to the designated place.

部品（１）の装着をすべて終えた基板（２）はアンロー
ディングブリッジ（51）からアンローダ（50）へ送られ
る。そして接着剤硬化、半田付、あるいはICベアチップ
においてはワイヤボンディング等、所要の後工程にかけ
られる。The substrate (2) on which all the components (1) have been mounted is sent from the unloading bridge (51) to the unloader (50). Then, it is subjected to necessary post-processes such as adhesive curing, soldering, or wire bonding for IC bare chips.

部品装着装置（10）は、取り扱う部品（１）によって動
作速度を変える。真空吸着装置（80）の昇降について見
ると、衝撃に対し耐性を有する部品（１）の場合は第15
図（ａ）に示すような時間−変位曲線をたどるのに対
し、ICベアチップのような取り扱いに注意を要する部品
（１）の場合には同図（ｂ）に示すような時間−変位曲
線をたどる。第15図（ｂ）のように動けば、真空吸着装
置（80）は部品（１）にゆっくりと接近し、また基板
（２）に部品（１）をゆっくりと載せることになる。
（Z₁は最大接近量、言い換えれば最大降下量を表わ
す。）途中の加速もゆるやかである。もっとも上昇方向
については、破線のように急速に変位させて、動作時間
を短縮することができる。このような動作速度の切り換
えは電動機（195）の制御により可能となる。通常の場
合、遅速二通りの速度設定をしておけば良いが、基板製
造ラインの全体的な流れに応じ、その時点時点で適切な
速度設定ができるよう、コンピュータ指令により電動機
（195）の速度を無段階に制御するようにしておいても
良い。The component mounting device (10) changes the operation speed depending on the component (1) to be handled. Looking at the lifting and lowering of the vacuum suction device (80), it is the 15th in the case of a component (1) that is resistant to impact.
In contrast to the time-displacement curve shown in Figure (a), the time-displacement curve shown in Figure (b) is used for parts (1) that require careful handling, such as IC bare chips. Follow. If it moves as shown in FIG. 15 (b), the vacuum suction device (80) slowly approaches the component (1) and also slowly mounts the component (1) on the substrate (2).
(Z ₁ represents the maximum approach amount, in other words, the maximum descent amount.) Acceleration on the way is also gentle. However, in the ascending direction, the operation time can be shortened by rapidly displacing it as shown by the broken line. Such switching of the operating speed can be performed by controlling the electric motor (195). Normally, it is only necessary to set two speeds, slow or slow, but according to the overall flow of the board manufacturing line, the speed of the electric motor (195) can be set by a computer command so that the speed can be set appropriately at that time. May be controlled steplessly.

部品位置規正装置（120）においても、ICベアチップの
ような繊細な部品（１）の場合には、部品（１）に衝撃
を与えないよう、位置規正爪（122）の接近速度をゆる
やかにする。第15図（ａ）の時間−変位曲線を衝撃に対
し耐性を有する部品（１）についての位置規正動作とす
れば、ICベアチップに対する位置規正動作は同図（ｂ）
のようになる。位置規正爪（122）が部品（１）から離
れる方向については、破線のように急速移動させても良
い。この動作速度変化は、電動機（131）の制御により
もたらされる。Also in the component position regulating device (120), in the case of a delicate component (1) such as an IC bare chip, the approaching speed of the position regulating claw (122) is made gentle so as not to give an impact to the component (1). . If the time-displacement curve of FIG. 15 (a) is the position regulating operation for the component (1) having resistance to impact, the position regulating operation for the IC bare chip is shown in FIG. 15 (b).
become that way. Regarding the direction in which the position regulating claw (122) moves away from the component (1), it may be moved rapidly as indicated by the broken line. This change in operating speed is brought about by the control of the electric motor (131).

真空吸着装置（80）及び部品位置規正装置（120）の低
速化に伴ない、作業タクトタイムを延ばさねばならな
い。そこで、電動機（73）を制御し、インデックス装置
（72）の動作曲線を第16図の（ａ）から（ｂ）のように
変化させる。（Z₂は１回分の移動量である。遠心力で振
りとばされやすい大型部品を装着する場合にも、移動装
置（60）の低速化は有効である）。基板支持装置（30）
及び部品供給装置（21）の移動、部品供給テープ（22）
の送りも同様にスローダウンさせる（これらのものだけ
が高速で動いても意味がないので）。従って、ICベアチ
ップのような部品（１）を装着する場合には、それを装
着し終わるまで、部品装着装置（10）全体の動きが低速
化することになる。As the vacuum suction device (80) and the component position regulating device (120) become slower, the work takt time must be extended. Therefore, the electric motor (73) is controlled to change the operation curve of the index device (72) from (a) to (b) of FIG. (Z ₂ is the amount of movement for one time. Even when mounting large parts that are easily shaken off by centrifugal force, slowing down the moving device (60) is effective). Substrate support (30)
And movement of parts supply device (21), parts supply tape (22)
Slow down the feed as well (because it doesn't make sense to move only these things at high speed). Therefore, when the component (1) such as an IC bare chip is mounted, the movement of the entire component mounting device (10) is slowed down until the mounting of the component (1) is completed.

もっとも、ICベアチップの質量が小さく、急加速・急減
速を行っても真空吸着装置（80）に対しずれを生じる危
険がなければ、移動装置（60）の動作速度を低下させる
必要はない。むしろ移動装置（60）の動作速度を速め、
作業時間の短縮を図る。However, if the mass of the IC bare chip is small and there is no risk of deviation from the vacuum suction device (80) even when performing rapid acceleration / deceleration, it is not necessary to reduce the operating speed of the moving device (60). Rather, it speeds up the movement speed of the moving device (60),
Work time is reduced.

（ト）発明の効果基板に装着する前に部品の位置規正を行なう型式の部品
装着装置にあっては、生産能力向上のため、部品位置規
正装置の動作速度を可能な限り高速化しようとするのが
常である。そのため、部品が位置規正爪から受ける衝撃
力が問題となるのであるが、本発明では、位置規正爪の
部品への接近速度を変化させ、部品の種類に応じた接近
速度を選べるようにしているから、高速化を追求するあ
まりの部品破損といった事態を回避できる。(G) Effect of the invention In a component mounting device of a type that positions the components before mounting them on a board, in order to improve the production capacity, the operating speed of the component positioning device should be increased as much as possible. Always. Therefore, the impact force that the component receives from the position regulating claw becomes a problem, but in the present invention, the approaching velocity of the position regulating claw to the component is changed so that the approaching velocity according to the type of the component can be selected. Therefore, it is possible to avoid such a situation that parts are damaged too much in pursuit of high speed.

また、位置規制爪の動作速度と移動装置の動作速度を個
別に制御するため、繊細だが質量が小さい部品の場合に
は、位置規制爪の動作速度は遅くするものの移動装置の
動作速度は速くし、その逆に堅牢だが質量が大きい部品
の場合には、移動装置の動作速度は遅く、位置規制爪の
動作速度は速くするといった具合に、手段を尽くして作
業時間の短縮を図ることができる。In addition, since the operating speed of the position control pawl and the operating speed of the moving device are controlled separately, the operating speed of the moving device is increased but the operating speed of the moving device is increased for delicate parts with a small mass. On the contrary, in the case of a robust but large-mass component, the operating speed of the moving device is slow, the operating speed of the position regulating pawl is increased, and the working time can be shortened by exhausting the means.

[Brief description of drawings]

図は本発明の一実施例を示し、第１図は主な作業ステー
ションにおける工程の推移を示す説明用展開図、第２図
は部品装着装置を構成する複数個のユニットの配置説明
図、第３図は移動装置の平面図、第４図及び第５図は各
々別の作業ステーションにおける、部分的には断面しな
いで残した垂直断面図、第６図はノズル選択装置の側面
図、第７図は第６図に関連した真空吸着装置の平面図、
第８図は第６図と同様ノズル選択装置の側面図にして異
なる動作状態のもの、第９図は第８図に関連した真空吸
着装置の平面図、第10図は視覚センサの斜視図、第11図
は視覚センサの照射ユニットの概要説明図、第12図、第
13図、第14図は視覚センサの計測状況説明図、第15図
（ａ）（ｂ）は真空吸着装置ないし部品位置規正装置の
動作速度について説明する図、第16図（ａ）（ｂ）は移
動装置の動作速度について説明する図である。（１）……部品、（２）……基板、（10）……部品装着
装置、（Ｉ）……部品供給ステーション、（21）……部
品供給装置、（Ｖ）……部品装着ステーション、（30）
……基板支持装置、（80）……真空吸着装置、（60）…
…移動装置、（120）……部品位置規正装置、（122）…
…位置規正爪、（73）（131）……移動装置と位置規制
爪の動力源を構成する電動機、（200）……制御装置。FIG. 1 shows an embodiment of the present invention, FIG. 1 is an explanatory development view showing the transition of processes in main work stations, FIG. 2 is an arrangement explanatory view of a plurality of units constituting a component mounting apparatus, and FIG. FIG. 3 is a plan view of the moving device, FIGS. 4 and 5 are vertical cross-sectional views which are partially left uncut at different work stations, and FIG. 6 is a side view of the nozzle selecting device. The figure is a plan view of the vacuum suction device related to FIG. 6,
FIG. 8 is a side view of the nozzle selection device similar to FIG. 6 in a different operating state, FIG. 9 is a plan view of the vacuum suction device related to FIG. 8, and FIG. 10 is a perspective view of a visual sensor, FIG. 11 is a schematic explanatory view of the irradiation unit of the visual sensor, FIG. 12, and FIG.
13 and 14 are diagrams for explaining the measurement state of the visual sensor, FIGS. 15 (a) and 15 (b) are diagrams for explaining the operating speed of the vacuum suction device or the component position regulating device, and FIGS. 16 (a) and (b). FIG. 6 is a diagram for explaining an operating speed of the moving device. (1) ... Component, (2) ... Substrate, (10) ... Component mounting device, (I) ... Component supplying station, (21) ... Component supplying device, (V) ... Component mounting station, (30)
…… Substrate support device, (80) …… Vacuum suction device, (60)…
… Movement device, (120) …… Part position control device, (122)…
… Position control claws, (73) (131) …… Electric motors that compose the power source of the moving device and position control claws, (200)… Control device.

Claims

[Claims]

1. A component mounting apparatus having the following components. Work station group including parts supply station and parts mounting station. b. A component supply device arranged at the component supply station. c. A board supporting device arranged at the component mounting station. d. From the component supply device to the substrate on the substrate support device,
A vacuum suction device installed to pick and place parts. e. A transfer device that supports the vacuum suction device and moves it from work station to work station. f. Position regulating claws that clamp the components held by the vacuum suction device from two orthogonal directions during movement of the components from the component supply station to the component mounting station to regulate the holding position. g. An electric motor that constitutes the power source of the moving device. h. An electric motor that constitutes a drive source of the position regulating pawl and that exists independently of the electric motor that is the power source of the moving device. i. A control device for individually controlling the operating speeds of the both electric motors.