JPH0781807B2

JPH0781807B2 - 位置検出装置

Info

Publication number: JPH0781807B2
Application number: JP60247753A
Authority: JP
Inventors: 英生新倉
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1985-11-05
Filing date: 1985-11-05
Publication date: 1995-09-06
Anticipated expiration: 2010-09-06
Also published as: JPS62106303A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は例えば自動旋盤等種々の工作機械に使用して好
適な位置検出装置に関する。

〔発明の概要〕

本発明は例えば自動旋盤等種々の工作機械に使用して好
適な位置検出装置において、一定のピッチで着磁された
マグネットとこのマグネットのピッチに対して所定のピ
ッチに配された複数の磁電変換素子を有しマグネットに
対し相対的に移動する如くすると共にマグネット上の位
置に対応した２相以上の位置信号を出力する位置検出ヘ
ッドとを設け、位置信号をカウントしてマグネット上の
所定の区間を表わすカウント信号を得ると共にこのカウ
ント信号と外部よりの所望の区間指定信号とを比較し、
その比較結果に基づいてこの２相以上の位置信号から所
望相の位置信号選択し、この区間指定信号と所望相の位
置信号のアナログ値とでマグネットに対する位置検出ヘ
ッドの位置を検出する様にしたことにより、着磁ピッチ
以下の微小変位も検出し得る様にして所謂不感帯を生じ
ない様にし、着磁ピッチによって決定される分解能以上
の高分解能の位置検出を行うことができる様にしたもの
である。

〔従来の技術〕

一般に自動旋盤等種々の工作機械に使用される位置検出
装置として第８図Ａにその要部を示す如きものが使用さ
れている。

この第８図Ａにおいて（１）は一定のピッチでＮ極及び
Ｓ極が配されたマグネットを示し、このマグネット
（１）に対応して所定の間隔をもって位置検出用磁気ヘ
ッド（２）が配され、この位置検出用磁気ヘッドを矢印
ａ及びｂの方向に移動し得る様にされている。

この様に要部を構成された位置検出装置においては、位
置検出用磁気ヘッド（２）を移動させた場合、第８図Ｂ
に示す如くマグネット（１）の着磁パターンの境に対応
する位置でその絶対値が最大値となる様な出力信号
（３）を得ることができる。

従って、本例の位置検出装置においては、この様にして
得られる出力信号（３）を所定の位置を基準として所定
のカウンタ（図示せず）を用いてピーク毎に計数するこ
とによって位置検出用ヘッド（２）のマグネット（１）
に対する位置を検出することができる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、斯る従来の位置検出装置においては、第
８図Ｂに示す如き出力信号（３）のピーク数を計数すく
ことによって位置検出用磁気ヘッド（２）のマグネット
（１）に対する位置を検出する如くされているので、出
力信号（３）のピークとピークとの間においては所謂不
感帯となり位置検出をすることができない。そこで、斯
る従来の位置検出装置において高分解能の位置検出を実
現するためには着磁ピッチを非常に細かくしなければな
らないが、この場合において良好な出力信号を得るため
には位置検出ヘッド（２）とマグネット（１）の間隙も
非常に狭くしなければならず、従って、0.1mm程度の着
磁ピッチが限度となってしまう。このため高分解能の位
置検出をすることができず、位置サーボをかけようとす
る場合には、分解能以下の部分においては不感帯となる
ためにサーボが非常にかけにくいという不都合があっ
た。

本発明は、斯る点に鑑み、マグネット（１）の着磁ピッ
チによって決定される分解能以上の高分解能を得ること
ができる様にした位置検出装置を提供することを目的と
する。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明に依る位置検出装置は、第１図及び第２図に示す
如く、一定のピッチで着磁されたマグネット（１）とこ
のマグネット（１）のピッチに対して所定のピッチに配
された複数の磁電変換素子（５）（６）（７）（８）を
有しマグネット（１）に対し相対的に移動する如くする
と共にマグネット（１）上の位置に対応した２相以上の
位置信号を出力する位置検出ヘッド（９）とを設け、位
置信号をカウントしてマグネット上の所定の区間を表わ
すカウント信号を得ると共にこのカウント信号と外部よ
りの所望の区間指定信号とを比較し、その比較結果に基
づいてこの２相以上の位置信号から所望相の位置信号を
選択し、この区間指定信号と所望相の位置信号のアナロ
グ値とでマグネットに対する位置検出ヘッドの位置を検
出する様にしたものである。

〔作用〕

斯る本発明に依れば、位置検出ヘッド（９）から出力さ
れる位置信号をカウントしてマグネット（１）上の所定
の区間を表わすカウント信号を得ると共にこのカウント
信号と外部よりの所望の区間指定信号とを比較し、その
比較結果に基づいてこの２相以上の位置信号から所望相
の位置信号を選択し、この区間指定信号と選択された所
望相の位置信号のアナログ値とでマグネット（１）に対
する位置検出ヘッド（９）の位置を検出する様にされて
いるので、着磁ピッチ以下の微小変位も検出でき、着磁
ピッチによって決定される分解能以上の高分解能の位置
検出を行うことができる。

〔実施例〕

以下、第１図〜第７図を参照して本発明位置検出装置の
一実施例につき説明しよう。本例においてはマグネット
（１）を固定して位置検出ヘッド（９）をマグネット
（１）上所望の位置に移動させる場合につき説明する。

第１図において（１）は第８図従来例で示したと同様な
所定ピッチＰ₁でＮ極及びＳ極が配されたマグネットを
示し、このマグネット（１）に対し所定の間隔で矢印ａ
及びｂの方向に移動し得る様にされた位置検出ヘッド
（９）を配する。ここで本例においては、この位置検出
ヘッド（９）を第２図に示す如く４個の磁気抵抗素子
（５）（６）（７）（８）で構成する。この場合、磁気
抵抗素子間のピッチＰ₂をマグネット（１）の着磁ピッ
チＰ₁の４分の１になる如く配すると共に矢印ｃ及びｄ
の方向の磁界に対し抵抗値が最大値となり、矢印ｅ及び
ｆの方向の磁界に対し抵抗値が最小値となる様に配す
る。また第１の磁気抵抗素子（５）の一方の端子（5a）
と第２の磁気抵抗素子（６）の一方の端子（6a）とを接
続すると共にこの接続中点を直流電圧が供給される電源
端子（16）に接続する如くする。また第１の磁気抵抗素
子（５）の他方の端子（5b）と第３の磁気抵抗素子
（７）の一方の端子（7a）とを接続すると共にこの接続
中点を一方の出力端子（17）に接続する如くする。また
第２の磁気抵抗素子（６）の他方の端子（6b）と第４の
磁気抵抗素子（８）の一方の端子（8a）とを接続すると
共にこの接続中点を他方の出力端子（18）に接続する如
くする。また第３の磁気抵抗素子（７）の他方の端子
（7b）と第４の磁気抵抗素子（８）の他方の端子（8b）
とを接続すると共にこの接続中点を接地端子（19）に接
続する如くする。

この様に構成された位置検出ヘッド（９）においては、
第３図に示す如く電源端子（16）に所定の直流電圧を供
給すると共に接地端子（19）を接地する如くして第２図
Ａに示す如くこの位置検出ヘッド（９）を矢印ａの方向
に移動させると、一方の出力端子（17）には第２図Ｂに
示す如き正弦波出力信号Ｓ_Aが得られると共に他方の出
力端子（18）には第２図Ｃに示す如き正弦波出力信号Ｓ
_Bが得られる。

そこで本例においては第１図に示す如く、位置検出ヘッ
ド（９）の一方の出力端子（17）をオフセット調整され
た一方の増幅器（20）の入力側に接続しその出力側に位
置検出ヘッド（９）の一方の出力端子（17）に得られる
正弦波信号Ｓ_Aを増巾した信号Ｓ_Aを得ると共に一方の増
幅器（20）の出力側を振幅調整回路（21）の入力側に接
続し、その出力側に所定値に振幅調整された正弦波信号
Ｓ_Aを得る如くする。また振幅調整回路（21）の出力側
を一方の非反転器（22）及び一方の反転器（23）の夫々
の入力側に接続し、之等一方の非反転器（22）及び一方
の反転器（23）の夫々の出力側に第４図Ａ及び第４図Ｂ
に示す如く信号Ｓ_A及び信号Ｓを得る如くし、更に之
等信号Ｓ_A及び信号Ｓを夫々第１の選択回路（15）に
供給する如くする。

また位置検出ヘッド（９）の他方の出力端子（18）をオ
フセット調整された他方の増幅器（24）の入力側に接続
し、その出力側に位置検出ヘッド（９）の他方の出力端
子（18）に得られる正弦波信号Ｓ_Bを増幅した信号Ｓ_Bを
得ると共に他方の増幅器（24）の出力側を他方の振幅調
整回路（25）の入力側に接続し、その出力側に正弦波信
号Ｓ_Aと同一の値に振幅調整された正弦波信号Ｓ_Bを得る
如くする。また他方の振幅調整回路（25）の出力側を他
方の非反転器（26）及び他方の反転器（27）の夫々の入
力側に接続し、之等他方の非反転器（26）及び他方の反
転器（27）の夫々の出力側に第４図Ａ及び第４図Ｂに示
す如く信号Ｓ_B及びＳを得る如くし、更に之等信号Ｓ_B
及び信号Ｓを夫々第１の選択回路（15）に供給する如
くする。

また所定のハイレベル値の直流電圧Ｖ_Hを出力し得る第
１の定電圧電源（28）と所定のローレベル値の直流電圧
V_Lを出力し得る第２の定電圧電源（29）とを設け、之等
直流電圧Ｖ_H及びＶ_Lを夫々第１の選択回路（15）に供給
すく如くする。

また他方の非反転器（26）の出力側を第１の比較器（1
0）の非反転入力端子に接続し信号Ｓ_Bを非反転入力端
子に供給すると共に反転入力端子に可変抵抗器（3
0）を介して信号Ｓ_Bの平均電圧Ｖ_Bを供給する如くし、
この平均電圧Ｖ_Bを基準として第４図Ｃに示す如きデジ
タル信号Ｓ_Cを得る如くする。

また一方の非反転器（23）の出力側を第２の比較器（1
1）の非反転入力端子に接続し、信号Ｓ_Aを非反転入力
端子に供給すると共に反転入力端子に可変抵抗器
（31）を介して信号Ｓ_Aの平均電圧Ｖ_Aを供給する如く
し、この平均電圧Ｖ_Aを基準として第４図Ｄに示す如き
デジタル信号Ｓ_Dを得る如くする。

また第１の比較器（10）の出力信号Ｓ_Cを第１の選択回
路（15）に供給する如くすると共に第１の比較器（10）
の出力側をクロックジェネレータ（32）の入力側に接続
しこの出力側にＳ_C信号のカウント用のクロックパルス
及びアップカウントするのかダウンカウントするのかを
決定するアップ・ダウン信号を得る如くし、之等クロッ
クパルス及びアップ・ダウン信号を一方のカウンタ（1
2）に供給する如くし、この一方のカウンタ（12）にお
いて第５図に示す機能表に従ったカウンタを行う如くす
る。この第５図に示す機能表において“↑”及び“↓”
は信号Ｓ_Cの立上がり状態及び立下がり状態をを示し、
これに同期したクロックパルスがカウント信号としてカ
ウンタ（12）に供給される。また“H"及び“L"は信号Ｓ
_Dのハイレベル状態、所謂“1"及びローレベル状態、所
謂“0"を示し、このカウンタ（12）がアップカウントす
るのか、ダウンカウントするのかはこの信号Ｓ_Cの立上
がり状態及び立下がり状態と信号Ｓ_Dのハイレベル状態
及びローレベル状態とで決定される。

即ち、第５図に示す如く、この一方のカウンタ（12）は
信号Ｓ_Cの立上がり状態“↑”で信号Ｓ_Dのハイレベル状
態“H"のとき及び信号Ｓ_Cの立下がり状態“↓”で信号
Ｓ_Dのローレベル状態“L"のときアップカウントする如
くし、信号Ｓ_Cの立上がり状態“↑”で信号Ｓ_Dのローレ
ベル状態“L"のとき及び信号Ｓ_Cの立下がり状態“↓”
で信号Ｓ_Dのハイレベル状態“H"のときダウンカウント
する如くする。そして、この一方のカウンタ（12）のカ
ウント状態を表わしたものが第４図Ｅに示す線図であ
り、この場合、カウント値0,1,2,・・・は夫々マグネッ
ト（１）上の所定区間を表わす如くなる。そこで、以
下、このカウント値0,1,2,・・・に対応するマグネット
（１）上の区間をA0,A1,A2,・・・と表わす。

また第２の比較器（11）の出力信号Ｓ_Dを第１の選択回
路（15）に供給すると共に第２の比較器（11）の出力側
をクロックジェネレータ（32）の入力側に接続し、この
出力側にＳ_D信号のカウント用のクロックパルス及びア
ップカウントするのかダウンカウントするのかを決定す
るアップ・ダウン信号を得る如くし、之等クロックパル
ス及びアップ・ダウン信号を他方のカウンタ（13）に供
給する如くし、この他方のカウンタ（13）において第６
図に示す機能表に従ったカウントを行う如くする。この
第６図に示す機能表において“↑”及び“↓”は信号Ｓ
_Dの立上がり状態及び立下がり状態を示し、これに同期
したクロックパルスがカウント信号としてカウンタ（1
3）に供給される。また“H"及び“L"は信号Ｓ_Cのハイレ
ベル状態、所謂“1"及びローレベル状態、所謂“0"を示
し、このカウンタ（13）がアップカウントするのか、ダ
ウンカウントするのかはこの信号Ｓ_Dの立上がり状態及
び立下がり状態と信号Ｓ_Cのハイレベル状態及びローレ
ベル状態とで決定される。

即ち、第６図に示す如く、この他方のカウンタ（13）は
信号Ｓ_Dの立上がり状態“↑”で信号Ｓ_Cのハイレベル状
態“H"のとき及び信号Ｓ_Dの立下がり状態“↓”で信号
Ｓ_Cのローレベル状態“L"のときアップカウントする如
くし、信号Ｓ_Dの立上がり状態“↑”で信号Ｓ_Cのローレ
ベル状態“L"のとき及び信号Ｓ_Dの立下がり状態“↓”
で信号Ｓ_Cのハイレベル状態“H"のときダウンカウント
する如くする。そして、この他方のカウンタ（13）のカ
ウント状態を表わしたものが第４図Ｆに示す線図であ
り、この場合、カウント値0,1,2,・・・は夫々マグネッ
ト（１）上の所定区間を表わす如くなく。そこで以下、
このカウント値0,1,2,・・・に対応するマグネット
（１）上の区間をB0,B1,B2,・・・と表わす。

また一方のカウンタ（12）及び他方のカウンタ（13）の
出力側を夫々第２の選択回路（33）の入力側に接続し、
この第２の選択回路（33）において区間指定信号入力端
子（34）に入力される区間指定信号に対応して一方のカ
ウンタ（12）又は他方のカウンタ（13）の出力側のいず
れか一方を選択し、一方又は他方のカウンタ（12）又は
（13）の出力を取り出す如くする。

この区間指定信号入力端子（34）に供給する外部よりの
区間指定信号はマグネット（１）上の検出したい区間を
指定する信号で、本例ではカウンタ（12）又は（13）の
いずれを選択するかのカウンタの指定信号と区間指定値
Ｘとを含むものである。

また第２の選択回路（33）の出力側に得られるカウント
信号及び区間指定信号入力端子（34）よりの区間指定信
号の区間指定値Ｘを第３の比較器（14）の入力側に夫々
供給し、第２の選択回路（33）の出力側に得られるカウ
ント信号と区間指定信号とを比較してカウント値Ｙと区
間指定値Ｘとが一致した場合には第４図Ｇに示す如き信
号Ｓ_Gを第１の選択回路（15）に供給し、またカウント
値Ｙが区間指定値Ｘより大きいときは第４図Ｈに示す如
き信号Ｓ_Hを第１の選択回路（15）に供給し、またカウ
ントＹが区間指定値Ｘより小さいときは第４図Ｉに示す
如き信号Ｓ_Iを第１の選択回路（15）に供給する如くす
る。また区間指定信号のカウンタの指定信号を第１の選
択回路（15）に供給する如くする。

また第１の選択回路（15）においては、入力される信号
Ｓ_C,S_D,S_G,S_H,S_I及び区間指定信号に応答して第７図に
示す機能表に従って位置信号Ｓ_A,S,S_B,S、ハイレベ
ル直流電圧Ｖ_H又はローレベル直流電圧Ｖ_Lを選択して出
力する如くする。尚、この第７図に示す機能表において
“H"は信号のハイレベル状態を表わし、“L"はローレベ
ル状態を表わす。

また第１の選択回路（15）の出力側を第４の比較器（3
5）の反転入力端子に接続すると共に可変直流電圧電
源（36）を非反転入力端子に接続し、この第４の比較
器（35）の出力側を位置検出ヘッド（９）を矢印ａ及び
ｂの方向に移動し得るサーボモータ（37）に接続する如
くする。この場合、正の電圧がサーボモータ（37）に供
給されるときはサーボモータ（37）は位置検出ヘッド
（９）を矢印ａ側に移動し、負の電圧が供給されるとき
は位置検出ヘッド（９）を矢印ｂ側に移動する如くさせ
る。

次にこの様に構成された位置検出装置の動作につき説明
しよう。本例では先ず外部よりの区間指定信号によりA4
区間を指定区間として指定すると共に区間内位置指定用
電源（36）の電圧を第４図Ｊに示す如くＶ_Mに設定しＭ
点を指定した場合につき説明する。

この様にA4区間内のＭ点を指定した場合、区間指定信号
のカウンタ指定信号により第２の選択回路（33）は一方
のカウンタ（12）の出力信号Ｓ_Eを選択し、この信号Ｓ_E
を第３の比較器（14）に供給する。

そして、この場合、位置検出ヘッド（９）がA1区間内に
位置していたとすると、Ｘ＞Ｙであるから、第３の比較
器（14）は信号Ｓ_Iを第１の選択回路（15）に供給し、
第１の選択回路（15）はこの信号Ｓ_Iに応答し第７図の
機能表に基づいて第２の定電圧電源（29）を選択し、こ
の第２の定電圧電源（29）より出力されるローレベル直
流電圧Ｖ_Lを第４の比較器（35）の反転入力端子に供
給する如くなる。

この場合、第４の比較器（35）の非反転入力端子には
直流電圧Ｖ_M（Ｖ_M＞Ｖ_L）が供給されているので、電圧
差（Ｖ_M−Ｖ_L）（＞０）がエラー信号としてサーボモー
タ（37）に供給され、このサーボモータ（37）は位置検
出ヘッド（９）を矢印ａ側に移動させる如く回転する。

そして位置検出ヘッド（９）がA4区間内に入ると、Ｘ＝
Ｙとなるので第３の比較器（14）は信号Ｓ_Gを第１の選
択回路（15）に供給し、第１の選択回路（15）はこの信
号Ｓ_Gに応答して第７図の機能表に従って信号Ｓを選
択し、A4区間内においてその位置に応じて第４図Ｊに示
す如き電圧を出力し、その出力電圧を第４の比較器（3
5）の反転入力端子に供給する如くなる。そこで位置
検出ヘッド（９）がＭ点に達するまでは第１の選択回路
（15）から出力される電圧はＶ_Mより小さいので、エラ
ー信号は常に正の電圧値をとり、サーボモータ（37）は
回転し続ける。

そして位置検出ヘッド（９）がＭ点に達したときは第４
の比較器（35）の反転入力端子に供給される電圧と非
反転入力端子に供給される電圧は一致し、エラー電圧
は０〔Ｖ〕となるので、サーボモータ（37）は回転を停
止し、位置検出ヘッド（９）はＭ点に対応して停止す
る。

次に外部よりの区間指定信号によりB4区間を指定区間と
して指定すると共に区間内位置指定用電源（36）の電圧
を第４図ｋに示す如くＶ_Nに設定しＮ点を指定した場合
につき説明しよう。

この様にB4区間のＮ点を指定した場合、区間指定信号の
カウンタ指定信号により第２の選択回路（33）は他方の
カウンタ（13）の出力信号Ｓ_Fを選択し、この信号Ｓ_Fを
第３の比較器（14）に供給する。

そして、この場合、位置検出ヘッド（９）がB8区間内に
位置していたとするＸ＜Ｙであるから、第３の比較器
（14）は信号Ｓ_Hを第１の選択回路（15）に供給し、第
１の選択回路（15）はこの信号Ｓ_Hに応答し第７図の機
能表に基づいて第１の定電圧電源（28）を選択し、この
第１の定電圧電源（28）より出力されるハイレベル直流
電圧Ｖ_Hを第４の比較器（35）の反転入力端子に供給
する如くなる。

この場合、第４の比較器（35）の非反転入力端子には
直流電圧Ｖ_N（Ｖ_N＜Ｖ_H）が供給されているので、電圧
差（Ｖ_N−Ｖ_H）（＜０）がエラー信号としてサーボモー
タ（37）に供給され、このサーボモータ（37）は位置検
出ヘッド（９）を矢印ｂ側に移動させる如く回転する。

そして位置検出ヘッド（９）がB4区間内に入ると、Ｘ＝
Ｙとなるので、第３の比較器（14）は信号Ｓ_Gを第１の
選択回路（15）に供給し、第１の選択回路（15）はこの
信号S_Gに応答して第７図の機能表に従って信号S_Bを選択
し、B4区間内においてその位置に応じて第４図ｋに示す
如き電圧を出力し、その出力電圧を第４の比較器（35）
の反転入力端子に供給する如くなる。

そこで位置検出ヘッド（９）がＮ点に達するまでは第１
の選択回路（15）から出力される電圧はＶ_Nより大きい
ので、エラー信号は常に負の電圧値をとりサーボモータ
（37）は回転し続ける。

そして位置検出ヘッド（９）がＮ点に達したときは、第
４の比較器（35）の反転入力端子に供給される電圧と
非反転入力端子に供給される電圧は一致し、エラー電
圧は０〔Ｖ〕となるので、サーボモータ（37）は回転を
停止し、位置検出ヘッド（９）はＮ点に対応して停止す
る。

この様に本実施例に依れば、４個の磁気抵抗素子（５）
（６）（７）（８）で位置検出ヘッド（９）を構成し、
この位置検出ヘッド（９）から２相の位置信号Ｓ_A,S_Bを
得、更にこの位置信号Ｓ_A,S_Bをデジタル信号Ｓ_C,S_Dに変
換して位置検出ヘッド（９）がマグネット（１）に対し
て位置している区間を表示する信号Ｓ_E,S_Fを得、この信
号Ｓ_E,S_Fと区間指定信号とを比較し、マグネット（１）
に対して位置検出ヘッド（９）が位置する区間とマグネ
ット（１）に対する位置検出ヘッド（９）の指定区間と
が一致する様にサーボモータ（37）により位置検出ヘッ
ド（９）を移動させ、マグネット（１）に対して位置検
出ヘッド（９）が位置する区間とマグネット（１）に対
する位置検出ヘッド（９）の指定区間とが一致したとき
は、第１の選択回路（15）により所定の位置信号を選択
し、この位置信号の示す電圧と位置指定電圧とを比較し
て位置信号の示す電圧と位置指定電圧とが一致する様に
サーボモータ（37）により位置検出ヘッド（９）を指定
位置に移動する様にされている。

また本例においては位置検出ヘッド（９）の出力信号Ｓ
_A,S_Bを反転させた信号Ｓ,Sをも位置信号として用い
ているので、第４図Ｌの実線で示す如く之等位相の異な
る４相の位置信号の直線部分でマグネット（１）上のす
べての位置を指定することができる。

従って、本実施例に依れば、マグネット（１）の着磁ピ
ッチ以下の微小変位も検出でき、所謂不感帯を生じない
様にし、着磁ピッチによって検定される分解能以上の高
分解能の位置検出を行うことができるという利益があ
る。因みに本例においてはマグネット（１）と位置検出
ヘッド（９）との空隙が0.1mm〜0.4mm程度でも10μｍ程
度の高分解能の位置検出を実現することができる。しか
も本例においては位置検出ヘッド（９）が出力する位置
信号をそのまま使用しこの位置信号のアナログ値で位置
検出を行う如くしていくので、簡単な構造で高分解能の
位置検出を行うことができるという利益がある。

尚、上述実施例においては磁気抵抗素子（５）（６）
（７）（８）を用いた場合につき述べたが、この代り
に、ホール素子等その他の磁電変換素子を適用すること
もでき、この場合にも上述同様の作用効果を得ることが
できることは容易に理解できよう。

また上述実施例においては４個の磁気抵抗素子（５）
（６）（７）（８）を用い２相の位置信号Ｓ_A,S_Bを得る
様にした場合につき述べたが、この代りに、６個以上の
磁気抵抗素子を用い３相以上の位置信号を得る様にした
場合には、位置信号のより直線的な部分を使用すること
ができる様になるので、更に分解能を高めることができ
るという利益がある。

また上述実施例においては、マグネット（１）を固定し
位置検出ヘッド（９）を移動させるようにした場合につ
き述べたが、この代りに、位置検出ヘッド（９）を固定
しマグネット（１）を移動させることもでき、この場合
にも上述同様の作用効果を得ることができることは容易
に理解できよう。

更に本発明は上述実施例に限らず、本発明の要旨を逸脱
することなくその他種々の構成が取り得ることは勿論で
ある。

〔発明の効果〕

本発明に依れば、着磁ピッチ以下の微小変位も検出でき
る様にされているので、着磁ピッチによって決定される
分解能以上の高分解能の位置検出を行うことができると
いう利益がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明位置検出装置の一実施例を示す構成図、
第２図は本発明の一実施例で使用する位置検出ヘッドの
説明に供する線図、第３図は第２図Ａに示す位置検出ヘ
ッドの等価回路を示す線図、第４図は第１図例の説明に
供する線図、第５図は一方のカウンタの機能表を示す線
図、第６図は他方のカウンタの機能表を示す線図、第７
図は第１の選択回路の機能表を示す線図、第８図は従来
の位置検出装置の説明に供する線図である。（１）はマグネット、（５）（６）（７）及び（８）は
夫々磁気抵抗素子、（９）は位置検出ヘッド、（10）
（11）（14）及び（35）は夫々比較器、（12）及び（1
3）は夫々カウンタ、（15）及び（33）は夫々選択回
路、（28）及び（29）は直流定電圧電源、（32）はクロ
ックジェネレータ、（34）は区間指定信号入力端子、
（36）は区間内位置指定用可変電源、（37）はサーボモ
ータである。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一定のピッチで着磁されたマグネットと、
該マグネットの上記ピッチに対して所定のピッチに配さ
れた複数の磁電変換素子を有し上記マグネットに対し相
対的に移動する如くすると共に上記マグネット上の位置
に対応した２相以上の位置信号を出力する位置検出ヘッ
ドとを設け、上記位置信号をカウントして上記マグネッ
ト上の所定の区間を表わすカウント信号を得ると共に該
カウント信号と外部よりの所望の区間指定信号とを比較
し、この比較結果に基づいて上記２相以上の位置信号か
ら所望相の位置信号を選択し、上記区間指定信号と上記
所望相の位置信号のアナログ値とで上記マグネットに対
する上記位置検出ヘッドの位置を検出する様にしたこと
を特徴とする位置検出装置。