JPH0770184B2

JPH0770184B2 - Floating head slider support mechanism

Info

Publication number: JPH0770184B2
Application number: JP17493489A
Authority: JP
Inventors: 幹夫徳山; 雄三山口
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1989-07-06
Filing date: 1989-07-06
Publication date: 1995-07-31
Anticipated expiration: 2010-07-31
Also published as: JPH0340275A

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は磁気ディスク装置における浮動ヘッドスライダ
の浮上量変動の少ない浮動ヘッドスライダ支持機構に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a floating head slider support mechanism in which a floating head slider has a small flying height variation in a magnetic disk device.

［従来の技術］磁気ディスク装置用浮動ヘッドスライダは磁気ディスク
の回転に伴う空気の粘性流による動圧空気軸受効果を利
用して、磁気ディスク面とスライダ浮上面との間に薄い
空気膜を形成して、磁気ディスク面上にサブミクロンオ
ーダのすきま（浮上量）で位置付けられる。磁気ディス
ク面には凹凸、うねりが存在し、また磁気ディスクの回
転に伴う空気流やスピンドル駆動系の振動により磁気デ
ィスク面は振動しており、浮動ヘッドスライダはこれら
の外乱に対しても磁気ディスクに十分に追従し、一定の
浮上量を保つことが装置の信頼性を確保するために必要
とされている。前記スライダの追従特性を十分確保する
ために、浮動ヘッドスライダ支持機構は、スライダのピ
ッチング、ローリング、および磁気ディスクの面外方向
の並進運動を妨げない十分に低い支持剛性（ジンバル
性）を持ち、かつスライダに一定の負荷力を加える機能
が要求される。[Prior Art] A floating head slider for a magnetic disk device forms a thin air film between a magnetic disk surface and a slider air bearing surface by utilizing a dynamic pressure air bearing effect due to a viscous flow of air accompanying the rotation of a magnetic disk. Then, it is positioned on the surface of the magnetic disk with a clearance (flying height) on the order of submicron. The magnetic disk surface has irregularities and undulations, and the magnetic disk surface is vibrating due to the airflow accompanying the rotation of the magnetic disk and the vibration of the spindle drive system. In order to secure the reliability of the device, it is necessary to sufficiently follow the above and maintain a constant flying height. In order to sufficiently secure the following characteristic of the slider, the floating head slider support mechanism has a sufficiently low support rigidity (gimbal property) that does not hinder slider pitching, rolling, and out-of-plane translational movement of the magnetic disk. Moreover, a function of applying a constant load force to the slider is required.

従来の浮動ヘッドスライダ支持機構は特公昭58−22827
に記載のように、弾性を有する片持ち梁により浮動ヘッ
ドスライダに負荷力を与え、可撓性部材のシンバルを介
してスライダを支持するようになっている。第５図
（ａ）に従来の浮動ヘッドスライダ支持機構の斜視図
を、第５図（ｂ）にその側面図を示す。同図において、
１は磁気ディスク、２はスライダ、３はジンバル性を持
つ可撓性部材、５は支持機構のアーム、４は比較的剛な
負荷アーム部、６は負荷ばね部、７は支持機構の固定部
である。The conventional floating head slider support mechanism is Japanese Patent Publication Sho 58-22827.
As described in (1), a load force is applied to the floating head slider by an elastic cantilever, and the slider is supported via a cymbal of a flexible member. FIG. 5 (a) is a perspective view of a conventional floating head slider support mechanism, and FIG. 5 (b) is a side view thereof. In the figure,
Reference numeral 1 is a magnetic disk, 2 is a slider, 3 is a flexible member having a gimbal property, 5 is an arm of a support mechanism, 4 is a load arm portion that is relatively rigid, 6 is a load spring portion, and 7 is a fixed portion of the support mechanism. Is.

第６図は如上のスライダ及び支持機構を振動特性の上か
らモデル化したものである。スライダはその支持機構の
持つばね剛性（ピッチング、ローリング、並進剛性）に
比べて十分に剛な空気膜（ばね定数K,減衰係数Ｃ）によ
り、磁気ディスク上に所定の浮上量で浮上している。ま
た十分な追従特性を得るために、空気膜とスライダの振
動系の共振周波数は通常10KHz以上になるように設計さ
れている。FIG. 6 is a model of the above slider and support mechanism from the viewpoint of vibration characteristics. The slider is levitated at a predetermined flying height on the magnetic disk by an air film (spring constant K, damping coefficient C) that is sufficiently rigid compared to the spring rigidity (pitching, rolling, translational rigidity) of its support mechanism. . Also, in order to obtain sufficient tracking characteristics, the resonance frequency of the vibration system of the air film and slider is usually designed to be 10 KHz or higher.

しかしながら、スライダ支持機構も分布質量m_zを持つ振
動系であるために、支持アームの部分がスライダとの接
合部とを節するような固有振動モードで振動すると、等
価的にスライダ支持機構の並進剛性が増大したことと同
等の効果となり、著しくスライダの追従特性を悪化させ
て、浮上量変動の主要因となる。上述したような、スラ
イダ支持機構の振動が浮動ヘッドスライダの浮上特性に
およぼす影響については、特開昭62−99967や、日本機
械学会論文集45−391,356（1979年）に記述されてい
る。However, since the slider support mechanism is also a vibration system having a distributed mass m _z , if the support arm part vibrates in a natural vibration mode that links the joint with the slider, the slider support mechanism is translated equivalently. The effect is the same as that of the increased rigidity, which significantly deteriorates the follow-up characteristic of the slider and becomes the main factor of the flying height variation. The influence of the vibration of the slider support mechanism on the flying characteristics of the floating head slider as described above is described in Japanese Patent Laid-Open No. 62-99967 and Japanese Society of Mechanical Engineers, Proceedings 45-391, 356 (1979).

［発明が解決しようとする課題］上記従来技術はスライダ支持機構の振動に起因するスラ
イダの浮上量変動についての配慮がされておらず、ディ
スクの回転に伴い発生する空気流などにより支持機構が
加振され、固有振動数で振動することにより浮上量変動
が発生する。浮上量変動はスライダの電磁変換機能（デ
ータの読み出し／書き込み機能）を低下させ、ひいては
スライダとディスクとの接触を発生させ、ディスク面に
書き込まれたデータを破損するという重大事故（ヘッド
クラッシュ）を発生させる原因となる。[Problems to be Solved by the Invention] In the above-mentioned prior art, consideration is not given to fluctuations in the flying height of the slider due to vibrations of the slider support mechanism, and the support mechanism is added by an air flow generated as the disk rotates. The levitation amount is changed by being shaken and vibrating at the natural frequency. The fluctuation of the flying height deteriorates the electromagnetic conversion function (data read / write function) of the slider, which in turn causes contact between the slider and the disk, resulting in a serious accident (head crash) of damaging the data written on the disk surface. It causes it to occur.

また、従来の支持機構では、その構造上、複数のスライ
ダを磁気ディスクの半径方向に保持することが難しい。Also, with the conventional support mechanism, it is difficult to hold the plurality of sliders in the radial direction of the magnetic disk due to its structure.

また、従来の支持機構では機構の構成を簡易化すること
を目的として、スライダが装置の起動・停止に伴って磁
気ディスク面上を走行して、浮上あるいは停止するいわ
ゆるコンタクトスタート・ストップ（CSS）方式が用い
られている。しかし、この方式は、磁気ディスク停止中
にスライダと磁気ディスクとの間に水が毛管凝集するこ
とによって起るスライダ粘着事故の問題、及び、スライ
ダ及び磁気ディスク面の摩耗、および接触面からの発塵
という点で問題がある。この問題を解決するためには、
スライダとディスクとを接触させない方式（オートロー
ディング方式）が良いことは明らかである。オートロー
ディング方式は、装置の起動後スライダをロードあるい
はアンロードする方式でランディングオン・オフ方式と
も呼ばれている。しかし、従来のスライダ支持機構にお
いてはこのようなロード・アンロードを行うためには、
負荷ばね部を機械的に上下させる機構が必要であるため
にスライダ支持機構が複雑化するという問題があった。Also, in the conventional support mechanism, for the purpose of simplifying the structure of the mechanism, a so-called contact start stop (CSS) in which the slider runs on the magnetic disk surface as the device starts and stops, and floats or stops. The scheme is used. However, this method has a problem of a slider sticking accident caused by capillary aggregation of water between the slider and the magnetic disk while the magnetic disk is stopped, wear of the slider and the magnetic disk surface, and generation of the contact surface. There is a problem in terms of dust. To solve this problem,
It is obvious that a method (auto loading method) in which the slider and the disk are not in contact with each other is preferable. The auto-loading method is a method of loading or unloading the slider after the device is activated, and is also called a landing on / off method. However, in the conventional slider support mechanism, in order to perform such loading / unloading,
There is a problem that the slider support mechanism becomes complicated because a mechanism for mechanically moving the load spring portion up and down is required.

本発明の目的は、上記従来技術の問題点に鑑み、スライ
ダ支持体の振動、固有振動数の影響を排除し、スライダ
の追従性が極めて良好で、スライダの浮上量変動を可及
的に少くし、且つ負荷力付与機能、オートローディング
機能を容易に実現することができ、また、複数のスライ
ダを一つの支持機構で簡単に支持し得る浮動ヘッドスラ
イダ支持機構を提供することにある。In view of the above-mentioned problems of the prior art, an object of the present invention is to eliminate the influence of vibration of the slider support and natural frequency, to have extremely good slider followability, and to minimize fluctuation of the flying height of the slider. In addition, a floating head slider support mechanism that can easily realize a load force application function and an automatic loading function and that can easily support a plurality of sliders with a single support mechanism is provided.

［課題を解決するための手段］本発明の浮動ヘッドスライダ支持機構は、浮動ヘッドス
ライダの側面に作用する気体ばね（側面気体ばねとい
う）と該スライダの背面に作用する気体ばね（背面気体
ばねという）とを介して該スライダをスライダ支持体に
非接触的に支持し、側面気体ばねによりスライダを磁気
記録媒体の面内方向に保持すると共に、背面気体ばねに
よりスライダに磁気記録媒体への負荷力（負荷荷重又は
押付け力ともいう）を加える様に構成される。[Means for Solving the Problems] A floating head slider support mechanism of the present invention is a gas spring acting on a side surface of a floating head slider (referred to as a side gas spring) and a gas spring acting on a back surface of the slider (referred to as a rear gas spring). ) And the slider is supported in a non-contact manner on the slider support body, and the side gas spring holds the slider in the in-plane direction of the magnetic recording medium, and the back side gas spring applies a load force to the magnetic recording medium on the slider. It is configured to apply a load (also referred to as a load or pressing force).

浮動ヘッドスライダは、スライダ支持体に設けたポケッ
トに磁気記録媒体との対向面が露出するように遊嵌さ
れ、該スライダの側面および背面と夫々対向するポケッ
ト側面および底面には夫々噴気孔を、もしくは必要に応
じ更に吸気孔を、設けることによって、上記側面気体ば
ね及び背面気体ばねが形成される。そして、側面気体ば
ねを形成する手段（側面気体ばね形成手段という）は、
ポケット側面に開口した噴気孔および該噴気孔へ給気す
る給気系で構成され、もしくは必要に応じ更に吸気孔お
よび該吸気孔から吸気する吸気系が付加され、また、背
面気体ばねを形成する手段（背面気体ばね形成手段とい
う）はポケットの底面に開口した噴気孔および該噴気孔
へ給気する給気系で構成され、もしくは必要に応じ更に
吸気孔および該吸気孔から吸気する吸気系が付加され
る。The floating head slider is loosely fitted in a pocket provided in a slider support so that a surface facing the magnetic recording medium is exposed, and jet holes are formed on the side surface and the bottom surface of the pocket, which face the side surface and the back surface of the slider, respectively. Alternatively, the side surface gas spring and the back surface gas spring are formed by further providing an intake hole if necessary. And the means for forming the side gas spring (referred to as the side gas spring forming means) is
It is composed of a fumarole opening to the side surface of the pocket and an air supply system for supplying air to the fumarole, or if necessary, an intake hole and an intake system for inhaling from the intake hole are added, and a rear gas spring is formed. The means (referred to as back gas spring forming means) is composed of a fumarole opening at the bottom surface of the pocket and an air supply system for supplying air to the fumarole, or if necessary, an intake hole and an intake system for inhaling air from the intake hole. Is added.

［作用］側面気体ばねによりスライダを面内方向に支持し、また
背面気体ばねによりスライダに負荷力を与える。スライ
ダは気体ばねにより非接触で支持されているために、ス
ライダ支持体の振動によるスライダの浮上量変動がなく
なる。これは、第６図のアームの分布質量m_zが０とな
り、スライダ支持体が振動しても従来の浮動ヘッドスラ
イダ支持機構のように見かけ上支持機構の並進剛性が増
大してスライダの追従特性を劣化させるようなことがな
くなるためである。また、気体ばねは十分なジンバル性
を有するために、磁気ディスクのうねり、面振れ等に対
するスライダの追従特性を著しく向上させることができ
る。気体の粘性によるダンピング効果も期待できる。[Operation] The slider is supported in the in-plane direction by the side gas spring, and a load force is applied to the slider by the back gas spring. Since the slider is supported by the gas spring in a non-contact manner, fluctuation of the flying height of the slider due to vibration of the slider support is eliminated. This is because the distributed mass m _z of the arm in FIG. 6 becomes 0, and even if the slider support vibrates, the translational rigidity of the support mechanism apparently increases like the conventional floating head slider support mechanism and the follow-up characteristic of the slider is increased. This is because the deterioration of Further, since the gas spring has a sufficient gimbal property, it is possible to remarkably improve the follow-up characteristic of the slider with respect to waviness, surface wobbling and the like of the magnetic disk. A damping effect due to the viscosity of the gas can also be expected.

前記噴気孔への給気圧力および／又は吸気孔からの吸気
圧力を調整することにより、スライダ背面に加わる気体
圧力を制御してスライダに加える負荷力を制御しスライ
ダの浮上量を調整することが可能である。例えば磁気記
録媒体と浮動ヘッドスライダとの相対速度が一定でない
様な場合（例えば磁気ディスク上の異なる半径の個所に
スライダが位置する場合）でも、負荷力の制御により磁
気ディスク上のどの半径位置においても同一のスライダ
浮上量を得ることができる。これにより良好な読み／書
き特性を得ることができる。より具体的には、スライダ
が磁気ディスクの外周部にある場合には磁気ディスク周
速が大きく、このためスライダの浮上力が強くなるの
で、スライダの負荷力を大きくし、スライダが磁気ディ
スクの内周部にあるときには磁気ディスク周速が小さ
く、浮上力が弱くなるので、逆にスライダ負荷力を小さ
くすることにより、磁気ディスクの内周・外周にかかわ
らず常に一定の浮上量でスライダを保持することが可能
となる。By adjusting the supply pressure to the fumarole and / or the suction pressure from the suction hole, the gas pressure applied to the back surface of the slider can be controlled to control the load force applied to the slider to adjust the flying height of the slider. It is possible. For example, even when the relative velocity between the magnetic recording medium and the floating head slider is not constant (for example, the sliders are located at different radii on the magnetic disk), the radial force on the magnetic disk is controlled by controlling the load force. Can also obtain the same slider flying height. As a result, good read / write characteristics can be obtained. More specifically, when the slider is located on the outer peripheral portion of the magnetic disk, the magnetic disk peripheral speed is high, which increases the flying force of the slider. At the periphery, the magnetic disk peripheral speed is low and the levitation force is weak. Therefore, by decreasing the slider load force, the slider is always held with a constant flying height regardless of the inner and outer circumferences of the magnetic disk. It becomes possible.

なお、同じくスライダ背面に作用する気体圧力を増減す
ることによって、磁気記録媒体に対するスライダのロー
ディング・アンローディングを行える。Similarly, by increasing or decreasing the gas pressure acting on the back surface of the slider, the slider can be loaded and unloaded on the magnetic recording medium.

噴気孔（或いは更には吸気孔）の数、大きさ、配置、そ
れら噴気孔への給気圧（或いは更には吸気孔からの吸気
圧）の適切な選定によって、側面気体ばね又は背面気体
ばねの圧力分布をスライダの側面又は背面について所望
の通りに設定できる。例えば側面気体ばねがスライダ側
面に及ぼす合力が、スライダの重心を含み磁気ディスク
の面内方向の平面内に作用する様にすれば、データアク
セス時（シーク時）のスライダの振動を小にし得る。あ
るいは該合力がスライダのヘッド（コイル）部近傍に偏
る様な圧力分布にしてコイル部の揺動を小さくする様に
しても良い。または背面気体ばねの圧力分布がヘッド部
の方に偏るようにしてヘッド部がより磁気ディスクに近
寄る様にスライダの姿勢を制御し得る。The pressure of the side gas spring or the rear gas spring is determined by appropriately selecting the number, size, and arrangement of the fumaroles (or even the intake holes) and the supply pressure to the fumaroles (or the intake pressure from the intake holes). The distribution can be set as desired on the sides or back of the slider. For example, if the resultant force of the side gas spring on the side surface of the slider acts on the plane in the in-plane direction of the magnetic disk including the center of gravity of the slider, vibration of the slider during data access (during seek) can be reduced. Alternatively, the resultant force may be distributed so as to be biased in the vicinity of the head (coil) portion of the slider to reduce the swing of the coil portion. Alternatively, the attitude of the slider can be controlled so that the pressure distribution of the backside gas spring is biased toward the head portion so that the head portion comes closer to the magnetic disk.

スライダ支持体に前記の如きポケットを磁気ディスク半
径方向に複数個設け、その各々にスライダを遊嵌し気体
ばねを形成することにより、容易に複数の浮動ヘッドス
ライダを１つのスライダ支持体に支持することが可能と
なる。このように複数のスライダを設けることにより磁
気ディスク面に書き込まれたデータを高速でアクセスす
ることが可能となる。つまり、データを検索するシーク
速度が一定の場合にはＮ個のスライダを設けることによ
り、１個のスライダのアクセス距離（移動距離）が1/N
となるために、アクセス時間も1/Nとなり、高速のデー
タアクセスが可能となる。A plurality of pockets as described above are provided on the slider support in the radial direction of the magnetic disk, and sliders are loosely fitted in the pockets to form gas springs, thereby easily supporting a plurality of floating head sliders on one slider support. It becomes possible. By thus providing a plurality of sliders, it becomes possible to access the data written on the magnetic disk surface at high speed. That is, when the seek speed for searching data is constant, by providing N sliders, the access distance (moving distance) of one slider is 1 / N.
Therefore, the access time becomes 1 / N, and high-speed data access becomes possible.

なお、ローディング・アンローディングを行わない方式
のものとした場合には、磁気ディスク停止中に磁気ディ
スクとスライダとが接触して形成される微小空間に毛管
凝集により発生する水によりスライダとディスクとが粘
着していると、磁気ディスクの駆動力が粘着力よりも弱
いときにはディスクが回転しない、また、粘着力および
磁気ディスク駆動力が十分大きいときにはスライダ支持
系・ディスク表面の破損という、いわゆる粘着事故が発
生する。この事故を防ぐために、前記ポケット内への給
気気体を加熱するための加熱手段を設けて上記の水を気
化させることが容易にできる。In the case of the system that does not perform loading / unloading, the slider and the disk are separated from each other by the water generated by the capillary aggregation in the minute space formed by the contact between the magnetic disk and the slider while the magnetic disk is stopped. If the tape is sticky, the disk will not rotate if the magnetic disk drive force is weaker than the adhesive force, and if the sticky force and the magnetic disk drive force are sufficiently large, there will be a so-called sticking accident that the slider support system / disk surface is damaged. Occur. In order to prevent this accident, it is possible to easily provide the heating means for heating the supply gas into the pocket to vaporize the water.

［実施例］以下に述べる説明において、要素を示す符号は、必要に
応じ区別を表わす添字a,b等を付して用いる。[Examples] In the following description, reference numerals indicating elements are used with subscripts "a", "b", etc. indicating distinction as necessary.

本発明の第一実施例を第１図から第４図を用いて説明す
る。第１図は本実施例の浮動ヘッドスライダ支持機構を
示す斜視図であり、第２図は第１図のＩ−Ｉ断面、第３
図はII−II断面を示す。図において、２は浮動ヘッドス
ライダ、10はスライダ支持体としてのスライダ支持アー
ム、11はスライダ支持アーム10に設けられたポケット、
13はポケット11に空気を給排気する給気管、100は磁気
ディスクの回転方向、101は浮動ヘッドスライダのシー
ク動作方向を示す。12はは噴気孔、30は塵埃捕集手段
（例えばフィルタ31）である。40は圧力調整手段で例え
ば加圧・減圧の可能なポンプである。本実施例では加圧
ポンプ41を用いている。噴気孔12はポケット11の側面11
a,11c、底面11bに図示のように設けられており、給気管
13によりフィルタ31を介してポンプ41に接続されてい
る。スライダ２は支持アーム10に設けられたポケット11
の中に非接触で保存されている。スライダ２はその側面
22及び背面23がポケット11の中に遊嵌していて、ほぼ完
全にポケット11により密閉されており、浮上面21のみが
磁気ディスク面と対向するようにポケット11から露出し
ている。スライダの側面（流出端面）25に薄膜の磁気ヘ
ッド50が設置されている。A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 4. FIG. 1 is a perspective view showing a floating head slider support mechanism of this embodiment, and FIG. 2 is a sectional view taken along line I--I of FIG.
The figure shows the II-II cross section. In the figure, 2 is a floating head slider, 10 is a slider support arm as a slider support, 11 is a pocket provided in the slider support arm 10,
Reference numeral 13 is an air supply pipe for supplying and exhausting air to and from the pocket 11, 100 is a rotating direction of the magnetic disk, and 101 is a seek operation direction of the floating head slider. Reference numeral 12 is a fumarole, and 30 is a dust collecting means (for example, a filter 31). Reference numeral 40 denotes a pressure adjusting means, for example, a pump capable of pressurizing / depressurizing. In this embodiment, the pressure pump 41 is used. The fumarole 12 is the side 11 of the pocket 11.
a, 11c and bottom 11b are installed as shown
It is connected to a pump 41 via a filter 31 by 13. The slider 2 is a pocket 11 provided in the support arm 10.
It is stored in a non-contact state. Slider 2 is on its side
The back surface 22 and the back surface 23 are loosely fitted in the pocket 11 and are almost completely sealed by the pocket 11, and only the air bearing surface 21 is exposed from the pocket 11 so as to face the magnetic disk surface. A thin-film magnetic head 50 is installed on the side surface (outflow end surface) 25 of the slider.

本実施例の浮動ヘッドスライダ支持機構の機能を説明す
る。ポンプ41よりフィルタ31、給気管13を介して各噴気
孔12に高圧空気を送ると、スライダ２は面内方向で見て
ポケット11の中心に移動し保持される。各噴気孔の空気
圧は等しいために、シークなどの外乱によりスライダが
ポケット中心よりはずれた場合にも、自動的にポケット
中心に保持される。また、ポケット底面の噴気孔より吐
出する高圧空気はスライダを磁気ディスク面に押し付け
る負荷力を与える。このように高圧空気によりスライダ
を保持し、かつ、スライダに負荷力を与える構造とする
ことによりスライダ支持機構としてのローリング、ピッ
チングおよび並進の剛性を十分小さくできる。つまり、
高圧空気による空気ばねを用いてスライダを支持し、か
つスライダに負荷力を与える機構としたことにより、ス
ライダの運動を拘束することなくスライダを支持するこ
とが可能となるために、磁気ディスクのうねり、面振れ
に対する浮動ヘッドスライダの追従特性を向上させるこ
とができる。また浮動ヘッドスライダ支持機構の共振に
よるスライダの浮上量変動を抑制するのにも効果的であ
る。さらに、浮動ヘッドスライダの負荷力を噴気孔の空
気圧力を調整することにより任意に変えることができる
ために、浮動ヘッドスライダの浮上量の調整を容易に行
うことができる。さらに、前記ポケット内の高圧空気は
減衰機能を持つために、スライダが何らかの原因で振動
しても、スライダの振動を抑制し、浮上量変動を低減す
るという効果もある。The function of the floating head slider support mechanism of this embodiment will be described. When high pressure air is sent from the pump 41 through the filter 31 and the air supply pipe 13 to each of the fumaroles 12, the slider 2 moves to the center of the pocket 11 and is held when viewed in the in-plane direction. Since the air pressures of the respective fumaroles are equal, even if the slider deviates from the pocket center due to a disturbance such as a seek, the slider is automatically held at the pocket center. Further, the high pressure air discharged from the air holes on the bottom surface of the pocket gives a load force for pressing the slider against the magnetic disk surface. As described above, the rigidity of rolling, pitching and translation as the slider supporting mechanism can be sufficiently reduced by the structure in which the slider is held by the high pressure air and the load is applied to the slider. That is,
Since the slider is supported by using an air spring of high-pressure air and a load force is applied to the slider, it is possible to support the slider without restraining the movement of the slider. It is possible to improve the follow-up characteristic of the floating head slider with respect to surface wobbling. Further, it is also effective for suppressing the fluctuation of the flying height of the slider due to the resonance of the floating head slider support mechanism. Further, since the load force of the floating head slider can be arbitrarily changed by adjusting the air pressure of the air holes, the flying height of the floating head slider can be easily adjusted. Further, since the high-pressure air in the pocket has a damping function, even if the slider vibrates for some reason, there is an effect that the vibration of the slider is suppressed and the fluctuation of the flying height is reduced.

第４図は、振動特性の上からモデル化した本実施例の浮
動ヘッドスライダ支持機構の概念図を示す。浮動ヘッド
スライダ２は前述した高圧空気による面内方向空気ばね
Kyにより位置決め・保持されており、高圧空気による面
外方向空気ばねKzにより負荷力が与えられている。この
ため、給気空気圧を適切に調整することによって、本支
持機構の持つばね剛性（ピッチング剛性、ローリング剛
性、並進剛性）は、スライダ浮上面と磁気ディスクとの
間に形成される空気膜の剛性（ばね定数K,減衰係数Ｃ）
に比べ十分に低くなし得る。さらに、ポケット内の高圧
空気は空気の粘性のため減衰機能を持っている。（空気
ばねKyに伴う減衰係数をCy、KzのそれをCzと表わす。）
このため磁気ディスク自体のうねり、凹凸、あるいは磁
気ディスクの回転に伴い発生する風（空気流）による磁
気ディスク面のうねりに対しても磁気ディスク面に十分
追従し、一定の浮上量を確保することができる。FIG. 4 is a conceptual diagram of the floating head slider support mechanism of this embodiment modeled from the vibration characteristics. The floating head slider 2 is an in-plane air spring formed by the above-mentioned high pressure air.
It is positioned and held by Ky, and the load force is applied by the out-of-plane air spring Kz by high pressure air. Therefore, by appropriately adjusting the supply air pressure, the spring rigidity (pitching rigidity, rolling rigidity, translational rigidity) of this support mechanism is the rigidity of the air film formed between the slider air bearing surface and the magnetic disk. (Spring constant K, damping coefficient C)
Can be sufficiently lower than Furthermore, the high-pressure air in the pocket has a damping function because of the viscosity of the air. (The damping coefficient associated with the air spring Ky is represented by Cy, and that of Kz is represented by Cz.)
For this reason, the undulations and irregularities of the magnetic disk itself, or the undulations of the magnetic disk surface due to the wind (air flow) that accompanies the rotation of the magnetic disk, sufficiently follow the undulation of the magnetic disk surface to ensure a constant flying height. You can

第７図は、第１図に示した本発明実施例による浮動ヘッ
ドスライダ支持機構において、スライダ支持アーム10を
強制加振し、浮動ヘッドスライダの浮上量変動を検出し
高速フーリエ変換器（FFT）を用いて解析することによ
りスライダ支持機構の伝達特性を測定した結果を示す図
である。横軸は加振周波数ｆ、縦軸は加振振幅△ｚに対
するスライダ流出端での浮上すきま変動（浮上量変動）
Δｈの比をとったものである。図中（１）（実線）は本
発明実施例による浮動ヘッドスライダ支持機構の伝達特
性を示したものである。（２）（１点鎖線）は比較のた
めに第５図に示した従来の浮動ヘッドスライダ支持機構
の伝達特性を示したもの（第５図の固定部７を強制加振
した場合のもの）である。第７図から明らかなように、
本発明実施例による浮動ヘッドスライダ支持機構では支
持機構の部分での質量がないため、従来のスライダ支持
機構における伝達特性では顕著に表われていたｆ＝2.3K
Hzにおける共振点がない。なお、ｆ＝2.3KHzは従来のス
ライダ支持機構における支持系の固有振動数である。ｆ
＝2.3KHzでは、本発明の支持機構は従来の支持機構に比
べ、スライダの浮上量変動の伝達特性は約30dB（1/50）
以上も抑制されていることがわかる。FIG. 7 is a fast Fourier transformer (FFT) for detecting the fluctuation of the flying height of the floating head slider by forcibly exciting the slider supporting arm 10 in the floating head slider supporting mechanism according to the embodiment of the present invention shown in FIG. FIG. 6 is a diagram showing a result of measuring a transfer characteristic of a slider support mechanism by analyzing using a slider. The horizontal axis is the vibration frequency f, and the vertical axis is the fluctuation of the floating clearance (fluctuation amount fluctuation) at the slider outflow end with respect to the vibration amplitude Δz.
It is the ratio of Δh. In the figure, (1) (solid line) shows the transmission characteristics of the floating head slider support mechanism according to the embodiment of the present invention. (2) (one-dot chain line) shows the transfer characteristics of the conventional floating head slider support mechanism shown in FIG. 5 for comparison (when the fixed portion 7 in FIG. 5 is forcibly excited). Is. As is clear from FIG.
Since the floating head slider supporting mechanism according to the embodiment of the present invention has no mass in the supporting mechanism portion, f = 2.3K which is remarkably shown in the transmission characteristic of the conventional slider supporting mechanism.
There is no resonance point at Hz. Note that f = 2.3 KHz is the natural frequency of the support system in the conventional slider support mechanism. f
= 2.3 KHz, the support mechanism of the present invention has a transfer characteristic of the flying height variation of the slider of about 30 dB (1/50) compared to the conventional support mechanism.
It can be seen that the above is also suppressed.

第８図は本発明の第２の実施例を示した断面図である。
１つの浮動ヘッドスライダ支持機構に３つのポケット11
を磁気ディスクの半径方向に設け、３つの浮動ヘッドス
ライダ２を夫々支持している。この構成をとることによ
り浮動ヘッドスライダの実装効率を向上させることがで
きるとともに、第１の実施例と同様の効果も期待するこ
とができる。勿論、［作用］の項で述べたように、デー
タアクセス時間を、スライダが１つの場合に比べて、短
縮し得る。さらに本実施例では給気管13をスライダ支持
アーム10の中に設けることにより給気管の配管を簡略化
している。FIG. 8 is a sectional view showing a second embodiment of the present invention.
One floating head slider support mechanism with three pockets 11
Are provided in the radial direction of the magnetic disk to support the three floating head sliders 2, respectively. With this configuration, the mounting efficiency of the floating head slider can be improved, and the same effect as that of the first embodiment can be expected. Of course, as described in the [Operation] section, the data access time can be shortened as compared with the case of one slider. Further, in this embodiment, the air supply pipe 13 is provided in the slider support arm 10 to simplify the piping of the air supply pipe.

第９図は本発明の第３の実施例を示した断面図である。
第１図と同一の符号のものは第１図と同一あるいは同様
の機能をするものを示す。本実施例が第１の実施例と異
なる点は、圧力調整手段40として加圧・減圧切り換えポ
ンプ42を設けている点である。これにより、浮動ヘッド
スライダのオートローディングが可能となる。つまり、
ポンプ42により加圧するとスライダに浮上力と反対方向
の負荷力が発生し、スライダは磁気ディスク面上にロー
ディングされ（第９図（ｂ））、逆にポンプ42により減
圧するとスライダに浮上力と同一方向の負荷力が働き、
スライダはディスク面からはなれ、アンローディング
（ディローディング）される（第９図（ａ））。本実施
例においても第１の実施例と同様の効果を期待すること
ができる。FIG. 9 is a sectional view showing a third embodiment of the present invention.
The same reference numerals as those in FIG. 1 denote the same or similar functions as those in FIG. The present embodiment differs from the first embodiment in that a pressurizing / depressurizing switching pump 42 is provided as the pressure adjusting means 40. This enables the automatic loading of the floating head slider. That is,
When pressure is applied by the pump 42, a load force in the direction opposite to the levitation force is generated on the slider, and the slider is loaded on the magnetic disk surface (FIG. 9 (b)). Conversely, when the pressure is reduced by the pump 42, levitation force is applied to the slider. Load force works in the same direction,
The slider comes off the disk surface and is unloaded (unloaded) (FIG. 9 (a)). Also in this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be expected.

第10図は本発明の第４の実施例を示したものである。第
１図と同一符号のものは同一部品あるいはそれと同等の
機能をする部品である。本実施例は、前記各実施例が浮
動ヘッドスライダ２として正圧型のスライダを用いてい
るのに対して、負圧利用形スライダ（例えば米国特許3,
855,625、特開昭58−64670、特開昭57−210479、特公昭
59−18780など）を用い、その吸引力により浮動ヘッド
スライダ支持機構の負荷力（負荷荷重、押付け荷重とも
呼ばれている）の１部を賄い、あるいは同一負荷力の場
合には浮動ヘッドスライダの実効負荷力を大きくし、浮
動ヘッドスライダの追従特性を向上し、浮上量変動をよ
り小さくしたものである。本実施例においても第１の実
施例と同様の効果を期待することができる。FIG. 10 shows a fourth embodiment of the present invention. The same reference numerals as in FIG. 1 denote the same parts or parts having the same functions. In this embodiment, a positive pressure type slider is used as the floating head slider 2 in each of the above embodiments, whereas a negative pressure type slider (for example, US Pat.
855,625, JP 58-64670, JP 57-210479, JP
59-18780) to cover a part of the load force (also called load load or pressing load) of the floating head slider support mechanism by its suction force, or in the case of the same load force, the floating head slider The effective load force is increased, the follow-up characteristic of the floating head slider is improved, and the fluctuation of the flying height is further reduced. Also in this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be expected.

第11図に本発明の第５の実施例を示す。第１図と同一符
号のものは同一部品あるいは同一機能のものを示してい
る。本実施例と第１の実施例との違いは、スライダ支持
アーム10に設けられたポケット11の側壁11aにスライダ
に対するストッパ200を設け、スライダの背面に可撓性
突部201を設置している点である。これにより、スライ
ダをポケット11の中に容易に挿入・設置することが可能
となるとともに、スライダはスライダ背面に設けられた
可撓性突部201とストッパ200により止められ、浮動ヘッ
ドスライダ支持機構を移動する場合、あるいは該ポケッ
ト11の開口部が下向きに設置される場合にも、スライダ
がポケット11から下落することはない。これにより、浮
動ヘッドスライダ支持機構の磁気ディスク装置への装置
が容易になり、生産性も向上する。また、本実施例にお
いても第１の実施例と同様の効果を期待することができ
る。FIG. 11 shows a fifth embodiment of the present invention. The same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same parts or the same functions. The difference between this embodiment and the first embodiment is that a stopper 200 for the slider is provided on the side wall 11a of the pocket 11 provided on the slider support arm 10, and a flexible protrusion 201 is provided on the back surface of the slider. It is a point. As a result, the slider can be easily inserted and installed in the pocket 11, and the slider is stopped by the flexible protrusion 201 and the stopper 200 provided on the back surface of the slider, and the floating head slider support mechanism is provided. The slider does not drop from the pocket 11 when moving or when the opening of the pocket 11 is installed downward. As a result, the floating head slider support mechanism can be easily installed in the magnetic disk device, and the productivity is improved. Also, in this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be expected.

第12図に本発明の第６の実施例を示す。第１図と同一符
号のものは同一部品、あるいは同一機能のものを示して
いる。第１実施例との違いは、スライダ支持アーム10
に、スライダのストッパバンド202を図示のように設け
たことである。なお、第12図（ｂ）は第12図（ａ）のＩ
−Ｉ断面の断面図である。これにより、スライダ２がポ
ケット11から脱落することがなくなり、浮動ヘッドスラ
イダ支持機構の信頼性を向上させることができる。ま
た、本実施例においても第１の実施例と同様の効果も期
待することができる。FIG. 12 shows a sixth embodiment of the present invention. The same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same parts or the same functions. The difference from the first embodiment is that the slider support arm 10
In addition, the stopper band 202 of the slider is provided as shown in the figure. It should be noted that FIG. 12 (b) shows I of FIG. 12 (a).
It is sectional drawing of the -I cross section. As a result, the slider 2 will not fall out of the pocket 11, and the reliability of the floating head slider support mechanism can be improved. Further, also in this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be expected.

第13図に本発明の第７の実施例を示す。第１図と同一符
号のものは同一部品、あるいは同一機能のものを示して
いる。本実施例では、スライダ支持アーム10の両面に、
磁気ディスク半径方向に並んだ複数のポケット11,11´
を設け、各ポケット11,11´に浮動ヘッドスライダ２を
保持している。これにより、浮動ヘッドスライダの実装
効率を向上させることができ、かつ、磁気ディスク同志
の間隙を従来よりも狭くすることが可能となり、磁気デ
ィスクの装置の小型化が容易に行える。また、噴気孔12
と噴気孔12′とを給気管13により連結することにより、
ポケット11,11′の空気圧力を同一にすることが可能で
ある。このため、浮動ヘッドスライダ支持機構を磁気デ
ィスク間へ挿入し、位置決めするときに、軸方向に設定
誤差が発生した場合にも、噴気孔12,12′の空気圧力が
同じになるために、スライダの負荷力は同じとなるた
め、スライダ浮上量は同一となる。さらに、第１の実施
例と同様の効果も期待することができることは勿論であ
る。FIG. 13 shows a seventh embodiment of the present invention. The same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same parts or the same functions. In this embodiment, on both sides of the slider support arm 10,
Multiple pockets 11,11 'arranged in the radial direction of the magnetic disk
And the floating head slider 2 is held in each pocket 11, 11 '. As a result, the mounting efficiency of the floating head slider can be improved, and the gap between the magnetic disks can be made narrower than before, and the magnetic disk device can be easily miniaturized. Also, the fumarole 12
And the fumarole 12 'are connected by the air supply pipe 13,
It is possible to make the air pressure in the pockets 11 and 11 'the same. Therefore, when the floating head slider support mechanism is inserted between the magnetic disks and positioned, even if there is a setting error in the axial direction, the air pressures of the air holes 12, 12 'are the same, so the slider Since the load force is the same, the slider flying height is the same. Further, it goes without saying that the same effect as that of the first embodiment can be expected.

第14図に本発明の第８の実施例を示す。第１図と同一符
号のものは同一部品、あるいは同一機能のものを示して
いる。本実施例と第１の実施例との違いは、ポンプ41と
フィルタ31との間に空気加熱手段60としてヒータ61を設
けている点である。これにより、乾燥した高温の空気を
スライダと磁気ディスクとの接触面に供給することが可
能となる。これにより、スライダと静止中の磁気ディス
クとの接触により形成される狭小空間に毛管凝集で発生
した水を気化することが可能となる。このため、スライ
ダと磁気ディスクとの間の狭小空間に発生した水の表面
張力によりスライダとディスクとが粘着（吸着）して磁
気ディスク回転時にスライダ支持系が破損するなどの、
いわゆる粘着事故を防止することが可能となる。さら
に、第１の実施例と同様の効果も期待することができ
る。FIG. 14 shows an eighth embodiment of the present invention. The same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same parts or the same functions. The difference between this embodiment and the first embodiment is that a heater 61 is provided as an air heating means 60 between the pump 41 and the filter 31. This makes it possible to supply dry high temperature air to the contact surface between the slider and the magnetic disk. As a result, it becomes possible to vaporize the water generated by the capillary aggregation in the narrow space formed by the contact between the slider and the stationary magnetic disk. Therefore, the surface tension of the water generated in the narrow space between the slider and the magnetic disk causes the slider and the disk to adhere (adsorb) to damage the slider support system when the magnetic disk rotates.
It is possible to prevent so-called sticking accidents. Further, the same effect as that of the first embodiment can be expected.

第15図に本発明の第９の実施例を示す。第１図と同一符
号のものは同一部品、あるいは同一機能のものを示して
いる。図示の便宜上、第15図の右の図は磁気ディスク１
の間に挿された浮動ヘッドスライダ支持機構を特に拡大
して示している。本実施例では、圧力調整手段として磁
気ディスクのスピンドル103にフィンを取りつけてオン
プレッサ43を構成し、これにより加圧空気を給気管13、
フィルタ31を通してスライダ支持アーム10に送るように
してある。これにより、ポンプを新たに設けることなく
加圧空気を作ることが可能となるために、磁気ディスク
装置を小型化できるという利点がある。また、第１の実
施例と同様の効果も期待することができる。FIG. 15 shows a ninth embodiment of the present invention. The same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same parts or the same functions. For convenience of illustration, the diagram on the right side of FIG. 15 shows the magnetic disk 1
The floating head slider support mechanism inserted between the two is shown particularly enlarged. In this embodiment, as a pressure adjusting means, a fin is attached to the spindle 103 of the magnetic disk to form the on-pressor 43, whereby pressurized air is supplied to the air supply pipe 13,
The filter is sent to the slider support arm 10 through the filter 31. This makes it possible to produce pressurized air without newly providing a pump, which is advantageous in that the magnetic disk device can be downsized. Further, the same effect as that of the first embodiment can be expected.

第16図に本発明の第10の実施例を示す。第１図と同一番
号のものは同一部品、あるいは同一機能のものを示して
いる。本実施例と第１の実施例との違いは、本実施例で
はポケット11の側面に第２図に示す様な広口の噴気孔12
を設けず、給気管13をそのままポケット11に開口させて
いる点である。これにより、広口の噴気孔12による空気
ばねの位相遅れがなくなり、空気ばね自体の振動（自励
振動など）がなくなり、安定してスライダを支持するこ
とが可能となる。また、広口噴気孔12を設けないためポ
ケット11の製作が容易となり浮動ヘッドスライダ支持機
構の生産性が向上するという利点もある。また、本実施
例においても第１の実施例と同様の効果を期待すること
ができる。FIG. 16 shows a tenth embodiment of the present invention. The same reference numerals as in FIG. 1 indicate the same parts or the same functions. The difference between this embodiment and the first embodiment is that, in this embodiment, the side surface of the pocket 11 has a wide-mouthed fumarole 12 as shown in FIG.
The point is that the air supply pipe 13 is directly opened to the pocket 11 without the provision of the above. As a result, there is no phase delay of the air spring due to the wide nozzle holes 12, vibration of the air spring itself (such as self-excited vibration) is eliminated, and the slider can be stably supported. Further, since the wide-mouthed fumarole 12 is not provided, the pocket 11 can be easily manufactured, and the productivity of the floating head slider support mechanism can be improved. Also, in this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be expected.

本発明の第11の実施例を第17図に示す。第１図と同一符
号のものは同一部品あるいは同一機能のものを示してい
る。本実施例と第１の実施例との違いは、給気管13をス
ライダ支持アーム10の中に設けたことと、スライダ流出
端面25側のポケット11の底面11bに２つの噴気孔12j,12k
を設け、スライダ流入端面24寄りのポケット底面には１
つの噴気孔12iを設けたことである。給気管13をスライ
ダ支持アーム10の中に設けたことにより浮動ヘッドスラ
イダ支持機構を小さくできるという利点がある。また、
ポケット11の底面11bのスライダ流入端24側に１つの噴
気孔12iを設け、流出端25側に２つの噴気孔12j,12kを設
けたことにより、スライダ背面23に空気ばねで与える負
荷力を偏らせるように調整することができる。いいかえ
れば、スライダ流出端25側のスライダ背面には２つの噴
気孔12j,12kが設けられているため、これらの２つの噴
気孔により形成される空気ばね定数k_ZRは、スライダ流
入端24側に設けられた１つの噴気孔12iにより形成され
る空気ばね定数k_ZFよりも高い。このためスライダの浮
上姿勢は、スライダ２の流入端24の浮上量h₁に比べて、
流出端25の浮上量h₂が小さい様な浮上姿勢となる。スラ
イダ２の流出端面25には磁気ヘッド50が取り付けられて
おり、磁気ヘッドの読出し／書込み特性は浮上量の小さ
いほうが有利であることが知られているため、本実施例
ではスライダの浮上姿勢をコントロールして、読出し／
書込み特性を向上できるという利点がある。本実施例で
はスライダ流出端側に２つの噴気孔を設けたが、各噴気
孔の直径（面積）が同じならば、噴気孔数を増加・減少
させることにより任意のスライダ浮上姿勢を得ることが
できる。なお本実施例とは逆に、流入端24側に流出端25
側よりも多くの噴気孔を設けることにより、逆に、流入
端24側の浮上量を最小にすることができることは明白で
ある。上述したように、スライダの浮上姿勢（h₁/h₂）
を任意に変えることができるため、スライダ浮上面21の
テーパ部25がなくても良いので、スライダの加工性の向
上も期待することができる。また本実施例においても第
１の実施例と同様の効果を期待することができる。The eleventh embodiment of the present invention is shown in FIG. The same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same parts or the same functions. The difference between this embodiment and the first embodiment is that the air supply pipe 13 is provided in the slider support arm 10 and that two air holes 12j and 12k are formed in the bottom surface 11b of the pocket 11 on the slider outflow end surface 25 side.
On the bottom of the pocket near the slider inflow end face 24
That is, two fumaroles 12i are provided. By providing the air supply pipe 13 in the slider support arm 10, there is an advantage that the floating head slider support mechanism can be downsized. Also,
By providing one fumarole 12i on the slider inflow end 24 side of the bottom surface 11b of the pocket 11 and two fumaroles 12j, 12k on the outflow end 25 side, the load force given by the air spring to the slider back 23 is biased. Can be adjusted to In other words, since the slider back face on the slider outflow end 25 side is provided with the two air holes 12j and 12k, the air spring constant k _ZR formed by these two air holes is on the slider inflow end 24 side. It is higher than the air spring constant k _ZF formed by the one air hole 12i provided. Therefore, the flying posture of the slider is larger than the flying height h ₁ of the inflow end 24 of the slider 2 by
The floating posture is such that the floating amount h ₂ of the outflow end 25 is small. Since the magnetic head 50 is attached to the outflow end surface 25 of the slider 2 and it is known that the read / write characteristics of the magnetic head are preferably such that the flying height is small, the flying posture of the slider is set in this embodiment. Control and read /
There is an advantage that the writing characteristics can be improved. In this embodiment, two fumaroles are provided on the slider outflow end side, but if the diameter (area) of each fumarole is the same, it is possible to obtain an arbitrary slider flying posture by increasing or decreasing the number of fumaroles. it can. Note that, contrary to the present embodiment, the outflow end 25 is provided on the inflow end 24 side.
It is clear that, by providing more fumaroles than on the side, conversely, the flying height on the side of the inflow end 24 can be minimized. As mentioned above, the flying posture of the slider (h ₁ / h ₂ )
Since the taper portion 25 of the slider air bearing surface 21 does not need to be provided, it is possible to expect improvement in workability of the slider. Further, also in this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be expected.

本発明の第12の実施例を第18図に示す。第１図と同一符
号のものは同一部品あるいは同一機能のものを示してい
る。本実施例と第11の実施例との違いは、スライダ流出
端25側のポケット11の底面11bに設けられた１つの噴気
孔12の直径（面積）Ｄを、流入端24側に設けられた
１つの噴気孔12iの直径（面積）Diより大きくしたこと
である。これによりスライダ背面23の流出端25側に加わ
る負荷力が、流入端24側に加わる負荷力よりも大きくな
るために、磁気ヘッド50の位置でのスライダ浮上量h
₂が、流入端24側の浮上量h₁に比べ小さくなり、第11の
実施例と同様に良好な読出し／書込み特性が得られる。
本実施例は空気孔の数を増やすことなく第11の実施例と
同様の効果を期待できる。このため、生産性を向上する
ことができる。なお本実施例においても第１の実施例と
同様の効果を期待することができる。本実施例では噴気
孔の面積を変えることにより、ポンプ41からの給気圧が
一定でも、スライダの背面に加わる負荷力をコントロー
ルできることを示したが、噴気孔の面積が等しくても、
スライダ流入端側と流出端側の給気圧力を、２つの異な
るポンプを用いて変えれば同様の効果が期待できること
は明白である。本実施例では、スライダ流入端にテーパ
のないスライダを用いている。A twelfth embodiment of the present invention is shown in FIG. The same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same parts or the same functions. The difference between this embodiment and the eleventh embodiment is that the diameter (area) D of one fumarole 12 provided on the bottom surface 11b of the pocket 11 on the slider outflow end 25 side is provided on the inflow end 24 side. This means that the diameter (area) Di of one fumarole 12i is made larger. As a result, the load force applied to the outflow end 25 side of the slider back surface 23 becomes larger than the load force applied to the inflow end 24 side, so the slider flying height h at the position of the magnetic head 50.
₂ becomes smaller than the flying height h ₁ on the inflow end 24 side, and good read / write characteristics can be obtained as in the eleventh embodiment.
In this embodiment, the same effect as that of the eleventh embodiment can be expected without increasing the number of air holes. Therefore, productivity can be improved. In this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be expected. In the present embodiment, by changing the area of the fumaroles, it has been shown that the load force applied to the back surface of the slider can be controlled even if the supply pressure from the pump 41 is constant, but even if the area of the fumaroles is the same,
It is obvious that the same effect can be expected by changing the supply pressures on the slider inflow end side and the outflow end side by using two different pumps. In this embodiment, a slider having no taper is used at the slider inflow end.

本発明の第13の実施例を第19図に示す。第１図と同一符
号のものは同一部品あるいは同一機能のものを示してい
る。本実施例の第１の実施例との違いはポケット11の各
側面に２つの噴気孔12a,12bを設け、スライダの磁気ヘ
ッド50の近くの噴気孔12aの直径（面積）を、他の噴気
孔12bの直径（面積）より大きいことである。このた
め、磁気ヘッド50設置部の噴気孔12aの空気ばね定数k_ya
が、他の噴気孔12bの空気ばね定数_ybより大きくなって
いる。このため、スライダがデータ検索のためにシーク
方向101に動いた場合にも、磁気ヘッド50の振動は小さ
い。このため、所定の半径位置（データ位置）に短時間
で移動でき、高速にデータをアクセスできる利点があ
る。また、第１の実施例と同様の効果を期待することが
可能である。A thirteenth embodiment of the present invention is shown in FIG. The same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same parts or the same functions. The difference between this embodiment and the first embodiment is that two air holes 12a and 12b are provided on each side surface of the pocket 11 and the diameter (area) of the air hole 12a near the magnetic head 50 of the slider is set to the other air holes. It is larger than the diameter (area) of the hole 12b. Therefore, the air spring constant k _ya of the fumarole 12a of the magnetic head 50 installation portion is
However, it is larger than the air spring constant _yb of the other fumarole 12b. Therefore, even if the slider moves in the seek direction 101 for data search, the vibration of the magnetic head 50 is small. Therefore, it is possible to move to a predetermined radius position (data position) in a short time, and there is an advantage that data can be accessed at high speed. Further, it is possible to expect the same effect as that of the first embodiment.

本発明の第14の実施例を第20図に示す。第１図と同一符
号のものは同一部品あるいは同一機能のものを示してい
る。本実施例ではポケット11の側面に２つの噴気孔12a,
12bを設け、その１つ12bを、スライダの重心Ｇを含み且
つスライダ浮上面21と平行な平面上に設けている。スラ
イダの重心Ｇを含む面に設けられた噴気孔12bの面積
は、他の噴気孔12aの面積より広い。このため、噴給気
孔12bの空気ばね定数k_ybは噴気孔12aの空気ばね定数k_ya
より大きい。このため、シーク方向101にスライダがシ
ークした場合には、シーク加速力F_Sは、主に空気ばねk
_ybを介して重心Ｇに働き、重心Ｇの慣性力F₁は加速力F_S
と同一面上で逆方向に働く。このためスライダは、シー
ク時の加速力により、重心Ｇを中心として回動すること
はない。このため、磁気ヘッド50と磁気ディスクとの距
離（浮上量）は常に一定に保たれ、浮上量変動による読
出し／書込みエラー、あるいは磁気ヘッドと磁気ディス
クとの接触による磁気ディスクの破損などの事故がなく
なるという利点がある。また、本実施例でも第１の実施
例と同様の効果を期待することができる。なお、噴気孔
12aがなくとも、同様の効果を期待できることは明白で
ある。A fourteenth embodiment of the present invention is shown in FIG. The same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same parts or the same functions. In this embodiment, two fumaroles 12a are formed on the side surface of the pocket 11.
12b is provided, and one of them 12b is provided on a plane including the center of gravity G of the slider and parallel to the slider air bearing surface 21. The area of the fumarole 12b provided on the surface including the center of gravity G of the slider is larger than the area of the other fumarole 12a. Therefore, the air spring constant k _yb of the injection hole 12b is equal to the air spring constant k _{ya of} the injection hole 12a.
Greater than Therefore, when the slider seeks in the seek direction 101, the seek acceleration force F _S is mainly the air spring k.
It acts on the center of gravity G via _yb, and the inertial force F ₁ of the center of gravity G is the acceleration force F _S
And works in the opposite direction on the same plane. Therefore, the slider does not rotate about the center of gravity G due to the acceleration force during seek. Therefore, the distance (flying height) between the magnetic head 50 and the magnetic disk is always kept constant, and a read / write error due to fluctuation in flying height or an accident such as damage to the magnetic disk due to contact between the magnetic head and the magnetic disk may occur. It has the advantage of disappearing. Also, in this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be expected. The fumarole
It is clear that the same effect can be expected without 12a.

本発明の第15の実施例を第21図に示す。第１図と同一符
号のものは同一部品あるいは同一機能のものを示してい
る。第１の実施例との違いとしては、スライダ２の浮上
面21が凸形のクラウン形状となっており（すなわちスラ
イダがカマボコ形）、該クラウンの中央部に磁気ヘッド
50が設けられていること、該スライダの重心Ｇを含み且
つ磁気ディスク２の面と平行な平面上にてスライダ支持
アーム10のポケット11の側面に噴気孔12が設けられてい
ることである。磁気ヘッド50をスライダの重心Ｇのある
中央部に設け、重心Ｇを含む平面上に空気ばねを形成す
る噴気孔を設けているために、スライダ２は重心Ｇまわ
りに回転し、磁気ヘッド50の振動（面内方向及び面外方
向）が少なく、読出し／書込みエラーが発生しにくいと
いう利点がある。また第１の実施例と同様の効果も期待
することができる。A fifteenth embodiment of the present invention is shown in FIG. The same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same parts or the same functions. The difference from the first embodiment is that the air bearing surface 21 of the slider 2 has a convex crown shape (that is, the slider is a semi-cylindrical shape), and the magnetic head is located at the center of the crown.
50 is provided, and the air holes 12 are provided on the side surface of the pocket 11 of the slider support arm 10 on a plane including the center of gravity G of the slider and parallel to the surface of the magnetic disk 2. Since the magnetic head 50 is provided at the center of the slider with the center of gravity G and the air holes forming the air spring are provided on the plane including the center of gravity G, the slider 2 rotates around the center of gravity G and the magnetic head 50 moves. There are advantages that vibration (in-plane direction and out-of-plane direction) is small and read / write errors are hard to occur. Further, the same effect as that of the first embodiment can be expected.

本発明の第16の実施例を第22図に示す。第22図（ｂ）お
よび同（ｃ）は、夫々、第22図（ａ）のＩ−Ｉ断面およ
びII−II断面を示している。なお、第１図と同一符号の
ものは同一部品あるいは同一機能のものを示している。
本実施例では、スライダを凸球面21を有する円筒形と
し、磁気ヘッド50を該スライダの凸球面21の中心頂部に
設けている。このため、スライダ支持アーム10のポケッ
ト11は円筒形状で良く、加工がしやすいという利点があ
る。また、磁気ヘッド50をスライダの凸球面21の中心頂
部に設けたことにより浮上量を最小にすることができる
とともに、スライダの振動による磁気ヘッド50の変位を
最小にすることができる利点がある。図中、２′および
10′はスライダの回り止めのための突起と切欠きであ
る。また、第21図（ｂ），（ｃ）に示すようにスライダ
重心Ｇを含み且つ磁気ディスク１に平行な平面上に４つ
の噴気孔を設けることにより、スライダが磁気ディスク
の半径方向及び周方向に動いた場合にも空気ばねにより
常にすスライダの重心Ｇを支持することができるため、
スライダ重心Ｇを中心としたスライダの振動を効果的に
低減できるという利点がある。また、このようにスライ
ダの浮上面を球面状にすることにより、スライダにヨー
角（磁気ディスク接線方向となす角度）が発生しても常
に一定の浮上量を確保することが可能となる。つまり、
スライダの浮上面に流入する空気流の流入角度が変化し
ても一定の浮上量を確保することが可能となる。なお、
本実施例においても、第１の実施例と同様の効果を期待
することができる。A sixteenth embodiment of the present invention is shown in FIG. 22 (b) and 22 (c) show the I-I section and the II-II section of FIG. 22 (a), respectively. The same reference numerals as in FIG. 1 indicate the same parts or the same functions.
In this embodiment, the slider has a cylindrical shape having a convex spherical surface 21, and the magnetic head 50 is provided at the center of the convex spherical surface 21 of the slider. Therefore, the pocket 11 of the slider support arm 10 may have a cylindrical shape, and has an advantage that it can be easily processed. Further, since the magnetic head 50 is provided at the central top of the convex spherical surface 21 of the slider, the flying height can be minimized, and the displacement of the magnetic head 50 due to the vibration of the slider can be minimized. 2'and in the figure
10 'is a protrusion and a notch for preventing the slider from rotating. Further, as shown in FIGS. 21 (b) and 21 (c), the slider is provided with four jet holes on a plane including the slider gravity center G and parallel to the magnetic disk 1, so that the slider can move in the radial and circumferential directions of the magnetic disk. The center of gravity G of the slider can always be supported by the air spring even when it moves to
There is an advantage that the vibration of the slider around the center of gravity G of the slider can be effectively reduced. Further, by making the air bearing surface of the slider spherical, it is possible to always maintain a constant flying height even if a yaw angle (an angle with the tangential direction of the magnetic disk) is generated in the slider. That is,
Even if the inflow angle of the air flow that flows into the air bearing surface of the slider changes, it is possible to secure a constant flying height. In addition,
Also in this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be expected.

本発明の第17の実施例を第23図に示す。第１図と同一符
号のものは第一部品あるは同一機能のものを示してい
る。本実施例の第１の実施例との違いは次の如くであ
る。すなわち、ポケット11の背面11bおよび側面11aに夫
々噴気孔12b,12aの他に吸気孔80bおよび80aを夫々を設
け、これら吸気孔は吸気管81によりフィルタ82を介し
て、減圧手段である減圧ポンプ90に結合されている。こ
のため、スライダ２は吸気孔80bの吸引力によりポケッ
ト11の中に保持され、ポケット11の内部から脱落するこ
とはない。また、吸気孔80bの吸引力を減圧ポンプ91に
より制御することにより、スライダ背面23とポケット11
の底面11bとの距離を自由にコントロールできるという
利点もある。本実施例においてもポケット側面11aの噴
気孔12aはスライダ重心Ｇを含み磁気ディスク表面に平
行な面上に設定されているため、シーク時においてもス
ライダの重心Ｇまわりの回転振動が発生しにくい。ポケ
ット11の側面11aに設けた吸気孔80aは噴気孔12aから出
る空気を集気するので、スライダの浮上面に噴気孔12a
からの空気が供給されず、従って、該空気がスライダの
浮上特性に影響を与えない。また、何らかの原因で噴気
孔からの空気に塵埃が混入した場合でも、それがスライ
ダに付着してスライダの浮上特性に影響を与えることは
ない。本実施例では、スライダに対して反発力を及ぼす
空気ばね（空気噴出ばね）と吸引力を及ぼす空気ばねと
が形成されるので、それらの噴気と吸気の適当な調節に
よってスライダへの負荷力、浮上量、浮上姿勢の制御が
容易にでき、また、ポケット11の底面の噴気孔12bから
吹出した空気は底面の吸気孔80bに、また側面の噴気孔1
2aから吹出した空気は側面の吸気孔80aに夫々吸い込ま
れるので、底面側空気ばねと側面側空気ばねとを互に独
立作用させ、その間の干渉を避けることができると共
に、スライダの浮上面に噴気孔からの空気が到達しない
のでスライダの浮上特性に該空気が影響を及ぼすことは
なく、また噴気空気に塵埃が混入したとしても、上記理
由により、それがスライダに付着する事態は防止できる
等、優れた種々の効果を奏することができる。勿論、第
１の実施例と同じ利点は本実施例にも存することは明ら
かであろう。A seventeenth embodiment of the present invention is shown in FIG. The same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the first component or the same function. The difference between this embodiment and the first embodiment is as follows. That is, the back surface 11b and the side surface 11a of the pocket 11 are provided with intake holes 80b and 80a in addition to the blow holes 12b and 12a, respectively. Is bound to 90. Therefore, the slider 2 is held in the pocket 11 by the suction force of the intake hole 80b and does not fall out of the pocket 11. Further, by controlling the suction force of the intake hole 80b by the decompression pump 91, the slider back surface 23 and the pocket 11 can be controlled.
There is also an advantage that the distance to the bottom surface 11b of the can be freely controlled. Also in this embodiment, since the air holes 12a on the side wall 11a of the pocket are set on a plane including the center of gravity G of the slider and parallel to the surface of the magnetic disk, rotational vibration about the center of gravity G of the slider is unlikely to occur even during seeking. The intake hole 80a provided on the side surface 11a of the pocket 11 collects the air discharged from the fumarole 12a, so that the fumarole 12a is formed on the air bearing surface of the slider.
Is not supplied, and therefore the air does not affect the flying characteristics of the slider. Further, even if dust is mixed into the air from the fumarole for some reason, it does not adhere to the slider and affect the flying characteristics of the slider. In this embodiment, since an air spring (air ejection spring) exerting a repulsive force on the slider and an air spring exerting a suction force are formed, the load force on the slider, It is possible to easily control the floating amount and the floating posture, and the air blown from the fumarole 12b on the bottom of the pocket 11 is introduced into the intake hole 80b on the bottom and the fumarole 1 on the side.
The air blown out from 2a is sucked into the side air intake holes 80a, respectively, so that the bottom side air spring and the side side air spring can act independently of each other, and the interference between them can be avoided, and the air blown on the air bearing surface of the slider. Since air from the holes does not reach, the air does not affect the flying characteristics of the slider, and even if dust is mixed in the fumarolic air, it is possible to prevent it from adhering to the slider for the above reasons. It is possible to achieve various excellent effects. Of course, it will be clear that the same advantages as in the first embodiment also exist in this embodiment.

本発明の第18の実施例を第24図に示す。第１図と同一符
号のものは第１部品あるいは同一機能のものを示してい
る。第１の実施例との違いは、スライダ流出端25の磁気
ヘッド50近傍にてポケット側面11aに設けた噴気孔12rの
直径（面積）Drを、スライダ流入端24側に設けた側面噴
気孔12fの直径（面積）Dfより大きくしている点であ
る。空気ばねのばね定数、つまり空気ばねのばね強さ
（剛性）は、給気圧が同一の場合は、噴気孔の面積が大
きくなるほど強くなる。このため本実施例では、磁気ヘ
ッド50の在る場所の空気ばねはスライダ流入端24側の空
気ばねより強いので、シーク方向101の加速度がスライ
ダに加わった場合にも、磁気ヘッド50の振動は小さく、
このため読出し／書込みエラーが少ないという利点があ
る。また、本実施例においても第１の実施例と同様の効
果を期待することができる。An eighteenth embodiment of the present invention is shown in FIG. The same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the first components or the same functions. The difference from the first embodiment is that the diameter (area) Dr of the nozzle hole 12r provided on the pocket side surface 11a near the magnetic head 50 at the slider outflow end 25 is the same as the side surface nozzle 12f provided on the slider inflow end 24 side. It is the point that it is made larger than the diameter (area) Df of. The spring constant of the air spring, that is, the spring strength (rigidity) of the air spring, becomes stronger as the area of the fumarole increases, when the supply pressure is the same. Therefore, in this embodiment, since the air spring at the location of the magnetic head 50 is stronger than the air spring at the slider inflow end 24 side, vibration of the magnetic head 50 does not occur even when acceleration in the seek direction 101 is applied to the slider. small,
Therefore, there is an advantage that there are few read / write errors. Also, in this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be expected.

本発明の第19の実施例を第25図に示す。第１図と同一符
号のものは同一部品、あるいは同一機能のものを示す。
本実施例では、磁気ヘッド50の近くのポケット側壁11a
に２つの噴気孔12j,12kを設け、スライダ流入端24側に
は１つの噴気孔12iを設けている。これにより、第18の
実施例と同様の理由により、磁気ヘッド50の存する場所
での空気ばねが強くなり、読出し／書込みエラーが少な
いという利点がある。また、第１の実施例と同様の効果
も期待することができる。A nineteenth embodiment of the present invention is shown in FIG. The same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same parts or the same functions.
In this embodiment, the pocket side wall 11a near the magnetic head 50 is used.
Two fumaroles 12j and 12k are provided on the side, and one fumarole 12i is provided on the slider inflow end 24 side. For this reason, for the same reason as in the eighteenth embodiment, the air spring in the place where the magnetic head 50 is located becomes strong, and there is an advantage that there are few read / write errors. Further, the same effect as that of the first embodiment can be expected.

本発明の第20の実施例を第26図に示す。第１図と同一符
号のものは同一部品、あるいは同一機能のものを示す。
本実施例ではスライダ支持アーム10に設けられたポケッ
ト11の側壁11a（スライダ２の側面22との対向面）に形
状可変性部材として、例えば電歪素子（ピエゾ素子）40
1が設けられており、これに噴気孔12が明けられてい
る。次に第27図を用いて、本実施例の作用を説明する。
第27図（ａ）の状態において、電歪素子401に電圧源410
により電圧を印加する。電圧が印加されると電歪素子40
1は第27図（ｂ）のようにΔｔだけスライダ２の方に伸
びる。スライダ２は噴気孔12から供給される高圧空気
（空気ばね）により前記ポケットの中心に位置決めされ
る（これは噴気孔12a,12bから供給される空気圧が同一
であるためである。言い換れば、空気ばねのばね強さが
等しいためである）。このため、磁気ヘッド50はΔt/2
だけ電歪素子401のない側の方に移動する。電歪素子の
変形量Δｔは印加電圧Ｖによりコントロールすることが
できるので、電圧源により電圧Ｖをコントロールして磁
気ヘッドの磁気ディスク半径方向位置をコントロールす
ることが可能となる。これにより、磁気ディスク装置内
の温度上昇により発生する磁気ヘッドの位置決め誤差
（熱オフトラックと呼ばれる）を取り除くことが可能と
なる。また本実施例においても第１の実施例と同様の効
果を期待することができる。なお電歪素子の代りに形状
記憶合金を用いてもよい。A twentieth embodiment of the present invention is shown in FIG. The same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same parts or the same functions.
In the present embodiment, a side wall 11a of the pocket 11 provided on the slider support arm 10 (a surface facing the side surface 22 of the slider 2) is provided with a variable shape member such as an electrostrictive element (piezo element) 40.
1 is provided, and the fumarole 12 is opened in this. Next, the operation of this embodiment will be described with reference to FIG.
In the state of FIG. 27 (a), the voltage source 410 is connected to the electrostrictive element 401.
To apply a voltage. Electrostrictive element 40 when voltage is applied
1 extends toward the slider 2 by Δt as shown in FIG. 27 (b). The slider 2 is positioned at the center of the pocket by high pressure air (air spring) supplied from the fumaroles 12 (because the air pressures supplied from the fumaroles 12a and 12b are the same. , Because the spring strength of the air spring is equal). Therefore, the magnetic head 50 has Δt / 2
Only the electrostrictive element 401 is moved to the side without the element. Since the deformation amount Δt of the electrostrictive element can be controlled by the applied voltage V, the voltage V can be controlled by the voltage source to control the position of the magnetic head in the radial direction of the magnetic disk. This makes it possible to eliminate a magnetic head positioning error (called thermal off-track) that occurs due to a temperature rise in the magnetic disk device. Further, also in this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be expected. A shape memory alloy may be used instead of the electrostrictive element.

本発明の第21の実施例を第28図、第29図に示す。第１図
と同一符号のものは同一部品、あるいは同一機能のもの
を示している。本実施例ではスライダ支持アーム10に設
けられたポケット11の底面11bに電歪素子401が設けられ
ており、これに噴気孔12bが設けられている。第28図に
おいて、今、スライダ２と磁気ディスク１との間隙（浮
上量）をｈとする。この状態から、該電歪素子401に電
圧源410により電圧を印加すると、第29図のように電歪
素子401はΔｔ′だけ変形し、スライダに接近する。こ
のため、スライダの浮上量はｈからｈ′（＜ｈ）に変化
する。電歪素子の変形量Δｔ′は印加電圧Ｖにより制御
できるので、電圧源401の制御によりスライダの浮上量
を制御することが可能となる。また、本実施例において
も第１の実施例と同様の効果を期待することができる。
電歪素子の代りに形状記憶合金を用いてもよい。A twenty-first embodiment of the present invention is shown in FIGS. 28 and 29. The same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same parts or the same functions. In this embodiment, the electrostrictive element 401 is provided on the bottom surface 11b of the pocket 11 provided on the slider support arm 10, and the fumarole 12b is provided in this. In FIG. 28, the gap (flying height) between the slider 2 and the magnetic disk 1 is now h. From this state, when a voltage is applied to the electrostrictive element 401 by the voltage source 410, the electrostrictive element 401 is deformed by Δt ′ and approaches the slider as shown in FIG. Therefore, the flying height of the slider changes from h to h '(<h). Since the deformation amount Δt ′ of the electrostrictive element can be controlled by the applied voltage V, the flying amount of the slider can be controlled by controlling the voltage source 401. Also, in this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be expected.
A shape memory alloy may be used instead of the electrostrictive element.

本発明の第22の実施例を第30図に示す。第１図と同一符
号のものは同一部品、あるいは同一機能のものを示して
いる。本実施例ではポケット11の側面に設けた噴気孔12
aと底面に設けた噴気孔12bに空気を供給するポンプを別
々に設けている。具体的には噴気孔12aにはポンプ41aか
ら、また噴気孔12bにはポンプ41bから高圧空気を供給す
る。これにより、噴気孔12aにより形成される空気ばね
と、噴気孔12bにより形成される空気ばねのばね強さを
変えることが可能となる。今、ポンプ41aをポンプ41bよ
りも高性能で高圧のポンプとすると、ポケット側面11a
とスライダ側面22の間に形成される空気ばねをポケット
底面11bとスライダ背面11bの間に形成される空気ばねよ
りも強くすることができる。これにより、スライダに加
える負荷力（面外方向に作用する）を増加させることな
く、スライダの面内方向の空気ばね強さを強くすること
が可能となり、スライダの位置決め誤差を低減すること
ができる。また本実施例においても第１の実施例と同様
の効果を期待することができる。A twenty-second embodiment of the present invention is shown in FIG. The same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same parts or the same functions. In this embodiment, the fumaroles 12 provided on the side surface of the pocket 11
Pumps that supply air to a and the air holes 12b provided on the bottom are separately provided. Specifically, high pressure air is supplied to the fumarole 12a from the pump 41a and to the fumarole 12b from the pump 41b. This makes it possible to change the spring strength of the air spring formed by the air holes 12a and the air spring formed by the air holes 12b. Now, assuming that the pump 41a has higher performance and higher pressure than the pump 41b, the pocket side surface 11a
The air spring formed between the slider side surface 22 and the slider side surface 22 can be made stronger than the air spring formed between the pocket bottom surface 11b and the slider back surface 11b. As a result, the air spring strength in the in-plane direction of the slider can be increased without increasing the load force (which acts in the out-of-plane direction) applied to the slider, and the slider positioning error can be reduced. . Further, also in this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be expected.

本発明の第23の実施例を第31図に示す。第１図と同一符
号のものは同一部品、あるいは同一機能のものを示して
いる。本実施例では、磁気ディスク１の半径方向に設け
た３つのスライダ2i,2j,2kを保持するための３つのポケ
ット11i,11j,11kに給気するためのポンプを別々に設け
ている。具体的にはポケット11jにはポンプ41i、ポケッ
ト11iにはポンプ41j、ポケット11kにはポンプ41kが設け
られている。これにより、１つのスライダ支持体10に設
けられた複数のスライダの中の、任意のスライダのみを
磁気ディスク１にロード・アンロードすることが可能と
なる。或いはまた、各ポケットに接続された空気管路中
に夫々弁を設けて上記と同様の目的を達することもでき
る。この機構を用いれば、何らかの原因で破損あるいは
不具合が生じて磁気ディスク上に所定の浮上量で浮上で
きなくなったスライドをアンロードすることにより、磁
気ディスクの破損及び磁気ディスク装置全体の破損を防
ぐことが可能となる。また、必要なスライダのみを磁気
ディスク上にロードすることができるので、供給する空
気圧（流量）が小さくて良く、ポンプを小型化すること
ができる。また、本実施例においても第１の実施例と同
様の効果を期待することができる。A twenty-third embodiment of the present invention is shown in FIG. The same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same parts or the same functions. In this embodiment, pumps for supplying air to the three pockets 11i, 11j, 11k for holding the three sliders 2i, 2j, 2k provided in the radial direction of the magnetic disk 1 are separately provided. Specifically, the pocket 11j is provided with a pump 41i, the pocket 11i is provided with a pump 41j, and the pocket 11k is provided with a pump 41k. As a result, it becomes possible to load and unload only an arbitrary slider from the plurality of sliders provided on one slider support 10. Alternatively, a valve can be provided in each air line connected to each pocket to achieve the same purpose as described above. By using this mechanism, it is possible to prevent damage to the magnetic disk or damage to the entire magnetic disk device by unloading the slide that cannot be levitated on the magnetic disk due to damage or malfunction for some reason. Is possible. Further, since only the necessary slider can be loaded on the magnetic disk, the air pressure (flow rate) to be supplied can be small, and the pump can be downsized. Also, in this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be expected.

なお、第31図の実施例において、各スライダ背面への給
気圧、従って負荷力を夫々スライダ毎に適切に調節すれ
ば、スライダに対する磁気ディスク相対速度が磁気ディ
スク中心からの各スライダの距離の相違によって異なる
ことによる各スライダの浮上力の相違にもかかわらず、
各スライダの浮上量を等しくすることができる。Incidentally, in the embodiment of FIG. 31, if the supply pressure to the back surface of each slider, and thus the load force, is adjusted appropriately for each slider, the relative speed of the magnetic disk to the slider causes the difference in the distance of each slider from the center of the magnetic disk. Despite the difference in the levitation force of each slider due to
The flying height of each slider can be made equal.

［発明の効果］スライダ支持体の振動によるスライダの追従特性の劣化
がなく良好なスライダの追従特性を確保できる。同時に
支持機構自体の持つ減衰能を大きくでき、磁気記録媒体
のうねり、面振れ、スピンドル系及び位置決め機構の振
動等の各種要因に伴うスライダの浮上量変動を抑制し得
る浮動ヘッドスライダ支持機構を実現できる。[Advantages of the Invention] A good slider follow-up characteristic can be secured without deterioration of the slider follow-up characteristic due to the vibration of the slider support. At the same time, the damping capacity of the support mechanism itself can be increased, and a floating head slider support mechanism that can suppress fluctuations in the flying height of the slider due to various factors such as waviness of the magnetic recording medium, surface wobbling, and vibration of the spindle system and positioning mechanism is realized. it can.

またスライダに加える負荷力の制御が容易に行え、例え
ばスライダに対する磁気記録媒体の相対速度が異なる場
合でも負荷力の制御により容易にスライダの浮上量を一
定にすることができ、また、スライダのローディング・
アンローディングが容易であり、極めて簡易でかつ信頼
性の高いオートローディング機構（ロード・アンロード
機構）が実現できる。また、気体ばねの圧力分布を所望
のように設定することにより、スライダの重心保持、姿
勢制御などが可能である。Further, the load force applied to the slider can be easily controlled. For example, even when the relative speed of the magnetic recording medium with respect to the slider is different, the flying height of the slider can be easily made constant by controlling the load force.・
Unloading is easy, and an extremely simple and highly reliable autoloading mechanism (load / unload mechanism) can be realized. Further, by setting the pressure distribution of the gas spring as desired, it is possible to maintain the center of gravity of the slider and control the attitude.

また、一つの支持体に複数のスライダを持つスライダ支
持機構を容易に実現でき、これにより、データアクセス
の時間を短縮することができ、しかも各スライダについ
て浮上量を同じにすることができる。Further, a slider supporting mechanism having a plurality of sliders on one supporting body can be easily realized, whereby the time for data access can be shortened and the flying height can be made the same for each slider.

また、気体ばねを形成する気体を供給する給気路に加熱
手段を設け、低湿度・高温気体をスライダに導くことに
より、スライダと磁気記録媒体の接触面に毛管凝集によ
って発生した水を気化することが可能となり、いわゆる
粘着事故を防ぐことが可能となる。Further, by providing a heating means in the air supply path for supplying the gas forming the gas spring and guiding the low-humidity / high-temperature gas to the slider, water generated by capillary aggregation is vaporized on the contact surface between the slider and the magnetic recording medium. It is possible to prevent so-called sticking accidents.

[Brief description of drawings]

第１図は本発明の第１の実施例の斜視図、第２図は第１
図のＩ−Ｉ断面図、第３図は第１図のII−II断面図、第
４図は振動の点から見た第１の実施例のモデル図、第５
図（ａ）は従来型の浮動ヘッドスライダ支持機構の斜視
図、第５図（ｂ）はその側面図、第６図は従来型の浮動
ヘッドスライダ支持系を振動の点からみてモデル化した
モデル図、第７図は本発明の支持機構と従来型支持機構
のスライダの追従特性の比較図、第８図は本発明の第２
の実施例の断面図、第９図（ａ），（ｂ）は本発明の第
３の実施例のアンロード、ロード状態を示す断面図、第
10図は本発明の第４の実施例の断面図、第11図は本発明
の第５の実施例の断面図、第12図（ａ），（ｂ）は本発
明の第６の実施例の斜視図およびＩ−Ｉ断面図、第13図
は本発明の第７の実施例を示す断面図、第14図は本発明
の第８の実施例を示す断面図、第15図は本発明の第９の
実施例を示す一部抜出し拡大図示した断面図、第16図は
本発明の第10の実施例を示す断面図、第17図は本発明の
第11の実施例を示す断面図、第18図は本発明の第12の実
施例を示す断面図、第19図は本発明の第13の実施例を示
す断面図、第20図は本発明の第14の実施例を示す断面
図、第21図は本発明の第15の実施例を示す断面図、第22
図（ａ）は本発明の第16の実施例を示す正面図、第22図
（ｂ）は第22図（ａ）のＩ−Ｉ断面図、第22図（ｃ）は
第22図（ａ）のII−II断面図、第23図は本発明の第17の
実施例を示す断面図、第24図は本発明の第18の実施例を
示す断面図、第25図は本発明の第19の実施例を示す断面
図、第26図は本発明の第20の実施例の断面図、第27図
（ａ），（ｂ）はその作用説明図、第28図、第29図は本
発明の第21の実施例の異なる状態での断面図、第30図は
本発明の第22の実施例の断面図、第31図は本発明の第23
の実施例の断面図である。１……磁気ディスク、２……浮動ヘッドスライダ 10……スライダ支持アーム 11……ポケット、12……噴気孔 13……給気管、30……塵埃捕集手段 40……圧力調整手段、50……磁気ヘッド 60……加熱手段、61……ヒーター 100……ディスク回転方向 101……シーク方向、103……スピンドル 200……ストッパ、201……可撓性ストッパ 202……ストッパバンド 300……空気膜のばね定数 301……空気膜の減衰係数 80……吸気孔、90……減圧ポンプ 81……吸気管、82……フィルタ 43……コンプレッサ、31……フィルタ 41……加圧ポンプ 42……加圧・減衰切り換えポンプ 401……電歪素子FIG. 1 is a perspective view of the first embodiment of the present invention, and FIG.
FIG. 3 is a sectional view taken along the line II of FIG. 1, FIG. 3 is a sectional view taken along the line II-II of FIG. 1, and FIG. 4 is a model diagram of the first embodiment seen from the viewpoint of vibration.
FIG. 5A is a perspective view of a conventional floating head slider support mechanism, FIG. 5B is a side view thereof, and FIG. 6 is a model modeled from the viewpoint of vibration of a conventional floating head slider support system. FIGS. 7 and 8 are comparative diagrams of the follow-up characteristics of the slider of the support mechanism of the present invention and the conventional type support mechanism, and FIG. 8 is the second diagram of the present invention.
9A and 9B are sectional views showing the unloading and loading states of the third embodiment of the present invention.
10 is a sectional view of the fourth embodiment of the present invention, FIG. 11 is a sectional view of the fifth embodiment of the present invention, and FIGS. 12 (a) and 12 (b) are the sixth embodiment of the present invention. FIG. 13 is a sectional view showing the seventh embodiment of the present invention, FIG. 14 is a sectional view showing the eighth embodiment of the present invention, and FIG. 15 is the present invention. FIG. 16 is a sectional view showing a ninth embodiment of the present invention, which is partially enlarged and enlarged, FIG. 16 is a sectional view showing a tenth embodiment of the present invention, and FIG. 17 is a sectional view showing an eleventh embodiment of the present invention. 18 is a sectional view showing a twelfth embodiment of the present invention, FIG. 19 is a sectional view showing a thirteenth embodiment of the present invention, and FIG. 20 is a sectional view showing a fourteenth embodiment of the present invention. FIG. 21 is a sectional view showing a fifteenth embodiment of the present invention, and FIG.
FIG. 22A is a front view showing a 16th embodiment of the present invention, FIG. 22B is a sectional view taken along the line II of FIG. 22A, and FIG. ) II-II sectional view, FIG. 23 is a sectional view showing a seventeenth embodiment of the present invention, FIG. 24 is a sectional view showing an eighteenth embodiment of the present invention, and FIG. 25 is a sectional view showing the present invention. 19 is a sectional view showing an embodiment, FIG. 26 is a sectional view of a twentieth embodiment of the present invention, FIGS. 27 (a) and 27 (b) are explanatory views of its action, FIGS. Sectional views of a twenty-first embodiment of the invention in different states, FIG. 30 is a sectional view of a twenty-second embodiment of the present invention, and FIG. 31 is a twenty-third embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view of the embodiment of FIG. 1 ... Magnetic disk, 2 ... Floating head slider 10 ... Slider support arm 11 ... Pocket, 12 ... Fume hole 13 ... Air supply pipe, 30 ... Dust collecting means 40 ... Pressure adjusting means, 50 ... … Magnetic head 60 …… Heating means, 61 …… Heater 100 …… Disk rotation direction 101 …… Seek direction, 103 …… Spindle 200 …… Stopper, 201 …… Flexible stopper 202 …… Stopper band 300 …… Air Membrane spring constant 301 …… Air membrane damping coefficient 80 …… Intake hole, 90 …… Decompression pump 81 …… Intake pipe, 82 …… Filter 43 …… Compressor, 31 …… Filter 41 …… Pressure pump 42… … Pressurization / attenuation switching pump 401 …… Electrostrictive element

Claims

[Claims]

1. A floating head slider support, which is arranged at a predetermined distance from a magnetic recording medium, is provided with a pocket in the shape of a recess for covering the entire side surface and back surface of the floating head slider with a small gap. A side gas spring forming means for floating side sliders is loosely fitted in the pockets such that the surface facing the magnetic recording medium is exposed, and side gas springs are formed between the side surface of the floating head slider and the side surface of the pocket. A back gas spring forming means for forming a back gas spring between the back surface of the head slider and the bottom surface of the pocket;
The side gas spring forming means is composed of a fumarole opening to the side surface of the pocket and an air supply system for supplying air to the fumarole, and the back side gas spring forming means to the fumarole opening to the bottom surface of the pocket and the fumarole. It is composed of an intake system for supplying air, the side head gas spring holds the floating head slider in the in-plane direction of the magnetic recording medium, and the rear surface gas spring applies a load force to the magnetic head recording medium. Characteristic floating head slider support mechanism.

2. The floating head slider support mechanism according to claim 1, wherein the side gas spring forming means has an intake hole opened on a side surface of the pocket and an intake system for intake from the intake hole.

3. The floating head slider support mechanism according to claim 1 or 2, wherein said backside gas spring forming means has an intake hole opened in the bottom surface of the pocket and an intake system for intake air from said intake hole.

4. A loading / unloading of a floating head slider and / or a flying height control of the slider is controlled by adjusting the pressure of a backside gas spring. The floating head slider support structure described in.

5. A structure in which the resultant force of the rear gas spring exerted on the rear surface of the floating head slider acts on a portion that is biased in the direction of relative movement of the slider and the magnetic recording medium. 5. The floating head slider support mechanism according to any one of 1.

6. A structure in which the resultant force of the side gas spring exerted on the side surface of the floating head slider is left in a plane including the center of gravity of the slider and parallel to the surface of the magnetic recording medium.
6. The floating head slider support mechanism according to any one of 1 to 5.

7. The floating head slider support mechanism according to claim 1, wherein the resultant force of the side gas springs exerted on the side surface of the floating head slider acts on a biased position on the side surface of the slider. .

8. One or a plurality of fumaroles or intake holes opened on the side surface of the pocket or one or more fumaroles or intake holes opened on the bottom surface of the pocket, respectively.
5. The floating head slider support mechanism according to any one of 1.

9. The area of the fumarole on the slider outflow side where the magnetic head is provided is larger than the area of the fumarole on the slider inflow side in the plurality of fumaroles opened on the side surface or the bottom surface of the pocket. Floating head slider support mechanism.

10. At least one side and bottom of the pocket.
10. The floating head slider support mechanism according to claim 1, further comprising a displacing means for displacing one in a direction normal to the surface.

11. The floating head slider support mechanism according to claim 10, wherein the displacement means is composed of electrostriction or a piezoelectric element.

12. The floating head slider support mechanism according to claim 10, wherein the displacement means is made of a shape memory alloy.

13. The floating head slider according to claim 1, wherein the fumaroles opened on the side surface of the pocket and the fumaroles opened on the bottom surface of the pocket are connected to a common or separate air supply system. Support mechanism.

14. The floating head slider indicating structure according to claim 13, wherein the supply pressure of the common or separate supply system is adjustable.

15. The floating head slider support mechanism according to claim 2, wherein an intake hole opened on a side surface of the pocket and an intake hole opened on a bottom surface of the pocket are connected to a common or separate intake system. .

16. The floating head slider support mechanism of claim 15, wherein the intake pressure of the common or separate intake systems is adjustable.

17. A float according to claim 1, comprising means for heating the air supply to at least one of the fumaroles opening in the side of the pocket and in the bottom of the pocket. Head slider support mechanism.

18. A floating head slider support having a plurality of said pockets arranged side by side, and each pocket having a floating head slider, a side gas forming means, and a back side gas spring forming means, respectively. 17
5. The floating head slider support mechanism according to any one of 1.

19. The floating head slider support mechanism according to claim 18, wherein the air supply system and / or the intake system of the gas spring forming means in the plurality of pockets are adjustable for each pocket.

20. A stopper for preventing a floating head slider from falling out of a pocket.
5. The floating head slider support mechanism according to any one of 1.

21. The floating head slider support is disposed between two magnetic recording media facing each other, and the floating head sliders are disposed on both sides of the floating head support.
21. The floating head slider support mechanism according to any one of items 1 to 20.