JPH0767553B2 - 塵埃除去装置 - Google Patents
塵埃除去装置Info
- Publication number
- JPH0767553B2 JPH0767553B2 JP18632993A JP18632993A JPH0767553B2 JP H0767553 B2 JPH0767553 B2 JP H0767553B2 JP 18632993 A JP18632993 A JP 18632993A JP 18632993 A JP18632993 A JP 18632993A JP H0767553 B2 JPH0767553 B2 JP H0767553B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin plate
- plate
- surface side
- removing device
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 title claims description 49
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 36
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 12
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 8
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 8
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/02—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
- H05K3/022—Processes for manufacturing precursors of printed circuits, i.e. copper-clad substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
- H05K3/26—Cleaning or polishing of the conductive pattern
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、薄板状体の表面に付着
している塵埃等をエアーの吹き付けを利用して除去する
塵埃除去装置に関するもので、詳しくは、プリント配線
用銅張積層板製造の基材となるプリプレグ等に対する塵
埃除去に用いて好適な塵埃除去装置に係るものである。
している塵埃等をエアーの吹き付けを利用して除去する
塵埃除去装置に関するもので、詳しくは、プリント配線
用銅張積層板製造の基材となるプリプレグ等に対する塵
埃除去に用いて好適な塵埃除去装置に係るものである。
【0002】
【従来の技術】プリント配線用銅張積層板として、例え
ば、ガラスクロスにエポキシ樹脂を含浸させたものを基
材としたガラスエポキシ銅張積層板がある。このもの
は、次のうような手順で製造される。まず、エポキシ樹
脂液を満たした含浸槽中にガラスクロスを通過させるこ
とによって、ガラスクロスにエポキシ樹脂を含浸させ、
次いで、これを乾燥炉に通して乾燥させ、乾燥硬化した
ものをカッターで所定の寸法に裁断して基材であるプリ
プレグとする。そして、このプリプレグを所定枚数重ね
合せ、その重ね合せたプリプレグの片面あるいは両面に
銅箔を積層して加熱加圧することにより接着成形して積
層板とする。
ば、ガラスクロスにエポキシ樹脂を含浸させたものを基
材としたガラスエポキシ銅張積層板がある。このもの
は、次のうような手順で製造される。まず、エポキシ樹
脂液を満たした含浸槽中にガラスクロスを通過させるこ
とによって、ガラスクロスにエポキシ樹脂を含浸させ、
次いで、これを乾燥炉に通して乾燥させ、乾燥硬化した
ものをカッターで所定の寸法に裁断して基材であるプリ
プレグとする。そして、このプリプレグを所定枚数重ね
合せ、その重ね合せたプリプレグの片面あるいは両面に
銅箔を積層して加熱加圧することにより接着成形して積
層板とする。
【0003】ところで、前述の製造工程において、カッ
ターによる裁断時には、エポキシ樹脂がパウダー状とな
って薄板状のプリプレグの表面に付着する。このパウダ
ーが残ったままで、銅箔や鏡面板の積層が行われてしま
うと、打恨不良といった問題が生じる。そこで、裁断し
たプリプレグに対しては、通常、その表面に付着してい
るパウダーの除去処理を行う。図5および図6は、前記
プリプレグに付着しているパウダーの除去等に利用され
る塵埃除去装置の従来例を示したものである。
ターによる裁断時には、エポキシ樹脂がパウダー状とな
って薄板状のプリプレグの表面に付着する。このパウダ
ーが残ったままで、銅箔や鏡面板の積層が行われてしま
うと、打恨不良といった問題が生じる。そこで、裁断し
たプリプレグに対しては、通常、その表面に付着してい
るパウダーの除去処理を行う。図5および図6は、前記
プリプレグに付着しているパウダーの除去等に利用され
る塵埃除去装置の従来例を示したものである。
【0004】図5に示したものは、対向配置された一対
の回転ブラシ1,2間にプリプレグ等の薄板状体3を通
し、これらの回転ブラシ1,2によって擦り落としたパ
ウダー等を前記回転ブラシ1,2の周囲を覆っている吸
引装置4によって吸引除去するようにしたものである。
図6に示したものは、プリプレグ等の薄板状体3の両面
にエアー吹出しノズル5によってエアーを吹き付け、そ
れによって薄板状体3の表面から離散したパウダー等を
エアー吹出しノズル5の周囲を覆っている吸引装置4に
よって吸引除去するようにしたものである。
の回転ブラシ1,2間にプリプレグ等の薄板状体3を通
し、これらの回転ブラシ1,2によって擦り落としたパ
ウダー等を前記回転ブラシ1,2の周囲を覆っている吸
引装置4によって吸引除去するようにしたものである。
図6に示したものは、プリプレグ等の薄板状体3の両面
にエアー吹出しノズル5によってエアーを吹き付け、そ
れによって薄板状体3の表面から離散したパウダー等を
エアー吹出しノズル5の周囲を覆っている吸引装置4に
よって吸引除去するようにしたものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図5に示し
た回転ブラシ式のものは、ブラシが薄板状体3の表面を
擦ることによって、薄板状体3の表面に微細な傷が付く
恐れがあり、高精度な表面平坦度が要求される積層基板
材料に対する処理には適当でない。また、図6に示した
エアー吹出し式のものは、薄板状体3の表面を傷つける
危険がなく、この点では優れているが、従来では、薄板
状体3を一対のエアー吹出しノズル5間に通す搬送手段
が考慮されておらず、銅張積層板製造用のプリプレグを
連続して処理するような場合には、利用することができ
なかった。
た回転ブラシ式のものは、ブラシが薄板状体3の表面を
擦ることによって、薄板状体3の表面に微細な傷が付く
恐れがあり、高精度な表面平坦度が要求される積層基板
材料に対する処理には適当でない。また、図6に示した
エアー吹出し式のものは、薄板状体3の表面を傷つける
危険がなく、この点では優れているが、従来では、薄板
状体3を一対のエアー吹出しノズル5間に通す搬送手段
が考慮されておらず、銅張積層板製造用のプリプレグを
連続して処理するような場合には、利用することができ
なかった。
【0006】本発明は、前記事情に鑑みてなされたもの
で、薄板状体の表面に付着している塵埃等を薄板状体に
傷つけることなく良好に除去することができ、しかも、
処理する薄板状体の搬送手段も備えていて、連続処理等
も行うことができ、銅張積層板製造工程の裁断処理等で
プリプレグに付着したエポキシ樹脂パウダーの除去等に
利用することによって、打恨不良の発生を防止するため
のパウダー除去処理を効率良く実現することのできる塵
埃除去装置を提供することを目的とする。
で、薄板状体の表面に付着している塵埃等を薄板状体に
傷つけることなく良好に除去することができ、しかも、
処理する薄板状体の搬送手段も備えていて、連続処理等
も行うことができ、銅張積層板製造工程の裁断処理等で
プリプレグに付着したエポキシ樹脂パウダーの除去等に
利用することによって、打恨不良の発生を防止するため
のパウダー除去処理を効率良く実現することのできる塵
埃除去装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の上記の目的は、
下記構成により達成される。 (1) 薄板状体の表面に付着している塵埃等をエアー
の吹き付けを利用して除去する塵埃除去装置であって、
前記薄板状体の表面に沿って並走する複数本の細径の搬
送ベルトによって該薄板状体を搬送する板状体搬送手段
と、前記板状体搬送手段によって搬送されてくる薄板状
体を横切る如く前記板状体搬送手段による搬送経路上に
装備されて搬送されてくる薄板状体の表面にエアーを吹
き付けるエアー吹出しノズルと、このエアー吹出しノズ
ルからのエアーの吹き付けにより薄板状体の表面から離
散した塵埃等を吸引して収集する吸込ダクトとを備えた
ことを特徴とする塵埃除去装置。
下記構成により達成される。 (1) 薄板状体の表面に付着している塵埃等をエアー
の吹き付けを利用して除去する塵埃除去装置であって、
前記薄板状体の表面に沿って並走する複数本の細径の搬
送ベルトによって該薄板状体を搬送する板状体搬送手段
と、前記板状体搬送手段によって搬送されてくる薄板状
体を横切る如く前記板状体搬送手段による搬送経路上に
装備されて搬送されてくる薄板状体の表面にエアーを吹
き付けるエアー吹出しノズルと、このエアー吹出しノズ
ルからのエアーの吹き付けにより薄板状体の表面から離
散した塵埃等を吸引して収集する吸込ダクトとを備えた
ことを特徴とする塵埃除去装置。
【0008】(2) 前記板状体搬送手段が、前記薄板
状体の一表面側に配置されて該一表面に沿って並走する
複数本の細径の搬送ベルトを具備した第1の搬送手段
と、前記薄板状体の他表面側に配置されて該他表面に沿
って並走する複数本の細径の搬送ベルトを具備した第2
の搬送手段とを備えた構成であることを特徴とする前記
(1)に記載の塵埃除去装置。
状体の一表面側に配置されて該一表面に沿って並走する
複数本の細径の搬送ベルトを具備した第1の搬送手段
と、前記薄板状体の他表面側に配置されて該他表面に沿
って並走する複数本の細径の搬送ベルトを具備した第2
の搬送手段とを備えた構成であることを特徴とする前記
(1)に記載の塵埃除去装置。
【0009】(3) 前記吸込ダクトは、吸込み用の開
口が前記板状体搬送手段の搬送経路を横断する如く延在
する構成をなし、かつ、前記エアー吹出しノズルは、前
記吸込ダクト内を挿通して設けられるとともに、前記板
状体搬送手段の搬送経路を横断する吸込ダクトの開口側
にエアー吹出し口を向けた構成をなしていることを特徴
とする前記(1)または(2)に記載の塵埃除去装置。
口が前記板状体搬送手段の搬送経路を横断する如く延在
する構成をなし、かつ、前記エアー吹出しノズルは、前
記吸込ダクト内を挿通して設けられるとともに、前記板
状体搬送手段の搬送経路を横断する吸込ダクトの開口側
にエアー吹出し口を向けた構成をなしていることを特徴
とする前記(1)または(2)に記載の塵埃除去装置。
【0010】(4) 前記吸込ダクトとこの吸込ダクト
内を挿通するエアー吹出しノズルとが、板状体搬送手段
によって搬送される薄板状体の一表面側と他表面側との
双方に装備され、かつ、一表面側と他表面側に配置され
た各吸込ダクトがその基端側で合流して一本化されると
ともに、一表面側と他表面側に配置された各エアー吹出
しノズルがその基端側で合流して一本化されていること
を特徴とした前記(1)乃至(3)のいずれかに記載の
塵埃除去装置。
内を挿通するエアー吹出しノズルとが、板状体搬送手段
によって搬送される薄板状体の一表面側と他表面側との
双方に装備され、かつ、一表面側と他表面側に配置され
た各吸込ダクトがその基端側で合流して一本化されると
ともに、一表面側と他表面側に配置された各エアー吹出
しノズルがその基端側で合流して一本化されていること
を特徴とした前記(1)乃至(3)のいずれかに記載の
塵埃除去装置。
【0011】
【作用】以上の構成の塵埃除去装置は、エアーの吹き付
けにより薄板状体の表面に付着している塵埃を除去する
方式であるため、薄板状体に傷つけることなく薄板状体
の表面に付着している塵埃等を良好に除去することがで
き、しかも、処理する薄板状体の搬送手段も備えてい
て、連続処理等も行うことができる。また、複数本の細
径の搬送ベルトを有した搬送手段を薄板状体の両側に配
置した構成としたことによって、搬送する薄板状体に波
打ち状にバタ付きを生じさせて、付着している塵埃等の
除去効果を高めることが可能になる。さらに、エアー吹
出しノズルおよび吸込ダクトは、それぞれ薄板状体の両
面側に装備するが、いずれも基端側が合流して1本化さ
れる構成とすることによって、吸引用のポンプや、圧縮
空気を送るエアーコンプレッサー等への連結構造が単純
化でき、装置のコンパクト化が可能になる。
けにより薄板状体の表面に付着している塵埃を除去する
方式であるため、薄板状体に傷つけることなく薄板状体
の表面に付着している塵埃等を良好に除去することがで
き、しかも、処理する薄板状体の搬送手段も備えてい
て、連続処理等も行うことができる。また、複数本の細
径の搬送ベルトを有した搬送手段を薄板状体の両側に配
置した構成としたことによって、搬送する薄板状体に波
打ち状にバタ付きを生じさせて、付着している塵埃等の
除去効果を高めることが可能になる。さらに、エアー吹
出しノズルおよび吸込ダクトは、それぞれ薄板状体の両
面側に装備するが、いずれも基端側が合流して1本化さ
れる構成とすることによって、吸引用のポンプや、圧縮
空気を送るエアーコンプレッサー等への連結構造が単純
化でき、装置のコンパクト化が可能になる。
【0012】
【実施例】図1は本発明に係る塵埃除去装置の一実施例
の要部の斜視図を示し、図2は図1のA矢視図を示して
いる。この一実施例の塵埃除去装置は、薄板状体3の表
面に付着している塵埃等をエアーの吹き付けを利用して
除去するもので、前記薄板状体3を搬送する板状体搬送
手段7と、この板状体搬送手段7によって搬送されてく
る薄板状体3を横切る如く前記板状体搬送手段7による
搬送経路上に装備されて搬送されてくる薄板状体3の表
面にエアーを吹き付けるエアー吹出しノズル8と、この
エアー吹出しノズル8からのエアーの吹き付けにより薄
板状体3の表面から離散した塵埃等を吸引して収集する
吸込ダクト9とを備えた構成となっている。
の要部の斜視図を示し、図2は図1のA矢視図を示して
いる。この一実施例の塵埃除去装置は、薄板状体3の表
面に付着している塵埃等をエアーの吹き付けを利用して
除去するもので、前記薄板状体3を搬送する板状体搬送
手段7と、この板状体搬送手段7によって搬送されてく
る薄板状体3を横切る如く前記板状体搬送手段7による
搬送経路上に装備されて搬送されてくる薄板状体3の表
面にエアーを吹き付けるエアー吹出しノズル8と、この
エアー吹出しノズル8からのエアーの吹き付けにより薄
板状体3の表面から離散した塵埃等を吸引して収集する
吸込ダクト9とを備えた構成となっている。
【0013】ここで、前記薄板状体3としては、この一
実施例では、ガラスエポキシ銅張積層板の基材となるプ
リプレグ等を想定しているが、厚さ寸法が1mm以下の
フィルム状のものから、厚さ寸法が数mm程度の基板も
対象とすることが可能である。前記板状体搬送手段7
は、前記薄板状体3の一表面(図1および図2では上
面)側に配置されて該一表面に沿って並走する複数本の
細径の搬送ベルト10を具備した第1の搬送手段11
と、前記薄板状体3の他表面(図1および図2では下
面)側に配置されて該他表面に沿って並走する複数本の
細径の搬送ベルト12を具備した第2の搬送手段13と
を備えた構成とされている。
実施例では、ガラスエポキシ銅張積層板の基材となるプ
リプレグ等を想定しているが、厚さ寸法が1mm以下の
フィルム状のものから、厚さ寸法が数mm程度の基板も
対象とすることが可能である。前記板状体搬送手段7
は、前記薄板状体3の一表面(図1および図2では上
面)側に配置されて該一表面に沿って並走する複数本の
細径の搬送ベルト10を具備した第1の搬送手段11
と、前記薄板状体3の他表面(図1および図2では下
面)側に配置されて該他表面に沿って並走する複数本の
細径の搬送ベルト12を具備した第2の搬送手段13と
を備えた構成とされている。
【0014】この一実施例では、前述の搬送ベルト1
0,12として、横断面形状が直径0.5mm程度の丸
形のスチールベルトを使用している。そして、前記第1
の搬送手段11および第2の搬送手段13では、図2に
示すように、これらの搬送ベルト10,12を3本のロ
ーラRによって搬送方向を含む三角形状に張っており、
ローラRの回転によりこれらの搬送ベルト10,12を
走行させる。図2における矢印(イ),(ロ)は、ロー
ラRの回転方向を示している。また、図3に示すよう
に、搬送ベルト10,12は、薄板状体3の通過位置を
中心として、互いに千鳥状に配置されている。なお、こ
の一実施例では、図2乃至図4に示すように、薄板状体
3を搬送する搬送ベルト10と搬送ベルト12とは、薄
板状体3の厚さ寸法よりも若干大きな離間距離を有し
て、互いに平行に走行する。
0,12として、横断面形状が直径0.5mm程度の丸
形のスチールベルトを使用している。そして、前記第1
の搬送手段11および第2の搬送手段13では、図2に
示すように、これらの搬送ベルト10,12を3本のロ
ーラRによって搬送方向を含む三角形状に張っており、
ローラRの回転によりこれらの搬送ベルト10,12を
走行させる。図2における矢印(イ),(ロ)は、ロー
ラRの回転方向を示している。また、図3に示すよう
に、搬送ベルト10,12は、薄板状体3の通過位置を
中心として、互いに千鳥状に配置されている。なお、こ
の一実施例では、図2乃至図4に示すように、薄板状体
3を搬送する搬送ベルト10と搬送ベルト12とは、薄
板状体3の厚さ寸法よりも若干大きな離間距離を有し
て、互いに平行に走行する。
【0015】前記吸込ダクト9は、吸込み用の開口9a
が前記板状体搬送手段7の搬送経路を横断する如く延在
する構成をなしている。また、前記エアー吹出しノズル
8は、前記吸込ダクト9内を挿通して設けられるととも
に、前記板状体搬送手段7の搬送経路を横断する吸込ダ
クト9の開口9a側にエアー吹出し口8aを向けた構成
をなしている。また、前記吸込ダクト9とエアー吹出し
ノズル8とは、板状体搬送手段7によって搬送される薄
板状体3の一表面側と他表面側との双方に装備されてい
る。そして、図3に示すように、一表面側と他表面側に
配置された各吸込ダクト9がその基端側で合流して一本
化されるとともに、一表面側と他表面側に配置された各
エアー吹出しノズル8もその基端側で合流して一本化さ
れている。
が前記板状体搬送手段7の搬送経路を横断する如く延在
する構成をなしている。また、前記エアー吹出しノズル
8は、前記吸込ダクト9内を挿通して設けられるととも
に、前記板状体搬送手段7の搬送経路を横断する吸込ダ
クト9の開口9a側にエアー吹出し口8aを向けた構成
をなしている。また、前記吸込ダクト9とエアー吹出し
ノズル8とは、板状体搬送手段7によって搬送される薄
板状体3の一表面側と他表面側との双方に装備されてい
る。そして、図3に示すように、一表面側と他表面側に
配置された各吸込ダクト9がその基端側で合流して一本
化されるとともに、一表面側と他表面側に配置された各
エアー吹出しノズル8もその基端側で合流して一本化さ
れている。
【0016】以上の構成をなす塵埃除去装置は、上下に
対向配置されている搬送ベルト10,12の走行によっ
て、図2および図4に示すように、薄板状体3を搬送
し、その搬送時に、薄板状体3の両面側に配置されてい
る各エアー吹出しノズル8から薄板状体3の表面にエア
ーを吹き付けて、薄板状体3の表面に付着している塵埃
を離散させる。この場合に、図1乃至図3に示すよう
に、エアーを吹出すエアー吹出し口8aが搬送経路を横
断するように連続した開口となっており、しかも、搬送
ベルト10,12はいずれも細径のスチールベルトであ
るためエアーの吹き付けを遮る力が乏しく、薄板状体3
上の必要な幅全体にエアーを吹き付けることが可能にな
る。
対向配置されている搬送ベルト10,12の走行によっ
て、図2および図4に示すように、薄板状体3を搬送
し、その搬送時に、薄板状体3の両面側に配置されてい
る各エアー吹出しノズル8から薄板状体3の表面にエア
ーを吹き付けて、薄板状体3の表面に付着している塵埃
を離散させる。この場合に、図1乃至図3に示すよう
に、エアーを吹出すエアー吹出し口8aが搬送経路を横
断するように連続した開口となっており、しかも、搬送
ベルト10,12はいずれも細径のスチールベルトであ
るためエアーの吹き付けを遮る力が乏しく、薄板状体3
上の必要な幅全体にエアーを吹き付けることが可能にな
る。
【0017】そして、エアー吹出しノズル8からのエア
ーの吹き付けによって薄板状体3から剥離して離散する
塵埃等は、前記エアー吹出しノズル8の周囲を覆って、
エアー吹出しノズル8の周囲を吸引環境に保持している
吸込ダクト9に吸引されて、除去される。このように、
エアーを吹き付けて薄板状体3の表面に付着している塵
埃等を除去する方式では、薄板状体3の表面に傷を付け
ずに、塵埃を除去することが可能になる。しかも、薄板
状体3を搬送する板状体搬送手段7を装備しているた
め、連続的に塵埃除去処理を実行することも可能であ
る。
ーの吹き付けによって薄板状体3から剥離して離散する
塵埃等は、前記エアー吹出しノズル8の周囲を覆って、
エアー吹出しノズル8の周囲を吸引環境に保持している
吸込ダクト9に吸引されて、除去される。このように、
エアーを吹き付けて薄板状体3の表面に付着している塵
埃等を除去する方式では、薄板状体3の表面に傷を付け
ずに、塵埃を除去することが可能になる。しかも、薄板
状体3を搬送する板状体搬送手段7を装備しているた
め、連続的に塵埃除去処理を実行することも可能であ
る。
【0018】したがって、銅張積層板製造工程の裁断処
理等でプリプレグに付着したエポキシ樹脂パウダーの除
去等に利用することによって、打恨不良の発生を防止す
るためのパウダー除去処理を効率良く実現することがで
きる。
理等でプリプレグに付着したエポキシ樹脂パウダーの除
去等に利用することによって、打恨不良の発生を防止す
るためのパウダー除去処理を効率良く実現することがで
きる。
【0019】また、この一実施例の塵埃除去装置では、
薄板状体3の上面側を走行する搬送ベルト10と下面側
を走行する搬送ベルト12とは互いに千鳥状に位置をず
らした配置にしているが、このように搬送ベルトの設置
位置をずらすことによって、搬送する薄板状体3に波打
ち状にバタつき(振動)を与えることが可能で、このバ
タ付きによって、付着している塵埃の剥離を促進させる
ことが期待できる。
薄板状体3の上面側を走行する搬送ベルト10と下面側
を走行する搬送ベルト12とは互いに千鳥状に位置をず
らした配置にしているが、このように搬送ベルトの設置
位置をずらすことによって、搬送する薄板状体3に波打
ち状にバタつき(振動)を与えることが可能で、このバ
タ付きによって、付着している塵埃の剥離を促進させる
ことが期待できる。
【0020】また、図4に示すように、薄板状体3を挟
んで上下に配置される各エアー吹出しノズル8のエアー
吹出し口8aの向きを搬送方向の前後にずらすことによ
って、搬送方向の前後方向に薄板状体3をバタ付かせる
こともでき、これによってさらに塵埃等の剥離を促進さ
せることが期待できる。
んで上下に配置される各エアー吹出しノズル8のエアー
吹出し口8aの向きを搬送方向の前後にずらすことによ
って、搬送方向の前後方向に薄板状体3をバタ付かせる
こともでき、これによってさらに塵埃等の剥離を促進さ
せることが期待できる。
【0021】また、図3にも示したように、一実施例の
塵埃除去装置では、エアー吹出しノズル8および吸込ダ
クト9は、いずれも基端側が合流して1本化されている
ため、吸引用のポンプや、圧縮空気を送るエアーコンプ
レッサー等への連結構造が単純化でき、装置のコンパク
ト化を図ることも可能になる。
塵埃除去装置では、エアー吹出しノズル8および吸込ダ
クト9は、いずれも基端側が合流して1本化されている
ため、吸引用のポンプや、圧縮空気を送るエアーコンプ
レッサー等への連結構造が単純化でき、装置のコンパク
ト化を図ることも可能になる。
【0022】なお、銅張積層板製造工程の裁断処理等で
プリプレグに付着したエポキシ樹脂パウダーの除去等の
用途以外にも、種々に利用することが可能である。ま
た、前述の一実施例では、薄板状体3の両面側に配置し
た第1の搬送手段11および第2の搬送手段13は、ほ
ぼ同数の搬送ベルトを装備しているものとしているが、
必要に応じて、例えば、上側の搬送手段における搬送ベ
ルトの本数を下側のものよりも減らすといった設計変更
をすることも考えられる。また、一実施例では、薄板状
体3の両面側にそれぞれエアー吹出しノズル8および吸
込ダクト9を配備したが、用途によっては、エアー吹出
しノズル8および吸込ダクト9は、薄板状体3の一方の
表面側にのみ装備することも考えられる。また、一実施
例におけるエアー吹出しノズル8のエアー吹出し口8
a、および吸込ダクト9の開口9aは、いずれも、搬送
経路を横断する方向に連続して開口する形態であるが、
独立した開口を搬送経路に沿って並べるような形態とす
ることも考えられる。
プリプレグに付着したエポキシ樹脂パウダーの除去等の
用途以外にも、種々に利用することが可能である。ま
た、前述の一実施例では、薄板状体3の両面側に配置し
た第1の搬送手段11および第2の搬送手段13は、ほ
ぼ同数の搬送ベルトを装備しているものとしているが、
必要に応じて、例えば、上側の搬送手段における搬送ベ
ルトの本数を下側のものよりも減らすといった設計変更
をすることも考えられる。また、一実施例では、薄板状
体3の両面側にそれぞれエアー吹出しノズル8および吸
込ダクト9を配備したが、用途によっては、エアー吹出
しノズル8および吸込ダクト9は、薄板状体3の一方の
表面側にのみ装備することも考えられる。また、一実施
例におけるエアー吹出しノズル8のエアー吹出し口8
a、および吸込ダクト9の開口9aは、いずれも、搬送
経路を横断する方向に連続して開口する形態であるが、
独立した開口を搬送経路に沿って並べるような形態とす
ることも考えられる。
【0023】
【発明の効果】本発明に係る塵埃除去装置によれば、エ
アーの吹き付けにより薄板状体の表面に付着している塵
埃を除去する方式であるため、薄板状体に傷つけること
なく薄板状体の表面に付着している塵埃等を良好に除去
することができ、しかも、処理する薄板状体の搬送手段
も備えていて、連続処理等も行うことができる。したが
って、銅張積層板製造工程の裁断処理等でプリプレグに
付着したエポキシ樹脂パウダーの除去等に利用すること
によって、打恨不良の発生を防止するためのパウダー除
去処理を効率良く実現することができる。
アーの吹き付けにより薄板状体の表面に付着している塵
埃を除去する方式であるため、薄板状体に傷つけること
なく薄板状体の表面に付着している塵埃等を良好に除去
することができ、しかも、処理する薄板状体の搬送手段
も備えていて、連続処理等も行うことができる。したが
って、銅張積層板製造工程の裁断処理等でプリプレグに
付着したエポキシ樹脂パウダーの除去等に利用すること
によって、打恨不良の発生を防止するためのパウダー除
去処理を効率良く実現することができる。
【0024】また、複数本の細径の搬送ベルトを有した
搬送手段を薄板状体の両側に配置した構成とすることに
よって、搬送する薄板状体に波打ち状にバタ付きを生じ
させて、付着している塵埃等の除去効果を高めることが
可能になる。さらに、エアー吹出しノズルおよび吸込ダ
クトは、それぞれ薄板状体の両面側に装備するが、いず
れも基端側が合流して1本化されているため、吸引用の
ポンプや、圧縮空気を送るエアーコンプレッサー等への
連結構造が単純化でき、装置のコンパクト化を図ること
も可能になる。
搬送手段を薄板状体の両側に配置した構成とすることに
よって、搬送する薄板状体に波打ち状にバタ付きを生じ
させて、付着している塵埃等の除去効果を高めることが
可能になる。さらに、エアー吹出しノズルおよび吸込ダ
クトは、それぞれ薄板状体の両面側に装備するが、いず
れも基端側が合流して1本化されているため、吸引用の
ポンプや、圧縮空気を送るエアーコンプレッサー等への
連結構造が単純化でき、装置のコンパクト化を図ること
も可能になる。
【図1】本発明の一実施例の要部の斜視図である。
【図2】図1のA矢視図である。
【図3】図2のB−B線に沿う断面図である。
【図4】本発明の一実施例の作用説明図である。
【図5】従来の塵埃除去装置の概略構成図である。
【図6】従来の塵埃除去装置の概略構成図である。
3 薄板状体 7 板状体搬送手段 8 エアー吹出しノズル 8a エアー吹出し口 9 吸込ダクト 9a 開口 10 搬送ベルト 11 第1の搬送手段 12 搬送ベルト 13 第2の搬送手段 R ローラ
Claims (4)
- 【請求項1】 薄板状体の表面に付着している塵埃等を
エアーの吹き付けを利用して除去する塵埃除去装置であ
って、前記薄板状体の表面に沿って並走する複数本の細
径の搬送ベルトによって該薄板状体を搬送する板状体搬
送手段と、 前記板状体搬送手段によって搬送されてくる薄板状体を
横切る如く前記板状体搬送手段による搬送経路上に装備
されて搬送されてくる薄板状体の表面にエアーを吹き付
けるエアー吹出しノズルと、 このエアー吹出しノズルからのエアーの吹き付けにより
薄板状体の表面から離散した塵埃等を吸引して収集する
吸込ダクトとを備えたことを特徴とする塵埃除去装置。 - 【請求項2】 前記板状体搬送手段が、前記薄板状体の
一表面側に配置されて該一表面に沿って並走する複数本
の細径の搬送ベルトを具備した第1の搬送手段と、前記
薄板状体の他表面側に配置されて該他表面に沿って並走
する複数本の細径の搬送ベルトを具備した第2の搬送手
段とを備えた構成であることを特徴とする請求項1に記
載の塵埃除去装置。 - 【請求項3】 前記吸込ダクトは、吸込み用の開口が前
記板状体搬送手段の搬送経路を横断する如く延在する構
成をなし、 かつ、前記エアー吹出しノズルは、前記吸込ダクト内を
挿通して設けられるとともに、前記板状体搬送手段の搬
送経路を横断する吸込ダクトの開口側にエアー吹出し口
を向けた構成をなしていることを特徴とする請求項1ま
たは2に記載の塵埃除去装置。 - 【請求項4】 前記吸込ダクトとこの吸込ダクト内を挿
通するエアー吹出しノズルとが、板状体搬送手段によっ
て搬送される薄板状体の一表面側と他表面側との双方に
装備され、かつ、一表面側と他表面側に配置された各吸
込ダクトがその基端側で合流して一本化されるととも
に、一表面側と他表面側に配置された各エアー吹出しノ
ズルがその基端側で合流して一本化されていることを特
徴とした請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の塵埃
除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18632993A JPH0767553B2 (ja) | 1993-07-28 | 1993-07-28 | 塵埃除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18632993A JPH0767553B2 (ja) | 1993-07-28 | 1993-07-28 | 塵埃除去装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0739836A JPH0739836A (ja) | 1995-02-10 |
| JPH0767553B2 true JPH0767553B2 (ja) | 1995-07-26 |
Family
ID=16186447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18632993A Expired - Lifetime JPH0767553B2 (ja) | 1993-07-28 | 1993-07-28 | 塵埃除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0767553B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5934623B2 (ja) * | 2012-09-26 | 2016-06-15 | 株式会社キーレックス | エアブロー装置 |
| CN103143531B (zh) * | 2013-02-21 | 2015-09-16 | 江苏汇成光电有限公司 | 一种柔性电路板表面微尘清除器 |
| WO2016190494A1 (ko) * | 2015-05-22 | 2016-12-01 | 한국항공우주연구원 | 이물 제거 장치 및 방법 |
-
1993
- 1993-07-28 JP JP18632993A patent/JPH0767553B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0739836A (ja) | 1995-02-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20090223015A1 (en) | Automatic pallet cleaning apparatus | |
| JPH0811224B2 (ja) | 物品清浄装置 | |
| KR20060135790A (ko) | 판재의 종형 가공 라인 | |
| JP6420967B2 (ja) | 異物除去装置 | |
| JPS6097157A (ja) | 柔軟なウエブ用の空気式コンベヤおよび搬送方法 | |
| CN105826168A (zh) | 基板处理装置 | |
| JPH0767553B2 (ja) | 塵埃除去装置 | |
| JPH01272190A (ja) | プリント回路板の静電ラッカー塗布方法およびその実施のための装置 | |
| CN110087784A (zh) | 异物除去装置和异物除去方法 | |
| JP2003243811A (ja) | プリント回路板のスプレー処理装置 | |
| JP2013078701A (ja) | 基板処理装置 | |
| JP3559256B2 (ja) | 枚葉ワークの異物除去装置 | |
| WO2005049238A1 (ja) | ダスト除去装置及びダスト除去方法 | |
| JPS5994840A (ja) | ウエハ搬送装置 | |
| JP2008156065A (ja) | 振動式パーツフィーダ | |
| JP4509613B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| JP2005087925A (ja) | 段ボール類又は紙製品類等の紙粉除去装置及び紙粉除去方法 | |
| JP7055839B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| JPS5843979Y2 (ja) | 附着異物吸引除去装置 | |
| JP2001358114A (ja) | 乾燥装置 | |
| JPH08338686A (ja) | 基板乾燥方法及びその装置 | |
| JP2003055779A (ja) | 基板のエッチング方法、およびエッチング装置 | |
| CN102219118B (zh) | 板状体搬送装置 | |
| JPH091456A (ja) | プリント配線基板の研磨装置 | |
| CN117396282A (zh) | 粉尘除去装置 |