JPH076776B2 - Hot coil winding shape detector - Google Patents
Hot coil winding shape detectorInfo
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- JPH076776B2 JPH076776B2 JP2253469A JP25346990A JPH076776B2 JP H076776 B2 JPH076776 B2 JP H076776B2 JP 2253469 A JP2253469 A JP 2253469A JP 25346990 A JP25346990 A JP 25346990A JP H076776 B2 JPH076776 B2 JP H076776B2
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- 238000004804 winding Methods 0.000 title claims description 20
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000005098 hot rolling Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012876 topography Methods 0.000 description 1
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- Controlling Rewinding, Feeding, Winding, Or Abnormalities Of Webs (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、熱間圧延直後に巻取られた高温のホットコイ
ル側面の巻取り形状を非接触かつ自動的に検出する装置
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a device for non-contact and automatically detecting the winding shape of the side surface of a high temperature hot coil wound immediately after hot rolling.
従来技術 ホットコイル生産ラインにおいて、巻取ったホットコイ
ルはコ形、L形等のフックを掛け、クレーンで吊り上げ
て別のヤードに搬送されているが、ホットコイルの側面
は程度の差はあっても凸凹をなしているのが常で、凸凹
の程度によっては搬送途上でコイルがフックから外れて
脱落しないように引掛かりの深いフックに付け替えねば
ならず、またテレスコープ状に突出する部分をフックで
押し込んだり、叩き込んで矯正し或いはまた巻き直しを
せねばならないこともある。そのためにコイル側面の凸
凹の程度を知ることが必要となり、従来は、作業員が巻
取ったホットコイルの側面を目視により識別し、フック
の付け替えや矯正のためのランク付けを行っていた。Conventional technology In a hot coil production line, the wound hot coil is hooked with a U-shaped or L-shaped hook, lifted by a crane and transported to another yard, but the sides of the hot coil vary to some extent. Also, the coil is usually uneven, and depending on the degree of unevenness, the coil must be replaced with a deep hook so that the coil will not fall off the hook during transport and fall off, and the part that protrudes like a telescope will hook. It may be necessary to squeeze it in or tap it in to correct or rewind it. Therefore, it is necessary to know the degree of unevenness on the side surface of the coil, and in the past, an operator visually identified the side surface of the hot coil to perform hook replacement and ranking for correction.
一方、表面形状を検出する方法は既知で、二台のカメラ
を用いる両眼立体視や一台若しくは二台のスリット光発
生装置と、一台若しくは二台以上のTVカメラを組合わせ
た光切断法と三角測量法に基づく方法が広く知られてい
る。この原理に基づいて、コイル側面の巻取形状を検出
する方法も既知で、特公昭53−15018号には、一台のス
リット光発生装置と、一台のカメラを用いてコイル側面
の巻取形状を検出する装置が開示されているが、凹凸を
呈するコイル側面に一方向よりスリット光を当てると陰
ができ、スリット光の反射像をカメラで撮り込めない死
角が生ずる。On the other hand, a method of detecting the surface shape is known, and binocular stereoscopic vision using two cameras, or one or two slit light generators, and one or more TV cameras in combination for optical cutting. Methods based on the method and triangulation are widely known. Based on this principle, a method for detecting the winding shape of the coil side surface is also known. In Japanese Patent Publication No. 53-15018, the winding side surface of the coil is wound using one slit light generator and one camera. A device for detecting the shape is disclosed, but when the slit light is applied to the side surface of the coil having irregularities from one direction, a shadow is formed, and a blind spot occurs in which a reflected image of the slit light cannot be captured by a camera.
表面形状を検出する一般的な方法においては、このため
二台のプロジェクターをTVカメラの両側に置く方法が用
いられる。特開昭63-61108号には、二台のスリット光プ
ロジェクターと一台のTVカメラを用いて短時間に対象物
の三次元形状を検出する方法が開示されている。A common method for detecting surface topography uses two projectors on either side of the TV camera for this purpose. Japanese Patent Laid-Open No. 63-61108 discloses a method of detecting a three-dimensional shape of an object in a short time by using two slit light projectors and one TV camera.
発明が解決しようとする課題 ホットコイル側面の巻取り形状を上述するような既知な
方法により死角の領域を少なくして検出しようとする場
合、TVカメラの両側にプロジェクターを配置するための
測定器材が大きくかつ重くなり、しかも高温環境下で長
時間測定を行うには大きな遮蔽ボックスに測定器材を納
めて防熱する必要があるなどの問題がある。Problems to be Solved by the Invention When detecting the winding shape on the side surface of the hot coil by reducing the blind spot area by the known method as described above, a measuring instrument for arranging the projectors on both sides of the TV camera is required. It becomes large and heavy, and there are problems such as that it is necessary to put the measuring equipment in a large shielding box to protect it from heat for long-term measurement in a high temperature environment.
また三角測量法上、測定精度を上げるには、TVカメラと
プロジェクターの間隔を大きく取る必要があるが、プロ
ジェクターを離してスリット光の投影角度(コイル側面
の法線となす角)が大きくなる程、陰になる死角の領域
が大きくなる。そこでプロジェクターは通常、死角の形
成領域が少なく、かつ測定精度が損なわない位置に位置
決めし固定されるが、その調整は、調整作業はもとよ
り、TVカメラとプロジェクターとの距離の測定が伴い、
きわめて面倒である。In addition, in order to improve the measurement accuracy in the triangulation method, it is necessary to increase the distance between the TV camera and the projector. , The area of the blind spot which becomes a shadow becomes large. Therefore, the projector is usually positioned and fixed in a position where the blind spot formation area is small and measurement accuracy is not impaired, but the adjustment involves not only the adjustment work but also the measurement of the distance between the TV camera and the projector.
Very troublesome.
本発明は、コイル側面の巻取形状を死角の領域を少なく
して検出するために、二以上のスリット光を二方向から
照射しようとするもので、第1の目的は、投影部をコン
パクトにし、かつ構造を簡単にするため、一台のTVカメ
ラ等の画像入力装置と、一台のプロジェクターを用いて
ホットコイル側面の巻取り形状を検出し、しかもスリッ
ト光の投影位置の調整が簡易に行える検出装置を抵抗し
ようとするものであり、第2の目的は、スリット光の投
影角度を調整できるようにするものである。The present invention is intended to irradiate two or more slit lights from two directions in order to detect the winding shape of the coil side surface while reducing the blind spot area. The first object is to make the projection unit compact. In addition, in order to simplify the structure, one TV camera or other image input device and one projector are used to detect the winding shape on the side of the hot coil, and the adjustment of the projection position of the slit light is easy. The second purpose is to resist the possible detection device, and the second purpose is to be able to adjust the projection angle of the slit light.
課題の解決手段及び作用 第1の目的を達成するためのホットコイル巻取形状の検
出装置は、スリットパターン光を発生する一台のプロジ
ェクターと、プロジェクターから照射された二本以上の
スリット光をそれぞれ反射させ、ホットコイル側面に二
方向から投影する一対の反対鏡を備えた反射装置と、コ
イル側面に二方向から投影されたスリット光を撮り込む
画像入力装置と、撮り込んだスリット光パターン画像か
らホットコイル巻取側面形状に応じた輪郭線像を抽出
し、巻取形状を検出する画像処理装置とからなるホット
コイル巻取形状の検出装置において、両反射鏡が左右で
ネジの向きが異なるボールネジの左右にそれぞれ螺着さ
れるスライダーに取着されることを特徴とするものであ
る。Means for Solving the Problems and Actions In order to achieve the first object, a hot coil winding shape detecting device includes a projector that generates slit pattern light and two or more slit lights that are emitted from the projector. From a reflecting device equipped with a pair of opposite mirrors that reflect and project from the two directions on the hot coil side surface, an image input device that captures slit light projected on the coil side surface from two directions, and a slit light pattern image that is captured In a hot coil winding shape detection device that consists of an image processing device that extracts the contour image according to the shape of the hot coil winding side face and detects the winding shape, a ball screw in which both reflectors have different screw directions on the left and right sides. It is characterized by being attached to sliders which are respectively screwed to the left and right sides of the.
本装置によれば、一台のプロジェクターで二本以上のス
リットパターン光が発生し、反射鏡によって左右方向に
光路を変えたのち、画像入力装置より一定距離離れた位
置にそれぞれ取付けた別の反射鏡からホットコイル側面
に投影される。According to this device, two or more slit pattern lights are generated by one projector, the optical path is changed to the left and right by the reflecting mirror, and then another reflection is installed at a position apart from the image input device by a certain distance. It is projected from the mirror to the side of the hot coil.
また左右の反射鏡は、ボールネジを正或いは逆方向に回
転させることにより、互いに接近或いは離間する動きを
行い、その移動量は、ネジの回転数を計測することによ
り回転数とネジのピッチから求められる。The left and right reflecting mirrors move toward and away from each other by rotating the ball screw in the forward or reverse direction, and the amount of movement is obtained from the rotational speed and the screw pitch by measuring the rotational speed of the screw. To be
第2の目的を達成するための検出装置は、上記装置の左
右の反射鏡がスライダーにそれぞれ回転可能に支持され
る。In the detection device for achieving the second object, the left and right reflecting mirrors of the above device are rotatably supported by sliders.
本装置によれば、反射鏡の向きによってスリット光の投
影角度が変化する。According to this device, the projection angle of the slit light changes depending on the direction of the reflecting mirror.
実施例 第1図は本発明に係るホットコイル巻取検出装置の一例
を示すもので、前面に透明な耐熱性ガラスを備えた防熱
用遮蔽ボックス1内には、スリット板2を備えたスリッ
トパターン光発生用のプロジェクター3と、プロジェク
ター3より照射された二本のスリット光を互いに逆向き
に90゜屈折させ、左右対称形に反射させる前後方向に位
置調整可能なV形の反射鏡4と、反射鏡4の前側に配置
され、ベルトコンベア13で順次搬送されるホットコイル
5の側面に向けられる反射鏡6と、ホットコイル側面か
らの反射光を反射鏡6を介して撮り込むTVカメラ7とが
設けてあり、両側面には透明な耐熱性ガラスを嵌め込ん
だ窓8が設けられ、反射鏡4より反射されたスリット光
が透過するようになっている。ボックス1にはまたその
底面に左右でネジの向きが異なるボールネジ9の中心部
が回転自在に軸支され、両窓8の中心と一致して左右に
伸びている。そして左右の等距離に当たる箇所にそれぞ
れスライダー11が螺着され、ボールネジ9の一方向の回
転により互いに接近し、逆方向の回転により互いに離間
する左右対称の動きを行うようになっている。左右の両
スライダー11には反射鏡12が回転可能に軸支され、照射
角度を変えられるようになっており、反射鏡4より反射
されたスリット光がそれぞれ窓8を通して反射鏡12に当
り、該反射鏡12で反射されてホットコイル側面に左右二
方向から投影されるようになっている。EXAMPLE FIG. 1 shows an example of a hot coil winding detection device according to the present invention, in which a slit pattern having a slit plate 2 is provided in a heat shield box 1 having transparent heat-resistant glass on the front surface. A projector 3 for generating light, a V-shaped reflector 4 which is positionally adjustable in the front-rear direction, in which the two slit lights emitted from the projector 3 are refracted by 90 ° in opposite directions and are reflected symmetrically. A reflector 6 arranged on the front side of the reflector 4 and directed to the side surface of the hot coil 5 that is sequentially conveyed by the belt conveyor 13, and a TV camera 7 that captures reflected light from the side surface of the hot coil through the reflector 6. Is provided, and windows 8 in which transparent heat-resistant glass is fitted are provided on both side surfaces so that slit light reflected by the reflecting mirror 4 is transmitted. In the box 1, a central portion of a ball screw 9 whose left and right screw directions are different from each other is rotatably supported on the bottom surface of the box 1 and extends rightward and leftward in accordance with the centers of both windows 8. The sliders 11 are respectively screwed onto the left and right portions at equal distances, so that the ball screws 9 are rotated in one direction to approach each other, and are rotated in the opposite direction so as to be moved symmetrically. A reflecting mirror 12 is rotatably supported by both the left and right sliders 11 so that the irradiation angle can be changed. The slit light reflected by the reflecting mirror 4 hits the reflecting mirror 12 through the window 8 respectively, The light is reflected by the reflecting mirror 12 and projected onto the side surface of the hot coil from two directions, left and right.
なおプロジェクター3より照射されたスリット光は反射
鏡4の位置を前後に調整することにより反射鏡6の中心
に当たるようにされ、また反射鏡6の角度を変え、左右
方向の位置を調整することによりホットコイル側面への
投影位置を変えることができる。The slit light emitted from the projector 3 is made to strike the center of the reflecting mirror 6 by adjusting the position of the reflecting mirror 4 back and forth, and by changing the angle of the reflecting mirror 6 and adjusting the horizontal position. The projection position on the side surface of the hot coil can be changed.
またプロジェクター3に設けられるスリット板2は交換
可能であり、ホットコイルのサイズやホットコイルとの
間隔に応じて第2図に示すようにスリット間隔、角度、
スリット本数の異なるものに変えられる。Further, the slit plate 2 provided in the projector 3 is replaceable, and depending on the size of the hot coil and the space between the hot coil, the slit space, angle,
Can be changed to one with a different number of slits.
TVカメラ7には画像処理装置14が接続され、該装置にお
いてTVカメラ7で撮り込んだスリット光パターン画像よ
りスリット光輪郭像の抽出と、ホットコイル巻取形状の
検出が行われ、凹凸の最大値とその位置等に関する測定
結果が搬送クレーンのオペレータに送られ、その情報に
基づいてクレーンの操作が行われる。第3図はその手順
を示すものである。An image processing device 14 is connected to the TV camera 7, and the slit light contour image is extracted from the slit light pattern image taken by the TV camera 7 and the hot coil winding shape is detected in the device, thereby maximizing the unevenness. The measurement result regarding the value and its position is sent to the operator of the transport crane, and the crane is operated based on the information. FIG. 3 shows the procedure.
第4図は処理画像の一例を示すもので、画面中央の基準
線cの両側に左右両方向から照射したスリット光像が示
されている。基準線cからスリット像までの横方向の長
さが実際の凸凹量と比例関係にあり、凸凹量の計算は画
面の上から下ヘ一走査線ごとに基準線cより左右のスリ
ット像までの画素数をそれぞれ求めることによって行
う。死角の発生がない場合には、左右のスリット像と基
準線との間の画素数の平均値を求めるか或いは左右のス
リット像間の画素数を求め2で割る。死角のある場合に
は死角にならない方のスリット像と基準線との間の画素
数を求めることにより凸凹量が求められる。FIG. 4 shows an example of the processed image, and shows slit light images emitted from both left and right directions on both sides of the reference line c at the center of the screen. The horizontal length from the reference line c to the slit image is proportional to the actual amount of unevenness, and the amount of unevenness is calculated from the top to the bottom of the screen for each scanning line from the reference line c to the left and right slit images. This is done by finding the number of pixels respectively. If there is no blind spot, the average value of the number of pixels between the left and right slit images and the reference line is calculated, or the number of pixels between the left and right slit images is calculated and divided by two. When there is a blind spot, the amount of unevenness can be obtained by finding the number of pixels between the slit image and the reference line that do not become the blind spot.
発明の効果 本発明は以上のように構成され、次のような効果を奏す
る。EFFECTS OF THE INVENTION The present invention is configured as described above and has the following effects.
請求項1記載の装置によれば、プロジェクター一台と画
像入力装置一台を用いてホットコイル側面の巻取形状を
死角の形成領域を少なくして非接触かつ自動的に検出す
ることができ、測定機材がプロジェクター一台と画像入
力装置一台でよいため構造が簡単となり、しかもプロジ
ェクターから照射されたスリット光は、反射装置により
屈折されてコイル側面に投影されるため、プロジェクタ
ーと画像入力装置を近接して置くことができるようにな
り、そのため小型の遮蔽ボックスに納めて防熱を容易に
行うことができ、測定機材をコンパクトにすることがで
きる。また左右の反射鏡は、ボールネジを正或いは逆方
向に回転させるだけで同時に互いに接近或いは離間する
方向に動かされ、しかもその移動量は、ボールネジの回
転数を読み取ることによりネジのピッチから精度よく求
められ、その結果、ホットコイルからの距離等、測定条
件に応じて左右の反射鏡の位置を精度よく、容易かつ迅
速に調整することができる。According to the apparatus described in claim 1, it is possible to automatically detect the winding shape on the side surface of the hot coil in a non-contact manner by reducing the blind spot forming area by using one projector and one image input device. The structure is simple because only one projector and one image input device are required as measuring equipment. Moreover, the slit light emitted from the projector is refracted by the reflecting device and projected on the coil side surface. Since they can be placed close to each other, they can be put in a small shielding box to easily perform heat insulation, and the measuring equipment can be made compact. The left and right reflecting mirrors are simultaneously moved toward and away from each other simply by rotating the ball screw in the forward or reverse direction, and the amount of movement is accurately obtained from the screw pitch by reading the number of rotations of the ball screw. As a result, the positions of the left and right reflecting mirrors can be adjusted accurately, easily and quickly according to the measurement conditions such as the distance from the hot coil.
請求項2記載の装置のように、反射鏡の角度を変えられ
るようにすれば、照射角度を変え、測定条件をより一層
容易に変更することができる。If the angle of the reflecting mirror can be changed as in the apparatus according to the second aspect, the irradiation angle can be changed and the measurement conditions can be changed more easily.
第1図はホットコイル巻取形状検出装置の概略図、第2
図はスリット板の形状例を示す図、第3図は形状検出処
理のフローチャート、第4図は検出画像例を示す図であ
る。 1……遮蔽ボックス、2……スリット板 3……プロジェクター、4、6、12……反射鏡 5……ホットコイル、7……TVカメラ 9……ボールネジ、14……画像処理装置FIG. 1 is a schematic view of a hot coil winding shape detecting device, and FIG.
The figure shows an example of the shape of the slit plate, FIG. 3 is a flowchart of the shape detection process, and FIG. 4 is a figure showing an example of a detected image. 1 ... Shielding box, 2 ... Slit plate 3 ... Projector, 4, 6, 12 ... Reflecting mirror 5 ... Hot coil, 7 ... TV camera 9 ... Ball screw, 14 ... Image processing device
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮内 秀和 広島県呉市広末広2丁目2番2号 工業技 術院中国工業技術試験所内 (72)発明者 島 隆之 広島県呉市昭和町11番1号 日新製鋼株式 会社呉製鉄所内 (72)発明者 磯村 保之 広島県呉市昭和町11番1号 日新製鋼株式 会社呉製鉄所内 (72)発明者 前野 哲郎 広島県呉市昭和町11番1号 日新製鋼株式 会社呉製鉄所内 審査官 渡部 利行 (56)参考文献 特開 昭61−274207(JP,A) 特開 昭62−273403(JP,A) 特公 昭53−15018(JP,B2) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Hidekazu Miyauchi, 2-2, Hirosuehiro, Kure-shi, Hiroshima Prefecture, China Industrial Technology Institute, Industrial Technology Institute (72) Takayuki Shima, 11-11, Showa-cho, Kure-shi, Hiroshima Prefecture No. 1 Inside the Kure Steel Works Co., Ltd. (72) Inventor Yasuyuki Isomura 11-11 Showa-cho, Kure City, Hiroshima Prefecture No. 1 Inside the Kure Works Co., Ltd. Nisshin Steel Co., Ltd. (72) Tetsuro Maeno 11 Showa-cho, Kure City Hiroshima Prefecture No. 1 Toshiyuki Watanabe, Examiner, Kure Steel Works, Nisshin Steel Co., Ltd. (56) Reference JP 61-274207 (JP, A) JP 62-273403 (JP, A) JP 53-15018 (JP) , B2)
Claims (2)
ジェクターと、プロジェクターから照射された二本以上
のスリット光をそれぞれ反射させ、ホットコイル側面に
二方向から投影する一対の反射鏡を備えた反射装置と、
コイル側面に二方向から投影されたスリット光を撮り込
む画像入力装置と、撮り込んだスリット光パターン画像
からホットコイル巻取側面形状に応じた輪郭線像を抽出
し、巻取形状を検出する画像処理装置とからなるホット
コイル巻取形状の検出装置において、上記反射装置の両
反射鏡が左右でネジの向きが異なるボールネジの左右に
それぞれ螺着されるスライダーに取着されることを特徴
とするホットコイル巻取形状の検出装置。Claim: What is claimed is: 1. A projector comprising one projector for generating slit pattern light, and a pair of reflectors for reflecting two or more slit lights emitted from the projector and projecting the slit light onto the side surface of the hot coil from two directions. Device,
An image input device that captures slit light projected from two directions on the coil side, and an image that detects the winding shape by extracting a contour line image according to the shape of the hot coil winding side surface from the captured slit light pattern image In a hot coil winding detection device including a processing device, both reflecting mirrors of the reflecting device are attached to sliders which are respectively screwed to the left and right of a ball screw having different screw directions on the left and right. Hot coil winding shape detector.
請求項1記載のホットコイル巻取形状の検出装置。2. The hot coil winding detection device according to claim 1, wherein the reflecting mirror is rotatably attached to the slider.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2253469A JPH076776B2 (en) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | Hot coil winding shape detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2253469A JPH076776B2 (en) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | Hot coil winding shape detector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04130207A JPH04130207A (en) | 1992-05-01 |
| JPH076776B2 true JPH076776B2 (en) | 1995-01-30 |
Family
ID=17251821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2253469A Expired - Lifetime JPH076776B2 (en) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | Hot coil winding shape detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH076776B2 (en) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4334099B2 (en) * | 2000-01-11 | 2009-09-16 | 株式会社トーモク | Corrugated board laminate inspection system |
| KR100923551B1 (en) * | 2002-12-23 | 2009-10-27 | 주식회사 포스코 | Defect inspection device for coil tip |
| KR100615576B1 (en) * | 2003-02-06 | 2006-08-25 | 주식회사 고영테크놀러지 | Three-dimensional image measuring apparatus |
| US7830528B2 (en) * | 2005-12-14 | 2010-11-09 | Koh Young Technology, Inc. | 3D image measuring apparatus and method thereof |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5315018A (en) * | 1976-07-27 | 1978-02-10 | Ricoh Co Ltd | Shunting device for recording needle |
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| JPS62273403A (en) * | 1986-05-21 | 1987-11-27 | Kokusai Syst Sci Kk | Pin-detecting method in dip-type semiconductor device or the like |
-
1990
- 1990-09-20 JP JP2253469A patent/JPH076776B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04130207A (en) | 1992-05-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |