JPH0781900B2 - 薬液供給装置 - Google Patents
薬液供給装置Info
- Publication number
- JPH0781900B2 JPH0781900B2 JP61081764A JP8176486A JPH0781900B2 JP H0781900 B2 JPH0781900 B2 JP H0781900B2 JP 61081764 A JP61081764 A JP 61081764A JP 8176486 A JP8176486 A JP 8176486A JP H0781900 B2 JPH0781900 B2 JP H0781900B2
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- JP
- Japan
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- light
- pipe
- gas
- intermediate container
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Links
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Landscapes
- Loading And Unloading Of Fuel Tanks Or Ships (AREA)
- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体集積回路を製造する際に使用する薬液を
供給する装置に関し、特に薬液容器の充空や薬液中の気
体の有無を液に接することなく外部から判断できる薬液
供給装置に関するものである。
供給する装置に関し、特に薬液容器の充空や薬液中の気
体の有無を液に接することなく外部から判断できる薬液
供給装置に関するものである。
従来この種の充空や有無の判断は薬液容器内にフロート
スイッチを使用したり、積算流量計を配管途中に設けた
りする薬液に直接接触して行なう方法と、重量計を用い
たりする薬液に接触しない方法とがあった。
スイッチを使用したり、積算流量計を配管途中に設けた
りする薬液に直接接触して行なう方法と、重量計を用い
たりする薬液に接触しない方法とがあった。
上述した従来の薬液に接触する方法では、薬液に接触す
る部品が腐食したり、変質したりするという欠点があ
る。
る部品が腐食したり、変質したりするという欠点があ
る。
薬液に接触しない重量計を用いる方法では、精度が悪く
又装置の床に加工が必要な為装置の構造を制限し使用上
も操作性を制限するという欠点があった。
又装置の床に加工が必要な為装置の構造を制限し使用上
も操作性を制限するという欠点があった。
本発明によれば、半導体製造工程で使用する薬液供給装
置において、気体加圧手段により薬液が上部から供給さ
れ内部を流れ下部から流れ出る中間容器と、前記中間容
器の上部に一端が接続され少なくとも一部が透明で前記
中間容器の上方に向う配管と、前記配管の透明な部分を
はさんでそれぞれ配設された投光側と受光側の光透過型
センサーと、前記配管の他端に接続された排気弁とを有
し、前記配管に前記気体加圧手段の加圧気体が溜った場
合前記光透過型センサーにより前記薬液が空であること
を判断し前記排気弁を開き前記中間容器の上部に溜った
前記気体を排気し、前記配管に前記薬液が満たされてい
る場合前記光透過型センサーにより薬液が充満している
ことを判断し前記排気弁を閉じる薬液供給装置を得る。
置において、気体加圧手段により薬液が上部から供給さ
れ内部を流れ下部から流れ出る中間容器と、前記中間容
器の上部に一端が接続され少なくとも一部が透明で前記
中間容器の上方に向う配管と、前記配管の透明な部分を
はさんでそれぞれ配設された投光側と受光側の光透過型
センサーと、前記配管の他端に接続された排気弁とを有
し、前記配管に前記気体加圧手段の加圧気体が溜った場
合前記光透過型センサーにより前記薬液が空であること
を判断し前記排気弁を開き前記中間容器の上部に溜った
前記気体を排気し、前記配管に前記薬液が満たされてい
る場合前記光透過型センサーにより薬液が充満している
ことを判断し前記排気弁を閉じる薬液供給装置を得る。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の正面図である。加圧弁８を
開き薬液容器５を加圧すると薬液容器５内の液面９がお
され薬液容器５の底まで届く配管を有する継手４を通し
て透明配管３に薬液が流れる。薬液が流れることにより
それまで動作していた受光側の光透過型センサー２に光
が届かなくなり、薬液が流れていることを供給装置が検
知できる。
開き薬液容器５を加圧すると薬液容器５内の液面９がお
され薬液容器５の底まで届く配管を有する継手４を通し
て透明配管３に薬液が流れる。薬液が流れることにより
それまで動作していた受光側の光透過型センサー２に光
が届かなくなり、薬液が流れていることを供給装置が検
知できる。
薬液は中間容器６を通して各必要個所へ向かってＡの方
向に流れ出る。薬液を使用していくと液面９が下がりつ
いには継手４の配管より下に来て気体が継手４を通し透
明配管３に流れる。そうすると受光側の光透過型センサ
ーに光が届き受光側の光透過型センサーが動作し薬液容
器が空になったことを知らせる。気体を必要個所へ送ら
ない為に中間容器６上部にも同様の透明配管３と光透過
型センサー1,2を設置しておき中間容器６上部に気体が
溜った場合は排気弁７を開き中間容器６内が薬液で満た
されているようにする。ここで薬液の有無で光透過型セ
ンサー1,2が動作する原理を説明する。
向に流れ出る。薬液を使用していくと液面９が下がりつ
いには継手４の配管より下に来て気体が継手４を通し透
明配管３に流れる。そうすると受光側の光透過型センサ
ーに光が届き受光側の光透過型センサーが動作し薬液容
器が空になったことを知らせる。気体を必要個所へ送ら
ない為に中間容器６上部にも同様の透明配管３と光透過
型センサー1,2を設置しておき中間容器６上部に気体が
溜った場合は排気弁７を開き中間容器６内が薬液で満た
されているようにする。ここで薬液の有無で光透過型セ
ンサー1,2が動作する原理を説明する。
第２図は透明配管３の内側が気体の場合の光の通路をあ
らわす。投光側の光透過型センサー１から出た光Ｃは透
明配管３に入る所で一定の屈折率で曲げられる。透明配
管３内を通る時は内部が気体の為元の光と平行になり又
出る時に曲げられて受光側の光透過型センサー２へ届
く。
らわす。投光側の光透過型センサー１から出た光Ｃは透
明配管３に入る所で一定の屈折率で曲げられる。透明配
管３内を通る時は内部が気体の為元の光と平行になり又
出る時に曲げられて受光側の光透過型センサー２へ届
く。
第３図は透明配管３の内側が液体の場合の光の通路をあ
らわす。投光側の光透過型センサー１から出た光Ｃは透
明配管３に入る所で曲げられ更に透明配管３から出て内
部の薬液部に入る所でまた薬液個有の屈折率で曲げられ
受光側の光透過型センサーに届かなくなる。
らわす。投光側の光透過型センサー１から出た光Ｃは透
明配管３に入る所で曲げられ更に透明配管３から出て内
部の薬液部に入る所でまた薬液個有の屈折率で曲げられ
受光側の光透過型センサーに届かなくなる。
光透過型センサー1,2の位置を変えて、逆に薬液有で動
作する様にしても同じ効果が得られる。
作する様にしても同じ効果が得られる。
以上説明したように本発明は、透明配管と光透過型セン
サーを用いることにより、薬液に触れることなく簡単に
薬液容器の充空や気体の有無を判断できる。薬液に触れ
ることがない為他のセンサーの様に腐食、変質等がなく
重量計などより精度よく、複雑な加工を供なわず設置す
ることができる。
サーを用いることにより、薬液に触れることなく簡単に
薬液容器の充空や気体の有無を判断できる。薬液に触れ
ることがない為他のセンサーの様に腐食、変質等がなく
重量計などより精度よく、複雑な加工を供なわず設置す
ることができる。
本発明の薬液供給装置を２台つなげることにより容易に
連続的な薬液を供給することができる効果がある。
連続的な薬液を供給することができる効果がある。
第１図は本発明の正面図、第２図は配管内が気体の場合
の原理図、第３図は配管内が液体の場合の原理図であ
る。 １……投光側の光透過型センサー、２……受光側の光透
過センサー、３……透明配管、４……継手、５……薬液
容器、６……中間容器、７……排気弁、８……加圧弁、
Ａ……薬液の流れ、Ｂ……気体の流れ、Ｃ……光の通
路。
の原理図、第３図は配管内が液体の場合の原理図であ
る。 １……投光側の光透過型センサー、２……受光側の光透
過センサー、３……透明配管、４……継手、５……薬液
容器、６……中間容器、７……排気弁、８……加圧弁、
Ａ……薬液の流れ、Ｂ……気体の流れ、Ｃ……光の通
路。
Claims (1)
- 【請求項１】半導体製造工程で使用する薬液供給装置に
おいて、気体加圧手段により薬液が上部から供給され内
部を流れ下部から流れ出る中間容器と、前記中間容器の
上部に一端が接続され少なくとも一部が透明で前記中間
容器の上方に向う配管と、前記配管の透明な部分をはさ
んでそれぞれ配置された投光側と受光側の光透過型セン
サーと、前記配管の他端に接続された排気弁とを有し、
前記配管に前記気体加圧手段の加圧気体が溜った場合前
記光透過型センサーにより前記薬液が空であることを判
断し前記排気弁を開き前記中間容器の上部に溜った前記
気体を排気し、前記配管に前記薬液が満たされている場
合前記光透過型センサーにより薬液が充満していること
を判断し前記排気弁を閉じることを特徴とする薬液供給
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61081764A JPH0781900B2 (ja) | 1986-04-08 | 1986-04-08 | 薬液供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61081764A JPH0781900B2 (ja) | 1986-04-08 | 1986-04-08 | 薬液供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62237324A JPS62237324A (ja) | 1987-10-17 |
| JPH0781900B2 true JPH0781900B2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=13755523
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61081764A Expired - Fee Related JPH0781900B2 (ja) | 1986-04-08 | 1986-04-08 | 薬液供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0781900B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4138440B2 (ja) | 2002-10-16 | 2008-08-27 | 富士通株式会社 | 薬液供給装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4994357A (ja) * | 1973-01-10 | 1974-09-07 |
-
1986
- 1986-04-08 JP JP61081764A patent/JPH0781900B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62237324A (ja) | 1987-10-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |