JPH0769141B2 - Laser measuring device - Google Patents
Laser measuring deviceInfo
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- JPH0769141B2 JPH0769141B2 JP62148077A JP14807787A JPH0769141B2 JP H0769141 B2 JPH0769141 B2 JP H0769141B2 JP 62148077 A JP62148077 A JP 62148077A JP 14807787 A JP14807787 A JP 14807787A JP H0769141 B2 JPH0769141 B2 JP H0769141B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はレーザ光の干渉を利用して物体の移動距離を測
定するレーザ利用測長装置に関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a laser-based length measuring apparatus that measures a moving distance of an object by utilizing interference of laser light.
レーザ利用測長装置は、レーザ光を用いて物体の移動距
離を精密に測定する装置である。このような測長装置を
図により説明する。The laser-based length measurement device is a device that accurately measures the moving distance of an object using laser light. Such a length measuring device will be described with reference to the drawings.
第４図は従来のレーザ利用測長装置のシステム構成図で
ある。図で、１は被測定対象となる移動体、２は移動体
１に固定された移動鏡、３は移動鏡２に対応して設けら
れるレーザヘツドである。４はレーザヘツド３と移動鏡
２との間のレーザ光路上に介在せしめられた半透明鏡、
５は半透明鏡４からのレーザ光を再び半透明鏡４に反射
させる固定鏡である。5,6はそれぞれ半透明鏡４と固定
鏡５との間のレーザ光路および半透明鏡４と移動鏡２と
の間のレーザ光路に設置された真空管である。FIG. 4 is a system configuration diagram of a conventional laser length measuring device. In the figure, 1 is a moving body to be measured, 2 is a moving mirror fixed to the moving body 1, and 3 is a laser head provided corresponding to the moving mirror 2. Reference numeral 4 is a semitransparent mirror interposed on the laser optical path between the laser head 3 and the movable mirror 2.
Reference numeral 5 denotes a fixed mirror that reflects the laser light from the semitransparent mirror 4 back to the semitransparent mirror 4. Reference numerals 5 and 6 are vacuum tubes installed in the laser light path between the semitransparent mirror 4 and the fixed mirror 5 and in the laser light path between the semitransparent mirror 4 and the movable mirror 2, respectively.
今、レーザヘツド３からレーザ（例えばHe−Neレーザ）
を出力すると、このレーザ光は半透明鏡４で２分割さ
れ、一方は真空管７を通つて固定鏡５へ達し、固定鏡５
で反射されて再び真空管７を通り半透明鏡４へ戻る。
又、レーザ光の他方は真空管６を通つて移動鏡２へ達
し、移動鏡２で反射されて再び真空管６を通り半透明鏡
４へ戻る。半透明鏡４へ戻つたこれら２つのレーザ光
は、半透明鏡４における固定鏡５の反対側で互いに干渉
し合つた出力レーザ光e0となる。この出力レーザ光e0は
上記２つの反射レーザ光の波の重なり方が山と山であれ
ば強め合つて明るくなり、山と谷であれば打消し合つて
暗くなる。Now laser head 3 to laser (eg He-Ne laser)
When this laser beam is output, this laser light is split into two by the semi-transparent mirror 4, one of which passes through the vacuum tube 7 and reaches the fixed mirror 5,
It is reflected by and passes through the vacuum tube 7 again to return to the semitransparent mirror 4.
The other laser beam passes through the vacuum tube 6 and reaches the movable mirror 2, is reflected by the movable mirror 2, passes through the vacuum tube 6 again, and returns to the semitransparent mirror 4. These two laser lights returning to the semitransparent mirror 4 interfere with each other on the opposite side of the fixed mirror 5 in the semitransparent mirror 4 to become an output laser light e 0 . The output laser light e 0 becomes brighter when the waves of the two reflected laser lights overlap with each other and becomes brighter when the waves overlap with each other, and becomes darker when the waves overlap each other.
移動体１が長さｌだけ移動すると干渉し合う２つのレー
ザ光の間には往復で2lの光路変化を生じる。この距離2l
という光路差がレーザ波長λに達する毎に干渉は明暗を
１サイクル繰返すことになる。そこで、出力レーザ光e0
を光検出器により検出して明と暗の計数値を求めると、
その計数値は移動体１の移動した距離ｌのλ/4に相当す
る。したがつて、この明と暗の数を計数表示すれば、移
動体１の移動距離ｌをλ/4の精度で測定することにな
る。When the moving body 1 moves by the length l, an optical path change of 2l occurs back and forth between two laser beams that interfere with each other. This distance 2l
Each time the optical path difference reaches the laser wavelength λ, the interference repeats bright and dark one cycle. Therefore, the output laser light e 0
Is detected by a photodetector to obtain the count values of light and dark,
The count value corresponds to λ / 4 of the moving distance 1 of the moving body 1. Therefore, by counting and displaying the numbers of light and dark, the moving distance 1 of the moving body 1 can be measured with an accuracy of λ / 4.
ここで、真空管6,7の機能について説明する。上述のよ
うに、レーザ利用測長装置はレーザ光の波長λを基準に
して距離を見出すのであるから波長λが一定であること
が前提となつている。ところで、レーザ光の波長λ，周
波数ｆおよびある媒質中の光速度ｃの間には、λ＝c/f
の関係が存在するので、レーザ光の波長λを一定とする
ためには光速度ｃが一定でなければならない。しかしな
がら、光速度ｃは媒質の密度により変化し、特に媒質が
空気である場合には空気の温度，気圧，気流等により密
度が変化し、光速度ｃが変化し、これにより波長λが乱
れて正確な測長はできない。このような媒質、特に空気
の状態変化による測長精度の低下は「空気のゆらぎ」の
影響として知られている。Here, the functions of the vacuum tubes 6 and 7 will be described. As described above, since the laser-based length measuring device finds the distance with reference to the wavelength λ of the laser light, it is premised that the wavelength λ is constant. By the way, between the wavelength λ of the laser light, the frequency f and the speed of light c in a certain medium, λ = c / f
Therefore, in order to keep the wavelength λ of the laser light constant, the light velocity c must be constant. However, the light velocity c changes depending on the density of the medium, and particularly when the medium is air, the density changes due to the temperature, atmospheric pressure, air flow, etc. of the air, and the light velocity c changes, which disturbs the wavelength λ. Accurate length measurement is not possible. Such a decrease in measurement accuracy due to a change in the state of the medium, especially air, is known as an influence of "fluctuation of air".
第４図に示す装置においては、半透明鏡４と固定鏡5,半
透明鏡４と移動鏡２との間において「空気のゆらぎ」が
問題となる。この「空気のゆらぎ」の問題を解決するた
めには、レーザ光路部分から媒質である空気を除去すれ
ばよく、そのためには装置全体を真空中に置くのが有効
である。しかし、この方法は一般的ではなく、特に移動
体１が真空を嫌うような場合には採用できない。そこ
で、このような問題を解決するため真空管6,7が設置さ
れている。これら真空管6,7の設置により、「空きのゆ
らぎ」の影響を緩和することができるのは明らかであ
る。そして、レーザ光路内の空気の部分を極力短くする
ためには、各真空管６、７は半透明鏡４と移動鏡2,固定
鏡５に近接して設けることになる。In the device shown in FIG. 4, "fluctuation of air" between the semitransparent mirror 4 and the fixed mirror 5 and between the semitransparent mirror 4 and the moving mirror 2 becomes a problem. In order to solve the problem of "air fluctuation", air as a medium may be removed from the laser optical path portion, and for that purpose, it is effective to place the entire apparatus in a vacuum. However, this method is not general and cannot be adopted especially when the moving body 1 does not like vacuum. Therefore, vacuum tubes 6 and 7 are installed to solve such a problem. By installing these vacuum tubes 6 and 7, it is clear that the effect of "vacancy fluctuation" can be mitigated. In order to make the air portion in the laser optical path as short as possible, the vacuum tubes 6 and 7 are provided close to the semitransparent mirror 4, the movable mirror 2 and the fixed mirror 5.
上記従来の測長装置においては、真空管６の長さは一定
である。このため、移動体１の移動距離が長いと、真空
管６と移動鏡２との間隔が大となり、したがつてレーザ
光路における空気層の長さが長くなり測定精度が低下す
るという欠点が生じていた。そして、このような欠点の
ため、上記従来の測長装置は移動体１の移動距離が数mm
以下の微小測長にしか使用できなかつた。In the above conventional length measuring device, the length of the vacuum tube 6 is constant. For this reason, if the moving distance of the moving body 1 is long, the distance between the vacuum tube 6 and the moving mirror 2 becomes large, and therefore the length of the air layer in the laser optical path becomes long and the measurement accuracy deteriorates. It was Due to such drawbacks, the moving distance of the moving body 1 is several mm in the conventional length measuring device.
It can only be used for the following minute length measurements.
本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解決し、精密
に測定し得る移動距離を大きくすることができるレーザ
利用測長装置を提供するにある。An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art and to provide a laser-based length measuring device capable of increasing a moving distance that can be accurately measured.
上記の目的を達成するため、本発明は、レーザ光源と、
このレーザ光源に対向する移動鏡と、前記レーザ光源と
前記移動鏡との間に介在する半透明鏡と、この半透明鏡
によつて反射されるレーザ光の反射光路に介在する固定
鏡とを備え、前記移動鏡と前記固定鏡から反射されるレ
ーザ光の反射光間の干渉を利用して前記移動鏡の変位を
計測するレーザ利用測長装置において、前記移動鏡と前
記半透明鏡との間のレーザ光路に沿つて、当該レーザ光
路に沿う流さが前記移動鏡の移動量と等しい長さだけ変
化する真空容器を設けたことを特徴とする。In order to achieve the above object, the present invention provides a laser light source,
A movable mirror facing the laser light source, a semitransparent mirror interposed between the laser light source and the movable mirror, and a fixed mirror interposed in a reflection optical path of laser light reflected by the semitransparent mirror. In the laser-based length measuring device for measuring the displacement of the movable mirror by utilizing the interference between the reflected light of the laser light reflected from the movable mirror and the fixed mirror, the movable mirror and the semitransparent mirror are provided. A vacuum container is provided along the laser optical path between which the flow along the laser optical path changes by a length equal to the amount of movement of the movable mirror.
移動体が移動すると、これとともに移動鏡も移動する。
この移動鏡の移動は真空容器を構成する蛇腹を伸縮し、
又は真空容器を構成するシリンダ部を中空ロツド上で摺
動せしめ、これにより、真空容器における移動鏡と半透
明鏡との間のレーザ光路に沿う長さが、真空を保持した
まま移動鏡の移動分だけ変化する。When the moving body moves, the moving mirror also moves with it.
The movement of this movable mirror expands and contracts the bellows that constitutes the vacuum container,
Alternatively, the cylinder part constituting the vacuum container is slid on the hollow rod, so that the length of the vacuum container along the laser optical path between the moving mirror and the semitransparent mirror moves the moving mirror while maintaining the vacuum. It changes by minutes.
以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。 Hereinafter, the present invention will be described based on the illustrated embodiments.
第１図は本発明の実施例に係るレーザ利用測長装置のシ
ステム構成図である。図で、第４図に示す部分と同一部
分には同一符号を付して説明を省略する。10は真空容器
を示す。11,12は真空容器10の両端において固定体に取
付けられる端部である。13は端部12に取付けられた透明
部材であり、適宜の表面部材が施されレーザ光を透過せ
しめる。14は移動体１に固定された中空の移動部、15は
移動部14の中空部分を閉塞して設けられる移動鏡であ
る。16は端部11と移動部14との間に装架された蛇腹、17
は端部11,移動部14,移動鏡15および蛇腹16で構成される
真空室である。又、18は端部12と移動部14との間に装架
された蛇腹、19は端部12,移動部14,移動鏡15および蛇腹
18で構成される真空室である。真空室17,19の内部は真
空とされる。20は移動部14の一部に形成された小孔であ
り、両真空室17,19間を連通する。なお、上記蛇腹16,18
は例えば金属ベローズのようなものが好適である。FIG. 1 is a system configuration diagram of a laser-based length measuring device according to an embodiment of the present invention. In the figure, the same parts as those shown in FIG. 10 indicates a vacuum container. Reference numerals 11 and 12 denote end portions attached to the fixed body at both ends of the vacuum container 10. Reference numeral 13 is a transparent member attached to the end portion 12, and is provided with an appropriate surface member to transmit the laser beam. Reference numeral 14 is a hollow moving part fixed to the moving body 1, and 15 is a moving mirror provided by closing the hollow part of the moving part 14. 16 is a bellows mounted between the end 11 and the moving portion 14, 17
Is a vacuum chamber composed of the end portion 11, the moving portion 14, the moving mirror 15, and the bellows 16. Further, 18 is a bellows mounted between the end portion 12 and the moving portion 14, and 19 is the end portion 12, the moving portion 14, the moving mirror 15 and the bellows.
It is a vacuum chamber composed of 18. The insides of the vacuum chambers 17 and 19 are vacuumed. Reference numeral 20 is a small hole formed in a part of the moving portion 14 and connects the vacuum chambers 17 and 19 with each other. The above bellows 16,18
For example, a metal bellows is suitable.
次に、本実施例の動作を第２図（ａ）〜（ｃ）に示す第
１図の一部構成図を参照しながら説明する。第２図
（ａ）〜（ｃ）で、第１図に示す部分と同一部分には同
一符号が付してある。今、移動体１が第２図（ａ）の位
置にあるとき、蛇腹17,18の伸縮の態様が両者同一であ
るとする。この状態で、半透明鏡４からのレーザ光は透
明部材13を通つて真空室19内に入り、真空室19を進行し
て移動鏡15により反射される。この反射レーザ光は再び
真空室19を通り、透明部材13から外部に放射され、半透
明鏡４に戻る。半透明鏡４と端部12を極力接近させて配
置すれば、レーザ光の空気層通貨距離は短く、「空気の
ゆらぎ」の影響をなくすことができる。Next, the operation of the present embodiment will be described with reference to the partial configuration diagram of FIG. 1 shown in FIGS. In FIGS. 2A to 2C, the same parts as those shown in FIG. 1 are designated by the same reference numerals. Now, when the moving body 1 is at the position shown in FIG. 2A, it is assumed that the bellows 17 and 18 have the same expansion and contraction mode. In this state, the laser light from the semitransparent mirror 4 enters the vacuum chamber 19 through the transparent member 13, travels in the vacuum chamber 19 and is reflected by the movable mirror 15. The reflected laser light passes through the vacuum chamber 19 again, is emitted to the outside from the transparent member 13, and returns to the semitransparent mirror 4. If the semi-transparent mirror 4 and the end 12 are arranged as close as possible, the air layer currency distance of the laser light is short, and the influence of "air fluctuation" can be eliminated.
上記第２図（ａ）に示す状態において、移動体１が図で
左方（−方向）に移動し、第２図（ｂ）に示す位置に変
化した場合、蛇腹16は縮み、蛇腹18は伸長する。したが
つて、真空室17の容積は縮小され、真空室19の容積は拡
大されるが全体の容積は変らない。そして、このような
蛇腹16の縮みと蛇腹18の伸長によつても真空室19の真空
は保持されているので、レーザ光の空気層通過距離が増
加することはなく、「空気のゆらぎ」の影響はない。In the state shown in Fig. 2 (a), when the moving body 1 moves to the left (-direction) in the figure and changes to the position shown in Fig. 2 (b), the bellows 16 contracts and the bellows 18 becomes Extend. Therefore, the volume of the vacuum chamber 17 is reduced and the volume of the vacuum chamber 19 is expanded, but the overall volume remains unchanged. Since the vacuum of the vacuum chamber 19 is maintained even by the contraction of the bellows 16 and the extension of the bellows 18, the air layer passage distance of the laser light does not increase, and “air fluctuation” There is no effect.
さらに、第２図（ａ）に示す状態から、第２図（ｃ）に
示すように、移動体１が図で右方（＋方向）に移動する
と、蛇腹16が伸び、蛇腹18が縮むが真空室19の真空は保
持され、「空気のゆらぎ」の影響はない。又、さきの場
合と同様、真空室19と真空室17の容積が変化しても全体
の容積は変化しない。そして、第２図（ａ）〜（ｃ）に
示すいずれの状態においても、移動部14の両側に真空室
17,19が存在するので、気圧差による外力がキヤンセル
され、移動体１に外力が作用することはない。Further, as shown in FIG. 2 (c) from the state shown in FIG. 2 (a), when the moving body 1 moves to the right (+ direction) in the figure, the bellows 16 expands and the bellows 18 contracts. The vacuum in the vacuum chamber 19 is maintained and is not affected by "air fluctuations". Further, as in the case of the previous case, even if the volumes of the vacuum chamber 19 and the vacuum chamber 17 change, the entire volume does not change. Then, in any of the states shown in FIGS. 2 (a) to 2 (c), a vacuum chamber is provided on both sides of the moving portion 14.
Since 17, 19 exist, the external force due to the pressure difference is canceled, and the external force does not act on the moving body 1.
第３図は本発明の他の実施例に係るレーザ利用測長装置
の一部構成図である。図で、レーザヘツド，固定鏡，半
透明鏡は図示が省略されている。１は第１図に示すもの
と同様の移動体、21は真空容器である。22は固定体に取
付けられた真空容器21の端部、23は端部22に取付けられ
たロツドである。24は固定体に取付けられた真空容器21
の端部、25は端部24に取付けられた中空ロツド、26は中
空ロツド25の開放端を気密に閉塞する透明部材である。
中空ロツド25と透明部材26により真空室27が構成され
る。FIG. 3 is a partial configuration diagram of a laser-based length measuring apparatus according to another embodiment of the present invention. In the figure, the laser head, the fixed mirror, and the semitransparent mirror are not shown. 1 is a moving body similar to that shown in FIG. 1, and 21 is a vacuum container. Reference numeral 22 is an end portion of the vacuum container 21 attached to the fixed body, and 23 is a rod attached to the end portion 22. 24 is a vacuum vessel attached to the fixed body 21
Is a hollow rod attached to the end 24, and 26 is a transparent member that hermetically closes the open end of the hollow rod 25.
The hollow rod 25 and the transparent member 26 form a vacuum chamber 27.
28は移動体１に固定された第１のシリンダであり、中空
ロツド25の外周に摺動自在に挿入される。29は第１のシ
リンダ28の底部に設けられた移動鏡であり、透明部材26
と対向して位置せしめられる。30は第１のシリンダ28に
おいて真空室27と連通する真空室である。31は第１のシ
リンダ28に連結された第２のシリンダであり、ロツド23
の外周に摺動自在に挿入される。32は第２のシリンダ31
とロツド23で形成される真空室である。33は第１のシリ
ンダ28と第２のシリンダ31との連結部分に形成された小
孔であり、この小孔33により真空室30,32を連通させ
る。34は中空ロツド25と第１のシリンダ28との間に装着
されたＯリング、35はロツド23と第２のシリンダ31との
間に装着されたＯリングである。A first cylinder 28 is fixed to the moving body 1 and is slidably inserted into the outer periphery of the hollow rod 25. Reference numeral 29 denotes a movable mirror provided on the bottom of the first cylinder 28, which is a transparent member 26.
It is located opposite to. Reference numeral 30 is a vacuum chamber that communicates with the vacuum chamber 27 in the first cylinder 28. Reference numeral 31 is a second cylinder connected to the first cylinder 28, and the rod 23
It is slidably inserted into the outer periphery of. 32 is the second cylinder 31
Is a vacuum chamber formed by rod 23. Reference numeral 33 is a small hole formed in the connecting portion between the first cylinder 28 and the second cylinder 31, and the small hole 33 connects the vacuum chambers 30 and 32. Reference numeral 34 is an O-ring mounted between the hollow rod 25 and the first cylinder 28, and 35 is an O-ring mounted between the rod 23 and the second cylinder 31.
第１図に示す半透明鏡４を通つたレーザ光は、透明部材
26から真空室27,30に入り、移動鏡29で反射されて真空
室30,27を通り、透明部材26から半透明鏡４に戻され
る。この状態から、移動体１が例えば図で左方へ移動す
ると、第１のシリンダ28および第２のシリンダ31もそれ
ぞれ中空ロツド25およびロツド23上を摺動しながら左行
する。この左行によつてもＯリング34,35により、真空
室27,30,32の真空は保持される。第１のシリンダ28およ
び第２のシリンダ31の左行により、移動鏡29も左行し、
真空室30の距離（中空ロツド25の先端と移動鏡29との間
の距離）が長くなり、真空室32の距離は短くなる。即
ち、移動体１が半透明鏡４から離れる方向へ移動して
も、レーザ光の空気層通過距離が増加することはなく、
したがつて、「空気のゆらぎ」の影響はない。The laser light passing through the semitransparent mirror 4 shown in FIG.
It enters the vacuum chambers 27 and 30 from 26, is reflected by the movable mirror 29, passes through the vacuum chambers 30 and 27, and is returned from the transparent member 26 to the semitransparent mirror 4. From this state, when the moving body 1 moves to the left in the figure, for example, the first cylinder 28 and the second cylinder 31 also slide to the left on the hollow rod 25 and the rod 23, respectively. Also according to this left row, the vacuum in the vacuum chambers 27, 30, 32 is maintained by the O-rings 34, 35. By the leftward movement of the first cylinder 28 and the second cylinder 31, the movable mirror 29 also moves leftward,
The distance of the vacuum chamber 30 (the distance between the tip of the hollow rod 25 and the movable mirror 29) becomes long, and the distance of the vacuum chamber 32 becomes short. That is, even if the moving body 1 moves in a direction away from the semitransparent mirror 4, the air layer passage distance of the laser light does not increase,
Therefore, there is no influence of "fluctuation of air".
移動体１が図で右方へ移動すると、第１のシリンダ28お
よび第２のシリンダ31がそれぞれ中空ロツド25およびロ
ツド23上を摺動し、真空室30の距離は短くなり、真空室
32の距離は短くなる。この場合も、真空室30の真空は保
持され、又、「空気のゆらぎ」の影響も生じない。さら
に、本実施例でも、移動体１が移動しても真空室27,30,
32の全容積は変化せず、かつ、小孔で連通された２つの
真空室30,32の存在により、気圧差による外力がキヤン
セルされ、移動体１に外力が作用することはない。When the moving body 1 moves to the right in the figure, the first cylinder 28 and the second cylinder 31 slide on the hollow rod 25 and the rod 23, respectively, and the distance of the vacuum chamber 30 is shortened.
The distance of 32 becomes shorter. Also in this case, the vacuum in the vacuum chamber 30 is maintained, and the influence of "fluctuation of air" does not occur. Further, in this embodiment, even if the moving body 1 moves, the vacuum chambers 27, 30,
The total volume of 32 does not change, and due to the presence of the two vacuum chambers 30 and 32 that are communicated with each other through the small holes, the external force due to the atmospheric pressure difference is canceled, and the external force does not act on the moving body 1.
以上述べたように、本発明では、移動鏡と半透明鏡との
間のレーザ光路に沿って、このレーザ光路に沿う長さが
移動鏡の移動距離と等しい長さだけ変化する真空容器を
設けたので、「空気のゆらぎ」の影響を受けることな
く、大きな移動距離の測定を行なうことができる。As described above, in the present invention, along the laser optical path between the moving mirror and the semitransparent mirror, a vacuum container is provided whose length along the laser optical path changes by a length equal to the moving distance of the moving mirror. Therefore, a large moving distance can be measured without being affected by “fluctuation of air”.
第１図は本発明の実施例に係るレーザ利用測長装置のシ
ステム構成図、第２図（ａ），（ｂ），（ｃ）は第１図
に示す装置の一部構成図、第３図は本発明の他の実施例
に係るレーザ利用測長装置の一部構成図、第４図は従来
のレーザ利用測長装置のシステム構成図である。 １……移動体、３……レーザヘツド、４……半透明鏡、
５……固定鏡、10,21……真空容器、14……移動部、15,
29……移動鏡、16,18……蛇腹、17,19,27,30,32……真
空室、23……ロツド、25……中空ロツド、28……第１の
シリンダ、31……第２のシリンダ。FIG. 1 is a system configuration diagram of a laser length measuring device according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 2 (a), (b), and (c) are partial configuration diagrams of the device shown in FIG. 1, and FIG. FIG. 4 is a partial configuration diagram of a laser-based length measuring device according to another embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a system configuration diagram of a conventional laser-based length measuring device. 1 ... Moving object, 3 ... Laser head, 4 ... Semi-transparent mirror,
5 ... Fixed mirror, 10, 21 ... Vacuum container, 14 ... Moving part, 15,
29 ... moving mirror, 16,18 ... bellows, 17,19,27,30,32 ... vacuum chamber, 23 ... rod, 25 ... hollow rod, 28 ... first cylinder, 31 ... first 2 cylinders.
Claims (3)
移動鏡と、前記レーザ光源と前記移動鏡との間に介在す
る半透明鏡と、この半透明鏡による反射光路に介在する
固定鏡とを備え、前記移動鏡と前記固定鏡から反射され
るレーザ光の反射光間の干渉を利用して前記移動鏡の変
位を計測するレーザ利用測長装置において、前記移動鏡
と前記半透明鏡との間のレーザ光路に沿つて、当該レー
ザ光路に沿う長さが前記移動鏡の移動量と等しい長さだ
け変化する真空容器を設けたことを特徴とするレーザ利
用測長装置。1. A laser light source, a movable mirror facing the laser light source, a semitransparent mirror interposed between the laser light source and the movable mirror, and a fixed mirror interposed in a reflection optical path of the semitransparent mirror. In the laser-based length measuring device that measures the displacement of the movable mirror by utilizing the interference between the reflected light of the laser light reflected from the movable mirror and the fixed mirror, the movable mirror and the semitransparent mirror A laser-based length measuring device, characterized in that a vacuum container whose length along the laser optical path is changed by a length equal to the amount of movement of the movable mirror is provided along the laser optical path between.
真空容器は、中間部に前記移動鏡が取付けられた蛇腹構
造を備えていることを特徴とするレーザ利用測長装置。2. A laser-based length measuring device according to claim 1, wherein the vacuum container has a bellows structure in which the movable mirror is attached to an intermediate portion.
真空容器は、前記レーザ光路上に固定されレーザ光を透
過する中空ロツドと、移動鏡が固定され前記中空ロツド
に気密を保持して摺動可能に装着されたシリンダ部とを
備えていることを特徴とするレーザ利用測長装置。3. The vacuum container according to claim 1, wherein the vacuum container has a hollow rod fixed on the laser optical path and transmitting laser light, and a movable mirror fixed on the hollow rod to keep airtightness in the hollow rod. And a cylinder part slidably mounted on the laser-based length measuring device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62148077A JPH0769141B2 (en) | 1987-06-16 | 1987-06-16 | Laser measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62148077A JPH0769141B2 (en) | 1987-06-16 | 1987-06-16 | Laser measuring device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63313002A JPS63313002A (en) | 1988-12-21 |
| JPH0769141B2 true JPH0769141B2 (en) | 1995-07-26 |
Family
ID=15444706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62148077A Expired - Lifetime JPH0769141B2 (en) | 1987-06-16 | 1987-06-16 | Laser measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0769141B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150056638A (en) * | 2012-09-18 | 2015-05-26 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | Stage system and lithographic apparatus comprising such stage system |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5435258Y2 (en) * | 1977-03-24 | 1979-10-26 | ||
| JPS6127302A (en) * | 1984-07-17 | 1986-02-06 | 金 三▲そ▼ | Bulgrar self-defense screw |
-
1987
- 1987-06-16 JP JP62148077A patent/JPH0769141B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63313002A (en) | 1988-12-21 |
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