JPH0781845B2 - 電子部品のリード形状検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子部品のリードピッ
チや平坦度などのリード形状を検査するための装置に係
り、特にリードピッチを高分解能で検査するための装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、フラットパッケージ形のＩＣ
（集積回路）等の電子部品をプリント配線基板に実装す
る際に、電子部品のリードに曲がりや浮きなどが生じて
いると、プリント配線基板の端子部に対して接続不良を
生じるので、予め電子部品のリード形状が許容範囲内に
入っているかどうかを検査するための装置が用いられて
いる。

【０００３】以下、図６を参照して、従来の検査装置の
構成を説明する。図中、符号１は検査対象であるフラッ
トパッージ形のＩＣであり、パッケージ本体１ａの側部
から多数のリード２が導出されている。ＩＣ１は、検査
ステージ３上に載置される。ＩＣ１のパッケージ本体１
ａの下面と検査ステージ３との間隙部に、図示しない光
源から略水平に光を照射し、各リード２の間隙を通過し
た光をハーフミラー４、反射ミラー５、および光学系６
を介してＣＣＤ（charge coupled device)カメラ７に導
く。図７は、ＣＣＤカメラ７によって撮像されたＩＣ１
のリード配列部分である。図７に鎖線で示した基準線Ｏ
は、検査ステージ３の表面に相当し、この基準線Ｏに対
して各リード２の浮き量Ｗを図示しない画像処理装置に
よって計測する。一方、各リードピッチ（リード曲が
り）Ｐを高精度に測定する必要がある場合には、ハーフ
ミラー４で反射された光を光学系８を介して、高分解能
のＣＣＤラインセンサ９に導き、その出力信号に基づい
て、リードピッチを測定している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。すなわち、リードピッチＰは、リード２について
許容される浮き量の限界値（図７に符号Ｍで示すライ
ン）からパッケージ本体１ａまでの間で、出来るだけラ
インＭに近いところで測定されるのが好ましい。仮に、
リードピッチを図７の基準線ＯとラインＭとの間で測定
すると、許容されるべきリード２の浮きであるにも関わ
らず、そのリード２が欠落していると誤って判断される
おそれがあるからである。このようにリードピッチを測
定するラインを特定する必要性があるが、従来装置で
は、ＣＣＤラインセンサ９が図７に示した撮像画像のど
のラインに沿って測定しているかを判断することが困難
であるという問題点がある。

【０００５】また、リード２の曲がり量（リード２の基
端部から先端部にかけての変形量）を計測する場合、図
７の撮像画像のパッケージ本体１ａに近い側に設定した
ラインと、浮き限界ラインＭに近い側に設定したライン
との２つのラインに沿ってそれぞれリードピッチを計測
し、両ピッチの差分を算出している。このような場合、
従来装置によれば、ＣＣＤラインセンサ９の測定個所を
変更するための駆動機構を設けるか、あるいは２台のＣ
ＣＤラインセンサ９を使って個別に２つのラインを測定
しなければならず、何れにしても装置構成が複雑になる
という問題点がある。

【０００６】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、電子部品のリードピッチを任意のライ
ンに沿って高精度に検出することができる電子部品のリ
ード形状検査装置を提供することを目的とする。また、
本発明の他の目的は、複数のラインに沿ったリードピッ
チの測定を容易かつ迅速に行うことができる電子部品の
リード形状検査装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の電子部品のリード形状検査装置
は、電子部品のリード配列を撮像する二次元撮像手段
と、前記撮像手段によって撮像されたリード配列を映し
出す表示手段と、前記表示手段の任意の水平走査ライン
上にリードピッチ測定用ラインを設定する測定ライン設
定手段と、前記撮像手段から出力される水平走査ライン
方向の映像信号を、前記撮像手段の縦分解能（垂直走査
方向の分解能）よりも高い分解能でサンプリングしてデ
ジタル信号に変換するアナログ・デジタル変換手段と、
前記撮像手段から出力された映像信号の水平走査線のア
ドレス（ラスターアドレス）を発生させるラスターアド
レス発生手段と、前記測定ライン設定手段によって設定
された測定ラインの位置情報と、前記ラスターアドレス
発生手段からのラスターアドレスとを比較し、両者が一
致したときに書き込み信号を出力する比較手段と、前記
アナログ・デジタル変換手段から出力されたデジタル映
像信号の内、前記書き込み信号が出力されたタイミング
に基づいて、１水平走査ライン分のデジタル映像信号に
関連したデータを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に
記憶されたデータに基づいて、リードピッチを算出する
リードピッチ算出手段と、を備えたものである。

【０００８】また、請求項２に記載の電子部品のリード
形状検査装置は、電子部品のリード配列を撮像する二次
元撮像手段と、前記撮像手段によって撮像されたリード
配列を映し出す表示手段と、前記表示手段の任意の水平
走査ライン上に複数本のリードピッチ測定用ラインを設
定する測定ライン設定手段と、前記撮像手段から出力さ
れる水平走査ライン方向の映像信号を、前記撮像手段の
縦分解能（垂直走査方向の分解能）よりも高い分解能で
サンプリングしてデジタル信号に変換するアナログ・デ
ジタル変換手段と、前記撮像手段から出力された映像信
号の水平走査線のアドレス（ラスターアドレス）を発生
させるラスターアドレス発生手段と、前記測定ライン設
定手段によって設定された複数本の測定ラインの位置情
報と、前記ラスターアドレス発生手段からのラスターア
ドレスとをそれぞれ比較し、前記各位置情報と前記ラス
ターアドレスとが一致したときに各々書き込み信号を出
力する比較手段と、前記アナログ・デジタル変換手段か
ら出力されたデジタル映像信号の内、前記各書き込み信
号が出力されたタイミングに基づいて、複数水平走査ラ
イン分のデジタル映像信号に関連したデータを記憶する
記憶手段と、前記記憶手段に記憶された複数走査ライン
分のデータに基づいて、各ラインごとのリードピッチを
算出するリードピッチ算出手段と、を備えたものであ
る。

【０００９】

【作用】請求項１に記載の発明の作用は次のとおりであ
る。二次元撮像手段によって撮像された電子部品のリー
ド配列が表示手段に映し出されると、測定ライン設定手
段は、リードピッチを測定しようとする任意の水平走査
ライン上にリードピッチ測定ラインを設定する。ラスタ
ーアドレス発生手段は、撮像手段から出力される水平走
査ライン方向の映像信号のラスターアドレス（水平走査
線の順位）を出力する。比較手段は、逐次変化するラス
ターアドレスと、前記測定ラインの位置情報とを比較
し、両者が一致したときに書き込み信号を出力する。一
方、撮像手段から出力される水平走査ライン方向の映像
信号は、アナログ・デジタル変換手段によって、撮像手
段の縦分解能（垂直走査方向の分解能）よりも高い分解
能でサンプリングされてデジタル映像信号に変換され
る。記億手段は、前記書き込み信号に基づいて、１水平
走査ライン分のデジタル映像信号に関連したデータを記
憶する。この１水平走査ライン分のデータは、前記設定
されたリードピッチ測定ラインに沿ったものである。リ
ードピッチ算出手段は、記憶手段に記憶されたデータに
基づいて、前記測定ラインに沿ったリードピッチを算出
する。

【００１０】請求項２に記載の発明の作用は次のとおり
である。基本的な作用は請求項１に記載の発明と同様で
ある。本発明によれば、複数本のリードピッチ測定用ラ
インがそれぞれ任意の水平走査ラインに沿って設定さ
れ、各ラインに沿ったリードピッチが各々算出される。

【００１１】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。

【００１２】（第１実施例）図１は、第１実施例に係る
電子部品のリード形状検査装置の概略構成を示したブロ
ック図である。上述した従来装置と同様に、検査ステー
ジ３上に検査対象であるＩＣ１が載置され、パッケージ
本体１ａと検査ステージ３との間隙に沿って図示しない
光源から略水平に光が照射される。各リード２の配列を
通過した光は、反射ミラー１１および光学系１２を介し
てＣＣＤカメラ１３に導かれる。このＣＣＤカメラ１３
は、本発明における二次元撮像手段に相当している。

【００１３】ＣＣＤカメラ１３から出力された映像信号
は、切り変えスイッチＳＷを介してＣＲＴ１４に与えら
れるとともに、２値化回路１５、および高速Ａ／Ｄ変換
器１６に与えられる。２値化回路１５によって２値化さ
れた映像信号はフレームメモリ１７Ａに書き込まれる。
フレームメモリ１７Ａに関連して、測定ライン表示用メ
モリ１７Ｂがある。この測定ライン表示用メモリ１７Ｂ
には、オペレータが操作キー１８を操作することに基づ
いて設定されるリードピッチ測定用ラインの２値画像が
記憶される。操作キー１８は、本発明における測定ライ
ン設定手段に相当している。両メモリ１７Ａ，１７Ｂの
内容は同期して読み出され、切り変えスイッチＳＷを介
してＣＲＴ１４に与えられる。

【００１４】高速Ａ／Ｄ変換器１６は、本発明における
アナログ・デジタル変換手段に相当し、ＣＣＤカメラ１
３から出力された映像信号を、ＣＣＤカメラ１３の縦分
解能よりも高い分解能でサンプリングしてデジタル信号
に変換する。具体的には、ＣＣＤカメラ１３は、通常、
縦方向に５２５本の走査線をもっており、縦横同じ分解
能のデジタル映像画像を得る場合、ＣＣＤカメラ１３か
ら出力されたアナログ映像信号を１２ＭＨｚのクロック
パルスによってサンプリングしてデジタル信号に変換す
る。本実施例では、横分解能を縦分解能よりも高くする
ために、前記アナログ映像信号を４８ＭＨｚのクロック
パルスでサンプリングしてデジタル信号に変換すること
により、１走査ラインについて約２０００ドットに相当
するデジタル映像信号に変換している。

【００１５】高速Ａ／Ｄ変換器１６から出力されたデジ
タル映像信号は、リードピッチ測定のために、指定され
た１走査ラインの映像信号を取り込むためのライン映像
信号取り込み処理部２０に与えられる。ライン映像信号
取り込み処理部２０は、１走査ライン分のデジタル映像
信号を一時的に記憶するラインメモリ２１と、前記ライ
ンメモリ２１から読み出されたデジタル映像信号を２値
化するための比較器２２と、比較器２２の出力（２値化
信号）を一時的に記憶するシフトレジスタ２３と、シフ
トレジスタ２３の内容が書き込まれるメモリ２４と、ラ
インメモリ２１に書き込み信号を与える比較器２５と、
比較器２５にリードピッチ測定ラインの位置情報を与え
るレジスタ２６と、比較器２２に２値化のための閾値を
与えるレジスタ２７等によって構成されている。

【００１６】ラスターアドレス発生回路３０は、ＣＣＤ
カメラ１３やＣＲＴ１４の走査制御用の図示しないＣＲ
Ｔコントローラから水平同期信号ＨＳおよび垂直同期信
号ＶＳを与えられる。ラスターアドレス発生回路３０
は、水平同期信号ＨＳを計数するカウンタを備え、その
計数値は垂直同期信号ＶＳによってクリアされる。ラス
ターアドレス発生回路３０は、ＣＲＴ１４に映し出され
た映像の水平走査線のアドレス（ラスターアドレス）を
出力し、これをライン映像信号取り込み処理部２０の比
較器２５に与える。

【００１７】ＣＰＵ３１は、フレームメモリ１７Ａに書
き込まれたリード配列の２値化映像信号に基づいてリー
ドの浮きを算出したり、メモリ２４に書き込まれた１走
査ライン分のデータに基づいてリードピッチを算出した
り、各レジスタ２６，２７にそれぞれ値の設定等を行
う。

【００１８】上述したラスターアドレス発生回路３０
は、本発明におけるラスターアドレス発生手段に相当
し、比較器２５は本発明における比較手段に相当し、メ
モリ２４は本発明における記憶手段に相当し、ＣＰＵ３
１は本発明におけるリードピッチ算出手段に相当してい
る。

【００１９】以下、上述した実施例装置の動作を説明す
る。オペレータが操作キー１８を操作することにより切
り変えスイッチＳＷをフレームメモリ１７Ａ側に設定す
ると、ＣＲＴ１４にＩＣ１のリード配列の２値化画像が
映し出される。オペレータは、その２値化画像を見なが
ら、操作キー１８を操作することにより２値化レベル
（閾値）を適宜に設定する。ＣＰＵ３１は、操作キー１
８から入力された閾値に応じて、２値化回路１５の閾値
を変更するとともに、設定された閾値をレジスタ２７に
書き込む。

【００２０】次に、オペレータは操作キー１８を操作す
ることにより、ＣＲＴ１４上にリードピッチを測定する
ための測定ラインを設定する。ＣＰＵ３１は、操作キー
１８からの指定に基づき、測定ライン表示用メモリ１７
Ｂ内の指定されたアドレスに測定ラインの２値化画像を
書き込むとともに、測定ラインが設定された水平走査線
の位置情報をレジスタ２６に書き込む。図２は、ＣＲＴ
１４に重ね合わせ表示されたリード配列部の２値化画像
と、設定された測定ラインを示している。図中、符号Ｌ
は測定ライン、ＲＡは測定ラインＬのラスターアドレス
（位置情報）である。

【００２１】上述した２値化レベルおよび測定ラインＬ
の設定が終り、操作キー１８を介して測定開始の指示が
あると、リード浮き等の測定のために１画面分の２値化
映像信号の取り込みと、リードピッチ測定のために測定
ラインに沿った１ライン分の映像信号の取り込みが行わ
れる。

【００２２】１画面分の２値化映像信号の取り込みは、
ＣＣＤカメラ１３から出力された映像信号を２値化回路
１５で２値化し、その２値化映像信号をフレームメモリ
１７Ａに書き込むことによって行われる。

【００２３】一方、リードピッチ測定用の１ライン分の
映像信号の取り込みは次のようにして行われる。まず、
ＣＣＤカメラ１３から出力された映像信号が、高速Ａ／
Ｄ変換器１６によって４８ＭＨｚの周期でサンプリング
された後、デジタル信号に変換される。その結果、通
常、水平方向に５１２ドットの画素で表される映像信号
が、水平方向に約２０００ドットの画素で表された高分
解能のデジタル映像信号に変換される。このデジタル映
像信号はラインメモリ２１に向けて出力されるが、ライ
ンメモリ２１は比較器２５から書き込み信号を与えられ
ていない間は、入力信号の書き込みを行わない。比較器
２５は、ラスターアドレス発生回路３０から逐次入力さ
れるラスターアドレスと、レジスタ２６に設定された測
定ラインの位置情報とを比較し、両者が一致した時にラ
インメモリ２１に書き込み信号を出力する。これによ
り、ラインメモリ２１に測定ラインに沿った１走査ライ
ン分のデジタル映像信号が一時的に記憶される。

【００２４】フレームメモリ１７Ａへの１画面分の２値
化映像信号の取り込みが完了すると、ラインメモリ２１
から１走査ライン分のデジタル映像信号が順に読み出さ
れて、比較器２２に与えられる。比較器２２は、このデ
ジタル映像信号と、レジスタ２７に設定された閾値とを
比較して、前記デジタル映像信号を２値化映像信号に変
換してシフトレジスタ２３に順に送る。そして、シフト
レジスタ２３に記憶された１走査ライン分の２値化映像
信号は、シフトレジスタ２３からパラレル出力され、メ
モリ２４に格納される。

【００２５】以上のようにして、１画面分の２値化映像
信号の取り込み、および測定ラインに沿った１走査ライ
ン分の２値化映像信号の取り込みが完了すると、ＣＰＵ
３１は、フレームメモリ１７Ａに記憶された１画面分の
２値化映像信号に基づき、リードの浮きを算出する。具
体的には、図２（ａ）に示すように、Ｙ方向に最も長い
リードの先端に合わせて設定した基準線Ｏから、各リー
ドの先端までの画素数を計数することにより行われる。
また、ＣＰＵ３１は、メモリ２４に記憶された１走査ラ
イン分の２値化映像信号に基づき、測定ラインに沿った
リードピッチを算出する。具体的には、図２（ｂ）に示
すように、１走査ライン分の２値化映像信号の『Ｌ』レ
ベル（リードに対応する）の中心間の画素数を計数する
ことによりリードピッチＰを算出する。ここで、リード
ピッチ測定用の１走査ライン分の２値化映像信号は、１
画面分の２値化映像信号の約４倍（ドット数：約２００
０）に相当する分解能で検出されているので、リードピ
ッチを高精度に算出することができる。

【００２６】本実施例において、各リード２の曲がり量
を計測する場合は、操作キー１８によって再度、測定ラ
インをパッケージ本体１ａに近い側（図２における符号
Ｌ’で示すライン）に設定し、上述と同様にして、その
測定ラインＬ’に沿った１走査ライン分の２値化映像信
号を取り込み、測定ラインＬ’に沿ったリードピッチ
Ｐ’を算出する。そして、測定ラインＬおよびＬ’に沿
った各リードピッチＰ，Ｐ’の差分（Ｐ−Ｐ’）を求め
ることにより、各リード２の曲がり量を測定することが
できる。

【００２７】（第２実施例）上記第１実施例では、ＣＲ
Ｔ１４の画面上に１本の測定ラインが設定できるだけで
あるので、各リード２の曲がり量を算出する場合等で
は、上述したように測定ラインを複数回にわたって設定
し、その都度、各ラインに沿って２値化映像信号を取り
込んで処理する必要がある。これに対し、第２実施例で
は、２本のリードピッチ測定用ラインをＣＲＴ１４の画
面上に同時に設定し、一回の画像取り込み処理で、各ラ
インに沿ったリードピッチを算出できるように構成して
いる。

【００２８】第２実施例の概略構成を図３に示す。図１
の各部と同一の符号で示した部分は、第１実施例と同様
の構成であるので、ここでの詳細な説明は省略する。本
実施例の特徴は、２本の測定ラインに対応した２つのラ
イン映像信号取り込み処理部２０Ａ，２０Ｂを備えてい
ることにある。図４に示すように、オペレータが操作キ
ー１８を操作することによって、ＣＲＴ１４に映し出さ
れたリード配列部の２値化画像上に、２本の測定ライン
Ｌ１，Ｌ２を設定すると、ＣＰＵ３１は、測定ラインＬ
１のラスターアドレス（位置情報）をライン映像信号取
り込み処理部２０Ａのレジスタ２６Ａに設定するととも
に、測定ラインＬ２の位置情報をライン映像信号取り込
み処理部２０Ｂのレジスタ２６Ｂ（図示省略）に設定す
る。これにより、１回の画像取り込みによって、測定ラ
インＬ１に沿った高分解の２値化映像信号がライン映像
信号取り込み処理部２０Ａのメモリ２４Ａに書き込まれ
るとともに、測定ラインＬ２に沿った高分解の２値化映
像信号がライン映像信号取り込み処理部２０Ｂのメモリ
２４Ｂ（図示省略）に取り込まれる。ＣＰＵ３１は、各
メモリ２４Ａ，２４Ｂにそれぞれ記憶された各測定ライ
ンＬ１，Ｌ２の２値化映像信号に基づいて、各ラインご
とのリードピッチを算出し、その差分を求めることによ
り、各リードの曲がり量を測定することができる。

【００２９】なお、リードピッチ測定用ラインを３本以
上設定する場合には、測定ラインに応じた数のライン映
像信号取り込み処理部を設ければよく、そうすることに
より１回の画像取り込みで任意本数の各ラインに沿った
リードピッチを高精度に算出することができる。

【００３０】また、上述の各実施例では、オペレータが
操作キー１８を操作することにより、リードピッチ測定
用ラインをＣＲＴ１４の画面上に設定するように構成し
たが、本発明はこれに限定されない。例えば、図５に示
すように、基準線Ｏからの距離が、基準線Ｏからパッケ
ージ本体１ａの端縁に沿ったラインＱまでの距離の例え
ば１０％になる位置に測定ラインＬを設定するというよ
うに、予めプログラムしておけば、自動的に測定ライン
Ｌを設定してリードピッチを算出することも可能であ
る。もちろん、２本以上の測定ラインを設定する場合も
同様に自動化することができる。

【００３１】さらに、上述の各実施例では、フラットパ
ッケージ形のＩＣの一方側に配列されたリードのピッチ
等を測定する場合を例に採って説明したが、他方側に配
列されたリードの形状検査をする場合は、ＩＣ１を１８
０度回転させて同様の測定をすればよい。また、ＩＣ１
の両側辺のリード配列の形状検査を同時に行う場合に
は、各リード配列を内側から照射するような光源を設
け、各リード配列を通過した光を、第１実施例あるいは
第２実施例のような装置でそれぞれ検出することによ
り、各リード配列の形状検査を同時に行うことも可能で
ある。同様に、第１および第２実施例のような装置を４
つ用いれば、パッケージ本体の４側辺からリード群が導
出された、いわゆるＱＦＰ（Quad Flat Package ）の各
リード群の形状検査を同時に行うことも可能である。

【００３２】本発明は、上述した各実施例の構成に限定
されるものでなく、種々変更実施することができる。例
えば、実施例では、リードピッチ測定用ラインに沿った
１走査ライン分のデジタル映像信号を、一時的にライン
メモリ２１に保管した後、２値化してメモリ２４に記憶
するようにしたが、ラインメモリ２１を用いることな
く、高速Ａ／Ｄ変換器１６の出力信号を比較器２２に与
えて２値化し、その２値化映像信号を比較器２５からの
一致信号（書き込み信号）に基づいて、メモリ２４に直
接書き込むように構成してもよい。

【００３３】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に記載の発明によれば、表示手段に映し出されたリー
ド配列の画像の任意の位置に正確にリードピッチ測定用
ラインを設定することができ、また、その測定用ライン
に沿った１水平走査ライン分の映像信号を高分解能で取
り込んでリードピッチを算出しているので、リードピッ
チを高精度に測定することができる。また、本発明によ
れば、従来装置のように、リードピッチを測定するため
の専用の光学系やＣＣＤラインセンサ等が不要になるの
で、その分、装置の構成が簡素化される。

【００３４】さらに、請求項２に記載の発明によれば、
上記請求項１に記載の発明の効果に加えて、複数本の測
定ラインに沿った各リードピッチを１回の画像取り込み
によって測定することができるので、リード形状検査装
置の処理効率を向上することができる。また、従来装置
の場合のように、ＣＣＤラインセンサを移動する機構を
設けたり、複数個のＣＣＤラインセンサを設置する必要
もないので、この種の検査装置の構成が簡素化され、安
価に実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る電子部品のリード形状検査装置の
第１実施例の概略構成を示したブロック図である。

【図２】第１実施例装置の動作説明に供する図である。

【図３】本発明の第２実施例の概略構成を示したブロッ
ク図である。

【図４】第２実施例装置の動作説明に供する図である。

【図５】リードピッチ測定用ラインの設定手法の変形例
を説明するための図である。

【図６】従来装置の概略構成を示す図である。

【図７】従来装置の動作説明に供する図である。

【符号の説明】

１…ＩＣ（検査対象である電子部品） １ａ…パッケージ本体 ２…リード ３…検査ステージ １３…ＣＣＤカメラ（二次元撮像手段） １４…ＣＲＴ（表示手段） １６…高速Ａ／Ｄ変換器（アナログ・デジタル変換手
段） １８…操作キー（測定ライン設定手段） ２４…メモリ（記憶手段） ２５…比較器（比較手段） ３０…ラスターアドレス発生回路（ラスターアドレス発
生手段） ３１…ＣＰＵ（リードピッチ算出手段）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子部品のリード配列を撮像する二次元
   撮像手段と、 前記撮像手段によって撮像されたリード配列を映し出す
   表示手段と、 前記表示手段の任意の水平走査ライン上にリードピッチ
   測定用ラインを設定する測定ライン設定手段と、 前記撮像手段から出力される水平走査ライン方向の映像
   信号を、前記撮像手段の縦分解能（垂直走査方向の分解
   能）よりも高い分解能でサンプリングしてデジタル信号
   に変換するアナログ・デジタル変換手段と、 前記撮像手段から出力された映像信号の水平走査線のア
   ドレス（ラスターアドレス）を発生させるラスターアド
   レス発生手段と、 前記測定ライン設定手段によって設定された測定ライン
   の位置情報と、前記ラスターアドレス発生手段からのラ
   スターアドレスとを比較し、両者が一致したときに書き
   込み信号を出力する比較手段と、 前記アナログ・デジタル変換手段から出力されたデジタ
   ル映像信号の内、前記書き込み信号が出力されたタイミ
   ングに基づいて、１水平走査ライン分のデジタル映像信
   号に関連したデータを記憶する記憶手段と、 前記記憶手段に記憶されたデータに基づいて、リードピ
   ッチを算出するリードピッチ算出手段と、 を備えたことを特徴とする電子部品のリード形状検査装
   置。
2. 【請求項２】 電子部品のリード配列を撮像する二次元
   撮像手段と、 前記撮像手段によって撮像されたリード配列を映し出す
   表示手段と、 前記表示手段の任意の水平走査ライン上に複数本のリー
   ドピッチ測定用ラインを設定する測定ライン設定手段
   と、 前記撮像手段から出力される水平走査ライン方向の映像
   信号を、前記撮像手段の縦分解能（垂直走査方向の分解
   能）よりも高い分解能でサンプリングしてデジタル信号
   に変換するアナログ・デジタル変換手段と、 前記撮像手段から出力された映像信号の水平走査線のア
   ドレス（ラスターアドレス）を発生させるラスターアド
   レス発生手段と、 前記測定ライン設定手段によって設定された複数本の測
   定ラインの位置情報と、前記ラスターアドレス発生手段
   からのラスターアドレスとをそれぞれ比較し、 前記各位置情報と前記ラスターアドレスとが一致したと
   きに各々書き込み信号を出力する比較手段と、 前記アナログ・デジタル変換手段から出力されたデジタ
   ル映像信号の内、前記各書き込み信号が出力されたタイ
   ミングに基づいて、複数水平走査ライン分のデジタル映
   像信号に関連したデータを記憶する記憶手段と、 前記記憶手段に記憶された複数走査ライン分のデータに
   基づいて、各ラインごとのリードピッチを算出するリー
   ドピッチ算出手段と、 を備えたことを特徴とする電子部品のリード形状検査装
   置。