JPH0781834B2 - Chip component mounting inspection method - Google Patents
Chip component mounting inspection methodInfo
- Publication number
- JPH0781834B2 JPH0781834B2 JP2057434A JP5743490A JPH0781834B2 JP H0781834 B2 JPH0781834 B2 JP H0781834B2 JP 2057434 A JP2057434 A JP 2057434A JP 5743490 A JP5743490 A JP 5743490A JP H0781834 B2 JPH0781834 B2 JP H0781834B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- component mounting
- mounting position
- chip
- height
- surface height
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 51
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 26
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 35
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 18
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 13
- 101100141323 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) RNR2 gene Proteins 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- XBDRAUPLGHAFCU-UHFFFAOYSA-N 3-[6-amino-5-(6-ethoxynaphthalen-2-yl)pyridin-3-yl]-n-[2-(dimethylamino)ethyl]benzamide Chemical compound C1=CC2=CC(OCC)=CC=C2C=C1C(C(=NC=1)N)=CC=1C1=CC=CC(C(=O)NCCN(C)C)=C1 XBDRAUPLGHAFCU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004441 surface measurement Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、チップ部品装着検査方法に関し、特に基板の
反りやうねりによる装着良否の誤判定や判定漏れを防止
でき、しかも、安価な装置を用いて簡単に実施できるよ
うにしたチップ部品装着検査方法に関する。The present invention relates to a chip component mounting inspection method, and more particularly, to an erroneous determination of mounting quality due to warp or undulation of a substrate or omission of determination, and an inexpensive device. The present invention relates to a chip component mounting inspection method that can be easily implemented.
従来、プリント配線基板のチップ部品の装着を自動的に
検査する方法として、例えば特開昭62-299705号公報に
開示されているように、半導体レーザからレーザ光を部
品装着部を通過する経路上とこれに平行な経路上の2箇
所に照射し、プリント基板上の2箇所で反射した光をそ
れぞれラインセンサで検出し、プリント基板全体にわた
って一様に設定された最低基準値とこれらの検出値とを
比較して2値信号に変換し、2つの2値信号を入力する
オア回路の出力(Aビット信号)と、2つのラインセン
サの出力を直接比較して得た2値信号(Bビット信号)
とに基づいて部品の有無及び位置ずれの有無を検査する
方法(以下、従来例という。)が提案されている。Conventionally, as a method of automatically inspecting mounting of chip components on a printed wiring board, as disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 62-299705, a laser beam from a semiconductor laser is passed through a component mounting portion. And two points on a path parallel to this, and the light reflected by the two points on the printed circuit board are detected by the line sensor respectively, and the minimum reference value and these detected values set uniformly over the entire printed circuit board are detected. And a binary signal obtained by directly comparing the output of the OR circuit (A bit signal) that inputs the two binary signals and the output of the two line sensors (B bit signal)
A method (hereinafter referred to as a conventional example) for inspecting the presence / absence of a component and the presence / absence of a position shift based on the above is proposed.
ところで、一般にプリント基板の部品装着の良否を判定
する場合には、プリント基板を平面の上に載せている
が、プリント基板はスルーホールなどの孔加工時や部品
装着時に加熱され、この加熱によってプリント基板にう
ねりや反りが生じることが良く知られている。そして、
このプリント基板のうねりや反りはプリント基板に搭載
された部品の高さよりも高くなる場合もある。By the way, generally, when determining the quality of component mounting of a printed circuit board, the printed circuit board is placed on a flat surface. However, the printed circuit board is heated at the time of processing holes such as through holes and at the time of component mounting. It is well known that the substrate has waviness and warpage. And
The undulation or warpage of the printed circuit board may be higher than the height of the components mounted on the printed circuit board.
上記従来例によれば、例えばプリント基板の反りやうね
りがあった場合、上記最低基準値がプリント基板全体に
わたって一様に設定されているので、両ラインセンサの
一方又は両方のラインセンサが受光不能になったり、本
来他方のラインセンサで受光されるべき光線を受光した
りすることがある。その結果、例えば第2のラインセン
サが受光しなくなり、第1のラインセンサの出力が全体
にわたって第2のラインセンサの出力よりも大きくなっ
て、部品があるのに部品が検出されず、その装着の良否
を判定できなくなると共に、部品が存在しない“欠品”
と誤判定されたり、逆に第1のラインセンサが受光しな
くなり、第1のラインセンサの出力が全体にわたって第
2のラインセンサの出力よりも小さくなって、部品が存
在しないのに部品が存在すると誤判定されたりすること
が少なくない。According to the above conventional example, for example, when the printed circuit board is warped or undulated, the minimum reference value is set uniformly over the entire printed circuit board, so that one or both line sensors cannot receive light. Or a light beam that should otherwise be received by the other line sensor may be received. As a result, for example, the second line sensor does not receive light, the output of the first line sensor becomes larger than the output of the second line sensor over the entire area, and no component is detected even though there is a component, It is not possible to judge the quality of the product, and there are no parts.
The first line sensor no longer receives light, and the output of the first line sensor is smaller than the output of the second line sensor as a whole, and there are parts even though there are no parts. Then, it is not uncommon for an incorrect decision to be made.
本発明は、上記の事情を鑑み、基板の反りやうねりによ
る装着不良の誤判定や判定漏れを防止でき、しかも、安
価な装置を用いて簡単に実施できるようにしたチップ部
品装着検査方法の提供を目的とする。In view of the above circumstances, the present invention provides a chip component mounting inspection method capable of preventing erroneous determination of a mounting failure due to warpage or undulation of a substrate or omission of determination, and being easily implemented using an inexpensive device. With the goal.
本発明に係るチップ部品装着検査方法は、上記の目的を
達成するため、レーザー距離測定器によりプリント基板
を順次走査し、予め設定された部品装着位置ごとに、レ
ーザー距離測定器の受光光量と、走査経路上で部品装着
位置の直前の所定の区間に対して個別に与えられた基準
値とに基づいてプリント基板の表面高さを基準面高さと
して測定し、この測定に引き続いて部品装着位置におけ
るレーザー距離測定器の受光光量と、走査経路上で部品
装着位置に対個別に与えられた基準値とに基づいて部品
装着位置の表面高さを測定し、この部品装着位置の表面
高さと基準面高さとの差に基づいて部品装着の良否判定
を行うことを特徴とする。Chip component mounting inspection method according to the present invention, in order to achieve the above object, the printed circuit board is sequentially scanned by the laser distance measuring device, for each preset component mounting position, the received light amount of the laser distance measuring device, The surface height of the printed circuit board is measured as the reference surface height based on the reference value given individually for the specified section immediately before the component mounting position on the scanning path, and the component mounting position is subsequently measured. The surface height of the component mounting position is measured based on the amount of light received by the laser distance measuring instrument at and the reference value given individually to the component mounting position on the scanning path. It is characterized in that the quality of component mounting is determined based on the difference from the surface height.
本発明においては、プリント基板は検査に先立って平面
上に載置され、この平面に平行にレーザ距離測定機を二
次元方向に移動させたり、プリント基板及び平面をその
面方向に移動させたりすることにより、レーザー距離測
定器でプリント基板が順次走査される。In the present invention, the printed circuit board is placed on a plane prior to the inspection, and the laser distance measuring machine is moved in a two-dimensional direction parallel to the plane, or the printed circuit board and the plane are moved in the plane direction. As a result, the printed circuit board is sequentially scanned by the laser distance measuring device.
このレーザ距離測定機の走査経路は特に限定されない
が、プリント基板上に搭載された全てのチップ部品を走
査するように設定され、好ましくは、全てのチップ部品
を最短距離で結ぶ走査経路が選択される。The scanning path of this laser distance measuring machine is not particularly limited, but it is set to scan all the chip components mounted on the printed circuit board, and preferably the scanning path connecting all the chip components at the shortest distance is selected. It
この走査経路の予め設定された部品装着位置ごとに、走
査経路上で部品装着位置の直前のプリント基板の基板表
面の高さを、レーザー距離測定器の受光光量と、走査経
路上で部品装着位置の直前の所定の区間に対して個別に
与えられた基準値とに基づいて基準面位置として測定
し、この測定に引き続いて、部品装着位置におけるレー
ザー距離測定器の受光光量と、走査経路上で部品装着位
置に対個別に与えられた基準値とに基づいて部品装着位
置の表面高さを測定し、この部品装着位置の表面高さと
基準面位置との差を求め、この差の値によって部品装着
の良否判定が行われる。For each preset component mounting position on this scanning path, the height of the board surface of the printed circuit board immediately before the component mounting position on the scanning path, the received light amount of the laser distance measuring device, and the component mounting position on the scanning path. Is measured as the reference plane position based on the reference value given individually to the predetermined section immediately before, and following this measurement, the received light amount of the laser distance measuring device at the component mounting position and the scanning path The surface height of the component mounting position is measured based on the reference value given individually to the component mounting position, and the difference between the surface height of this component mounting position and the reference surface position is calculated. Whether the mounting is good or bad is determined.
ここで行う良否判定の方法は、例えば、その差がその部
品装着位置に正常に装着されたチップの表面高さ(以
下、チップ厚さという。)よりも所定寸法α以上高い場
合にはチップが側面を下にして立てに装着された“立
ち”不良であり、チップ厚さよりも所定寸法α(αとは
異なるβでもよい)以上低い場合には“欠品”不良であ
り、部品装着位置の端から“欠品”不良が続いた後にそ
の差がチップ厚さ±αとなった場合には、その端から差
の値がチップ厚さ±αとなった位置までのズレがあり、
この部品装着位置の端のズレが許容量以上である場合に
は“ズレ”不良であると判定し、その他の場合には“合
格”と判定する方法を採用すればよい。The quality determination method performed here is, for example, when the difference is higher than the surface height (hereinafter referred to as chip thickness) of the chip normally mounted at the component mounting position by a predetermined dimension α or more, the chip is If it is a "standing" defect that is mounted upright with the side face down, and it is smaller than the chip thickness by a predetermined dimension α (or β that is different from α), it is a "missing product" defect and the component mounting position If the difference becomes the chip thickness ± α after the “out of stock” defects continue from the end, there is a deviation from the end to the position where the difference value becomes the chip thickness ± α.
If the deviation of the end of the component mounting position is equal to or more than the allowable amount, it is determined that the "deviation" is defective, and in other cases, "pass" is determined.
この各部品装着位置での良否判定は、部品装着位置の直
前の位置の基板の高さと部品装着位置との高さを比較す
るので、各部品装着位置及びその近傍でプリント基板が
反りやうねりによって平均的な高さよりも高く位置して
いたり、低く位置していたりしていても、確実にその部
品装着位置の部品の装着状態を判定することができる。The quality judgment at each component mounting position compares the height of the board immediately before the component mounting position with the height of the component mounting position, so that the printed circuit board may warp or swell at each component mounting position and its vicinity. Even if the component is positioned higher or lower than the average height, it is possible to reliably determine the mounting state of the component at the component mounting position.
走査経路上での高さ測定においては、その位置でのプリ
ント基板表面の反射率ないし透光率が大きな影響を有し
ているが、この反射率ないし透光率は、例えば裸の基板
表面であるか、絶縁層で覆われた基板表面であるか、は
んだが付着している基板表面であるか、部品表面である
かによって、つまり、その表面の種類によってそれぞれ
一定の基準値以上になることが知られている。In the height measurement on the scanning path, the reflectance or the light transmittance of the printed circuit board surface at that position has a great influence, but this reflectance or the light transmittance is, for example, on a bare substrate surface. , The surface of the substrate covered with the insulating layer, the surface of the substrate to which the solder is attached, or the surface of the component, that is, the certain reference value or more depending on the type of the surface. It has been known.
各高さ測定位置は測定経路が決定されれば決定され、そ
の測定位置の表面の種類とその表面の反射率ないし透光
率も決定される。Each height measurement position is determined if the measurement path is determined, and the type of the surface at that measurement position and the reflectance or transmissivity of the surface are also determined.
本発明では、走査経路上の各高さ測定位置ごとにその測
定位置に個別に対応させた基準値を設定することによ
り、各高さ測定位置で測定される表面の反射率ないし透
光率の差異による測定誤差が解消される。In the present invention, for each height measurement position on the scanning path, by setting a reference value individually corresponding to the measurement position, the reflectance or transmissivity of the surface measured at each height measurement position The measurement error due to the difference is eliminated.
ここで、基準値としては、特に限定されないが、プリン
ト基板の表面は反りやうねりがある部分ではプリント基
板がそれを支持するテーブル上面に密着している部分よ
りも高くなるので、プリント基板がそれを支持するテー
ブル上面に密着している時にその種の基板表面から反射
され、レーザ距離測定器が受光する反射光量とすれば、
各高さ測定位置でレーザ距離測定器の受光量は基準値以
上となり、漏れなく高さ測定ができることになる。Here, the reference value is not particularly limited, but the surface of the printed circuit board is higher in a portion where there is warpage or undulation than in a portion where the printed circuit board is in close contact with the table upper surface that supports it. If the amount of reflected light that is reflected from the surface of the substrate when it is in close contact with the upper surface of the table supporting
At each height measurement position, the amount of light received by the laser distance measuring device becomes equal to or greater than the reference value, and the height can be measured without leakage.
そして、本発明において、各高さ測定位置での高さ測定
の信頼性を高めるためには、この基準値よりも多量の反
射光が所定の時間以上連続して同じ光量でレーザ距離測
定器に受光される状態が確認された時にその受光量に対
応する高さをその測定位置における高さとして検出する
ことが好ましい。Then, in the present invention, in order to increase the reliability of height measurement at each height measurement position, a large amount of reflected light than this reference value is continuously applied to the laser distance measuring device at the same light amount for a predetermined time or longer. When the state of receiving light is confirmed, it is preferable to detect the height corresponding to the amount of received light as the height at the measurement position.
又、本発明においては、実際のプリント基板の表面に異
物が付着していたり、ピンホールが形成されていたり、
部品の表面がへこんでいたりしていることがあり、これ
らが原因となって幾つかの高さ測定位置でレーザ距離測
定器の受光量が上記の基準値を下回ることを考慮するこ
とが好ましい。Further, in the present invention, foreign matter is attached to the surface of the actual printed board, pinholes are formed,
The surface of the component may be dented, and it is preferable to consider that the amount of light received by the laser distance measuring device falls below the above-mentioned reference value at some height measurement positions due to these.
本発明において、このような問題を解消する一つの方法
として、高さ測定を行っている間にレーザ距離測定器の
受光量が上記の基準値を下回る場合には、最終データ、
即ち、基準値よりも低くなる直前の測定値を読出してこ
の読み出した測定値と基準値とに基づいて高さ測定を行
うようにすることができる。この場合、高さ測定の信頼
性を高めるために、最終データとしては所定の時間連続
して同じ値に保持されていたものを用いることが好まし
い。また、最終データとして用いられるデータはある程
度以上の受光量のものであることが好ましく、例えば、
上記基準値の2分の1以上であることが好ましい。In the present invention, as one method for solving such a problem, when the amount of light received by the laser distance measuring device is lower than the above reference value during height measurement, final data,
That is, it is possible to read the measured value immediately before it becomes lower than the reference value and perform the height measurement based on the read measured value and the reference value. In this case, in order to improve the reliability of height measurement, it is preferable to use, as the final data, data that has been held at the same value continuously for a predetermined time. Further, it is preferable that the data used as the final data has a light receiving amount of a certain level or more.
It is preferably ½ or more of the reference value.
このようにして、検査漏れを防止する対策を講じても、
幾つかの高さ測定位置において、レーザ距離測定器の受
光量が基準値の2分の1を下回ることがあるが、この場
合には、全体としての判定時間を短縮するために、一応
判定を不良として後続の全部品について良否判定を進め
ることが好ましい。そして、このような一応不良とする
判定を含む全部品の良否判定を終了した後、一応不良と
判定した部品装着位置について良否判断をやり直すこと
が好ましい。In this way, even if you take measures to prevent inspection omissions,
At some height measurement positions, the amount of light received by the laser distance measuring device may fall below one-half of the reference value. In this case, in order to shorten the overall determination time, it is necessary to make a determination. It is preferable to proceed with the quality judgment for all the subsequent parts as defective. Then, it is preferable that after the quality determination of all the components including such a determination as defective, the quality determination is performed again for the component mounting position determined to be defective.
この場合、部品装着位置の直前の高さ測定位置の反射率
ないし透過率が測定経路の方向によって異なると考えら
れるので、部品装着位置からその直前の位置に逆走査し
て部品装着位置のプリント基板表面の高さとその直前の
位置のプリント基板表面の高さとを測定し、更に、レー
ザ距離測定器を直前の位置から部品装着位置に戻して部
品装着位置のプリント基板表面の高さを求めることによ
り、一応不良とされた部品装着位置の部品装填状態の良
否判定ができるようになる。In this case, it is considered that the reflectance or the transmittance at the height measurement position immediately before the component mounting position differs depending on the direction of the measurement path. By measuring the height of the surface and the height of the printed circuit board surface at the position immediately before that, and returning the laser distance measuring device from the position immediately before to the component mounting position to obtain the height of the printed circuit board surface at the component mounting position. Therefore, it becomes possible to determine the quality of the component mounting state at the component mounting position which has been determined to be defective.
又、本発明を実施するため用いるレーザ距離測定器とし
ては市販されているレーザ距離測定器を用いることがで
き、又、このレーザ距離測定器またはプリント基板を載
置するテーブルを二次元方向に移動させるためには市販
されているXYテーブルを用いればよいので、安価な装置
で簡単に実施することができるのである。A commercially available laser distance measuring device can be used as the laser distance measuring device used for carrying out the present invention, and the table on which the laser distance measuring device or the printed circuit board is placed is moved in a two-dimensional direction. In order to do this, a commercially available XY table may be used, so that it can be easily implemented with an inexpensive device.
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
本実施例では第1図に示す検査装置が準備される。In this embodiment, the inspection device shown in FIG. 1 is prepared.
すなわち、一般に市販されている、或いはそれを若干改
良した次の部品を備えた装置が準備される。That is, an apparatus including the following parts which are generally commercially available or which are slightly improved is prepared.
a.レーザー距離測定器1 b.XYテーブル2 c.コントローラ3 c′.X、Y用パルス発生器3′ d.システムディスク4 e.データディスク5 f.表示装置6 g.ブリンター7 レーザー距離測定器1は、被測定物にレーザー光を発射
して被測定物からのレーザー光反射角度の差により被測
定物の高さを測定できる市販のものに被測定物からの反
射光量を検出できる機能を付加したもので、レーザー光
を発射するレーザー光発射部、被測定物からの反射光を
受光部で受けて距離データ及び反射光量を得るセンサー
部、該センサー部から取り入れた距離データを処理して
距離(チップ高さ)を算出する演算部、センサー部から
取り入れたアナログ反射光量をデジタル変換するA/D変
換器を含んでいる。Laser distance measuring device 1 b. XY table 2 c. Controller 3 c '. X, Y pulse generator 3' d. System disc 4 e. Data disc 5 f. Display device 6 g. Blinter 7 Laser distance measurement The instrument 1 has a function of emitting a laser beam to the object to be measured and measuring the height of the object to be measured by measuring the height of the object to be measured by the difference in the angle of reflection of the laser light from the object to be measured. The laser light emitting unit that emits laser light, the sensor unit that receives the reflected light from the object to be measured at the light receiving unit to obtain the distance data and the reflected light amount, and the distance data taken from the sensor unit are processed. It includes an arithmetic unit that calculates the distance (chip height) and an A / D converter that digitally converts the analog reflected light amount taken from the sensor unit.
XYテーブル2は、固定フレームFに設けられており、パ
ルスモータ21によりX軸方向に駆動されるテーブル2aと
パルスモータ22によりX軸に直角なY軸方向に駆動され
るテーブル2bとを含んでおり、各モータはコントローラ
3の指示に基づいたパルスにより運転される。1パルス
による移動量はX、Y軸共に0.04mmに設定されているの
でX、Yテーブルの現在位置はX、Yのパルス数をパル
スカウンタでカウントして算出することができる。レー
ザー距離測定器1はこのXYテーブル2に搭載され、固定
台8上に配置した被測定プリント基板9を必要範囲で走
査できる。なお、本実施例では、測定器1全体がテーブ
ル2に搭載されているが、測定器1のうち少なくともレ
ーザー光発射部及びセンサー部が搭載されていれば足り
る。The XY table 2 is provided on the fixed frame F and includes a table 2a driven in the X-axis direction by the pulse motor 21 and a table 2b driven in the Y-axis direction perpendicular to the X-axis by the pulse motor 22. And each motor is operated by a pulse based on an instruction from the controller 3. Since the movement amount per pulse is set to 0.04 mm for both the X and Y axes, the current position of the X and Y table can be calculated by counting the number of X and Y pulses with a pulse counter. The laser distance measuring device 1 is mounted on the XY table 2 and can scan the printed circuit board 9 to be measured placed on the fixed table 8 within a required range. In addition, in the present embodiment, the entire measuring device 1 is mounted on the table 2, but it is sufficient if at least the laser beam emitting unit and the sensor unit of the measuring device 1 are mounted.
コントローラ3には、本実施例ではパーソナルコンピュ
ータ(以下、「パソコン」という)が使用され、これは
フリッピードライブ31を備えている。In this embodiment, a personal computer (hereinafter, referred to as “personal computer”) is used as the controller 3, and the controller 3 includes a flippy drive 31.
システムディスク4は、装置の検査進行を制御するため
のものであり、本実施例ではフロッピーディスクの形態
である。The system disk 4 is for controlling the progress of the inspection of the apparatus, and is in the form of a floppy disk in this embodiment.
データディスク5は、プリント基板上のチップ部品装着
位置データを有しており、チップ装着図面に基づき、別
途パソコン等により作成されたもので、本実施例ではフ
ロッピーディスクの形態である。The data disk 5 has chip component mounting position data on the printed circuit board, and is created by a personal computer or the like based on the chip mounting drawing, and is in the form of a floppy disk in this embodiment.
これらフロッピーディスク4、5はコントローラ3のフ
ロッピードライブ31にセットされる。These floppy disks 4 and 5 are set in the floppy drive 31 of the controller 3.
表示装置6は、本実施例ではCRTディスプレーであり、
コントローラ3の指示に基づいてチップ位置を表示でき
るとともに、良否判定前のチップを青色で、不良チップ
を赤色で、良チップを白色で表示できる。The display device 6 is a CRT display in this embodiment,
The chip position can be displayed based on the instruction of the controller 3, and the chip before the pass / fail judgment can be displayed in blue, the defective chip in red, and the good chip in white.
プリンター7は検査結果をコントローラ3の指示に基づ
いてプリントアウトする。The printer 7 prints out the inspection result based on the instruction from the controller 3.
第2図に示すように、レーザー距離測定器1から被測定
プリント基板9に対して直上から垂直に発射されたレー
ザー光Lの反射光はセンサー部Sの受光面Cでとらえる
が、反射角度の差により、面Bに対しセンサー部Sによ
り近い(面Bより高い)面Aからの反射光の受光点は受
光面Cに於いて、点bより点aに移動する。この際、面
Bを基準面と設定すると、点bより点aまでの移動距離
を前記演算部で変換、演算して面Bより面A迄の高さと
する。従って面Bを基準面、面Aをチップ面とするとチ
ップ面の高さを測定することが出来、この高さを観測出
来るか否か、観測出来た場合にそれが許容誤差範囲内に
あるか否か、でチップの装着状態を判定できる。As shown in FIG. 2, although the reflected light of the laser light L emitted from the laser distance measuring device 1 perpendicularly to the printed circuit board 9 to be measured is captured by the light receiving surface C of the sensor section S, Due to the difference, the light receiving point of the reflected light from the surface A closer to the sensor unit S (higher than the surface B) with respect to the surface B moves from the point b to the point a on the light receiving surface C. At this time, when the surface B is set as the reference surface, the moving distance from the point b to the point a is converted and calculated by the calculation unit to obtain the height from the surface B to the surface A. Therefore, if the surface B is the reference surface and the surface A is the chip surface, the height of the chip surface can be measured. Whether or not this height can be observed, and if it can be observed, is it within the allowable error range? Whether or not the chip is mounted can be determined by whether or not the chip is mounted.
しかしながら測定基準面が常にフラットな平面である場
合は前記のままで正しく測定することが出来るが、本発
明の測定対象はプリント基板であるため基板面は、通常
フラットな平面でなく複雑に変化しており、チップ高さ
を超えるような凹凸がある場合が多い。このため、最初
に設定した基準面のままではチップ高さを正しく測定す
ることが出来ない。However, when the measurement reference plane is always a flat plane, the measurement can be performed correctly as it is, but since the measurement object of the present invention is a printed circuit board, the board surface usually changes in a complicated manner rather than a flat plane. In many cases, there are irregularities that exceed the chip height. For this reason, the chip height cannot be accurately measured with the reference plane set initially.
従って本実施例では、チップ高さを測定するに際し、チ
ップ毎にチップ直前の基板面を基準面として設定し直し
つつ検査を進めるよう工夫されている。Therefore, in the present embodiment, when measuring the chip height, it is devised to proceed with the inspection while resetting the substrate surface immediately before the chip as the reference surface for each chip.
この基準面の設定の仕方について説明する。第3図に於
いて、データディスク5より読みだしたデータに従って
レーザー光は、XYテーブル2上でパルスモータ21、22に
送られるパルスによって、チップ中心を通過するD線に
沿って一定速度で移動するが、本実施例では1パルスの
移動距離を0.04mmとしている。以下例として幅W1.25m
m、高さH0.5mmのチップを検査するとして記述する。A method of setting the reference plane will be described. In FIG. 3, the laser beam moves at a constant speed along the D line passing through the center of the chip by the pulse sent to the pulse motors 21 and 22 on the XY table 2 according to the data read from the data disk 5. However, in this embodiment, the moving distance of one pulse is 0.04 mm. Width W1.25m as an example below
Described as inspecting a chip with m and height H 0.5 mm.
チップ毎に、予めデータディスクに入力されたデータよ
り読みだした被測定チップの中心点Pより逆算して、48
パルス分手前をデータ取り込み開始位置とし、以後24パ
ルスで基板面を基準面として、次の24パルスでチップ面
の判定をする。この合計48パルス分データを取り込んで
コントローラ3のメモリに記憶させておく。以上の工程
の合計48パルスを終了すると、次のチップの測定に入る
ために、2番目のチップ中心点Qより逆算して48パルス
手前よりデータの取り込みを開始しする。かくしてこの
工程をチップ毎に繰り返して測定を続ける。For each chip, back-calculate from the center point P of the measured chip read from the data previously input to the data disk to obtain 48
The data acquisition start position is before the pulse, the substrate surface is the reference surface with 24 pulses thereafter, and the chip surface is determined with the next 24 pulses. The data of 48 pulses in total is fetched and stored in the memory of the controller 3. When a total of 48 pulses in the above steps are completed, in order to start measurement of the next chip, back calculation is performed from the second chip center point Q and data acquisition is started from before 48 pulses. Thus, this process is repeated for each chip to continue the measurement.
以上のように、本実施例ではチップ毎に基準面を設定し
直すので、基板面の凹凸によって測定ミスを起こすこと
はない。As described above, in the present embodiment, the reference plane is set again for each chip, so that a measurement error will not occur due to the unevenness of the substrate surface.
次に検査の判定の仕方をより詳しく説明する。レーザー
反射光量の変化の仕方は48パルス間に於いて、第3図
上、y軸を反射光量、x軸を移動距離とすると、lのご
とき曲線を示すが、lを1からl4に分けて説明する
と、 1:基板の材質単体部分でレーザー光が殆ど透過して反
射光量がきわめて弱い部分 l2:レジスト部、銅箔パターン部で反射光量が多く、且
つ比較的安定した部分で、この反射光量を基準反射光量
と設定し、この基準反射光量以上の光量が5パルス以上
安定していたとき、測定の基準面と設定する。Next, the method of determining the inspection will be described in more detail. The method of changing the amount of laser reflected light is between 48 pulses. In Fig. 3, when the amount of reflected light is on the y-axis and the moving distance is on the x-axis, a curve such as l is shown, but l is divided into 1 to l4. To explain, 1: The part where the laser light is almost transmitted and the reflected light amount is extremely weak in the single part of the substrate. L2: The resist part and the copper foil pattern part have a large amount of reflected light, and the part is relatively stable. Is set as the reference reflected light amount, and when the light amount of the reference reflected light amount or more is stable for 5 pulses or more, it is set as the reference surface for measurement.
l3:レーザースポット径が極めて小さければl3は殆ど立
つが、本実施例ではレーザースポット径を約0.2mmとし
ているので図のように傾斜する。l3: If the laser spot diameter is extremely small, l3 almost stands, but since the laser spot diameter is about 0.2 mm in this embodiment, it is inclined as shown in the figure.
l4:チップが装着されていると、一般にはチップ面の反
射が良好であるため反射光量は増加しかつ安定する。l4: When a chip is mounted, the amount of reflected light increases and stabilizes because the reflection on the chip surface is generally good.
本実施例では、反射光量が多く且つ安定したl4部分の有
無によって、チップ“あり”、“なし”を判定するので
はなく、l2部分で設定した基準面よりの高さを測定し
て、それが“チップ高さ±α”(αは自由に設定でき
る)の範囲内にあるかどうかで、正しくチップが装着さ
れているかどうかを判定するのである。即ち測定基準面
は反射光量で判定し、チップの有無はチップの高さ測定
で判定するわけである。測定基準面及びチップ面の安定
度は5パルス以上としている。従って測定するチップ中
心より48パルス手前よりデータの取り込みを開始し、24
パルスで予め設定した基準反射光量以上で5パルス以上
安定した面を基準面として記憶し、次の24パルスで測定
した高さが“チップ厚さ±α”の範囲内で5パルス以上
安定していたとき、“チップあり”と判定してCRT5に表
示された被検査チップ位置の色を青色から合格の白色に
変える。高さが“チップ高さ−α”以下の時“欠品”不
良、反対に“チップ高さ+α”以上の時は“立ち”不良
として、何れもCRT6のチップ色を赤に変える。In the present embodiment, the presence / absence of the l4 portion, which has a large amount of reflected light and is stable, is not used to determine whether the chip is “present” or “absent”, but the height from the reference plane set in the l2 portion is measured, Is within the range of "chip height ± α" (α can be freely set), it is determined whether or not the chip is properly mounted. That is, the measurement reference surface is determined by the amount of reflected light, and the presence or absence of the chip is determined by measuring the height of the chip. The stability of the measurement reference surface and the chip surface is set to 5 pulses or more. Therefore, data acquisition starts from 48 pulses before the center of the chip to be measured, and
A stable surface for 5 pulses or more with a reference reflection light amount set in advance for pulses is stored as a reference surface, and the height measured for the next 24 pulses is stable for 5 pulses or more within the range of "chip thickness ± α". When there is a chip, the color of the inspected chip position displayed on the CRT5 is changed from blue to acceptable white. When the height is less than "chip height -α", it is a "missing" defect. Conversely, when the height is "chip height + α" or more, it is a "standing" defect. In both cases, the CRT6 chip color is changed to red.
次に、当然チップ面であるべき位置にチップ高さが観測
されなくても、予め設定したズレ許容パルス数以内にチ
ップ高さが観測されて、且つ5パルス以上安定していれ
ば“チップあり”と判定し、そうでなければ“ズレ”不
良としてCRT6のチップ色を赤に代えて不良であることを
表示する。そうして不良になったチップをコントローラ
3のメモリに記憶させておく。Next, even if the chip height is not observed at the position which should be on the chip surface, if the chip height is observed within the preset deviation allowable pulse number and it is stable for 5 pulses or more, "chip exists" If it is not, the chip color of CRT6 is changed to red and it is displayed as defective. The defective chip is stored in the memory of the controller 3 in advance.
前記のごとく、基板面からのレーザー反射光量が予め設
定した基準反射光量以上の時を基準面とするので、この
ままの判定法では、基板面全面にわたって基準反射光量
以上の反射量がないと基準面が設定できないので測定不
能となり、検査装置が機能しないことになる。しかしな
がら多くの基板では材質、表面反射状態によって反射光
量は様々で、一定の反射光量以上を常時期待することは
出来ないので、前記の基準面判定法だけでは安定した検
査の続行ができない。As described above, since the reference surface is when the laser reflected light amount from the substrate surface is equal to or greater than the preset reference reflected light amount, in the determination method as it is, if there is no reflection amount equal to or greater than the reference reflected light amount over the entire substrate surface, the reference surface Since it cannot be set, measurement becomes impossible and the inspection device does not work. However, in many substrates, the amount of reflected light varies depending on the material and the state of surface reflection, and it is not possible to always expect more than a certain amount of reflected light. Therefore, stable inspection cannot be continued only by the reference surface determination method described above.
本実施例では、このような不具合を防止するため次のよ
うな対策をしている。プログラム上でその都度設定する
基準反射光量の1/2を最低反射光量と設定しておき、測
定を進めている途中でl2が基準反射光量に達しないとき
は、直ちに最終データを読み直しl2が最低反射光量以上
で3パルス以上安定していることを条件として判定をや
り直す事によって前記の不具合を防止している。In this embodiment, the following measures are taken to prevent such a problem. If you set 1/2 as the minimum reflected light amount of the reference reflected light amount set each time on the program and if l2 does not reach the reference reflected light amount in the middle of the measurement, immediately read the final data again and l2 becomes the minimum. The above-mentioned problem is prevented by re-determining under the condition that the amount of reflected light is equal to or more than 3 pulses and is stable for 3 pulses or more.
この時、初めから最低反射光量と3パルス以上を判定の
基準とすればよいように考えられるが、その様にする
と、1部分のレーザー光の透過量が少なくて最低反射
光量を超える場合は基準面の設定を誤って、検査ミスを
犯すことになるので、前記のごとき手続きが必要になる
わけである。At this time, it is considered that the minimum reflected light amount and 3 or more pulses should be used as the criteria from the beginning. However, if the amount of laser light transmitted through one portion is too small to exceed the minimum reflected light amount, the criterion is used. Since the mistaken inspection will be made by mistakenly setting the surface, the above procedure is required.
しかし、この様な検査ミス防止策にもかかわらず、多く
の基板面では最低反射光量にも達しない場合が僅かなが
らあって、検査ミスを起こす恐れがある。However, despite such a measure for preventing inspection errors, there are some cases where the minimum reflected light amount is not reached on many substrate surfaces, which may cause an inspection error.
従って本実施例では、この様な場合には、最終まで検査
を進行させ、検査終了後不良として記憶しておいたチッ
プ位置に測定器センサー部を戻し、データを逆にチップ
面から基板へ読みだして、l2部分で反射光量の多少にか
かわらず5パルス以上安定した面があれば、その面を基
準面と設定し直して、再度チップ面に相当する位置で高
さを測定し直して判定を行う。Therefore, in this embodiment, in such a case, the inspection is advanced to the end, the measuring instrument sensor unit is returned to the chip position stored as a defect after the inspection, and the data is read from the chip surface to the substrate in reverse. However, if there is a stable surface for 5 pulses or more in the l2 part regardless of the amount of reflected light, reset that surface as the reference surface, and measure the height again at the position equivalent to the chip surface for judgment. I do.
本実施例では、この様な検査ミス防止のための手続きを
検査プログラムの中に持っているので、検査装置が極め
て単純な要素の組み合わせにもかかわらず、信頼性が高
く、且つミスのない検査を行うことが出来るのである。In the present embodiment, since the inspection program has such a procedure for preventing the inspection error, the inspection apparatus has a highly reliable and error-free inspection despite the combination of extremely simple elements. Can be done.
さて、実際に量産品の検査にはいるまでに次のような準
備作業を行う。By the way, the following preparatory work is performed before actually inspecting mass-produced products.
準備作業は第4図の準備作業チャートに従う。The preparatory work follows the preparatory work chart in FIG.
即ち、ステップ1でチップ装着図面より各チップ位置の
XYデータ及びチップ記号を1セットとして、すべてのチ
ップのデータを入力したデータディスクを別のパソコン
で作成する。In other words, in step 1
Create XY data and chip symbol as one set, and create a data disk on which data of all chips is input on another personal computer.
ステップ2で、このデータディスクとシステムディスク
をフロッピードライブに装着し、電源をONして検査装置
をスタートさせる。ステップ3でプログラムに従って自
動的にチップの最短検査経路(順序)を設定する。In step 2, the data disk and system disk are mounted in the floppy drive, the power is turned on, and the inspection device is started. In step 3, the shortest inspection path (sequence) of chips is automatically set according to the program.
尚、本検査装置では、検査の進行について次の3つのモ
ードをもっている。The inspection apparatus has the following three modes regarding the progress of the inspection.
1 手動進行モード(準備作業等に使用) 2 総わたり自動モード(不良があっても検査終了迄自
動で進行する) 3 不良時停止モード(不良発見時チップ装着ラインを
停止させる) ステップ4で総わたり自動モードとして、セットされて
いる生基板で自動検査をし、すべてが不良になる(CRT
に表示されたチップがすべて赤に変わる)ことを確認す
る。1 Manual progress mode (used for preparatory work, etc.) 2 Overall automatic mode (automatically advances to the end of inspection even if there is a defect) 3 Stop mode at the time of failure (stops the chip mounting line when a defect is found) As a cross-over automatic mode, the set raw board is automatically inspected and all become defective (CRT
Check that all the chips displayed in turn red).
ステップ5で見本基板を固定台にセットして、自動検査
させ、すべて良(CRT6上のチップが全部白色となる)で
あることを確認する。In step 5, the sample board is set on the fixed base and automatically inspected to confirm that all are good (all the chips on the CRT6 are white).
以上のステップ4、5が満足されれば準備作業完了であ
るが、満足されないときは再度ステップ1に帰って修正
をしてステップ4、5が満足されるまでやり直す。If the above steps 4 and 5 are satisfied, the preparatory work is completed, but if not satisfied, the procedure returns to step 1 to make corrections and repeats until steps 4 and 5 are satisfied.
次に、被検査基板に対する検査工程を第5図の検査工程
チャートによって実効する。Next, the inspection process for the substrate to be inspected is carried out according to the inspection process chart of FIG.
ステップ1でシステムおよびデータの両ディスクをドラ
イブにセットして、検査装置の電源をONし、ステップ2
で被検査基板を固定台にセットし、ステップ3でコント
ローラ3上のスタートキーを押して本装置をスタートさ
せる。In step 1, set both the system and data disks in the drive, turn on the power of the inspection device, and step 2
Then, the board to be inspected is set on the fixed base, and in step 3, the start key on the controller 3 is pressed to start the apparatus.
ステップ4で検査装置はプログラムに従って自動検査を
始める。ステップ5で検査結果をその都度CRTに表示す
る。ステップ6で全チップの検査を終了し、もし不良が
なければステップ7で次の基板の検査に移る。In step 4, the inspection device starts automatic inspection according to the program. In step 5, the inspection result is displayed on the CRT each time. In step 6, the inspection of all chips is completed, and if there is no defect, in step 7, the inspection of the next substrate is started.
もし不良が有れば、ステップ8で自動で不良ケ所の再検
査を行い、不良ケ所がなければステップ7に移る。不良
が有ればステップ9で不良チップをCRTに表示し、ステ
ップ10で不良データをプリントアウトして、ステップ11
で検査を停止する。If there is a defect, the re-inspection of the defective part is automatically performed in step 8, and if there is no defective part, the process proceeds to step 7. If there is a defect, the defective chip is displayed on the CRT in step 9, the defective data is printed out in step 10, and step 11
Stop the inspection with.
前記実施例によると、次の利点がある。According to the above embodiment, there are the following advantages.
1 チップ装着図面によってプログラム化された順序に
従って全数自動検査をするので、目視検査における、見
逃しによる検査洩れ、誤認による検査ミスがなく、又検
査のために多くの人員を掛ける必要がない。Since the 100% automatic inspection is performed according to the sequence programmed by the one-chip mounting drawing, there is no inspection omission due to oversight or visual error due to misidentification in visual inspection, and it is not necessary to spend a lot of personnel for inspection.
2 また、検査を実施するための装置として、市販装置
に比べて数分の一の価格のものを採用できるので、該装
置を設備して実施し易い。2 As a device for carrying out the inspection, a device that is a fraction of the price of a commercially available device can be adopted, so that it is easy to install and carry out the device.
前記検査装置は、構成要素が殆ど一般市販品の組み合わ
せであるため極めて安価であって市販の検査機の数分の
一程度の価格となるため、プリント基板製造ラインに容
易に採用できる。The inspection apparatus is extremely inexpensive because the constituent elements are a combination of almost all commercially available products, and the price is about a fraction of that of commercially available inspection machines. Therefore, the inspection apparatus can be easily adopted in a printed circuit board manufacturing line.
以上に説明したように、本発明は、各チップ部品ごとに
その直前で測定したプリント基板の表面高さと、各チッ
プ部品の部品装着位置の表面高さとを測定し、その高さ
の差に基づいて良否判定をするので、基板の反りやうね
りによる装着良否の誤判定や判定漏れを防止できる上、
光量測定機能を付加した市販のレーザ距離測定器やX−
Yテーブルなどの安価な装置を用いて簡単に実施でき
る。As described above, the present invention measures the surface height of the printed circuit board measured immediately before each chip component and the surface height of the component mounting position of each chip component, and based on the difference in height. Since the quality is determined by the above, it is possible to prevent erroneous determination of the quality of mounting and omission of determination due to warp or undulation of the board.
Commercially available laser range finder and X-
It can be easily implemented using an inexpensive device such as a Y table.
本発明において、特に走査経路の各点からレーザ測定器
が受光する光量が当該点の基準値未満となった時に、そ
の直前の所定の時間内の最終データが連続して基準値の
2分の1以上であることを条件にこの直前の所定の時間
内の最終データにより高さを測定する場合には、例えば
不純物の付着などによって表面反射率が低下し、レーザ
距離測定器の受光量が基準値に満たない場合であって
も、部品装着の良否判定をすることができ、安定良く検
査を続行することができる。In the present invention, particularly when the amount of light received by the laser measuring device from each point on the scanning path becomes less than the reference value at that point, the final data within a predetermined time immediately before that point is continuously divided by half the reference value. When the height is measured based on the final data within a predetermined time immediately before this condition on condition that it is 1 or more, for example, surface reflectance decreases due to adhesion of impurities, and the amount of light received by the laser distance measuring device becomes the reference. Even if the value is less than the value, it is possible to judge the quality of the component mounting, and the inspection can be continued stably.
又、本発明において、特に全部品装着位置の部品装着の
良否判定を行った後、不良判定がなされた部品装着位置
からその直前に逆走査して、不良判定がなされた部品装
着位置の直前のプリント基板の表面高さを所定の時間以
上安定して検出されるレーザ距離測定器の受光光量に基
づいて基準面高さとして測定しなおし、引き続き当該部
品装着位置のプリント基板の表面高さを測定し、この一
連の測定における基準面高さと部品装着位置の表面高さ
との差に基づいて部品装着の良否判定を行う場合には、
レーザ測定器が受光する光量が当該点の基準値の2分の
1未満となる場合にも部品装着の良否を再判定をするこ
とができ、誤判定を更に確実に防止できる。Further, in the present invention, after the quality determination of the component mounting of all the component mounting positions is performed, the reverse scanning is performed immediately before the component mounting position where the defect determination is made and immediately before the component mounting position where the defect determination is made. The surface height of the printed circuit board is measured again as the reference surface height based on the amount of light received by the laser distance measuring device that is stably detected for a specified time or longer, and then the surface height of the printed circuit board at the mounting position is measured. However, in the case of performing quality determination of component mounting based on the difference between the reference surface height and the surface height of the component mounting position in this series of measurement,
Even when the amount of light received by the laser measuring instrument is less than one half of the reference value at the point, it is possible to re-determine the quality of component mounting, and to prevent erroneous determination more reliably.
第1図は本発明の一実施例に用いる検査装置例の概略構
成図、第2図はレーザー距離測定器の原理説明図、第3
図は検査判定方法説明図、第4図は検査準備作業を示す
フローチャート、第5図は検査工程フローチャートであ
る。 1……レーザー距離測定器 9……プリント基板 10……チップFIG. 1 is a schematic configuration diagram of an example of an inspection apparatus used in one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a principle explanatory diagram of a laser distance measuring device, and FIG.
FIG. 4 is an explanatory diagram of an inspection determination method, FIG. 4 is a flowchart showing an inspection preparation work, and FIG. 5 is an inspection process flowchart. 1 ... Laser distance measuring device 9 ... Printed circuit board 10 ... Chip
Claims (3)
順次走査し、予め設定された部品装着位置ごとに、レー
ザー距離測定器の受光光量と、走査経路上で部品装着位
置の直前の所定の区間に対して個別に与えられた基準値
とに基づいてプリント基板の表面高さを基準面高さとし
て測定し、この測定に引き続いて部品装着位置における
レーザー距離測定器の受光光量と、走査経路上で部品装
着位置に対個別に与えられた基準値とに基づいて部品装
着位置の表面高さを測定し、この部品装着位置の表面高
さと基準面高さとの差に基づいて部品装着の良否判定を
行うことを特徴とするチップ部品装着検査方法。1. A printed circuit board is sequentially scanned by a laser distance measuring device, and for each preset component mounting position, the received light amount of the laser distance measuring device and a predetermined section immediately before the component mounting position on the scanning path. On the other hand, the surface height of the printed circuit board is measured as the reference surface height based on the reference value individually given, and following this measurement, the received light amount of the laser distance measuring device at the component mounting position and the scanning path The surface height of the component mounting position is measured based on the reference value given individually to the component mounting position, and the quality of the component mounting is judged based on the difference between the surface height of the component mounting position and the reference surface height. A method for inspecting chip component mounting, which is characterized by being performed.
る光量が当該点の基準値未満となった時に、その直前の
所定の時間内の最終データが連続して基準値の2分の1
以上であることを条件にこの直前の所定の時間内の最終
データにより高さを測定する請求項1に記載のチップ部
品装着検査方法。2. When the amount of light received by the laser measuring device from each point on the scanning path becomes less than the reference value at that point, the final data within a predetermined time immediately before that point is continuously halved of the reference value. 1
The chip component mounting inspection method according to claim 1, wherein the height is measured based on the final data within a predetermined time immediately before the above condition.
った後、不良判定がなされた部品装着位置からその直前
に逆走査して、不良判定がなされた部品装着位置の直前
のプリント基板の表面高さを基準面高さとして測定しな
おし、引き続き当該部品装着位置のプリント基板の表面
高さを測定し、この一連の測定における基準面高さと部
品装着位置の表面高さとの差に基づいて部品装着の良否
判定を行う請求項1又は2に記載のチップ部品装着検査
方法。3. A printed circuit board immediately before the component mounting position where a defect determination is made by performing reverse scanning immediately before the component mounting position where a defect determination is made after performing quality determination of component mounting at all component mounting positions. Measure the surface height of the printed circuit board as the reference surface height again, and then measure the surface height of the printed circuit board at the component mounting position, based on the difference between the reference surface height and the surface height at the component mounting position in this series of measurements. The chip component mounting inspection method according to claim 1 or 2, wherein the quality of the component mounting is determined by the above.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2057434A JPH0781834B2 (en) | 1990-03-08 | 1990-03-08 | Chip component mounting inspection method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2057434A JPH0781834B2 (en) | 1990-03-08 | 1990-03-08 | Chip component mounting inspection method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03257305A JPH03257305A (en) | 1991-11-15 |
| JPH0781834B2 true JPH0781834B2 (en) | 1995-09-06 |
Family
ID=13055547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2057434A Expired - Lifetime JPH0781834B2 (en) | 1990-03-08 | 1990-03-08 | Chip component mounting inspection method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0781834B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102582062B1 (en) * | 2022-08-05 | 2023-09-22 | 제너셈(주) | Substrate unloading apparatus for flip chip bonding |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5856809B2 (en) * | 1979-08-02 | 1983-12-16 | ウエスト電気株式会社 | distance detection device |
| JPS5764707U (en) * | 1980-10-03 | 1982-04-17 | ||
| JPS60154804U (en) * | 1984-03-24 | 1985-10-15 | 関東自動車工業株式会社 | distance measuring device |
| JPH0672763B2 (en) * | 1986-06-20 | 1994-09-14 | 富士通株式会社 | Mounted component inspection device |
-
1990
- 1990-03-08 JP JP2057434A patent/JPH0781834B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102582062B1 (en) * | 2022-08-05 | 2023-09-22 | 제너셈(주) | Substrate unloading apparatus for flip chip bonding |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03257305A (en) | 1991-11-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6640002B1 (en) | Image processing apparatus | |
| US5162866A (en) | Apparatus and method for inspecting IC leads | |
| US6278797B1 (en) | Apparatus for inspecting land-attached circuit board | |
| JP2007033048A (en) | Solder joint determination method, solder inspection method, solder inspection apparatus, solder inspection program, and recording medium | |
| JP2001272215A (en) | Measuring method of screw, apparatus therefor and determining apparatus for propriety of shape of screw | |
| JPH0781834B2 (en) | Chip component mounting inspection method | |
| JP2620992B2 (en) | Inspection method for soldered parts of electronic components | |
| JP2002026512A (en) | Printed solder inspection device | |
| JP3310753B2 (en) | Lead measuring device | |
| JP2560462B2 (en) | Film thickness measuring device | |
| JPH06185994A (en) | Inspecting device for mounted substrate | |
| JPH11251799A (en) | Component recognition method, component inspection and mounting method | |
| JP2847351B2 (en) | Automatic printed wiring board inspection system | |
| JPH05114640A (en) | Method and device for measuring lead, and lead tester using same | |
| JPH04350506A (en) | Method for inspecting lead soldering and solder surface | |
| JPH05288687A (en) | Lead inspection equipment | |
| JP3107070B2 (en) | Inspection device and inspection method | |
| JP3310752B2 (en) | Electronic component recognition device | |
| JPH0658729A (en) | Inspecting apparatus for soldered state | |
| JP3029723B2 (en) | Method of detecting lead floating in soldering process | |
| JPH0727520A (en) | Height inspecting method and height inspecting device for object on printed board | |
| JPH07113835A (en) | Inspection method for electrical component connection | |
| JPH02156107A (en) | Visual inspection device for soldered part of printed circuit board | |
| JPH04140650A (en) | Apparatus for inspecting printed circuit board | |
| JPH04369411A (en) | Setting method of reference surface for measuring shape of solder |