JPH0770866B2 - 電子部品装着装置のコレット交換装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （イ） 産業上の利用分野 本発明は、電子部品の種類に応じて吸着コレットを自動
的に交換する電子部品装着装置のコレット交換装置に関
する。

（ロ） 従来の技術 従来の此種のコレット交換装置は、特開昭62−145899号
公報に開示されている。この交換装置によれば、板バネ
が吸着ノズルの凹部に係合し該ノズルを保持しており、
ノズルの交換時には予備ノズルをストックしておくノズ
ルホルダーに置く際に爪でノズルのフックを押えた状態
で移載ヘッドを上昇させて前記板バネを開くようにして
いる。またノズルホルダーにストックしてある吸着ノズ
ルを移載ヘッドに装着する際に、当該ストックしてある
吸着ノズルにより板バネを強制的に開かせて、前記凹部
に板バネを係合させている。

（ハ） 発明が解決しようとする課題 しかしながら従来技術によれば板バネを吸着ノズルにこ
すりつけながら開閉するようにしているから、板バネ及
び吸着ノズルの凹部が摩耗してノズルの保持が不確実で
部品装着精度が悪くなったり、またノズルを確実保持す
るために板バネの付勢力を強めねばならずこのため吸着
ノズルの凹部に係合しにくく強制的に係合しようとする
と板バネが破損することがある。

（ニ） 課題を解決するための手段 このため、本発明は電子部品の種類に応じて吸着コレッ
トを自動的に交換する電子部品装着装置のコレット交換
装置に於いて、前記吸着コレットの上部と着脱可能に嵌
合しあう嵌合部が形成されると共に該吸着コレットに形
成された係合部に係合することにより該コレットを保持
する開閉可能な爪を有する装着ヘッドと、予備の吸着コ
レットを保管するもので前記吸着コレットを交換する際
に前記爪に当接して該爪を開くことにより前記係合部と
当該爪との係合を解除する当接部材を有すると共に交換
されるべき吸着コレットを保持して前記装着ヘッドとの
相対的移動時に該装着ヘッドと吸着コレットとを離反さ
せる保持部材を備えたストッカーとを設けたものであ
る。

（ホ） 作用 以上の構成から、吸着コレットを交換する際に装着ヘッ
ドをストッカー上方に位置させた後、該ヘッド及びスト
ッカーを相対移動させて、ヘッドの爪にストッカーの当
接部材が当接することにより、爪が開く。そして、スト
ッカー内に装着ヘッドに装着された交換されるべき吸着
コレットを位置せしめて、保持部材で当該コレットを保
持状態とし、装着ヘッドから吸着コレットを抜く。

次に、装着ヘッドに装着すべき予備のコレット上方に装
着ヘッドを移動させた後、該ヘッド及びストッカーを相
対移動させて、前記当接部材で再び爪を開いた状態にし
て、装着ヘッドの嵌合部と当該コレットの上部とを嵌合
させ、保持部材を解除した状態で、爪を閉じてヘッドの
係合部に爪を係合させた後、ヘッドとストッカーとを離
反させる。

（ヘ） 実施例 以下本発明の一実施例を図に基づき説明する。

第２図に示す（１）は電子部品装着装置の本体で、該本
体（１）にはプリント基板（厚膜基板含む）（Ｐ）、リ
ードフレーム等を搬送するコンベア（２）と、該コンベ
ア（２）に於ける上流側に設けられる反転装置（３）
と、該反転装置（３）の下流側に設けられる一対の位置
決め装置（４）（５）と、第１図に示すように取付台
（６）上に固定される吸着コレット交換装置（７）
（８）と、４個のウェハーテーブル（９）（10）を有し
てXY方向への移動及び平面方向で回転可能なウェハー支
持台（11）（12）と、天板（13）に吊持されてXY方向に
移動可能な装着ヘッド（14）（15）とが設けられてい
る。（第２図参照）。

前記コンベア（２）は、一対の駆動スプロケット（16）
（16）、従動スプロケット（17）（17）間に張設された
一対のチェーン（18A）（18B）から成り、該チェーン
（18A）（18B）上に載置してプリント基板（Ｐ）を上流
側から下流側へ搬送する。このときチェーン（18A）（1
8B）には所定間隔を存して基板（Ｐ）の送り方向の後端
部に係止する係合片（19）が立設され（第４図参照）、
基板（Ｐ）は両チェーン（18A）（18B）上に載置し且つ
各係合片（19）で係止された状態で上流側から下流側に
間欠的に搬送される。

尚各係合片（19）が設けられるその相互間隔は、チェー
ンピッチの整数倍となっており、この間隔内に収まる基
板（Ｐ）は全て搬送動作に関しては、段取りなしで共通
に送ることができる。

次にコンベア（２）及び可動シュート（20A）の移動に
ついて述べる。第２図及び第３図に示す駆動モータ（2
1）が通電されると、ベルト（23）を介してその駆動が
伝達されてインデックス装置（22）の出力軸が間欠駆動
し、その出力軸に取付けられた出力軸プーリ（24）とプ
ーリ（25）との間に張設されたベルト（26）によりスプ
ライン軸（27）が間欠回転するので両プーリ（28A）（2
8B）（29A）（29B）間に張設されたベルト（30）（31）
により支軸（32）（33）を介して両駆動スプロケット
（16）（16）が間欠回転する。これにより両スプロケッ
ト（16）（16）、（17）（17）が回転するので、チェー
ン（18A）（18B）上のプリント基板（Ｐ）は間欠的に定
まった距離搬送されることになる。

一方可動シュート（20A）の両端に設けられたナット体
（34）（35）にボールネジ体（36）（37）が嵌合し、第
１図の駆動モータ（38）によりベルト（39）及びプーリ
（40）（41）を介して該ネジ体（36）（37）が回転する
と、可動シュート（20A）が固定シュート（20B）に対し
て進退動することになる。即ち基板（Ｐ）の流れ方向と
直交する方向の幅寸法に対応して、両シュート（20A）
（20B）間の距離を拡げたり狭めたりすることができ
る。このとき、可動シュート（20A）は第３図のスプラ
イン軸受（42）によってスプライン軸（27）に沿って移
動することになる。

第１図に示す（43）は前記コンベア（２）による送りが
停止している状態での位置決め装置（４）より１ピッチ
分上流に位置する係合片（19）の存在を検知する一対の
光学的手段から成るセンサーで、間欠移動するコベンア
（２）の位置ずれを検知する。即ち経時変化等でチェー
ン（18A）が伸びて係合片（19）の停止位置がずれて、
ある許容範囲を越えた場合には、前記センサー（43）が
「無し」と検知すると、電子部品装着装置全体を停止さ
せる。この場合、作業者は手動でもってインデックス装
置（22）の軸を回し、ずれ量を補正する。

反転装置（３）は、前記コンベア（２）に於ける上流側
の前記チェーン（18A）（18B）間の下方位置に配置さ
れ、必要に応じ前記基板（Ｐ）の流れ方向の向きを反転
させるものである。該反転装置（３）は、Ｘ軸用モータ
（44）、Ｙ軸用モータ（45）によりＸ方向及びＹ方向に
移動可能なXYテーブル（46）と、種々のものが取付けら
れるものであってXYテーブル（46）上に設けられる取付
台（47）（第２図参照）とから構成される。第２図に示
す（48）は取付台（47）に固定され上下杆（49）を上下
動可能に案内するガイド、（50）は前記上下杆（49）の
頂部に設けられてコンベア（２）より上方へ突出可能な
押上体、（51）は上記上下杆（49）の下部に設けられた
プーリ（52）とモータ（53）の出力軸プーリ（54）間に
張設されたベルト、（55）は一端がシリンダー（56）の
作動杆と回転可能に連結され他端が上下杆（49）の下端
部の支持部（57）間に嵌合され中間部を支点として揺動
可能な揺動部材である。

そして、該反転装置（３）の押上体（50）には、所定間
隔を存して複数の吸引路（58）が形成され、上下杆（4
9）には該吸引炉（58）に連通する真空通路（59）が形
成され、更に該通路（59）にはロータリジョイント（6
0）及びチューブ（61）を介して図示しな真空源に連通
する。

尚第３図に示すインデックス装置（22）の出力側には出
力軸プーリ（24）との間にトルクリミッタ（62）が設け
られ、その端部に過負荷検出板（63）が設けられてい
る。従って、プリント基板搬送中に異常が起き、過負荷
状態になって、前記検出板（63）が軸方向に移動した場
合に、一対の光センサー（64）で過負荷状態を検出する
ことができる。

第１図及び第２図に示す（65A）（65B）は前記シュート
（20A）（20B）の上流側端部に夫々対向する如く内側に
設けられたブレーキ部材で、夫々上面には真空源に連通
する吸引口（66）が複数開設されている。（67A）はロ
ーダで、複数のプリント基板（Ｐ）を棚上に収納すると
共に図示しないエレベータにより昇降可能な収納箱（68
A）と該箱（68A）内の最下位にある基板（Ｐ）を前記コ
ンベア（18A）（18B）上に押出す押出部材（69）とより
成る。この押出部材（69）より収納箱（68A）内の基板
（Ｐ）が押出された際に、コンベア（18A）（18B）上に
スムーズに乗り移らず、勢い余ってコンベア（18A）（1
8B）から落下したりしないように、前記ブレーキ部材
（65A）（65B）によって吸引され確実に安定した状態で
乗り移れるようにされている。即ち押出部材（69）の押
出動作開始時に真空源による吸引を開始し、押出動作が
終了したら吸引を解除する。

次に第１図、第２図等に示す一対の基板位置決め装置
（４）（５）について説明するが、両者は同様な構成で
あるため、一方（５）についてのみ説明する。該位置決
め装置（４）（５）は、基板（Ｐ）の送り方向、これと
直交する幅方向及び基板（Ｐ）の厚さ方向の各方向の位
置決めを行なうものであり、以下説明する。

第２図に示す一対の軸受（70）（71）を貫通する軸杆
（72）には、第１図及び第２図の左から幅寄せカム（7
3）、リフトカム（74）及びクランプカム（75）が設け
られ、該軸杆（72）左端部のプーリ（76）とモータ（7
7）の出力軸プーリ（78）間にはベルト（79）が張設さ
れている。従ってモータ（77）の通電により軸杆（72）
が回転すると、各カム（73）（74）（75）が回転し、各
カムフォロワー（80）（81）（82）を介して各上下部材
（86）（87）（88）が上下動し、これに伴ない各カムレ
バー（89）（90）（91）（第２図、第６図、第11図乃至
第14図参照）も上下動する。

先ず基板（Ｐ）の送り方向の規制位置決めを行なう装置
（92）について第７図を基に説明する。

（93）（94）は前記基板（Ｐ）の流れ方向の端部に接触
する基準クランプ、可動クランプで、夫々支軸（95）
（96）を支点として回転可能である。そしてバネ（97）
により基準クランプ（93）は外方に回動するように付勢
され、可動クランプ（94）はバネ（98）により内方へ回
動するように付勢されている。（91）は前述の如く前記
上下部材（88）の頂部に設けられたカムレバーで、前記
クランプ（93）（94）に突出したピン（99）（100）に
係合して、該クランプ（93）（94）の揺動を制御する。

一方基板（Ｐ）の流れ方向に延びたリニアガイド（10
1）によりＸテーブル（102）が水平移動可能であり、該
テーブル（102）には前記可動クランプ（94）を回動可
能に支持する可動体（103）が固定されると共に、駆動
源（図示せず）により回転するネジ軸（104）が嵌合す
るボールネジ体（105）と一体化された連結体（106）が
固定される。（107）（108）は軸受である。

従って駆動源によりネジ軸（104）が回転することによ
り連結体（106）を介してＸテーブル（102）が流れ方向
に移動するため、可動体（103）も移動し、基準クラン
プ（93）に対して可動クランプ（94）が遠近移動するこ
とができ、種々の基板（Ｐ）の送り方向の長さに対応で
きる。

またカムレバー（91）が上動すると、可動クランプ（9
4）はピン（100）を介して外方向に回動し、基準クラン
プ（93）もバネ（97）により外方向に回動し、両クラン
プ（93）（94）は基板（Ｐ）より下方に位置することに
なる。

以上のように、上下部材（88）は、第６図に示すように
ガイド（85）を介して上下動可能であり、固定シュート
（20B）に突出したピン（110）と上下部材（88）に突出
したピン（111）との間にはバネ（112）が張架され、該
上下部材（88）を上方へ付勢している。従って上下部材
（88）端部のカムフォロワー（82）は、クランプカム
（75）に圧接するので、該カム（75）の形状に合わせて
上下部材（88）は上下することになる。

次に基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方向の規制につ
いて述べる。先ず固定シュート（20B）の上部には、固
定板（115）が設けられ（第10図乃至第12図参照）、固
定板（115）上には所定間隔を存して可動ベアリング体
（116）及び基準ベアリング体（117）が設けられる。一
方可動シュート（20A）に設けられる軸受（118）（11
8）に回転可能に支持される支軸（119）には、複数個の
幅寄せ部材（120）を取付け、図示しない軸により回転
可能なその円筒部分の周縁が基板（Ｐ）に当接可能であ
る。そして一対の支持部（121）（121）間に支持された
取付杆（122）に付勢体としてのバネ（123）の一端が固
定され、前記幅寄せ部材（120）は夫々基板（Ｐ）方向
に回動するように付勢されている。また一対の支持部
（121）（121）間に支持された支軸（124）により回動
可能とされた伝達アーム（125）の上部には、係合ロッ
ド（126）が設けられ、前記幅寄せ部材（120）の夫々を
基板（Ｐ）から遠ざけるように作動する。前記伝達アー
ム（125）の他端部にはカムフォロワー（127）が設けら
れ、前記幅寄せカム（73）と係合するカムフォロワー
（80）を有する上下部材（86）の上下動に伴うカムレバ
ー（89）の上下動によって、該レバー（89）により前記
カムフォロワー（127）を介して前記伝達アーム（125）
は回動されることになる。

次に基板（Ｐ）への部品実装面の位置を、該基板（Ｐ）
の厚さ如何に係わらず一定とするための規制装置（13
0）について第13図及び第14図を基に説明する。固定シ
ュート（20B）及び可動シュート（20A）には、夫々リニ
アガイド（84）（84）により吸着用上下部材（87A）（8
7A）が上下動可能とされている。また両シュート（20
B）（20A）から突設したピン（131）（131）と各上下部
材（87A）（87A）下部に突設したピン（132）（132）と
の間にはバネ（133）（133）が張架され、上下部材（8
7）（87）を夫々上方へ付勢している。

一方上下部材（87A）（87A）端部に設けられたカムフォ
ロワー（134）（134）は、カムレバー（90）により押下
げられる。即ち、前述したように第２図に示すリフトカ
ム（74）に係合するカムフォロワー（81）を有する上下
部材（87）の上端部に前記カムレバー（90）を設けてい
るので、リフトカム（74）により吸着用上下部材（87
A）（87A）は夫々上下動することになる。

また（135）（135）は前記シュート（20A）（20B）の上
部に設けられる基板押えで、前記基板（Ｐ）の上面と係
合可能な係合部（136）（136）を有している。

更に、前記吸着用上下部材（87A）（87A）の上流寄りの
吸着部（138）には、第15図に示すように複数の吸着孔
（137）が開設され、真空パイプ（139）（139）を介し
て図示しない真空源に連通している。従って前記上下部
材（87A）（87A）の上部にプリント基板（Ｐ）の下面が
吸着可能である。

また前記上下部材（87A）（87A）の上部面は、コンベア
（２）搬送面よりわずかに高いレベルに設定されてお
り、チェーン（18A）（18B）の係合片（19）（19）によ
り基板（Ｐ）は、コンベア（２）搬送面から前記上下部
材（87A）（87A）に乗り移り、その時点で、真空吸着を
開始する。そしてコンベア（２）が停止したときにその
吸着を停止するが、この吸着によりコンベア（２）が停
止したときの慣性によってプリント基板（Ｐ）が移動す
ることはない。従って大きな位置ずれを起すことなく、
該上下部材（87A）（87A）によってリフトアップされ、
プリント基板（Ｐ）はその送り方向及びこの送り方向と
直交する幅方向の位置決めがなされた状態で、基板押え
（135）（135）の係合部（136）（136）に押しつけられ
る。

次にウェハー支持台（11）（12）について詳述するが、
両者は同一構造であり支持台（11）についてのみ説明す
る。第１図に示す（140）はXYテーブルで、Ｘ軸モータ
（141）、Ｙ軸モータ（142）により、Ｘ軸方向ガイド
（143）及びＹ軸方向ガイド（144）に沿って、平面方向
に移動可能である。また該XYテーブル（140）上に載置
したウェハーテーブル（９）は、図示しない駆動源によ
り正逆回転可能である。

従って、突き上げ針装置（145）の上方位置に、所望の
ウェハーシート（146）が位置することになる。ウェハ
ーテーブル（９）は、４個あるために、少なくとも１種
以上４種以下の例えば夫々大きさが異なるウェハーを扱
えることになる。

次に一方の装着ヘッド（14）について詳述する。第２
図、第16図に示す該ヘッド（14）は、天板（13）に支持
された支持部材（150）に支持されたボールネジ（151）
に沿って第43図に示す駆動モータ（154A）によりＸ方向
の移動が可能であり、またガイド体（152）（152）に沿
って駆動モータ（154B）によりＹ方向の移動が可能とな
る。略箱状を呈した第17図に示すヘッド本体（153）内
に配設された駆動モータ（154C）の出力軸プーリ（15
5）とネジ軸（156）端部のプーリ（157）との間にはベ
ルト（158）が張設され、上下移動体（159）がナット体
（160）により第18図に示すガイド体（161）を介して上
下移動可能となる。

そして上下移動体（159）には、第18図に示すように加
圧用モータ（162）とロックソレノイド（163）が固定さ
れており、該モータ（162）の出力軸にはバネ取付ピン
（164）を有するレバー（165）が設けられている。前記
ソレノイド（163）のプランジャ（166）（第17図参照）
には取付ピン（167）が突設され、上下移動体（159）に
固定されたＬ字形状の支持体（168）に突設した取付ピ
ン（169）との間にはバネＡ（170）が張架されている。

上下移動体（159）の軸受部（171）には支軸（172）に
より揺動体（173）が回転可能とされ、該揺動体（173）
の上端部にはＵ字溝が切欠されて該溝に前記取付ピン
（167）が嵌合し、また揺動体（173）の他端部には加圧
ベアリング体（174）が設けられている。

第16図に示す（175）はロータリジョイント（176）に突
設した鍔体（177）を、前記加圧ベアリング体（174）と
で挟持する固体ベアリング体であり、第17図に示す前記
支持体（168）の端部に設けられている。前記揺動体（1
73）に突設した取付ピン（178）と加圧用モータ（162）
の出力軸に固定されたレバー（165）に突設した取付ピ
ン（164）との間に張架されたバネＢ（179）により前記
加圧ベアリング体（174）を下方へ付勢している。そし
てこの加圧用モータ（162）の回転角度を制御すること
により、加圧ベアリング体（174）によるロータリジョ
イント（176）及び固定ベアンリング体（175）への押圧
力を可変とすることができる。このバネＢ（179）は、
ペレット（180A），（180B）を基板（Ｐ）に装着する際
の押しつけ圧力を加えるためのものである。

また前記上下移動体（159）に突設した第17図の取付ピ
ン（181）とロータリジョイント（176）から突設した取
付ピン（182）との間には、バランスバネＣ（183）が張
架され、該バネＢ（183）の弾性力と吸着ノズル体（18
4）及び吸着コレット（185）の自重が略等しくなるよう
にこの弾性力が設定されており、前記自重の影響を除去
している。

前記ロータリジョイント（176）には第16図に示すよう
にピン（186）が突設しており、このピン（186）に嵌合
する係止片（187）により該ジョイント（176）自身の回
転は防止されている。

吸着ノズル体（184）は、ロータリジョイント（176）、
ホース（190）（第17図、第19（Ａ）図参照）、大きな
ペレット（180B）（第38図参照）の吸着有無検出に使用
する真空スイッチ（191）等を介して図示しない真空源
と連結している。該吸着ノズル体（184）は、第16図に
示すように上下ガイド体（192）内の上下動可能である
が、該ノズル体（184）の上部には面取部（193）が形成
されて規制ベアリング（194）により上下ガイド体（19
2）内でのθ回転はできない。前記真空スイッチ（191）
は、真空源による吸引圧力が一定値以上になった場合に
作動し、吸着コレット（185）がペレットを吸着してい
ないものと判断する。

また前記ヘッド本体（153）内には、第17図に示すよう
に駆動モータ（195）が配設されその出力軸プーリ（19
6）と前記上下ガイド体（192）（第16図参照）周囲に固
定されたプーリ（197）間にはベルト（198）が張設さ
れ、前記モータ（195）の通電によりベルト（198）を介
して上下ガイド体（192）がベアリング体（199）に案内
されつつ回転し吸着ノズル体（184）をもθ回転させる
ことになる。

該吸着ノズル体（184）の下端には、吸着コレット（18
5）が第16図に示すようにロック機構（200）の施錠、解
錠により着脱可能に設けられている。

第19（Ａ）、（Ｂ）図に示す（201）は前記ヘッド本体
（153）の側面に取付けられたDCソレノイドで、そのプ
ランジャ（202）には中間部が枢支された作動レバー（2
03）が回転可能に連結している。第８図に示す（204）
はヘッド本体（153）に上下に延びたガイドレール（20
5）に沿って上下動可能な上下スライダーで、該スライ
ダー（204）に突設したピン（206）（第19（Ａ）、
（Ｂ）図参照）とヘッド本体（153）上部に突設したピ
ン（207）との間にはバネＤ（208）が張架され、該スラ
イダー（204）を上方へ付勢している。

そしてこのスライダー（204）には、カムフォロワー（2
10）が設けられており、ヘッド本体（153）には上限ス
トッパ（211）及び下限ストッパ（212）が設けられ前記
作動レバー（203）がカムフォロワー（210）に当接して
いるので、前記ソレノイド（201）が励磁すると作動レ
バー（203）は第19（Ａ）図に実線で示すように反時計
方向へ回転してスライダー（204）を押下げカムフォロ
ワー（210）がストッパ（212）に当接して停止し同様に
消磁すると作動レバー（203）が第19（Ｂ）図に示すよ
うに時計方向へ回転し該レバー（203）が上限ストッパ
（211）に当接するまでバネＤ（208）によりスライダー
（204）を押上げる。

従って発光素子（213）及び受光素子（214）を備え且つ
厚さが厚いが小さなペレット（180A）（第36図参照）の
吸着検出に使用する光電検知装置（215）を下端部に備
えているので、この上下スライダー（204）の上下によ
り光電検知装置（215）も上下することになる。

このため、検知装置（215）が下方位置にあるとき、吸
着コレット（185）が吸着しているペレット（180A）（1
80B）の有無状態を検知でき、上方位置にあるとき、吸
着コレット（185）自体の有無状態を検知できる。

第43図に示す（284A）（284B）は保持形のの連動する切
換スイッチで、使用者が任意に切換えられる。（285）
（286）は夫々オア回路、アンド回路で、制御装置であ
るマイクロ・コンピュータ（287）に接続されている。
従って切換スイッチ（284A）（284B）が、第43図に示す
ように設定してある状態では、前記真空スイッチ（19
1）か光電検知装置（215）かのいずれかが、ペレット
「無し」を検知したら、予めペレット無しカウンター
（図示せず）に設定された回数Ｎだけピックアップ動作
を繰り返し、Ｎ回を越えると、マイクロ・コンピュータ
（287）はモータ駆動回路（288）を介して各モータ（15
4A）（154B）（154C）を制御して、蒸着ヘッド（14），
（15）を復帰させた後当該装着装置の運転を停止すると
共に報知手段（289）により表示灯、ブザー等の視覚か
聴覚に訴えて使用者に知らせる。然る後使用者は、ペレ
ット「無し」が事実か否かの確認をし、事実でなければ
真空スイッチ（191）の作動レベルを調整したり、光電
検知装置（215）の高さ位置調整を行なって一回試運転
させるか再運転させればよい。

また切換スイッチ（284A）（284B）を切り換えた場合に
は、真空スイッチ（191）及び光電検知装置（215）の両
方がペレット「無し」を検知した場合に、アンド回路
（286）を介してマイクロ・コンピュータ（287）が検知
出力を受けて前述と同様に制御する。

尚前記切換スイッチ（284A）（284B）、オア回路（28
5）、アンド回路（286）に代えて、同等の機能をキー入
力装置及びランダム・アクセス・メモリ（RAM）によっ
て置換えることも可能であることは勿論である。

次に前記吸着コレット（185）について説明すると、該
ノズル体（184）の下端部には、第20図、第21図に示す
ロック機能取付部（216）を形成し、該取付部（216）に
ロック機構（200）を設ける。そして該取付部（216）に
は、中空の取付空間（218）が形成され前記吸着コレッ
ト（185）のアダプタ（219）が嵌合する。また取付部
（216）の両側部には軸受体（220）（220）間に夫々ロ
ック爪体（221）を配設してこれらを支軸（222）が貫通
し、ロック爪体（221）の夫々を対向するように配設し
てバネ（223）によりその下端が互いに近づくように付
勢している。（224）は取付部（216）下面に突設した位
置決めピンであり、後述のＵ字溝（225）（第23図参
照）に嵌合可能である。

吸着コレット（185）は、第20図に示すように前記取付
部（216）の取付空間（218）に嵌合するアダプタ（21
9）と、該アダプタ（219）の下部には前記嵌合した際に
前記取付体（216）下面に当接するアダプタフランジ部
（226）と、ペレット（180A）（180B）を直接吸着する
吸着部（227）とから構成される。前記フランジ部（22
6）の両側部には、下部が内方へ凹んだ係止部（228）が
形成され、前記ロック爪体（221）の下端が該係止部（2
28）に入り込んでロックすることになる。

次に吸着コレット交換装置（７），（８）について述べ
るが、両者は同一構造であるため、一方（７）について
のみ第１図及び第22図を基に述べる。該交換装置（７）
は、第22図に示すように大きく分けて取付板（230）に
対して図示しない駆動源により上下動可能なツールスト
ッカー（231）及びストッカー台（232）と、所定間隔を
存して複数のロック解除ピン（233）を有するピン取付
台（234）とから構成される。

前記ストッカー（231）及びストッカー台（232）とは、
略同形状であり、両者は所定間隔を存して互いに合致す
る取付孔（235）（236）が複数穿設されている。そして
ストッカー（231）及びストッカー台（232）に穿設した
孔には２本のコンプライアンスピン（237）が遊嵌し、
頭部（238）とコイルスプリング（239）によりストッカ
ー（231）及びストッカー台（232）は、該ストッカー台
（232）の上面に開設した溝内にあるスチールボール（2
29）（第24図参照）を介して互いに圧接される。このボ
ール（229）によってストッカー台（232）上をストッカ
ー（231）が転がれるようになる。前記コンプライアン
スピン（237）の径より該ピン（237）が嵌合する孔径を
やや大きくとることによって、吸着コレット（185）の
着脱時の吸着ノズル体（184）のセンターとストッカー
（231）に収納された吸着コレット（185）のアダプタ
（219）のセンターの芯ずれを吸収できる。

第22図に示す前記ピン取付台（234）から立設した夫々
同長のロック解除ピン（233）は、前記ストッカー（23
1）及びストッカー台（232）を貫通している。

ストッカー（231）の取付孔（235）の上面側開口周縁部
の前後部には、吸着コレット支持台（240）が立設さ
れ、夫々位置決めピン（241）（241）が突設している。
従って該交換装置（７）に吸着コレット（185）が置か
れている場合には、前記支持台（240）上に前記フラン
ジ部（226）が当接し、然も該フランジ部（226）の長手
方向側の端部にはＵ字溝（225）（225）が形成され、夫
々位置決めピン（241）（241）が該溝（225）（225）に
嵌合し、該コレット（185）のθ回転を阻止する（第23
図参照）。

前記ピン取付台（234）は第22図に示すように取付板（2
30）に取付けられたシリンダー（242）により、ガイド
（243）（243）に軸杆（244）（244）が案内されながら
上下動が可能である。第23図、第24図に示す（245）（2
45）は前記ストッカー台（232）に設けられた軸受体
で、該軸受体（245）に所定間隔を存して複数の押え部
材（247）が固定された軸杆（246）が回転自在に支持さ
れている。該押え部材（247）は略クランク形状を呈し
て一端部が前記アダプタフランジ部（226）に上面から
係合するもので、任意の押え部材（247）の他端部には
回動用駆動源としてのシリンダー（248）が連結してい
る。

尚前記ツールストッカー（231）及びストッカー台（23
2）に開設した複数の取付孔（235）（236）の開設ピッ
チ、同じくロック解除ピン（233）が嵌合する孔（図示
せず）の開設ピッチ、ロック解除ピン（233）の取付ピ
ンは全て同ピッチである。

次に突き上げ針装置（145）について第１図、第33図乃
至第35図を基に詳述する。

先ず図示しない駆動モータ及びその出力軸に設けられた
歯車と第34図に示す歯車（250）とが噛合しており、該
歯車（250）により回転ガイド（251）及び回転板（25
2）が90度正逆回転可能である。（254）は第33図、第35
図に示すシリンダー（253）により上下動するベース体
で、該ベース体（254）に取付けられた回転ガイド軸受
（255）に案内されつつ前記回転ガイド（251）は回転可
能である。

そして回転板（252）には、90度異なった位置に夫々第
１のガイドレール（256）（257）に沿って移動可能な第
１の作動レバー（258）（259）及び夫々第２のガイドレ
ール（260）（261）に沿って移動可能な第２の作動レバ
ー（262）（263）が設けられる（第33図参照）。第２の
作動レバー（262）（263）には、ガイド体（264）（26
5）が設けられている。一方ガイド体（264）は、小さい
ペレット（180A）に対応するもので、そのステージ面
（266）の外径は小さく、吸着孔（267）の孔径も小さい
（第37図参照）。該ガイド体（264）には、第36図に示
すように突き上げ針（268）を上下動可能とする案内通
路（269）が中央部に形成され、また４個開設された吸
着孔（267）は夫々１つの集合室（270）に連通した後１
つの連通路（271）及び導管（272）を介して真空源に連
通している。

また他方のガイド体（265）は、第38図に示すように大
きいペレット（180B）に対応するもので、そのステージ
面（273）の外径は前記ステージ面（266）のそれより大
きく、吸着孔（274）の孔径も前記吸着孔（267）のそれ
よりも大きい（第39図参照）。そしてガイド体には、例
えば４本の突き上げ針（275）を上下動可能とする案内
通路（276）及び前記針（275）を支持する支持杆（27
6）を上下動可能とする案内通路（277）が形成され、ま
た８個開設された吸着孔（274）は夫々１つの集合室（2
79）に連通した後１つの連通路（280）及び導管（281）
を介して真空源に連通している。従って、該ガイド体
（265）の総吸引力は、ガイド体（264）のそれよりも大
きく設定してある。

そして、前記突き上げ針（268）及び支持杆（277）の下
部には、第33図乃至第35図に示すように夫々コイルバネ
（282）（283）が巻装された状態で第１の作動レバー
（258）（259）に夫々取付けられる。従ってこれらバネ
（282）（283）によって、両レバー（258）（259），
（262）（263）が離反するように付勢される。

第33図及び第35図に示す（290）（291）は下限ストッパ
で、第１の作動レバー（258）（259）の係合部（292）
（293）が当接することにより該レバー（258）（259）
の下限が決定される。即ち、前記針（268）（275）の下
限が決定されることになる。

そして、後述の上下ローラー（294）により夫々第１の
作動レバー（258），（259）が上動したときに、バネ
（282），（283）によって第２の作動レバー（262），
（263）も上動するが、上限ストッパーボルト（295）
（296）が上限ストッパ（297）（298）に当接すると上
動は制限される。更に第１のレバー（258），（259）が
バネ（282），（283）に抗して上動すると、針（268）
（275）は上昇し、ウェハーシート（146）のペレット
（180A），（180B）を突き上げることになる。

（299），（300）は押下げピンで、第１の作動レバー
（258），（259）が下降するときに第２の作動レバー
（262）（263）も下降することになる。

一方、ベース体（254）の上部には第34図に示すように
駆動モータ（301）が取付けられ、その出力軸プーリ（3
02）とネジ軸（303）の上部のプーリ（304）との間にベ
ルト（305）が張設される。（306）は前記ネジ軸（30
3）を支持する支持体で、（307）は前記ネジ軸（303）
が嵌合し該ネジ軸（303）の回転により上下する上下バ
ーである。該上下バー（307）は回転ガイド（251）の中
空部に遊挿され、該バー（307）端部の上下ローラー（2
94）が該バー（307）の上動に伴ない第１の作動レバー
（258），（259）のいずれかを前述の如く上動させるも
のである。

第33図、第35図に示す（308）、（309）は回転板ストッ
パで、夫々回転板（252）に当接して、該回転板（252）
の停止位置を確実なものとしており、このストッパ（30
8），（309）に回転板（252）が当接する際の衝撃を緩
和するためにショックアブソーバが設けられている。

そして第40図に示すように、前記ガイド体（264），（2
65）と真空源との間には、第１のフィルター（310），
（311）と、切換弁（312），（313）と、該切換弁（31
2），（313）と真空源との間に並列に接続される二又絞
り弁（314）（315），（316）（317）、第２のフィルタ
ー（318）（319），（320）（321）及びバルブ（322）
（323），（324）（325）とが設けられる。

尚真空圧の調整は、二又絞り弁（314）（315），（31
6）（317）の一方の大気に解放している弁（326）（32
7），（328）（329）の絞り具合により決まる。

前記第１のフィルター（310），（311）は、吸着孔（26
7），（274）から吸い込んだ塵埃を除塵して、切換弁
（312），（313）及び二又絞り弁（326）（327），（32
8）（329）を保護し、第２のフィルター（318），（31
9），（320），（321）は、前記二又絞り弁（326）（32
7），（328）（329）から吸い込んだ塵埃を除塵し、夫
々バルブ（322）（323），（324）（325）を保護する。

以上の構成により以下動作について説明する。

（ｉ） コンベア（２）幅の調整動作 固定シュート（20B）に対する可動シュート（20A）の移
動動作について以下述べる。種々の大きさのプリント基
板（Ｐ）をコンベア（２）を搬送できるようにするため
に、先ず第１図に示す駆動モータ（38）によりベルト
（39）及び各プーリ（40）（41）を介してボールネジ体
（36）（37）を回転させる。するとナット体（35）（3
6）が可動シュート（20A）と共に進退動するが、このと
き可動シュート（20A）はスプライン軸（27）に案内さ
れながら移動することになる。従って両スプロケット
（16），（17）間に張設されたチェーン（18B）も移動
することになり、プリント基板（Ｐ）の送り方向と直交
する方向の幅に対応できることになる。

（ii） プリント基板（Ｐ）の搬送動作 第２図に示す駆動モータ（21）が通電されると、ベルト
（23）を介してインデックス装置（22）が働らき、その
出力軸プーリ（24）とプーリ（25）との間に張設された
ベルト（26）により支軸（32）（33）を介して駆動スプ
ロケット（16）（16）が回転する。このため従動スプロ
ケット（17）（17）も回転し、チェーン（18A）（18B）
上のプリント基板（Ｐ）は間欠的に搬送されることにな
る。このとき、プリント基板（Ｐ）は、第４図に示すよ
うに各係合片（19）にその下流側端部が係合した状態
で、間欠的に搬送される。

尚、駆動スプロケット（16）の加工上の寸法誤差が送り
精度のバラツキにならないようインデックス装置（22）
の１割出しによって、該スプロケット（16）が１回転す
るようにし、このスプロケット（16）の１回転が間欠搬
送の１ピッチとなるように該スプロケット（16）、プー
リの歯数が決めてある。

また第２図に示すローダ（67A）から前記チェーン（18
A）（18B）上へプリント基板（Ｐ）の橋渡しは、先ず収
納箱（68A）内の最下位にある基板（Ｐ）を押出部材（6
9）により押出すことにより行なわれる。即ち押出部材
（69）は、前記各係合片（19）間に各基板（Ｐ）が位置
するように作動する。

前記押出部材（69）が基板（Ｐ）を押出すと、この押出
動作開始に同期して各ブレーキ部材（65A）（65B）によ
り各吸引口（66）を介して基板（Ｐ）の動きに真空によ
ってブレーキをかけるので、コンベア（18A）（18B）上
に確実に安定した状態で乗り移れる。而してこの乗り移
った後は、前記押出動作終了に同期して真空源による吸
引を解除する。

尚基板（Ｐ）の搬送中に何らかの事故が起きて、過負荷
状態となると、第３図に示すトルクリミッタ（62）が働
きその検出板（63）が軸方向に移動することになるの
で、一対の光センサー（64）で過負荷状態を検出するこ
とができる。このときには、当該駆動モータ（21）を非
通電すると共に図示しない報知手段で使用者にその旨を
報知する。従って使用者は、その事故の原因を取除けば
よい。

またこのようにしてプリント基板（Ｐ）の搬送は行なわ
れるが、経時変化等でチェーン（18A）が伸びて係合片
（19）の停止位置がずれてある許容範囲を越えた場合に
は、第１図に示すセンサー（43）が係合片（19）に遮光
されず係合片（19）の存在を「無し」と検知すると、電
子部品装着装置全体を停止させる。この場合、作業者
は、手動でもってインデックス装置（22）の軸を回し、
ずれ量を補正し、正規の位置に戻せばよい。

（iii） プリント基板（Ｐ）の位置決め動作 そしてチェーン（18A）（18B）により、位置決め装置
（４）の位置に到達したのが検知されると、駆動モータ
（21）の通電は断たれプリント基板（Ｐ）の搬送は停止
する。

すると、第２図に示すモータ（77）が通電されベルト
（79）を介して軸杆（72）が回転するので、各カム（7
3）（74）（75）も回転し、該カムの形状に合わせてカ
ムフォロワー（80）（81）（82）を介して、各上下部材
（86）（87）（88）は上下動することになる。これによ
りプリント基板（Ｐ）の送り方向、この送り方向と直交
する軸方向、これらの方向と直交する垂直方向の位置規
制を行なう。

プリント基板（Ｐ）の送り方向の位置規制 基板（Ｐ）がこの位置決め位置に到達する前は、カムレ
バー（91）が上昇位置にあるため第８図に示す状態にあ
る。

そして、モータ（77）の通電により回転するクランプカ
ム（75）に合わせて、第６図に示す上下部材（88）がバ
ネ（112）に抗して下降すると、バネ（98）により可動
クランプ（94）がバネ（97）に抗して基準クランプ（9
3）が夫々回動してプリント基板（Ｐ）の送り方向の位
置規制が行なわれる。

即ち、ガイド（85）に沿って上下部材（88）が下降する
と、可動クランプ（94）は支軸（96）を支点とし基準ク
ランプ（93）は支軸（95）を支点として夫々回動する。
このため、各クランプが基板（Ｐ）の上流側端面及び下
流側端面に当接することになる。

尚プリント基板（Ｐ）の送り方向の寸法が変更する場合
には、チェーン（18A）（18B）に載置する前に、図示し
ない駆動源により第７図に示すネジ軸（104）を回転さ
せることにより行なう。このネジ軸（104）が回転する
と、ボールネジ体（105）及び連結体（106）を介してリ
ニアガイド（101）に沿ってＸテーブル（102）が移動す
る。このＸテーブル（102）には、可動クランプ（94）
を支持する可動体（103）が固定されているので、基準
クランプ（93）に対して可動クランプ（94）が遠ざかっ
たり近づいたりすることができる。これにより、プリン
ト基板（Ｐ）の送り方向の寸法が変っても、対処できる
ことになる。

プリント基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方向の
位置規制 基板（Ｐ）がこの位置決め位置に到達する前は、上下部
材（86）及びカムレバー（89）が上昇位置にあるので、
バネ（123）に抗して幅寄せ部材（120）は第11図に示す
ような状態にある。

そして前記モータ（77）の通電により回転する幅寄せカ
ム（73）（第２図参照）の形状に合わせて上下部材（8
6）が下降する。このためバネ（123）によって幅寄せ部
材（120）は支軸（119）を支点として上部が基板（Ｐ）
側に回動する。この回動により基板（Ｐ）を可動ベアリ
ング体（116）とで挟持することになる（第12図参
照）。従って基板（Ｐ）の幅方向の位置が規制されるこ
とになる。

尚このプリント基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方向
の寸法が変った場合には、前述の如く、駆動モータ（3
8）により可動シュート（20A）を移動させ、固定シュー
ト（20B）との関係を拡開したり、狭めることによって
結果的にこれら幅寄せ部材（120）を移動させればよ
い。

プリント基板（Ｐ）の垂直方向の規制 基板（Ｐ）がこの位置決め位置に到達する前は、上下部
材（87）及びカムレバー（90）は第13図に示すように下
降位置にあって、吸着用上下部材（87A）（87B）の上面
はチェーン（18A）（18B）の上面よりわずかに高いレベ
ルにあり、各チェーン（18A）（18B）の係合片（19）に
より基板（Ｐ）はチェーンから各上下部材（87A）（87
B）の上面に乗り移って吸着される。そしてコンベア
（２）が停止したときにその吸着を停止することになる
が、この吸着によりコンベア（２）が停止したときの慣
性によってプリント基板（Ｐ）が移動することは少な
い。

そして前記モータ（77）の通電により回転するリフトカ
ム（74）の形状に合わせて、上下部材（87）及びカムレ
バー（90）が上昇すると、プリント基板（Ｐ）は、バネ
（133）（133）により上昇する前記上下部材（87A）（8
7A）によって押上げられる。このため基板（Ｐ）は、送
り方向及びこの送り方向と直交する幅方向の位置規制が
なされた状態で、基板押え（135）（135）の係合部（13
6）（136）の下面に当接した状態となる（第14図参
照）。

従って、この規制装置（130）によって、基板（Ｐ）へ
の部品実装面の位置を、該基板（Ｐ）の厚さに影響され
ず常に一定とすることができる。

以上の基板（Ｐ）の各位置規制は、モータ（77）の通電
により略同時に開始されることになるが、送り方向の位
置規制、この送り方向とは直交する幅方向の位置規制、
これらの方向と直交する垂直方向の位置規制の順に終了
する。

（iV） ウェハーテーブル（９）等の動作 前述のように位置規制された状態にあるプリント基板
（Ｐ）にペレットを装着するわけである。この装着前に
ウェハーテーブル（９）上の所望ウェハーシート（14
6）がステーション（Ａ）（第１図参照）に移動するよ
うに、ウェハー支持台（11）を図示しない駆動源により
正逆いずれかに回転させる。

次にＸ軸用モータ（141）、Ｙ軸用モータ（142）により
各ガイド（143）（144）に沿って、XYテーブル（140）
及び支持台（111）を平面方向に移動させて、突き上げ
針装置（145）のガイド体（264）の上方位置に所望のウ
ェハーシート（146）上のペレット（180A）が位置する
ようにする。

そして、第33図に示すシリンダー（253）によりベース
体（254）を上動させ、前記ガイド体（264）をウェハー
シート（146）に近接させる。その後駆動モータ（301）
を通電させ、各プーリ（302）（304）及びベルト（30
5）を介してネジ軸（303）を回転させ上下バー（307）
を上昇させる。すると該バー（307）は、第１の作動レ
バー（258）を上昇させるので、バネ（282）によって第
２のレバー（262）も上昇するが、ボルト（295）が上限
ストッパ（297）に当接するので、この上動は制限され
る。

しかし、更に第１のレバー（258）は上動するので、突
き上げ針（268）は上昇する。従って第36図に示すよう
に、真空源により導管（272）、連通路（271）及び吸着
孔（267）を介して、ステージ面（266）上に吸着したシ
ート（146）を突き上げ、シート（146）面からペレット
（180A）を剥がすようにして装着ヘッド（４）の吸着部
（227）とで保持する状態として該吸着部（227）が確実
にペレット（180A）を吸着する。

但し、このとき突き上げ針（268）は、その下限停止位
置から一気に突き上げるのではなく、ペレット吸着後の
吸着コレット（185）の上昇タイミングと同期をとるた
めに、先ず突き上げ針（268）上端がステージ面（266）
と同一レベルで待機して、しかるべきタイミング信号で
もって上昇して前記シート（146）を突き上げる（第36
図参照）。このとき降下している吸着コレット（185）
の吸着部（227）の下端部とでペレット（180A）を挟持
しても、更に針（268）は上昇するので、装着ヘッド（1
4）の上下移動体（159）が停止状態にあっても第16図に
示すバネＢ（179）に抗して吸着ノズル体（184）を上昇
させる。

この後突き上げ針（268）と吸着ノズル体（184）は、同
期してペレット（180A）を挟持した状態で共に上昇す
る。そして、所定の上昇に到達した後は、前記ノズル体
（184）のみ上昇し、前記針（268）は下降し待機位置に
戻る。

この吸着後は、前記駆動モータ（301）の回転を逆転さ
せ、上下バー（307）を下動させバネ（282）により第１
の作動レバー（258）を下降させるので前記針（268）は
下降し、更に上下バー（307）が下動すると、第２の作
動レバー（262）も下降し、この突き上げ針装置（145）
はシリンダー（253）によって下降することによって初
期状態となる。

次に大きなペレット（180B）を装着したい場合には、そ
のウェハーシート（146）がステーション（Ａ）に位置
するように支持台（11）を回転させると共にXYテーブル
（140）及び支持台（11）を平面方向に移動させて、次
の装着動作に備える。また突き上げ針装置（145）の回
転板（252）を90度回転させる。即ち、図示しない駆動
モータに通電して、その出力軸に設けられた歯車に噛合
する歯車（250）により回転ガイド（251）及び回転板
（252）を回転させ、回転板ストッパ（308）に当接して
停止位置を確実なものにしている（第35図参照）。

従って、大きなペレット（180B）用のガイド体（265）
がウェハーシート（146）の直下方に位置することにな
る。

尚第40図に示すように、ペレッをウェハーシート（14
6）から剥離する際に、ウェハーシート（146）をステー
ジ面（266）に吸着するための真空圧も変更することが
できる。即ち比較的小さなペレット（180A）の場合に
は、切換弁（312）を切換えることによって、二又絞り
弁（314），（315）のいずれかを選択して異なる真空圧
で吸引でき、また比較的大きなペレット（180B）の場合
には、切換弁（313）を切換えることによって、二又絞
り弁（316），（317）のいずれかを選択して異なる真空
圧で吸引できる。

従って、各ガイド体（264），（265）につき２種類の真
空圧を選択調整でき、各ウェハーテーブル（９）（10）
上のウェハーの大きさの異なる種類に応じて対応するこ
とができる。

例えば、前述の小さなペレット（180A）を扱う場合に
は、切換弁（312）を切換えて、二又絞り弁（314）を選
択し、各バルブ（323），（324），（325）を閉じ、バ
ルブ（322）を開く。すると真空圧は、例えば250mmHgと
なる。またこのとき、ガイド体（264）の吸着孔（267）
を介して吸い込んだ塵埃は第１のフィルター（310）で
除塵され、切換弁（312）及び二又絞り弁（314）は保護
される。更には、二又絞り弁（314）の弁（326）から吸
い込んだ塵埃は第２のフィルター（318）で除塵され、
バルブ（322）は保護される。このペレット（180A）よ
り少許大きなペレットを扱う場合には、切換弁（312）
を切換えて二又絞り弁（315）を選択して、真空圧を例
えば350mmHgとする。

勿論大きなペレット（180B）を扱う場合には、切換弁
（313）を切換えて、二又絞り弁（328），（329）のい
ずれかを選択して、真空圧を例えば300mmHg,400mmHgの
いずれかに設定することができる。

（ｖ） ペレットの装着動作 装着ヘッド（14）は、第43図に示す駆動モータ（154A）
によって回転される第16図に示すボールネジ（151A）に
よりＸ方向の移動ができ、駆動モータ（154B）によって
回転されるボールネジ（151B）によりガイド体（152）
（152）に沿ってＹ方向の移動が可能となる。

従って、装着ヘッド（14）は、ステーション（Ａ）に位
置するウェハーシート（146）の吸着すべきペレット（1
80A）の上方位置まで移動でき、次いで吸着コレット（1
85）を降下させることにより所望のペレット（180A）を
吸着できる。この点につき以下詳述する。

先ず第17図に示す駆動モータ（154C）に通電して、各プ
ーリ（155），（157）、ベルト（158）を介してネジ軸
（156）を回転させ、上下移動体（159）を降下させる。
すると、第16図に示す加圧用モータ（162）によりバネ
Ｂ（179）によって、加圧ベアリング体（174）がロータ
リジョイント（176）及び固定ベアリング体（175）に押
圧しているので、吸着ノズル体（184）は上下ガイド体
（192）に沿ってウェハーシート（146）まで降下する。
このため、前述の如く突き上げ針装置（145）の針（26
8）と相俟ってペレット（180A）を確実に吸着できる。

そして、この吸着後は前記モータ（154C）の回転を逆転
させて、ネジ軸（156）により上下移動体（159）を上昇
させるが、この上昇後は第17図に示すロックソレノイド
（163）を励磁させる。このため吸引されたプランジャ
（166）によりバネ（170）に抗して揺動体（173）を支
軸（172）を支点として回動させる。従って上下移動体
（159）に固定された支持体（168）に設けられた固定ベ
アリング体（175）と加圧ベアリング体（174）とで、ロ
ータリジョイント（176）の鍔体（177）を挟持した状態
にロックする（第16図参照）。勿論このロック動作は、
装着ヘッド（14）の水平移動中に行なわれ、このロック
動作後必要あらば吸着ノズル体（184）のθ回転を行な
い、ペレット（180A）の平面方向における向きを基板
（Ｐ）への装着向きに合わせる。

即ち、第17図に示す駆動モータ（195）の通電により各
プーリ（196），（197）、ベルト（198）を介して、上
下ガイド体（192）及び規制ベアリング（194）によって
吸着ノズル体（184）はθ回転することになる。

この吸着ノズル体（184）は、装着ヘッド（14）の水平
方向の移動によって、前述のように位置規制された状態
にあるプリント基板（Ｐ）の上方位置まで移動し、該基
板（Ｐ）の所望位置にペレット（180A）を装着すること
ができる。

即ち、前述の如く、モータ（154C）に通電して、上下移
動体（159）を降下させ、吸着ノズル体（184）を基板
（Ｐ）まで降下させるがその途中で、前記ロックソレノ
イド（163）を消磁させてロック動作を解除する。

この装着時には、バネＢ（179）によってペレット（180
A）はプリント基板（Ｐ）に押圧されることになる。従
っての押圧力を変更したい場合には、加圧用モータ（16
2）の回転角度を希望の値にデータ設定することにより
行なえる。

尚、前記吸着コレット（185）による吸着動作時に、図
示しない真空源による真空吸引動作が開始した場合に、
当該装着装置の全てを統括制御する第43図に示すマイク
ロ・コンピュータ（287）は、前記真空スイッチ（19
1）、光電検知装置（215）からの検知データをオア回路
（285）かアンド回路（286）を介して取り込む。そし
て、切換スイッチ（284A）（284B）の状態により少なく
とも一方の検知データか両方の検知データの内容がペレ
ット「無し」であれば、予めペレット無しカウンター
（図示せず）に設定された回数Ｎだけ、ピックアップ動
作を繰り返し、Ｎ回を越えると、装着ヘッド（14），
（15）を原点に復帰させて、当該装着装置の運転を停止
すると共に使用者に報知手段（289）によって視覚か聴
覚により使用者にその旨を報知する。従って使用者は、
ペレット「無し」が事実か否かの確認をし、事実でなけ
れば真空スイッチ（191）の作動レベルを調整したり、
光電検知装置（215）の高さ位置調整を行なって一回試
運転させるか再運転させて、その調整が適切か否かを確
認する。適切でなければ、再度調整し、適切であれば通
常運転を続行すればよい。

また装着ヘッド（14）（15）は、前記チェーン（18A）
（18B）の各係合片（19）の間隔の整数倍の間隔を存し
て配設してあり、このためタイミング上同時に両ヘッド
がボンディング動作ができる。

（vi） 吸着コレット（185）の交換動作 以上のように装着動作が行なわれることになるが、例え
ば次に装着したいペレットが大きなペレット（180B）の
場合には、それに合った吸着コレット（185）に交換し
なければならない。以下その交換動作について、第25図
〜第32図に基づいて説明する。

先ず第22図に示すように、前述の如く吸着ノズル体（18
4）及び吸着コレット（185）を降下させ、吸着コレット
交換装置（７）の吸着コレットが収納されていないシー
ルストッカー（231）の取付孔（235）上方位置に移動さ
せる。

次にシリンダー（242）の駆動によりピン取付台（234）
及び図示しない駆動源によりシールストッカー（231）
を上昇させる（第25図参照）。

この後、前記ノズル体（184）及びコレット（185）を更
に降下させると、ロック爪体（221），（221）がロック
解除ピン（233）に当接して支軸（222），（222）を支
点として回動して開く（第26図参照）。このため、ロッ
クが解除されることになるが、シリンダー（248）によ
って外方に回動していた押え部材（247）がこのシリン
ダー（248）の駆動により内方に回動してアダプタフラ
ンジ部（226）を押える。

勿論、このときアダプタフランジ部（226）に形成され
たＵ字溝（225）内に支持台（240）上の位置決めピン
（241）（241）が夫々嵌合し、吸着コレット（185）の
θ回転は防止される（第23図参照）。

そして、第27図に示すように駆動源によりストッカー
（231）を降下させると、アダプタ（219）は取付空間
（218）から抜けて下がる。次に吸着ノズル体（184）は
前述にように上昇し、ピン取付台（234）及びロック解
除ピン（233）が下降する（第28図参照）。この後、吸
着ノズル体（184）は、大きなペレット（180A）用の吸
着コレット（185）の上方位置まで移動して下降し、一
方前記ピン（233）も上昇する。従って、該ピン（233）
によってロック爪体（221）（221）が開く（第29図参
照）。

そしてシールストッカー（231）及びストッカー台（23
2）が上昇し（第30図参照）、吸着コレット（185）のア
ダプタ（219）を前記取付空間（218）内に挿入する。こ
のとき取付部（216）下面の位置決めピン（224）がアダ
プタフランジ部（226）のＵ字溝（225）内に嵌合するこ
とにより、この挿入時のθずれを防止している。然る
後、第24図に示すシリンダー（248）の駆動によって、
押え部材（247）を外方へ回動させる。

この後前記解除ピン（233）を降下させるので、ロック
爪体（221）（221）がバネ（223）（223）により内方へ
回動し、係止部（228）内に入り込んでロックすること
になる（第31図参照）。そして吸着ノズル体（184）及
び吸着コレット（185）は上昇し、前記押え部材（247）
を今度は内方へ回動させ、ストッカー（231）及びスト
ッカー台（232）を下降させることによって、吸着コレ
ット（185）の交換動作が終了する（第32図参照）。

この吸着コレット（185）の交換により、大きなペレッ
ト（180B）の装着に対応できることになる。

次にこの吸着コレット（185）の交換が確実に行なわれ
たか否かの確認動作について述べる。

先ず第19（Ａ）図に示すようにDCソレノイド（201）が
励磁している状態では、バネＤ（208）に抗して作動レ
バー（203）がカムフォロワー（210）を介して上下スラ
イダ（204）を下方に押圧しており、前記フォロワー（2
10）が下限ストッパ（212）に当接して係止している状
態にあるため、光電検知装置（215）は吸着コレット（1
85）がペレット（180A），（180B）（便宜上省略してあ
る。）を吸着しているか否かの検知を行なっている。し
かし、前述のコレット（185）の交換が行なわれたか否
かの確認をする場合には、前記ソレノイド（201）を消
磁させればよい。即ち、この消磁によって上下スライダ
（204）はバネＤ（208）により上昇し、作動レバー（20
3）が上限ストッパ（211）に当接して係止する状態とな
り、第19B図に示すように光電検知装置（215）は吸着コ
レット（185）の存在を確認できる。仮に、存在「無」
を検知すると、以後の動作を中止すると共に、使用者に
図示しない報知手段により報知する。

以上のように装着動作が行なわれると、位置決め装置
（４）の各動作を停止する。即ち、前記モータ（77）を
再び通電して、幅寄せカム（73）、リフトカム（74）及
びクランプカム（75）を回転させ、カムレバー（91）
（89）を上昇させると共にカムレバー（90）を降下さ
せ、また吸着用上下部材（87A）,87A）の第10図に示す
吸着孔（137）を介するプリント基板（Ｐ）の吸着を止
めるように真空源による吸引を止めて大気圧に戻し前記
モータ（77）を非通電とし、初期状態に戻す。また然る
後、駆動モータ（21）に通電してプリント基板（Ｐ）を
チェーン（18A）（18B）によって下流に搬送する。

（vii） プリント基板（Ｐ）の反転動作 このようにして、装着後のプリント基板（Ｐ）は下流に
搬送されて、第41図に示すように図示しないエレベータ
により昇降可能な収納箱（68B）に逐次収納される。こ
の収納箱（68B）は前述のローダ（67A）の収納箱（68
A）と全く同一構造である。従ってローダ（67A）の収納
箱（68A）内のプリント基板（Ｐ）の全てが、装着し終
ってアンローダ（67B）の収納箱（68B）内に収納される
ことになる。

ここで、プリント基板（Ｐ）によっては、多数のペレッ
トを装着しなければならないものがあり、この場合再度
チェーン（18A）（18B）に載せて装着する必要がある。
この場合、プリント基板（Ｐ）が収納されている収納箱
（68B）と収納されていない収納箱（68A）とを交換し、
夫々ローダ（67A）、アンローダ（67B）にセットすれば
よい。

この場合、プリント基板（Ｐ）の位置決めの際の基準側
が反対側となってしまうが、反転装置（３）により平面
方向に於いて反転させればよい。以下詳述する。

前述のようにローダ（67A）からチェーン（18A）（18
B）上に基板（Ｐ）が載置して、間欠搬送されて、反転
装置（３）の直上方位置に来たら、搬送の駆動源である
駆動モータ（21）の通電を停止して第２図に示すシリン
ダー（56）を駆動する。すると揺動部材（55）が回動し
ガイド（48）によって上下杆（49）を上動させると共
に、図示しない真空源によりチューブ（61）、上下杆
（49）の真空通路（59）及び押上体（50）の吸引路（5
8）を介して、押上体（50）の上面にプリント基板
（Ｐ）を吸着しつつ上昇させる。然る後、モータ（53）
に通電してプーリ（54），（52）及びベルト（51）を介
して平面方向に於いて180度分押上体（50）を回転させ
る。

この後前記シリンダー（56）の駆動を停止して、前記揺
動部材（55）を初期状態に戻して押上体（50）を降下さ
せる。このとき、前記真空源による吸引を解除して大気
圧に戻すから、プリント基板（Ｐ）はチェーン（18A）
（18B）上に載置され、再び搬送用の駆動モータ（21）
に通電して、180度反転させたプリント基板（Ｐ）を再
び搬送して、前述のように位置決めし、所望のペレット
を装着すればよい。

従って、プリント基板（Ｐ）の位置決めの際の基準側
が、最初に搬送位置決めしたときと同じ側となるから、
装着精度が向上する。

尚プリント基板（Ｐ）の搬送方向と直交する幅寸法が変
更した基板（Ｐ）を流す場合には、Ｘ軸用モータ（4
4）、Ｙ軸用モータ（45）を駆動して、XYテーブル（4
6）を移動させ、その相互の間隔が変更したチェーン（1
8A）（18B）のその丁度中間位置に前記押上体（50）を
移動することにより対処できる。

（ト）発明の効果 以上、本発明によれば電子部品の種類の応じて装着ヘッ
ドに装着されている吸着コレットを着脱交換する際、交
換されるべきコレットの係合部に係合していた爪による
係合を解除した状態で該コレットをストッカーに位置さ
せた後、保持部材により該コレットを保持した状態で、
装着ヘッドとストッカーとを離反させるようにしたの
で、装着ヘッドとコレットの嵌合が確実に解消できる。

【図面の簡単な説明】 第１図は電子部品装着装置の平面図、第２図は同装着装
置の固定シュートの内側から奥行方向を見た正面図、第
３図は同装着装置の搬送部の右側面図、第４図はチェー
ン（18A）の部分正面図、第５図は第１図のＸ−Ｘ′断
面図、第６図は第１図のＹ−Ｙ′断面図、第７図は送り
方向の規制位置決めを行なう装置（92）の正面図、第８
図は同装置（92）の作動待機状態の正面図、第９図は同
装置（92）による送り方向の寸法が長いプリント基板
（Ｐ）の位置決め状態を示す正面図、第10図は位置決め
装置（４）の平面図、第11図は第１図のＺ−Ｚ′断面図
でプリント基板（Ｐ）の幅方向の位置決め前の状態を示
す要部断面図、第12図は同じくプリント基板（Ｐ）の幅
方向の位置決め状態を示す要部断面図、第13図は第１図
のＶ−Ｖ′断面図で規制装置（130）による位置決め前
の状態を示す要部断面図、第14図は同じく規制装置（13
0）による位置決め状態を示す要部断面図、第15図は基
板の送り方向とは直交する幅方向の位置を規制する装置
を取除いた状態の部分平面図、第16図は装着ヘッドの一
部断面せる正面図、第17図は装着ヘッドの縦断右側面
図、第18図は装着ヘッドの一部切欠せる平面図、第19A
図は装着ヘッドの一部切欠せる右側面図、第19B図は上
下スライダーが上昇した状態の装着ヘッドの一部切欠せ
る右側面図、第20図は吸着ノズル下端部を縦断した状態
及び吸着コレットの正面図、第21図は吸着ノズル下端部
の左側面図、第22図は吸着ノズル交換装置の縦断正面
図、第23図は同交換装置の平面図、第24図は同交換装置
の左側面図、第25図乃至第32図は吸着コレットの交換動
作を示す図、第33図は小さいペレットを扱う場合の突き
上げ針装置の正面図、第34図は第33図の右側面図、第35
図は大きいペレットを扱う場合の同装置の正面図、第36
図は小さいペレット用の突き上げガイドの縦断面図、第
37図は同ガイドの平面図、第38図は大きいペレットを扱
う場合の突き上げガイドの縦断面図、第39図は同ガイド
の平面図、第40図は突き上げに必要な吸引回路図、第41
図は本発明装着装置の模式図であって反転装置の動作を
示す図、第42図反転装置の動作説明図、第43図は吸着コ
レットがペレットを吸着したか否かの検出に係るブロッ
ク図を夫々示す。 （180A）（180B）……ペレット、（185）……吸着コレ
ット、（218）……取付空間、（219）……アダプタ、
（221）……ロック爪体、（223）……バネ、（228）…
…係止部、（231）……ストッカー、（233）……ロック
解除ピン、（247）……押部材。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電子部品の種類に応じて吸着コレットを自
   動的に交換する電子部品装着装置のコレット交換装置に
   於いて、前記吸着コレットの上部と着脱可能に嵌合しあ
   う嵌合部が形成されると共に該吸着コレットに形成され
   た係合部に係合することにより該コレットを保持する開
   閉可能な爪を有する装着ヘッドと、予備の吸着コレット
   を保管するもので前記吸着コレットを交換する際に前記
   爪に当接して該爪を開くことにより前記係合部と当該爪
   との係合を解除する当接部材を有すると共に交換される
   べき吸着コレットを保持して前記装着ヘッドとの相対的
   移動時に該装着ヘッドと吸着コレットとを離反させる保
   持部材を備えたストッカーとを設けたことを特徴とする
   電子部品装着装置のコレット交換装置。