JPH0778866B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH0778866B2 JPH0778866B2 JP29767786A JP29767786A JPH0778866B2 JP H0778866 B2 JPH0778866 B2 JP H0778866B2 JP 29767786 A JP29767786 A JP 29767786A JP 29767786 A JP29767786 A JP 29767786A JP H0778866 B2 JPH0778866 B2 JP H0778866B2
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Landscapes
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気記録媒体に関し、詳しくは磁気特性が良
好で強ジンな窒化鉄薄膜を有する磁気記録媒体に関す
る。
好で強ジンな窒化鉄薄膜を有する磁気記録媒体に関す
る。
磁気記録媒体としては、従来より強磁性体粉末を有機バ
インダー中に分散させた磁性塗料を非磁性基体上に塗布
し乾燥させて得た塗布型のものが広く使用されてきてい
る。しかしながら、この塗布型磁気記録媒体は、強磁性
体粉末として主として金属酸化物粉末を用いているため
に飽和磁化が小さく、有機バインダーを含むために磁性
層中の強磁性体の濃度を上げられず、それにより高密度
記録には適しておらず、また製造工程が複雑であるなど
の欠点を有する。
インダー中に分散させた磁性塗料を非磁性基体上に塗布
し乾燥させて得た塗布型のものが広く使用されてきてい
る。しかしながら、この塗布型磁気記録媒体は、強磁性
体粉末として主として金属酸化物粉末を用いているため
に飽和磁化が小さく、有機バインダーを含むために磁性
層中の強磁性体の濃度を上げられず、それにより高密度
記録には適しておらず、また製造工程が複雑であるなど
の欠点を有する。
近年高密度記録への要求が高まり、これに対応して金属
薄膜を非磁性基体上に形成した磁性記録媒体が開発され
つつある。これは直空蒸着、スパツタリング、イオンプ
レーテイング等のベーパーデポジシヨン法、あるいは電
気メツキ、無電解メツキ等のメツキ法によつて金属薄膜
を非磁性基体上に形成するもので、磁性体としては金属
に限られないものであるが、金属が代表的であるので、
以下これを有する磁気記録媒体を金属薄膜型磁気記録媒
体という。また、この型式のものは有機バインダーを含
有しないので非バインダー型磁気記録媒体とも呼ばれ
る。
薄膜を非磁性基体上に形成した磁性記録媒体が開発され
つつある。これは直空蒸着、スパツタリング、イオンプ
レーテイング等のベーパーデポジシヨン法、あるいは電
気メツキ、無電解メツキ等のメツキ法によつて金属薄膜
を非磁性基体上に形成するもので、磁性体としては金属
に限られないものであるが、金属が代表的であるので、
以下これを有する磁気記録媒体を金属薄膜型磁気記録媒
体という。また、この型式のものは有機バインダーを含
有しないので非バインダー型磁気記録媒体とも呼ばれ
る。
この金属薄膜型磁気記録媒体においては飽和磁化の大き
い強磁性金属をバインダーを含有しない状態で薄膜とし
て形成させることができるので、塗布型に比して高保磁
力化と薄膜化が行われ、しかも製造工程が簡単化される
ため、注目を集めている。
い強磁性金属をバインダーを含有しない状態で薄膜とし
て形成させることができるので、塗布型に比して高保磁
力化と薄膜化が行われ、しかも製造工程が簡単化される
ため、注目を集めている。
しかし、金属薄膜型磁気記録媒体の金属薄膜は見かけは
均一で平滑な金属の面を有しているが、微細構造では粗
なもので金属微粒子が並んでいるような構造を有してい
るために、腐蝕され易く、このためこの型の磁気記録媒
体は途布型磁気記録媒体と比較して耐候性及び耐蝕性が
劣つている。特にカセツトテープやビデオテープ等とし
て用いられる磁気記録媒体は記録、再生時に該媒体表面
が磁気ヘツドで擦られるため、金属薄膜上に極めてわず
かに錆が存在していても、摩擦によりそれが脱落してヘ
ツドに目詰りが生じ、それによりヘツド及び磁気記録媒
体に傷がつく。
均一で平滑な金属の面を有しているが、微細構造では粗
なもので金属微粒子が並んでいるような構造を有してい
るために、腐蝕され易く、このためこの型の磁気記録媒
体は途布型磁気記録媒体と比較して耐候性及び耐蝕性が
劣つている。特にカセツトテープやビデオテープ等とし
て用いられる磁気記録媒体は記録、再生時に該媒体表面
が磁気ヘツドで擦られるため、金属薄膜上に極めてわず
かに錆が存在していても、摩擦によりそれが脱落してヘ
ツドに目詰りが生じ、それによりヘツド及び磁気記録媒
体に傷がつく。
さらに、金属薄膜型磁気記録媒体は耐久性が小さいとい
う問題がある。この型の磁気記録媒体では塗布型のそれ
に比べより平滑な基体を用いるため摩擦が大きくハリツ
キを起り易いなどの問題があり、VTRにおけるスチル耐
久性等において塗布型のものに比して劣つている。
う問題がある。この型の磁気記録媒体では塗布型のそれ
に比べより平滑な基体を用いるため摩擦が大きくハリツ
キを起り易いなどの問題があり、VTRにおけるスチル耐
久性等において塗布型のものに比して劣つている。
このような金属薄膜型磁気記録媒体の耐候性及び耐久性
を改良するために、FeyN（式中ｙは２〜８である）で示
される窒化鉄を５％以上含んでいるFe系薄膜を基材上に
有する磁気記録媒体が提案されている（特開昭60−2349
62号、特開昭60−236113号）。
を改良するために、FeyN（式中ｙは２〜８である）で示
される窒化鉄を５％以上含んでいるFe系薄膜を基材上に
有する磁気記録媒体が提案されている（特開昭60−2349
62号、特開昭60−236113号）。
しかし、この窒化鉄を含有するFe系薄膜を磁性層として
有する磁気記録媒体などは耐蝕性がある程度改善される
が、磁気特性はあまり良くない。
有する磁気記録媒体などは耐蝕性がある程度改善される
が、磁気特性はあまり良くない。
そこで、本発明は耐蝕性に富むとともに磁気特性の良好
な磁気記録媒体を得ようとするものである。
な磁気記録媒体を得ようとするものである。
本発明は、窒化鉄薄膜を設けた磁気記録媒体について窒
化鉄がγ′−Fe4Nを含むことにより磁気特性の良好な磁
性層とし、またFeOXを含むことにより薄膜を強靭なもの
とした。
化鉄がγ′−Fe4Nを含むことにより磁気特性の良好な磁
性層とし、またFeOXを含むことにより薄膜を強靭なもの
とした。
すなわち、本発明は、非磁性基体上にα−Fe、γ′−Fe
4N、α″−Fe8N、ε−Fe２〜３、FeOXの混合物よりなる
窒化鉄薄膜を設けた磁気記録媒体であつて、 α−Fe:ε−Fe２〜３N:γ′−Fe4N:α″−Fe8N ＝a:b:c:d としたとき、 ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１ ａ≧0.10、0.70≧ｂ≧0.20、ｃ≧0.05 の関係を満たすことを特徴とする磁気記録媒体である。
4N、α″−Fe8N、ε−Fe２〜３、FeOXの混合物よりなる
窒化鉄薄膜を設けた磁気記録媒体であつて、 α−Fe:ε−Fe２〜３N:γ′−Fe4N:α″−Fe8N ＝a:b:c:d としたとき、 ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１ ａ≧0.10、0.70≧ｂ≧0.20、ｃ≧0.05 の関係を満たすことを特徴とする磁気記録媒体である。
本発明における窒化鉄薄膜は、純粋な窒化鉄のみによつ
て構成されるものではなく、α−Fe、ε−Fe２〜３Ｎ、
γ′−Fe4N、α″−Fe8N等のいわゆる窒化鉄系物質を含
み、かつ一般にFeOXで表わされる酸化鉄も含んでいる。
ε−Fe２〜３Ｎの含有量は前記のａ、ｂ、ｃ、ｄの和に
対し0.70≧ｂ≧0.20の間にあることが必要であるが、そ
の量が0.70を越すと保磁力が著しく低下する。γ′−Fe
4Nは前記の和の0.05より大きいことが必要である。ま
た、前記のFeOXは、α−FeとFeXNとの和に対し0.1〜2:1
の割合であることが好ましい。
て構成されるものではなく、α−Fe、ε−Fe２〜３Ｎ、
γ′−Fe4N、α″−Fe8N等のいわゆる窒化鉄系物質を含
み、かつ一般にFeOXで表わされる酸化鉄も含んでいる。
ε−Fe２〜３Ｎの含有量は前記のａ、ｂ、ｃ、ｄの和に
対し0.70≧ｂ≧0.20の間にあることが必要であるが、そ
の量が0.70を越すと保磁力が著しく低下する。γ′−Fe
4Nは前記の和の0.05より大きいことが必要である。ま
た、前記のFeOXは、α−FeとFeXNとの和に対し0.1〜2:1
の割合であることが好ましい。
非磁性基体上にこの窒化鉄薄膜からなる磁性層を形成さ
せるには、非磁性基体の表面上にいわゆる斜め蒸着法に
より磁性蒸着膜を蒸着させて行う。この蒸着はルツボ内
に入れられた鉄を電子ビームによつて加熱し、鉄原子を
蒸発させて非磁性基体上に斜めに入射させて蒸着させる
が、そのさいルツボの上にイオンガンを設けてそこから
窒化イオンを供給し、また酸素はイオンガンに窒素とと
もに供給してもよいし、また蒸着域に雰囲気ガスとして
入れておいてもよい。
せるには、非磁性基体の表面上にいわゆる斜め蒸着法に
より磁性蒸着膜を蒸着させて行う。この蒸着はルツボ内
に入れられた鉄を電子ビームによつて加熱し、鉄原子を
蒸発させて非磁性基体上に斜めに入射させて蒸着させる
が、そのさいルツボの上にイオンガンを設けてそこから
窒化イオンを供給し、また酸素はイオンガンに窒素とと
もに供給してもよいし、また蒸着域に雰囲気ガスとして
入れておいてもよい。
電子ビームの強度を調節するとともに、供給される窒素
イオン、それと供給される酸素ガスの量を調整すること
によつて、磁性層に含有される鉄、窒素、酸素の量を所
定の範囲にあるようにすることができる。
イオン、それと供給される酸素ガスの量を調整すること
によつて、磁性層に含有される鉄、窒素、酸素の量を所
定の範囲にあるようにすることができる。
第１図は、蒸着により金属薄膜を形成するための装置１
であり、非磁性基体２の表面上に窒化鉄薄膜が蒸着され
る。ルツボ３内の蒸着材料の鉄４を置き、それに電子銃
５から電子ビームを照射して鉄原子を蒸発させ、磁場に
より非磁性基体へ向わせ基体上に斜め蒸着させる。イオ
ンガン６に窒素７に供給し、イオン化した窒素を蒸着域
に供給するとともに、アンモニア及び酸素を導入管８か
ら供給する。蒸着時の真空度は大体10-4〜10-6Torrが用
いられる。
であり、非磁性基体２の表面上に窒化鉄薄膜が蒸着され
る。ルツボ３内の蒸着材料の鉄４を置き、それに電子銃
５から電子ビームを照射して鉄原子を蒸発させ、磁場に
より非磁性基体へ向わせ基体上に斜め蒸着させる。イオ
ンガン６に窒素７に供給し、イオン化した窒素を蒸着域
に供給するとともに、アンモニア及び酸素を導入管８か
ら供給する。蒸着時の真空度は大体10-4〜10-6Torrが用
いられる。
本発明の磁気記録媒体の上に設ける磁性層の厚さは、一
般には0.02〜5.0μｍ、好ましくは0.05〜2.0μｍであ
る。
般には0.02〜5.0μｍ、好ましくは0.05〜2.0μｍであ
る。
本発明で用いられる非磁性基体としては、ポリエチレン
テレフタレート、ポリイミド、ポリアミド、ポリ塩化ビ
ニール、三酢酸セルロース、ポリカーボネートのような
プラスチツクスの基体が用いられる。
テレフタレート、ポリイミド、ポリアミド、ポリ塩化ビ
ニール、三酢酸セルロース、ポリカーボネートのような
プラスチツクスの基体が用いられる。
本発明の磁気記録媒体における磁性層上に潤滑剤層を形
成してもよく、潤滑剤としては、炭素数12〜18個の脂肪
酸、前記脂肪酸の金属塩、シリコーンオイル、炭素数２
〜20個の一塩基脂肪酸と炭素数３〜12個の一価アルコー
ルからなる脂肪酸エステル類から選ばれる少くとも１種
が使用される。添加量としては磁性層上に0.5〜20g/m2
存在させるのがよい。
成してもよく、潤滑剤としては、炭素数12〜18個の脂肪
酸、前記脂肪酸の金属塩、シリコーンオイル、炭素数２
〜20個の一塩基脂肪酸と炭素数３〜12個の一価アルコー
ルからなる脂肪酸エステル類から選ばれる少くとも１種
が使用される。添加量としては磁性層上に0.5〜20g/m2
存在させるのがよい。
本発明の磁気記録媒体においては、必要により非磁性基
体の磁性層側と反対の面にバツク層を設けてもよい。
体の磁性層側と反対の面にバツク層を設けてもよい。
また、窒化鉄薄膜の磁性層と非磁性基体との間に有機物
或いは無機物からなる層を設けてもよい。
或いは無機物からなる層を設けてもよい。
以下、実施例により本発明を詳細に説明するが、本発明
はこの実施例に限られるものではない。
はこの実施例に限られるものではない。
実施例１ 第１図に示す蒸着装置を用いて、厚さμｍのポリイミド
フイルムを基体として、その上に斜め蒸着法により鉄、
窒素、酸素を含有する磁性層を形成させて磁気テープを
製造した。蒸着時の真空度を5.0×10-5Torrとした。ル
ツボに鉄を入れ電子銃により電子ビームを当てて鉄を蒸
着し、カウフマン型イオン銃で窒素ガスをイオンビーム
化して、窒素イオンを供給し、また基板部分にアンモニ
アと酸素との等量混合ガスを導入して蒸着を行つた。Ｎ
イオン照射量、NH3、O2導入量を種々変更することによ
り下表に示す組成の薄膜を形成した。蒸着速度は10Å/s
ec.とした。
フイルムを基体として、その上に斜め蒸着法により鉄、
窒素、酸素を含有する磁性層を形成させて磁気テープを
製造した。蒸着時の真空度を5.0×10-5Torrとした。ル
ツボに鉄を入れ電子銃により電子ビームを当てて鉄を蒸
着し、カウフマン型イオン銃で窒素ガスをイオンビーム
化して、窒素イオンを供給し、また基板部分にアンモニ
アと酸素との等量混合ガスを導入して蒸着を行つた。Ｎ
イオン照射量、NH3、O2導入量を種々変更することによ
り下表に示す組成の薄膜を形成した。蒸着速度は10Å/s
ec.とした。
それらについて抗磁力（Hc）、角型比（SQ）、およびス
コツチテープによる脱ハクリテストを行なつた。結果を
下表にあわせてしめす。
コツチテープによる脱ハクリテストを行なつた。結果を
下表にあわせてしめす。
測定法：α−Fe、ε−Fe２〜３Ｎ、γ′−Fe4N、α″−
Fe8Nの量比（atomic％）はメスバウアー分光法により、
ピーク強度比より決定。
Fe8Nの量比（atomic％）はメスバウアー分光法により、
ピーク強度比より決定。
FeOX量はオージエ電子分光法（AES）によりFeNX100に対
する量比を決定。Hc,SQ:VSM（振動磁束計）により測
定。
する量比を決定。Hc,SQ:VSM（振動磁束計）により測
定。
ハクリ；スコツチテープを膜面に貼り引はがしテスト。
はがれない○、若干ハガレあり△、全面ハガレ×。
本発明の磁気記録媒体は、耐蝕性に富むとともに磁気特
性が良好である。これは窒化鉄薄膜にγ′−Fe4Nを十分
量含有するために磁気特性が大きい。第１表に示すよう
に抗磁力（Hc）、角型比（SQ）が大きい。さらに、FeOX
をも含有しているため膜が強靭であつて、スコツチテー
プにより膜ハクリテストでも良い成績が得られる。この
ため、本発明の磁気記録媒体は実用性が高い。
性が良好である。これは窒化鉄薄膜にγ′−Fe4Nを十分
量含有するために磁気特性が大きい。第１表に示すよう
に抗磁力（Hc）、角型比（SQ）が大きい。さらに、FeOX
をも含有しているため膜が強靭であつて、スコツチテー
プにより膜ハクリテストでも良い成績が得られる。この
ため、本発明の磁気記録媒体は実用性が高い。
第１図は、本発明の磁気記録媒体を製造するための蒸着
装置である。 １……蒸着装置、２……非磁性基体 ３……ルツボ、４……鉄（蒸着材料） ５……電子銃、６……イオンガス ７……窒素 ８……アンモニア、酸素導入管
装置である。 １……蒸着装置、２……非磁性基体 ３……ルツボ、４……鉄（蒸着材料） ５……電子銃、６……イオンガス ７……窒素 ８……アンモニア、酸素導入管
Claims (1)
- 【請求項１】非磁性基体上にα−Fe、γ′−Fe4N、α″
−Fe8N、ε−Fe２〜３Ｎ、FeOXの混合物よりなる窒化鉄
薄膜を設けた磁気記録媒体であつて、 α−Fe:ε−Fe２〜３N:γ′−Fe4N:α″−Fe8N ＝a:b:c:d としたとき、 ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１ ａ≧0.10、0.70≧ｂ≧0.20、ｃ≧0.05 の関係を満たすことを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29767786A JPH0778866B2 (ja) | 1986-12-16 | 1986-12-16 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29767786A JPH0778866B2 (ja) | 1986-12-16 | 1986-12-16 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63152019A JPS63152019A (ja) | 1988-06-24 |
| JPH0778866B2 true JPH0778866B2 (ja) | 1995-08-23 |
Family
ID=17849710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29767786A Expired - Fee Related JPH0778866B2 (ja) | 1986-12-16 | 1986-12-16 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0778866B2 (ja) |
-
1986
- 1986-12-16 JP JP29767786A patent/JPH0778866B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63152019A (ja) | 1988-06-24 |
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