JPH076763B2 - Swelling film thickness meter - Google Patents
Swelling film thickness meterInfo
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- JPH076763B2 JPH076763B2 JP62316977A JP31697787A JPH076763B2 JP H076763 B2 JPH076763 B2 JP H076763B2 JP 62316977 A JP62316977 A JP 62316977A JP 31697787 A JP31697787 A JP 31697787A JP H076763 B2 JPH076763 B2 JP H076763B2
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Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、時間と共に変化する膜の厚みを測定し表示・
記録する膜厚計に関する。特に、支持体の上に塗工され
た塗膜が、液体を吸収膨潤し、膜の厚みが変化する状態
を時々刻々観測して記録する膨潤膜厚計に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial field of application) The present invention measures and displays a film thickness that changes with time.
It relates to a film thickness meter for recording. In particular, the present invention relates to a swelling film thickness meter in which a coating film applied on a support absorbs and swells a liquid, and the state in which the thickness of the film changes is observed and recorded moment by moment.
例えば、写真用フィルム、印画紙などの写真感光材料
は、現像液等の処理により画像を形成するが、処理液中
での感光塗膜の膨潤の挙動が、処理中における化学反応
速度、膜の物理的強度や、処理終了後の膜の物理的性
質、表面外観等の仕上がり品質に密接に関係することが
わかっており、写真感光材料の設計、工程管理、品質管
理において、膨潤挙動の測定は欠かせないものになって
いる。For example, a photographic light-sensitive material such as a photographic film or photographic paper forms an image by treatment with a developing solution or the like, and the behavior of swelling of a photosensitive coating film in the treatment solution depends on the chemical reaction rate or the film formation during the treatment. It is known that the physical strength, the physical properties of the film after the treatment, and the finish quality such as surface appearance are closely related.Therefore, the swelling behavior can be measured in the design, process control, and quality control of photographic light-sensitive materials. It is indispensable.
(従来の技術と問題点) 膨潤挙動の簡単な測定法としては、精密膜厚計を用いて
時間を追って複数回測定し、人手でプロットする方法が
ある。この時用いられる精密膜厚計には、機械式マイク
ロメータ型、電子式マイクロメータ型があるが、測定圧
を低くして被測定物の変形を最小に保ちながら精度良く
測定するためには、差動トランスを用いた電子マイクロ
メータが適している。これは、円筒コイル中のコアに接
続した測定端子をフィルム面に接触させ、そのわずかな
変位をインピーダンスの変化として測定するものであ
る。(Prior Art and Problems) As a simple measuring method of the swelling behavior, there is a method of manually measuring a plurality of times by using a precision film thickness meter and plotting it manually. The precision film thickness meter used at this time includes a mechanical micrometer type and an electronic micrometer type, but in order to accurately measure while keeping the deformation of the measured object to a minimum by lowering the measurement pressure, An electronic micrometer using a differential transformer is suitable. In this method, a measuring terminal connected to a core in a cylindrical coil is brought into contact with the film surface, and a slight displacement thereof is measured as a change in impedance.
しかしながら、処理液中の感光材料のような場合に、膨
潤挙動を正しく測定するためには、数秒乃至数十秒の間
に起きる変化を連続的に測定する必要があり、通常の精
密膜厚計を用いて人手で測定することは不可能であっ
た。However, in the case of a photosensitive material in a processing solution, in order to measure the swelling behavior correctly, it is necessary to continuously measure the change occurring in a few seconds to a few tens of seconds. It was impossible to manually measure with the.
又、電子マイクロメータ型膜厚計に記録計を接続して連
続記録する方法も行なわれており、例えば、フィルムを
連続的に送りながらフィルムの長さ方向の変位を記録す
る装置が市販されている(安立電気製フィルム厚み測定
器)。In addition, a method of continuously recording by connecting a recorder to an electronic micrometer type film thickness meter is also used. For example, a device for recording the displacement in the length direction of the film while continuously feeding the film is commercially available. Yes (Anritsu Denki film thickness measuring instrument).
しかしながら、膨潤挙動の測定の場合、フィルムの測定
箇所を固定し時間と共に膨潤する膜の上に測定端子を接
触させたまま測定しようとすると、測定端子そのものに
より液体の吸収が妨げられ、更にそれに伴い膨潤が妨げ
られることになり、正確な測定はできない。However, in the case of measuring the swelling behavior, if the measurement terminal is fixed and the measurement terminal is kept in contact with the film that swells with time, the measurement terminal itself impedes the absorption of the liquid, and accordingly Swelling is hindered and accurate measurement is not possible.
測定端子の影響を除くためには、測定ロッドを絶えず上
下させつつ試料に断続的かつ短時間だけ接触するように
する必要があり、単に記録計を接続して記録する場合に
は、激しい上下変動のカーブが観測され、その接触の瞬
間のみのデータをカーブから読み取ることになり、正確
な測定は極めて困難であった。In order to eliminate the influence of the measuring terminals, it is necessary to constantly move the measuring rod up and down while contacting the sample intermittently and for a short time. Curve was observed, and data was read from the curve only at the moment of contact, making accurate measurement extremely difficult.
(発明が解決しようとする問題点) 本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解決して、測
定ロッドを絶えず上下させつつ試料に断続的かつ短時間
だけ接触するようにする測定法において、その接触の瞬
間のデータのみを正確に取り出す装置、即ち、時間と共
に膜の厚みが変化する状態を時々刻々観測して記録する
膨潤膜厚計を実現することにある。(Problems to be Solved by the Invention) An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art and to provide a measuring method in which a measuring rod is constantly moved up and down and intermittently and briefly contacted with a sample. The purpose of the present invention is to realize a device that accurately extracts only the data at the moment of contact, that is, a swelling film thickness meter that momentarily observes and records the state in which the film thickness changes with time.
(問題点を解決するための手段) かかる目的は、膨潤する試料表面に加わる測定圧を2〜
15gの低荷重とした測定ロッドを上下動するカム駆動ユ
ニットと、該測定ロッドの変位を検出する差動トランス
とを具備した膜厚検出部と、該差動トランスの出力から
ミニマムピーク値を検出し、これをトリガーとしてその
一定時間後の該差動トランスの出力をミニマムピークホ
ールド回路にホールドさせるコンパレータと、該測定ロ
ッドを一定の周期で上下動させ、該差動トランスの出力
が予め定めたトリガーレベルを通過したことを検出し、
これをトリガーとして該ミニマムピークホールド回路の
ホールド値及び外部への出力値を更新させる測定トリガ
ー回路とを具備した間欠サンプリング制御部から成るこ
とを特徴とする膨潤膜厚計により達成される。(Means for Solving Problems) The purpose is to reduce the measurement pressure applied to the swelling sample surface by 2 to
A cam drive unit that moves the measuring rod up and down with a low load of 15 g, a film thickness detecting unit equipped with a differential transformer that detects the displacement of the measuring rod, and a minimum peak value is detected from the output of the differential transformer. Then, using this as a trigger, the comparator for holding the output of the differential transformer after a certain period of time in the minimum peak hold circuit and the measuring rod are moved up and down in a certain cycle, and the output of the differential transformer is predetermined. Detecting that the trigger level has been passed,
This is achieved by a swelling film thickness meter characterized by comprising an intermittent sampling control section provided with a measurement trigger circuit for updating the hold value of the minimum peak hold circuit and the output value to the outside by using this as a trigger.
第1図は、本発明の全体構成を示すシステム図である。FIG. 1 is a system diagram showing the overall configuration of the present invention.
システムの全体は、大きく分けて、膜厚検出部1と間欠
サンプリング制御部2とに分けられる。The entire system is roughly divided into a film thickness detection unit 1 and an intermittent sampling control unit 2.
間欠サンプリング制御部2はアンプ・ローパスフィルタ
3、トラックホールド回路4、差動アンプ5、ミニマム
ピークホールド回路6、サンプルホールド回路7、測定
トリガー回路8、コントローラ9、コンパレータ10の各
回路、及び操作スイッチ11、ディジタル表示部12、外部
出力端子13から成っている。The intermittent sampling control unit 2 includes an amplifier / low-pass filter 3, a track hold circuit 4, a differential amplifier 5, a minimum peak hold circuit 6, a sample hold circuit 7, a measurement trigger circuit 8, a controller 9, a comparator 10, and operation switches. 11, a digital display section 12, and an external output terminal 13.
第2図は、膜厚検出部1の概略構造図を示す。FIG. 2 shows a schematic structural diagram of the film thickness detection unit 1.
膜厚検出部1は測定ロッド17と、該測定ロッド17の変位
を検出する差動トランス14と、上下動するカム駆動ユニ
ット20とを具備している。The film thickness detection unit 1 includes a measurement rod 17, a differential transformer 14 that detects displacement of the measurement rod 17, and a cam drive unit 20 that moves up and down.
測定ロッド17は上部で差動トランス14の円筒状コイル15
の中に遊嵌するコア16に接続されており、又下部におい
て試料22と接触するコンタクト治具18が取り付けられて
いる。The measuring rod 17 is a cylindrical coil 15 of the differential transformer 14 at the top.
A contact jig 18 which is connected to a core 16 which is loosely fitted in the inside and which is in contact with the sample 22 is attached at the lower part.
測定すべき試料22を巻き付けたドラム21の頂点に、測定
ロッド17の先端に取り付けたコンタクト治具18が近接
し、かつ上下に移動できるように配置され、測定ロッド
17及びコンタクト治具18はカム駆動ユニット20により駆
動ロッド19を介して周期的に上下動させられる。The contact jig 18 attached to the tip of the measuring rod 17 is arranged close to the apex of the drum 21 around which the sample 22 to be measured is wound, and is arranged so as to be movable up and down.
The cam 17 and the contact jig 18 are periodically moved up and down by a cam drive unit 20 via a drive rod 19.
差動トランス14の出力をトリガーとして間欠サンプリン
グ部2が作動する。The intermittent sampling unit 2 operates by using the output of the differential transformer 14 as a trigger.
(作用) 第2図において、試料22は例えば写真感光フィルムの乳
剤塗膜の上に例えば水滴をたらしたものであり、その上
から測定ロッド17の先端に取り付けたコンタクト治具18
を軽く接触させる。試料22の固定を確実にする方法とし
ては、第2図のドラム21の代わりに吸引手段を設けた平
面台を用いてもよい。(Operation) In FIG. 2, a sample 22 is, for example, a water drop on an emulsion coating of a photographic photosensitive film, and a contact jig 18 attached to the tip of the measuring rod 17 from above.
Lightly touch. As a method for ensuring the fixation of the sample 22, a flat table provided with suction means may be used instead of the drum 21 in FIG.
測定圧の影響を防ぐために測定ロッド17及びコンタクト
治具18はカム駆動ユニット20により駆動ロッド19を介し
て一定の時間間隔例えば0.5秒間隔で上下に動かされ
る。測定圧は差動トランス14のコア16、測定ロッド17、
コンタクト治具18の合計の重量で決まるが、正確な膨潤
厚みを得るためにはできる限り軽いことが望ましく、カ
ム駆動ユニット20の中に図示されていないカウンターウ
エイトを設けて2〜15gの範囲で調節できるように製作
する。In order to prevent the influence of the measurement pressure, the measurement rod 17 and the contact jig 18 are moved up and down by the cam drive unit 20 via the drive rod 19 at regular time intervals, for example, 0.5 second intervals. The measuring pressure is the core 16 of the differential transformer 14, the measuring rod 17,
Although it is determined by the total weight of the contact jig 18, it is desirable to be as light as possible in order to obtain an accurate swelling thickness, and a counter weight (not shown) is provided in the cam drive unit 20 to set the weight within a range of 2 to 15 g. Make it adjustable.
又、カム駆動ユニット20のカムの形状は、コンタクト治
具18が試料22に接触する瞬間に、強い衝撃を与えないよ
う、そのストロークの下方において降下速度を低下させ
る形状を与えることが重要である。Further, it is important that the shape of the cam of the cam drive unit 20 has a shape that lowers the descending speed below the stroke so as not to give a strong impact at the moment when the contact jig 18 contacts the sample 22. .
又、測定ロッド17のコンタクト治具18が試料22に接触し
た瞬間には、膨潤した試料22の表面に若干の振動を生ず
るので、安定した測定値を得るには、接触した瞬間から
一定時間経過した後の値、例えば0.1秒後の値をサンプ
リングして用いることが有効である。Further, at the moment when the contact jig 18 of the measuring rod 17 comes into contact with the sample 22, a slight vibration is generated on the surface of the swollen sample 22. It is effective to sample and use the value after this, for example, the value after 0.1 second.
第1図及び第2図を参照しながらまず測定モードについ
て信号の流れを説明する。First, the flow of signals in the measurement mode will be described with reference to FIGS. 1 and 2.
測定を開始し、試料22が膨潤するに従って膜厚は厚くな
り、測定ロッド17及びコンタクト治具18が下りた時の位
置が時間と共に高くなる。As the measurement is started and the sample 22 swells, the film thickness becomes thicker, and the position when the measuring rod 17 and the contact jig 18 descend is increased with time.
従って、差動トランス14の出力は、カム駆動ユニット20
によって動かされる周期的な上下運動に、その一回毎の
極小値が時間と共に上昇する成分が加わった形で表され
る。Therefore, the output of the differential transformer 14 is the cam drive unit 20.
It is expressed by adding the component that the local minimum value rises with time to the periodic vertical movement that is moved by.
差動トランス14の出力は、間欠サンプリング制御部2に
入力され、まずアンプ・ローパスフィルタ3で増幅され
ると共に、高周波ノイズ、例えば20Hz以上の高周波成分
がカットされる。The output of the differential transformer 14 is input to the intermittent sampling control unit 2, first amplified by the amplifier / low-pass filter 3, and high-frequency noise, for example, high-frequency component of 20 Hz or higher is cut.
次のトラックホールド回路4は、差動トランス14の出力
を直接ディジタル表示部12に出力するためのホールド回
路であり連続測定時は機能しない。The next track-hold circuit 4 is a hold circuit for directly outputting the output of the differential transformer 14 to the digital display section 12, and does not function during continuous measurement.
信号は更に差動アンプ5でゼロ点及びゲインの調整がさ
れた後、ミニマムピークホールド回路6に送られると共
に、コンパレータ10にも送られる。コンパレータ10で
は、信号を予め設定した値と比較し、コンタクト治具18
が試料22に接触し再び上がり始める極小値、即ち差動ト
ランス14の出力の変化率がゼロとなる点を検出し、コン
トローラ9にピーク値ホールドを指示する。ミニマムピ
ークホールド回路6はこの指示を受け、一定時間後例え
ば0.1秒後の値をホールドし次のサンプルホールド回路
7に送る。The signal is further sent to the minimum peak hold circuit 6 and the comparator 10 after the zero point and the gain are adjusted by the differential amplifier 5. In the comparator 10, the signal is compared with a preset value, and the contact jig 18
Detects the minimum value at which the sample 22 comes into contact with the sample 22 and starts rising again, that is, the point where the rate of change in the output of the differential transformer 14 becomes zero, and instructs the controller 9 to hold the peak value. In response to this instruction, the minimum peak hold circuit 6 holds a value after a fixed time, for example, 0.1 seconds, and sends it to the next sample hold circuit 7.
一方、差動トランス14の出力は同時に測定トリガー8の
回路に送られ、予め設定された電圧を信号が上向きに通
過する瞬間をとらえて、コントローラ9にトリガー信号
を発する。コントローラ9はこのトリガーを受け、コン
パレータ10に指示して新たなミニマムピーク値を検出さ
せ、上記ミニマムピークホールド回路6のホールド値を
更新すると共に、サンプルホールド回路7にホールドさ
れた値をディジタル表示部12及び外部出力端子13に出力
させる。On the other hand, the output of the differential transformer 14 is sent to the circuit of the measurement trigger 8 at the same time, and the trigger signal is issued to the controller 9 at the moment when the signal passes the preset voltage upward. Upon receiving this trigger, the controller 9 instructs the comparator 10 to detect a new minimum peak value, updates the hold value of the minimum peak hold circuit 6, and displays the value held in the sample hold circuit 7 on the digital display unit. 12 and output to the external output terminal 13.
従って、ディジタル表示部12及び外部出力端子13に出力
される波形は、上記上下運動の一周期の長さを一段とす
る階段状の波形となる。Therefore, the waveform output to the digital display unit 12 and the external output terminal 13 is a stepwise waveform having one step of the length of one cycle of the vertical movement.
これらの信号の処理は出力までアナログで扱う事もでき
るし、又第1段の増幅後A/D変換しディジタルの形で処
理・出力することもできる。The processing of these signals can be handled in analog form up to the output, or can be processed and output in digital form after A / D conversion after the first stage amplification.
本発明の特徴は、差動トランス14の出力自身をトリガー
として利用するところにある。即ち、測定トリガー回路
8においては、ホールド値の更新及び出力のタイミング
を、又、コンパレータ10においてはミニマムピークのサ
ンプリングのタイミングを、それぞれコントローラ9に
指示しつつ連続的に、かつ必要なデータのみ、即ちミニ
マムピーク値のみを出力させるのである。A feature of the present invention is that the output itself of the differential transformer 14 is used as a trigger. That is, in the measurement trigger circuit 8, the hold timing is updated and output timing is output, and in the comparator 10, the minimum peak sampling timing is instructed to the controller 9. That is, only the minimum peak value is output.
上記作用の時系列的な関係を、第3図を用いて説明す
る。The time series relationship of the above operation will be described with reference to FIG.
第3図において、差動トランス14の出力は上下運動する
波形で示される。In FIG. 3, the output of the differential transformer 14 is shown as a waveform that moves up and down.
この信号は、第1図におけるミニマムピークホールド回
路6、測定トリガー回路8、並びにコンパレータ10に入
力される信号波形を示している。This signal shows a signal waveform input to the minimum peak hold circuit 6, the measurement trigger circuit 8 and the comparator 10 in FIG.
図中、出力ゼロ点レベルは膨潤を開始する前の差動トラ
ンス14の出力の極小値である。In the figure, the output zero point level is the minimum value of the output of the differential transformer 14 before the start of swelling.
今、膨潤を開始した直後に、差動トランス14の出力が予
め定めた測定トリガーレベルをC0点で上向きに通過した
とすると、トリガー信号がコンパレータ10に送られ、コ
ンパレータ10は、差動トランス14の出力を予め設定した
コンパレータ比較基準レベルと比較して、その差の変化
を監視し、極小点A0でミニマムピーク値B0を検出する。
この値をミニマムピークホールド回路6がホールドす
る。Now, immediately after the start of swelling, if the output of the differential transformer 14 passes upward at a predetermined measurement trigger level at point C 0 , a trigger signal is sent to the comparator 10, which causes the differential transformer 14 to The output of 14 is compared with a preset comparator comparison reference level, the change in the difference is monitored, and the minimum peak value B 0 is detected at the minimum point A 0 .
The minimum peak hold circuit 6 holds this value.
次のトリガー信号がC1点で発せられると、ミニマムピー
クホールド回路6にホールドされていたB0値がサンプル
ホールド回路7に移送され、サンプルホールド回路7に
ホールドされると同時に、ディジタル表示部12及び外部
出力端子13に出力される。C1点で発せられるトリガー信
号は、同時にコンパレータ10にも送られ、コンパレータ
10が新たな極小値B1の監視を開始し、次の極小点A1でB1
値を検出すると、ミニマムピークホールド回路6がそれ
までホールドしていたミニマムピーク値B0をB1に更新す
る。When the next trigger signal is issued at the point C 1 , the B 0 value held in the minimum peak hold circuit 6 is transferred to the sample hold circuit 7 and held in the sample hold circuit 7, and at the same time, the digital display unit 12 And output to the external output terminal 13. Trigger signal generated by C 1 point is also sent to the comparator 10 at the same time, the comparator
10 starts a new monitoring minimum values B 1, B 1 with the following minimum point A 1
When the value is detected, the minimum peak hold circuit 6 updates the minimum peak value B 0 held so far to B 1 .
更に次のC2点で発せられるトリガー信号により、ミニマ
ムピーク値B1がサンプルホールド回路7に移送され、サ
ンプルホールド回路7から外部への出力がB0からB1に更
新される。同時に、コンパレータ10が次のミニマムピー
ク値B2の監視を開始する。Further, the minimum peak value B 1 is transferred to the sample hold circuit 7 by the trigger signal generated at the next C 2 point, and the output from the sample hold circuit 7 to the outside is updated from B 0 to B 1 . At the same time, the comparator 10 starts monitoring the next minimum peak value B 2 .
このようにして、周期的上下運動の一回毎に発せられる
トリガー信号に従って、上記ミニマムピークホールド回
路6及びサンプルホールド回路7のミニマムピーク値が
更新されると共に、ディジタル表示部12及び外部出力端
子13への出力の更新が行われる。In this way, the minimum peak values of the minimum peak hold circuit 6 and the sample hold circuit 7 are updated according to the trigger signal issued at each time of the periodic vertical movement, and the digital display section 12 and the external output terminal 13 are updated. The output to is updated.
次に、第1図に示されるその他の回路ユニットの作用に
ついて説明する。Next, the operation of the other circuit units shown in FIG. 1 will be described.
操作スイッチ11は、差動トランス14のコアの位置を直
読する「メカニカルセットモード」、その時のコアの
位置をゼロ点とする「ゼロセットモード」、測定時選
択する「測定モード」、そしてゼロ点及びゲインを調
整する時の「テストモード」の四つのモードの選択を行
うものである。The operation switch 11 is a "mechanical set mode" that directly reads the position of the core of the differential transformer 14, a "zero set mode" that sets the core position at that time to the zero point, a "measurement mode" that is selected during measurement, and a zero point. Also, four modes of "test mode" when adjusting the gain are selected.
トラックホールド回路4は、「メカニカルセットモー
ド」及び「ゼロセットモード」を選択した時に増幅後の
差動トランス14の出力をホールドし直接出力するもの
で、ホールド付き12ビットA/D変換器を備えている。The track hold circuit 4 holds and directly outputs the output of the differential transformer 14 after amplification when the "mechanical set mode" and the "zero set mode" are selected, and has a 12-bit A / D converter with a hold ing.
また、コンパレータ10は、前述したミニマムピーク値の
検出の機能の他に、設定した比較基準レベルより低い異
常値がでた場合に、前記ミニマムピークホールド値のホ
ールド指示を打ち消して測定値から除く指示をコントロ
ーラ9に与える機能も備えており、サンプルホールド回
路7はその指示を受けて正常値のみを出力する。異常値
検出レベルは、第3図に示すごとく出力ゼロ点より低く
かつ近傍に設定する。Further, in addition to the above-described minimum peak value detection function, the comparator 10 gives an instruction to cancel the hold instruction of the minimum peak hold value and remove it from the measured value when an abnormal value lower than the set comparison reference level appears. Is also provided to the controller 9, and the sample hold circuit 7 receives the instruction and outputs only the normal value. The abnormal value detection level is set lower than and close to the output zero point as shown in FIG.
ディジタル表示部12は、上記四つのそれぞれのモードに
対応した信号をディジタル値で表示する。「メカニカル
セットモード」ではアンプ・ローパスフィルタ3の出力
が後の回路をバイパスして直接表示される。The digital display unit 12 displays the signals corresponding to the above four modes as digital values. In the "mechanical set mode", the output of the amplifier / low-pass filter 3 bypasses the subsequent circuit and is directly displayed.
外部出力端子13は、連続記録計のためのものであり、記
録計としては任意のものが使える。The external output terminal 13 is for a continuous recorder, and any recorder can be used.
(実施例) 本発明の実施態様をより明確にするために実施例を挙げ
る。(Example) An example is given in order to clarify the embodiment of the present invention.
第2図において、差動トランス14として市販品の中から
選択し、動作範囲±2.5mm、測定感度約0.52V/mm(DC駆
動時)のものを用いた。In FIG. 2, the differential transformer 14 selected from commercially available products has an operating range of ± 2.5 mm and a measurement sensitivity of about 0.52 V / mm (when driven by DC).
差動トランス14の直線性の良い範囲を使うために、ゼロ
セットの範囲は200〜600μm、測定範囲を200μmにと
った。In order to use the range with good linearity of the differential transformer 14, the range of zero set is 200 to 600 μm and the measuring range is 200 μm.
測定周期は0.5secとし、カム駆動ユニット20により約6m
mのストロークの上下動を与えた。The measurement cycle is 0.5 sec, and the cam drive unit 20 makes it approximately 6 m.
Giving up and down strokes of m.
差動トランス14の出力は、アンプ・ローパスフィルタ3
で20Hz以上の高周波成分をカットすると共に、10mV/μ
mの感度(測定範囲のフルスケールで2V/200μm)とな
るよう増幅し、以降出力までこの電圧レンジを維持し
た。The output of the differential transformer 14 is the amplifier / low-pass filter 3
High frequency component of 20Hz or more is cut by 10mV / μ
Amplification was performed so that the sensitivity was m (2 V / 200 μm at the full scale of the measurement range), and thereafter this voltage range was maintained until the output.
測定トリガー回路8のトリガーレベルは2.0Vとし、又コ
ンパレータ10におけるマイナス側異常値検出レベルは−
0.2Vとした。The trigger level of the measurement trigger circuit 8 is 2.0 V, and the negative side abnormal value detection level of the comparator 10 is-.
It was set to 0.2V.
差動トランス14の直線性は、メーカー仕様で0.2%(±
5μm相当)であったが、ゼロセットレベルを200〜600
μmの範囲に、又、測定範囲を0〜200μmの範囲にと
ることにより、±0.5μmの測定精度が得られた。The linearity of the differential transformer 14 is 0.2% (±
Was equivalent to 5 μm), but the zero set level was 200-600
By setting the measurement range to be in the range of 0 μm to 0 μm to 200 μm, the measurement accuracy of ± 0.5 μm was obtained.
(発明の効果) 本発明の装置により、低荷重の測定ロッドを上下させて
断続的に試料に接触させながら測定を行なうため、測定
圧等による誤差の発生がなく、時間と共に変化する膜の
厚みを連続的に精度良く測定することができる。(Effects of the Invention) With the device of the present invention, since the measurement rod is moved up and down to bring it into contact with the sample intermittently, there is no error due to measurement pressure, etc., and the film thickness changes with time. Can be continuously and accurately measured.
又、差動トランスの出力そのものをトリガーとして用い
るから、測定ロッドの上下動サイクル即ちサンプリング
及び出力の周期を任意に変えた測定が容易であり、多様
な測定対象に対応できる。特に支持体の上に塗工された
塗膜が液体を吸収膨潤し、膜厚が変化する状態を時々刻
々観測して記録するのに有効であり、例えば写真感光材
料の設計、工程管理、品質管理に用いて多大の効果を有
する。Moreover, since the output itself of the differential transformer is used as a trigger, it is easy to perform measurement by arbitrarily changing the vertical movement cycle of the measuring rod, that is, the sampling and output periods, and it is possible to deal with various measurement targets. In particular, it is effective for observing and recording the state in which the coating film applied on the support absorbs and swells liquid and changes the film thickness, for example, the design, process control and quality of photographic light-sensitive materials. It has a great effect when used for management.
第1図は、本発明の全体構成を示すシステム図、第2図
は膜厚検出部の概略構造図を、又第3図は各ステップの
信号波形を示したものである。 1……膜厚検出部 2……間欠サンプリング制御部 3……アンプ・ローパスフィルタ 4……トラックホールド回路 5……差動アンプ 6……ミニマムピークホールド回路 7……サンプルホールド回路 8……測定トリガー回路 9……コントローラ 10……コンパレータ 11……操作スイッチ 12……ディジタル表示部 13……外部出力端子 14……差動トランス 15……円筒状コイル 16……コア 17……測定ロッド 18……コンタクト治具 19……駆動ロッド 20……カム駆動ユニット 21……ドラム 22……試料FIG. 1 is a system diagram showing the overall configuration of the present invention, FIG. 2 is a schematic structural diagram of a film thickness detection unit, and FIG. 3 is a signal waveform of each step. 1 ... Film thickness detection unit 2 ... Intermittent sampling control unit 3 ... Amplifier / low pass filter 4 ... Track hold circuit 5 ... Differential amplifier 6 ... Minimum peak hold circuit 7 ... Sample hold circuit 8 ... Measurement Trigger circuit 9 …… Controller 10 …… Comparator 11 …… Operation switch 12 …… Digital display 13 …… External output terminal 14 …… Differential transformer 15 …… Cylindrical coil 16 …… Core 17 …… Measuring rod 18… … Contact jig 19 …… Drive rod 20 …… Cam drive unit 21 …… Drum 22 …… Sample
Claims (1)
gの低荷重とした測定ロッドを上下動するカム駆動ユニ
ットと、該測定ロッドの変位を検出する差動トランスと
を具備した膜厚検出部と、該差動トランスの出力からミ
ニマムピーク値を検出し、これをトリガーとしてその一
定時間後の該差動トランスの出力をミニマムピークホー
ルド回路にホールドさせるコンパレータと、該測定ロッ
ドを一定の周期で上下動させ、該差動トランスの出力が
予め定めたトリガーレベルを通過したことを検出し、こ
れをトリガーとして該ミニマムピークホールド回路のホ
ールド値及び外部への出力値を更新させる測定トリガー
回路とを具備した間欠サンプリング制御部から成ること
を特徴とする膨潤膜厚計。1. The measurement pressure applied to the swelling sample surface is 2 to 15
A cam drive unit that moves the measuring rod up and down with a low load of g, and a film thickness detection unit equipped with a differential transformer that detects the displacement of the measuring rod, and a minimum peak value is detected from the output of the differential transformer. Then, using this as a trigger, the comparator for holding the output of the differential transformer after a certain period of time in the minimum peak hold circuit and the measuring rod are moved up and down in a certain cycle, and the output of the differential transformer is predetermined. Swelling characterized by comprising an intermittent sampling control section equipped with a measurement trigger circuit for detecting that a trigger level has been passed and updating the hold value of the minimum peak hold circuit and the output value to the outside by using this as a trigger. Film thickness meter.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62316977A JPH076763B2 (en) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | Swelling film thickness meter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62316977A JPH076763B2 (en) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | Swelling film thickness meter |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01156602A JPH01156602A (en) | 1989-06-20 |
| JPH076763B2 true JPH076763B2 (en) | 1995-01-30 |
Family
ID=18083043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62316977A Expired - Fee Related JPH076763B2 (en) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | Swelling film thickness meter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH076763B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6396590B1 (en) * | 1999-09-13 | 2002-05-28 | The University Of Tennessee Research Corporation | Process and system for determination of layer thickness swell of wood composites |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5385177U (en) * | 1976-12-16 | 1978-07-13 | ||
| JPS62226008A (en) * | 1986-03-28 | 1987-10-05 | Okuma Mach Works Ltd | Three-dimensional measuring method in profile control |
-
1987
- 1987-12-15 JP JP62316977A patent/JPH076763B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01156602A (en) | 1989-06-20 |
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