JPH0772717B2

JPH0772717B2 - 基板の検査方法および基板の検査装置

Info

Publication number: JPH0772717B2
Application number: JP4155866A
Authority: JP
Inventors: 良美宇田; 陳重鈴木; 好孝氷上; 隆史小野; 宏巳岡本
Original assignee: Toyota Tsusho Corp; Dac Engineering Co Ltd
Current assignee: Toyota Tsusho Corp; Dac Engineering Co Ltd
Priority date: 1992-05-21
Filing date: 1992-05-21
Publication date: 1995-08-02
Anticipated expiration: 2010-08-02
Also published as: JPH05322789A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、多層プリント基板およ
び重ね刷りした単層基板等多層に形成された部分を有す
る基板の欠陥検査方法および欠陥検査装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】従来の技術（特開昭６１−２２６６４
５）は、単層プリント基板の上に銅はくのパターンやチ
ップ部品を配置した検査基板にＸ線を照射し、得られた
透過画像と記憶されている基準パターンとを比較するこ
とにより、部品の実装確認、部品の取付良否、パターン
に対する部品の接続良否を判断するものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術におい
ては、単層のプリント基板上にパターンやチップ部品が
配置された検査基板における部品の実装確認、部品の取
付および接続良否を判断するものであり、層間のずれが
考慮されていないので、多層のプリント基板が積層さ
れ、しかも層間にずれが存在するような基板は検査出来
ないという問題があった。

【０００４】本発明者らは、多層プリント基板や重ね刷
り基板について系統的に調査した結果、各層間にはそれ
ぞれずれが生じていることが分かり、精度の良い検査を
行うには各層のずれ量を補正して検査画像とマスタ画像
とを比較するという技術的思想に着眼し、研究開発を重
ねた結果、各層にずれのある基板においても精度良く短
時間に検査することができるという目的を達成する本発
明に到達したのである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明（請求項１に記載
の第１発明）の基板の欠陥検査方法は、欠陥の無い多層
に形成された部分を有するマスタ基板に光源からの光線
を照射する工程と、マスタ基板の各層からの透過光ある
いは反射光のグレーレベルを持ったマスタ画像データを
記憶する工程と、多層に形成された部分を有する検査基
板に光源からの光線を照射する工程と、検査基板の各層
からの透過光あるいは反射光のグレーレベルを持った検
査画像データを記憶する工程と、検査画像データのマス
タ画像データに対する相対的な各層の位置ずれ量を算出
する工程と、この各層の位置ずれ量に基づき各層の位置
ずれを補正し補正画像データを作成する工程と、前記検
査画像データまたはマスタ画像データと補正画像データ
とを比較し、欠陥を検出する工程とから成るものであ
る。

【０００６】本発明（請求項２に記載の第２発明）の基
板の欠陥検査装置は、多層に形成された部分を有する検
査基板に適した光源によるＸ線、紫外線、可視光、赤外
線等の光線を多層に形成された部分を有する欠陥の無い
マスタ基板および検査基板に照射する照射手段と、マス
タ基板および検査基板の各層からの透過光あるいは反射
光のグレーレベルを持ったマスタ画像データおよび検査
画像データを記憶する記憶手段と、検査画像データのマ
スタ画像データに対する相対的な各層の位置ずれ量を算
出する位置ずれ量算出手段と、上記検出した各層の位置
ずれ量に基づき各層の位置ずれを補正して補正画像デー
タを作成する補正手段と、検査画像データまたはマスタ
画像データと補正画像データとを比較し、欠陥を検出す
る欠陥検出手段とから成るものである。

【０００７】本発明（請求項３に記載の第３発明）の基
板の欠陥検査画像データ装置は、複数のプリント層ある
いは重ね刷り層を有するプリント基板であって、欠陥の
無いマスタ基板および検査する検査基板の各層に光源か
らの光線を照射する照射手段と、マスタ基板および検査
基板の各層からの透過光あるいは反射光を電気信号とし
てグレーレベルを持ったマスタ画像データおよび検査画
像データを記憶する記憶手段と、検査画像データのマス
タ画像データに対する相対的な位置ずれ量を算出する位
置ずれ量算出手段と、算出された位置ずれ量に基づきマ
スタ画像データおよび検査画像データのうち少なくとも
一方のデータにおいて位置ずれを補正し、補正画像デー
タを作成する補正手段と、この補正画像データと検査画
像データあるいはマスタ画像データとを比較し、プリン
ト基板の各層における欠陥を検出する欠陥検出手段とか
ら成るものである。

【０００８】本発明（請求項４に記載の第４発明）の基
板の欠陥検査装置は、第３発明において、マスタ画像デ
ータを一定の割合で収縮あるいは膨張の処理を加える処
理手段を有し、処理手段により処理されたマスタ画像デ
ータと検査画像データとを比較することにより欠陥を検
出するものである。

【０００９】

【作用】上記構成より成る第１発明の基板の欠陥検査方
法は、多層に形成された部分を有する欠陥の無いマスタ
基板に光源からの光線を照射してマスタ基板の各層から
の透過光あるいは反射光のグレーレベルを持ったマスタ
画像データを記憶し、多層に形成された部分を有する検
査基板に光源からの光線を照射して検査基板の各層から
の透過光あるいは反射光のグレーレベルを持った検査画
像データを記憶し、検査画像データのマスタ画像データ
に対する相対的な各層の位置ずれ量を算出して各層の位
置ずれを補正して補正画像データを作成し、この補正画
像データと前記検査画像データまたはマスタ画像データ
とを比較し、基板の欠陥を検出するものである。

【００１０】上記構成より成る第２発明の基板の欠陥検
査装置は、照射手段により多層に形成された部分を有す
る検査基板に適した光源によるＸ線、紫外線、可視光、
赤外線等の光線を多層に形成された部分を有するマスタ
基板および検査基板に照射し、記憶手段によりマスタ基
板および検査基板の各層からの透過光あるいは反射光の
グレーレベルを持ったマスタ画像データおよび検査画像
データを記憶し、ずれ量算出手段により検査画像データ
とマスタ画像データとの各層の位置ずれ量を算出し、補
正手段により算出した各層の位置ずれ量に基づき各層の
位置ずれ量を補正して補正画像データを作成し、欠陥検
出手段により補正画像データと検査画像データまたはマ
スタ画像データとを比較して基板における欠陥を検出す
るものである。

【００１１】上記構成より成る第３発明の基板の欠陥検
出装置は、照射手段により複数のプリント層あるいは重
ね刷り層を有するプリント基板であって、欠陥の無いマ
スタ基板および検査基板の各層に光源からの光線を照射
し、記憶手段によりマスタ基板および検査基板の各層か
らの透過光あるいは反射光のグレーレベルを持ったマス
タ画像データおよび検査画像データを記憶し、ずれ量算
出手段によりプリント基板の各層における検査画像デー
タとマスタ画像データとの相対的な位置ずれ量を算出
し、補正手段により位置ずれ量に基づきマスタ画像デー
タまたは検査画像データの位置ずれを補正して補正画像
データを作成し、欠陥検出手段により補正画像データと
検査画像データまたはマスタ画像データとを比較してプ
リント基板の各層における欠陥を検出するものである。

【００１２】上記構成より成る第４発明の基板の欠陥検
出装置は、処理手段によりマスタ画像データを一定の割
合で収縮あるいは膨張の処理を行い、欠陥検出手段によ
り収縮あるいは膨張の処理をしたマスタ画像データに基
づきプリント基板の各層における欠陥を検出するもので
ある。

【００１３】

【発明の効果】上記作用を奏する第１発明の基板の欠陥
検査方法は、多層に形成された部分を有する基板の各層
の位置ずれを補正した補正画像データを考慮して検査画
像データを評価するので、多層に形成された部分を有す
る基板の各層の位置ずれが実用上問題の無い許容範囲内
の位置ずれか、実用上問題の有る欠陥かを正確に判定す
ることができるという効果を奏する。

【００１４】上記作用を奏する第２発明の基板の欠陥検
査装置は、前記欠陥検出手段が、多層に形成された部分
を有する基板の各層の位置ずれを補正した補正画像デー
タを考慮して検査画像データを評価するので、多層に形
成された部分を有する基板の各層の位置ずれが実用上問
題の無い許容範囲内の位置ずれか、実用上問題の有る欠
陥かを正確に判定することができるという効果を奏す
る。

【００１５】上記作用を奏する第３発明の基板の欠陥検
査装置は、プリント基板の各層の位置ずれを補正したマ
スタ画像データまたは検査画像データに基づき検査画像
データを評価するので、プリント基板の各層におけるず
れが実用上問題の無い許容範囲内の位置ずれか、実用上
問題の有る欠陥かを正確に判定することができるという
効果を奏する。

【００１６】上記作用を奏する第４発明の基板の欠陥検
査装置は、第３発明の効果に加え、マスタ画像データの
収縮および膨張の処理を施すので、実用上問題の無い許
容範囲内のパターンの欠けおよびにじみを実用上問題の
有る欠陥として誤検知することが無いという効果を奏す
る。

【００１７】

【実施例】次に上記本発明の実施例のプリント基板の欠
陥検出装置について図面を用いて説明する。

【００１８】（第１実施例の検査原理）第１実施例装置
の具体的説明に先立ち、検査原理について簡単に述べ
る。多層プリント基板や単層でも重ね刷りした基板など
のように、一枚の基板が複数の層で構成されている場
合、画像処理装置内の層数分のメモリエリア内に各層毎
の透過画像をあるグレーレベルを持った画像データとし
て記憶する。

【００１９】画像を得るための光学系は、その基板に最
も適した光源（Ｘ線、紫外線、可視光、赤外線等）を用
いる。このようにして層数分のメモリエリア内に得られ
た画像データを各層マスタ画像データとする。よって各
層マスタ画像データは、一枚の基板を構成する層数分記
憶されている。３層基板を説明用の例として図２ないし
図４の（ａ）に各層のマスタ画像を拡大し真横から見た
状態を示し、図２ないし図４の（ｂ）にそれぞれの画像
データのグレーレベルを２５６階調で示す。

【００２０】次に検査する基板の透過画像を、上記光源
によりグレーレベルを持った検査画像として取り込む。
図５の（ａ）ないし（ｃ）に検査画像を真横から見た場
合を示し、ここで２層目のパターンに図５の（ｂ）中矢
印で示す断線が生じているとする。図５の（ｄ）にその
画像データのグレーレベルを示す。

【００２１】各層マスタ画像データ内に存在する特徴
点、あるいはパターンなどの形状を抽出し、検査画像デ
ータ内でどのように配置しているかを画像処理技法によ
り認識し、Ｘ、Ｙ方向およびθ方向の層間ずれ量を求め
る。図５の（ｄ）の寸法Ａが１〜２層間ずれ量であり、
寸法Ｂが１〜３層間ずれ量を示す。

【００２２】各層のマスタ画像データを、上記ずれ量だ
け補正し、各層のマスタ画像データの持っているグレー
レベルを演算することにより、検査画像データと同一の
合成マスタ画像データが得られる。図６の（ａ）ないし
（ｃ）が合成マスタ画像を真横から見た場合の状態を示
し、図６の（ｄ）が、その画像データのグレーレベルを
示す。

【００２３】検査画像データ（図５の（ｄ））および合
成マスタ画像データ（図６の（ｄ））に示されるグレー
レベルを比較すれば、図５の（ｄ）および図６の（ｄ）
において円部分Ｃ１、Ｃ２で示す２０レベル差の欠陥箇
所を検出することができる。説明の簡便のために一方向
のずれが生じた場合について説明したが、他の２方向に
ついても同様であり、又本第１実施例装置には後述する
ようにＸ、Ｙ、θ、Ｚ、αステージが搭載されているた
め、大型の基板でもステージを高精度で、高速に移動さ
せることにより、全箇所を検査することが可能となる。

【００２４】（第１実施例の構成）第１実施例のプリン
ト基板の欠陥検査装置は、図１に示すもので、技術的特
徴としては、放射線の中のＸ線が物質の密度および物体
の厚さに相対する透過特性を持つため、多層プリント基
板の場合Ｘ線を照射して得られる透過像がパターンを構
成する物質の密度が高く厚みがあるほど黒く現れるた
め、このグレーレベルを用いて各層の特徴点あるいはパ
ターンの形状が抽出でき、検査画像内におけるこれらの
抽出点の位置関係により、各層のずれ量を求め、このず
れ量分各層のマスタ画像を補正し、重ね合わせることに
より得られる合成マスタ画像データと検査画像データと
の比較検査を行うようにしたことである。

【００２５】第１実施例のプリント基板の欠陥検査装置
は、図１に示すように遮蔽ボックスＢ内に配置され検査
するプリント基板を載置するテーブルの位置および姿勢
を制御する制御機構１０とプリント基板にＸ線を照射す
るＸ線発生装置１１とから成る照射手段１と、プリント
基板を透過したＸ線を入射し可視領域に変換するＸ線ホ
ロスコープ２１と変換された可視光を受光させ電気信号
に変換するＣＣＤ撮像素子２２と、変換された電気信号
のノイズ除去を行う前処理部２３と各層の画像データを
記憶する各層マスタ画像記憶部２４と検査するプリント
基板の画像データを記憶する検査画像記憶部２５とから
成る記憶手段２と、画像内の特徴点や形状およびグレー
レベルを用いてずれ量を算出する層間ずれ量算出部３０
から成る位置ずれ量算出手段３と、上記算出したずれ量
に基づき合成マスタ画像を合成するマスタ画像合成部４
０から成る補正手段４と、検査画像と合成マスタ画像と
を比較しプリント基板の各層の欠陥を検出するグレーレ
ベル比較部５０から成る欠陥検出手段５と、制御機構１
０の各軸モータに所定の駆動信号を出力する各軸コント
ローラ６１および各軸ドライバー６２とから成るコント
ローラ６と、検査結果を表示するカラーモニタ７とから
成る。

【００２６】層間ずれ量算出部３０の層間ずれ量の算出
方法およびマスタ画像合成部４０の画像合成方法を図７
および図８を用いて説明する。図７の（ａ）ないし
（ｃ）は、プリント基板の各層のパターンを示す。図７
の（ａ）ないし（ｃ）を単純に重ね合わせたものが図８
の（ａ）であり、図中Ａ、Ｂ、Ｃの円部分で示すように
他層のパターンと重なり合わない部分がある。図８の
（ｂ）は、検査基板の透過画像を示し、上記円部分Ａ、
Ｂ、Ｃ部は層間ずれが生じても重なり合わない部分が選
ばれているので、図８の（ｂ）中のＯ印で示す画像中心
からこの、上記Ａ、Ｂ、Ｃ部までの距離を求め、この距
離を用い各層のマスタ画像の重ね合わせを行う。すなわ
ち上記マスタ画像におけるＡ、Ｂ、Ｃ部までの距離との
比較によりずれ量を求め、このずれ量だけマスタ画像を
ずらしたことになる。

【００２７】次に上記ずれ量を用いて合成マスタ画像を
作成する方法について図２ないし図６を用いて説明す
る。図２ないし図３の（ａ）は、各層マスタ画像をある
位置で真横から見た図である。図２ないし図３の（ｂ）
は、その画像のグレーレベルを示す。第１実施例ではＸ
線を用いているのでＸ線は物体の密度、厚さに相対する
透過特性を持つのでパターンによる透過率は異なるた
め、グレーレベルも異なる。図５の（ａ）ないし（ｃ）
は、検査画像を真横から見た図で、２層目の図中矢印で
示す箇所に断線箇所が有るとする。図５の（ｄ）は、そ
のグレーレベルを示し、上記方法により層間ずれ量を求
め、３枚の各層マスタ画像を示したものが図６の（ａ）
ないし（ｃ）であり、図６の（ｄ）は、各層のマスタ画
像を合成したもののグレーレベルを示す。図５および図
６の（ｄ）のグレーレベルを比較すると、円部分Ｃ１、
Ｃ２のレベルが異なり、検査基板に欠陥があることが分
かり、基板上での欠陥箇所および位置が認識できる。

【００２８】また本第１実施例では各層マスタ画像記憶
部２４のメモリエリア内に記憶されている各層マスタ画
像データは、許容範囲内のパターンの欠けやにじみを欠
陥として検出しないで正確な検査を可能にするために加
工、変換の処理が行われている。図９の（ａ）ないし
（ｃ）は、図６の（ａ）ないし（ｃ）に示される３枚の
各層のマスタ画像をある割合で収縮したものであり、図
９の（ｄ）は収縮させた各層のマスタ画像を合成したも
ののグレーレベルを示す。逆に図１０の（ａ）ないし
（ｃ）は、図６の（ａ）ないし（ｃ）に示される３枚の
各層のマスタ画像をある割合で膨張させたものであり、
図１０の（ｄ）は膨張させた各層のマスタ画像を合成し
たもののグレーレベルを示す。図１０の（ｅ）は、図９
の（ｄ）と図１０の（ｄ）をまとめたもので、斜線内の
ように許容値を設定し、良否を判定するもので、許容で
きるパターンの欠け、にじみを許容し、許容できない大
きなパターンの欠けおよびにじみを欠陥として検出する
のに有効である。

【００２９】さらに本第１実施例では、検査基板がマス
タ基板に対して大きさが異なる場合を考慮して、それに
対応できるようになっている。図１１の（ａ）ないし
（ｃ）は、図２ないし図４の（ａ）の各層がある割合で
縮小された層で構成された検査基板を示す。図１１の
（ｄ）は、上記縮小された各層のマスタ画像を合成した
もののグレーレベルを示し、図６の（ｄ）のグレーレベ
ルと相似関係にあり、前述したように各層マスタ画像デ
ータは加工、変換等の処理を施すことが可能なため、図
２ないし図４の（ａ）の各層を縮小し、層間ずれ量の位
置補正をすることにより、検査画像と同サイズの合成マ
スタ画像およびグレーレベルが得られる。上記は検査基
板が縮小した場合について説明したが、検査基板が拡大
した場合も同様であり、各層のマスタ画像の大きさと検
査画像の大きさが異なる場合でも検査が可能である。

【００３０】本第１実施例装置は、マイクロコンピュー
タを利用したシステムであるが、ＲＯＭに予め格納され
たフローチャートに従い本第１実施例装置のプリント基
板の検査方法について図１２を用いて説明する。マスタ
となる多層基板を各層ごとにＸ線を照射したときの透過
像を取込み（第１ステップ）、マスタ画像として層数分
のメモリエリアに記憶する（第２ステップ）。

【００３１】次に検査基板をセットし（第３ステッ
プ）、検査位置に移動させ（第４ステップ）移動完了を
確認（第５ステップ）したら、検査画像データを取込み
（第６ステップ）、ノイズ除去他のため前処理を行い
（第７ステップ）、層間ずれ量を算出する（第８ステッ
プ）。

【００３２】算出したずれ量を用いて合成マスタ画像を
形成し（第９ステップ）、検査に先立ち次検査位置に移
動を開始し（第１０ステップ）、全検査終了したかどう
かチェック（第１１ステップ）した後、検査画像と合成
マスタ画像を比較して欠陥部分を検査する（第１２ステ
ップ）。上記検査をしている間に次検査位置への移動を
完了し第６ステップから第１２ステップを繰り返す。

【００３３】全検査が終了すると（第１１ステップ）、
ワークセット位置を排出位置に移動させ（第１３ステッ
プ）、検査画像と合成マスタ画像を比較して欠陥部分を
検査し（第１４ステップ）、排出位置に移動を完了した
ら（第１５ステップ）、検査基板を排出して終了する。

【００３４】（第１実施例装置の作用・効果）上記構成
の第１実施例装置は、検査画像のＡ、Ｂ、Ｃ部までの距
離を用いてマスタ画像の重ね合わせを行うことにより得
られた合成マスタ画像データと検査画像データとを比較
するので、検査画像データをずれ量だけずらすよりも容
易に行うことができるという作用効果を奏する。

【００３５】また第１実施例装置は、マスタ画像をある
割合で収縮および膨張させて検査画像と比較するので、
許容値以内のパターンの欠けおよびにじみを欠陥として
誤検知することを防止するという作用効果を奏する。

【００３６】さらに第１実施例装置は、検査基板の大き
さに応じてマスタ画像の大きさを補正するので、許容値
以内の検査基板の大きさの変化に伴う誤検知を防止する
という作用効果を奏する。

【００３７】各層のマスタ画像データはそれぞれ記憶手
段に記憶されているので収縮および膨張、縮小および拡
大の処理が容易であるとともに、処理された各層のマス
タ画像を合成したものと検査画像とを比較するので比較
が容易であるという効果を奏する。

【００３８】上述したように検査終了前に次検査位置に
移動するので、次検査位置への移動に要する時間が検査
時間のロスタイムとして加算されないので高速検査を可
能にするという効果を奏する。

【００３９】（第２実施例）第２実施例のプリント基板
の検査装置は、層間ずれが生じても重なり合わない部分
の寸法を測定して層間ずれを算出するとともに、検査画
像をずれ量により補正する点が第１実施例と相違する点
である。

【００４０】すなわち図１３の（ａ）ないし（ｃ）に示
す各層の透過画像を正確に重ね合わせると図１４の
（ａ）に示すようになり、図１４の（ａ）中の円で示す
ようなパターン同士が重なり合わない部分がある。図１
４の（ｂ）は、検査基板の透視画像を示し、層間ずれが
生じても図１４の（ｂ）中の円部分は重なり合わない。
図１４の（ｂ）中の円部分を拡大したものが図１４の
（ｃ）であり、図中Ｄ〜Ｆの寸法により層間ずれ量を求
めることができる。ＤおよびＥの値によりθ方向のずれ
量が算出でき、ＥおよびＦの値によりＸ、Ｙ方向のずれ
量が算出できる。図１４の（ｃ）は２層および３層間の
ずれ量を算出したものであるが、同様にして１〜２層間
のずれ量を求めることができる。求めたずれ量により検
査画像を補正して、補正検査画像とマスタ画像とを比較
して、欠陥を検出するものである。

【００４１】上記構成の第２実施例装置は、パターンが
重なり合わない部分の寸法によりずれ量を算出するもの
であるため、ずれ量の算出が容易であり、且つ正確であ
るという作用効果を奏する。

【００４２】（第３実施例）第３実施例のプリント基板
の検査装置は、２層間の重なり合った部分を利用して層
間ずれ量を算出する点が第１実施例と相違する点であ
る。

【００４３】すなわち、図１５の（ａ）ないし（ｃ）
は、各層の透視画像を示し、正確に重ね合わせると図１
６の（ａ）のようになり、図１６の（ａ）中の円部分で
示すように２層間のみ重なり合う部分が有る。図１６の
（ｂ）は、検査基板の透視画像を示し、層間ずれが生じ
ても上記円部分は重なり合った状態である。図１６の
（ｂ）の円部分を拡大したものが図１６の（ｃ）であ
り、図中Ｇ、Ｈ、Ｉの寸法により、前記第２実施例と同
様に層間ずれ量を算出し、マスタ画像を補正して（マス
タ画像のＧ、Ｈ、Ｉの寸法を検査画像のＧ、Ｈ、Ｉの寸
法にする）、両者を比較し、欠陥を検出するものであ
る。

【００４４】上記構成の第３実施例装置は、パターンの
重なり合わない部分が無いようなプリント基板を検査す
る場合には、真価を発揮する。

【００４５】上述の実施例は、説明のために例示したも
ので、本発明としてはそれらに限定されるものでは無
く、特許請求の範囲の記載から当業者が認識することが
できる本発明の技術思想に反しない限り変更および付加
が可能である。

【００４６】上述の実施例において光源としてＸ線を用
いたが、本発明はそれに限るものではなく、基板の種類
に応じて紫外線、可視光、赤外線、その他の放射線等が
利用可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例装置を示すシステムブロッ
ク図である。

【図２】１層目の基板側面のマスタ画像およびそのグレ
ーレベルを示す線図である。

【図３】２層目の基板側面のマスタ画像およびそのグレ
ーレベルを示す線図である。

【図４】３層目の基板側面のマスタ画像およびそのグレ
ーレベルを示す線図である。

【図５】各層の基板側面の検査画像およびそのグレーレ
ベルを示す線図である。

【図６】各層の基板側面の合成マスタ画像およびそのグ
レーレベルを示す線図である。

【図７】各層の基板のマスタ画像を示す平面図である。

【図８】各層の基板のマスタ画像を単純に重ね合わせた
画像および検査画像を示す平面図である。

【図９】各層の基板側面の合成マスタ画像の収縮および
そのグレーレベルを示す線図である。

【図１０】各層の基板側面の合成マスタ画像の膨張およ
びそのグレーレベルを示す線図である。

【図１１】各層の基板側面の縮小検査画像およびそのグ
レーレベルを示す線図である。

【図１２】第１実施例装置のプリント基板の検査方法を
示すフローチャート図である。

【図１３】第２実施例における各層の基板のマスタ画像
を示す平面図である。

【図１４】各層の基板のマスタ画像を単純に重ね合わせ
た画像、検査画像および検査画像の一部を拡大した部分
を示す平面図である。

【図１５】第３実施例における各層の基板のマスタ画像
を示す平面図である。

【図１６】各層の基板のマスタ画像を単純に重ね合わせ
た画像、検査画像および検査画像の一部を拡大した部分
を示す平面図である。

【符号の説明】

１照射手段２記憶手段３位置ずれ量算出手段４補正手段５欠陥検出手段６コントローラ７カラーモニタ１０制御機構１１Ｘ線発生装置２１Ｘ線ホロスコープ２２ＣＣＤ撮像素子２３前処理部２４各層マスタ画像記憶部２５検出画像記憶部３０層間ずれ量算出部４０マスタ画像合成部５０グレーレベル比較部６１各軸コントローラ６２各軸ドライバー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０５Ｋ 3/00 Ｑ 3/46 Ｗ 6921−4Ｅ (72)発明者氷上好孝京都府京都市南区上鳥羽大柳町１番５ダックエンジニアリング株式会社内 (72)発明者小野隆史京都府京都市南区上鳥羽大柳町１番５ダックエンジニアリング株式会社内 (72)発明者岡本宏巳京都府京都市南区上鳥羽大柳町１番５ダックエンジニアリング株式会社内 (56)参考文献特開昭59−87345（ＪＰ，Ａ)

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】欠陥の無い多層に形成された部分を有す
るマスタ基板に光源からの光線を照射する工程と、マスタ基板の各層からの透過光あるいは反射光のグレー
レベルを持ったマスタ画像データを記憶する工程と、多層に形成された部分を有する検査基板に光源からの光
線を照射する工程と、検査基板の各層からの透過光ある
いは反射光のグレーレベルを持った検査画像データを記
憶する工程と、検査画像データのマスタ画像データに対する相対的な各
層の位置ずれ量を算出する工程と、この各層の位置ずれ量に基づき各層の位置ずれを補正し
補正画像データを作成する工程と、前記検査画像データまたはマスタ画像データと補正画像
データとを比較し、欠陥を検出する工程とから成ること
を特徴とする基板の欠陥検査方法。
【請求項２】多層に形成された部分を有する検査基板
に適した光源によるＸ線、紫外線、可視光、赤外線等の
光線を多層に形成された部分を有する欠陥の無いマスタ
基板および検査基板に照射する照射手段と、マスタ基板および検査基板の各層からの透過光あるいは
反射光のグレーレベルを持ったマスタ画像データおよび
検査画像データを記憶する記憶手段と、検査画像データのマスタ画像データに対する相対的な各
層の位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出手段と、上記検出した各層の位置ずれ量に基づき各層の位置ずれ
を補正して補正画像データを作成する補正手段と、検査画像データまたはマスタ画像データと補正画像デー
タとを比較し、欠陥を検出する欠陥検出手段とから成る
ことを特徴とする基板の欠陥検査装置。
【請求項３】複数のプリント層あるいは重ね刷り層を
有するプリント基板であって、欠陥の無いマスタ基板お
よび検査する検査基板の各層に光源からの光線を照射す
る照射手段と、マスタ基板および検査基板の各層からの透過光あるいは
反射光を電気信号としてグレーレベルを持ったマスタ画
像データおよび検査画像データを記憶する記憶手段と、検査画像データのマスタ画像データに対する相対的な位
置ずれ量を算出する位置ずれ量算出手段と、算出された位置ずれ量に基づきマスタ画像データおよび
検査画像データのうち少なくとも一方のデータにおいて
位置ずれを補正し、補正画像データを作成する補正手段
と、この補正画像データと検査画像データあるいはマスタ画
像データとを比較し、プリント基板の各層における欠陥
を検出する欠陥検出手段とから成ること特徴とする基板
の欠陥検査装置。
【請求項４】請求項３において、マスタ画像データを一定の割合で収縮あるいは膨張の処
理を加える処理手段を有し、処理手段により処理された
マスタ画像データと検査画像データとを比較することに
より欠陥を検出することを特徴とする基板の欠陥検査装
置。