JPH0783095B2 - 固体撮像素子の検査方法 - Google Patents
固体撮像素子の検査方法Info
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- JPH0783095B2 JPH0783095B2 JP1176695A JP17669589A JPH0783095B2 JP H0783095 B2 JPH0783095 B2 JP H0783095B2 JP 1176695 A JP1176695 A JP 1176695A JP 17669589 A JP17669589 A JP 17669589A JP H0783095 B2 JPH0783095 B2 JP H0783095B2
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、入射する光を光電変換する受光素子を多数備
えて成る固体撮像素子において、その受光位置による感
度のばらつきを検査する方法に関する。
えて成る固体撮像素子において、その受光位置による感
度のばらつきを検査する方法に関する。
（従来の技術） 従来、固体撮像素子は、第１図に示すように、光源11か
ら出た光をコンデンサーレンズ12、フィルター13、パタ
ーン14、投影レンズ15及び絞り16等の光学系を介し、そ
の強度を均一にして照射領域17に照射すると共に、この
照射領域17に固体撮像素子を配置して上記均一な強度の
光線を固体撮像素子の受光面に照射させ、こうして照射
した均一光をそれぞれの受光素子で光電変換して、その
ばらつきを測定していた。すなわち、上述のように照射
光の強度が均一であるから、それぞれの受光素子の感度
が均一であればその光電変換後の出力は受光素子によら
ず均一となり、他方、受光素子の感度にばらつきがあれ
ば受光位置に応じてその出力に相違が生じる。この出力
の相違の有無とその大きさにより固体撮像素子受光面の
位置によるばらつきの有無とその大きさとが判定できる
のである。
ら出た光をコンデンサーレンズ12、フィルター13、パタ
ーン14、投影レンズ15及び絞り16等の光学系を介し、そ
の強度を均一にして照射領域17に照射すると共に、この
照射領域17に固体撮像素子を配置して上記均一な強度の
光線を固体撮像素子の受光面に照射させ、こうして照射
した均一光をそれぞれの受光素子で光電変換して、その
ばらつきを測定していた。すなわち、上述のように照射
光の強度が均一であるから、それぞれの受光素子の感度
が均一であればその光電変換後の出力は受光素子によら
ず均一となり、他方、受光素子の感度にばらつきがあれ
ば受光位置に応じてその出力に相違が生じる。この出力
の相違の有無とその大きさにより固体撮像素子受光面の
位置によるばらつきの有無とその大きさとが判定できる
のである。
（発明が解決しようとする課題） 上記検査方法は照射領域17を照射する光束の強度が真に
均一であるとの仮定に基づいている。しかしながら、コ
ンデンサーレンズ12等の上記光学系を介して照射領域を
照射する光束は、完全な均一光束ではなく、その照射位
置によって多少のばらつきを有するものであって、その
照射位置により３％程度の強度むらを避けることができ
なかった。
均一であるとの仮定に基づいている。しかしながら、コ
ンデンサーレンズ12等の上記光学系を介して照射領域を
照射する光束は、完全な均一光束ではなく、その照射位
置によって多少のばらつきを有するものであって、その
照射位置により３％程度の強度むらを避けることができ
なかった。
このため、上記検査方法においては、照射光束の強度む
らに応じて測定精度に限界があり、例えば、その測定む
らを３％より低下させることができなかった。
らに応じて測定精度に限界があり、例えば、その測定む
らを３％より低下させることができなかった。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、照射位置によって強度むらのある光源を利用して
も、極めて高い精度で固体撮像素子受光面の位置による
感度のばらつきを測定できる検査方法を提供することを
目的とするものである。
て、照射位置によって強度むらのある光源を利用して
も、極めて高い精度で固体撮像素子受光面の位置による
感度のばらつきを測定できる検査方法を提供することを
目的とするものである。
（課題を解決するための手段） すなわち、本発明は、 固体撮像素子の受光素子面に検査光源の照明光を照射
し、この照明光に基づく固体撮像素子の出力を検査して
上記受光素子の感度を検査する検査方法を前提とし、 上記照明光で照射される照射面を同一形状且つ同一面積
の多数の小照射領域に区分すると共に、 基準となる固体撮像素子を準備して、その受光素子面を
上記小照射領域に対応してこれと同一形状且つ同一面積
の多数の基準小検査領域に区分し、 上記基準小検査領域のそれぞれをそれぞれの小照明領域
に配置させ、これら小照明領域に対応する照明光を照射
して小照明領域毎に基準固体撮像素子の出力を求め、し
かも、上記基準小検査領域と小照明領域の組み合わせを
変えてその全ての組み合わせについて基準固体撮像素子
の上記出力を求め、 こうして得られた出力データの平均値を各小照明領域ご
とに算出することにより、上記基準小検査領域の相違に
よる出力のばらつきを除去すると共に上記小照射領域の
相違による出力のばらつきの程度を数値化してこれを補
正値とし、 検査対象の固体撮像素子の受光素子面に上記検査光源の
照明光を照射して、上記小照明領域ごとに出力を求め、 この検査対象の小照明領域ごとの出力を上記補正値によ
り補正して検査することを特徴とするものである。
し、この照明光に基づく固体撮像素子の出力を検査して
上記受光素子の感度を検査する検査方法を前提とし、 上記照明光で照射される照射面を同一形状且つ同一面積
の多数の小照射領域に区分すると共に、 基準となる固体撮像素子を準備して、その受光素子面を
上記小照射領域に対応してこれと同一形状且つ同一面積
の多数の基準小検査領域に区分し、 上記基準小検査領域のそれぞれをそれぞれの小照明領域
に配置させ、これら小照明領域に対応する照明光を照射
して小照明領域毎に基準固体撮像素子の出力を求め、し
かも、上記基準小検査領域と小照明領域の組み合わせを
変えてその全ての組み合わせについて基準固体撮像素子
の上記出力を求め、 こうして得られた出力データの平均値を各小照明領域ご
とに算出することにより、上記基準小検査領域の相違に
よる出力のばらつきを除去すると共に上記小照射領域の
相違による出力のばらつきの程度を数値化してこれを補
正値とし、 検査対象の固体撮像素子の受光素子面に上記検査光源の
照明光を照射して、上記小照明領域ごとに出力を求め、 この検査対象の小照明領域ごとの出力を上記補正値によ
り補正して検査することを特徴とするものである。
尚、本発明において、基準となる固体撮像素子は小照射
領域の相違による出力のばらつきの程度を数値化して補
正値を求めるために利用されるものであるから、検査対
象の固体撮像素子をそのまま利用してもよく、またこれ
とは別の固体撮像素子を使用してもよい。
領域の相違による出力のばらつきの程度を数値化して補
正値を求めるために利用されるものであるから、検査対
象の固体撮像素子をそのまま利用してもよく、またこれ
とは別の固体撮像素子を使用してもよい。
また、上記小照射領域としては上記照射面を分周分割し
て設けることが簡便であり、この場合、基準となる上記
固体撮像素子を回転させることにより、上記基準小検査
領域と小照射領域の組み合わせを変えてその全ての組み
合わせについて基準固体撮像素子の出力を求めることが
可能となる。
て設けることが簡便であり、この場合、基準となる上記
固体撮像素子を回転させることにより、上記基準小検査
領域と小照射領域の組み合わせを変えてその全ての組み
合わせについて基準固体撮像素子の出力を求めることが
可能となる。
（作用） 本発明によれば、照明光で照射される照射面を同一形状
且つ同一面積の多数の小照射領域に区分すると共に、 基準となる固体撮像素子を準備して、その受光素子面を
上記小照射領域に対応してこれと同一形状且つ同一面積
の多数の基準小検査領域に区分し、 上記基準小検査領域のそれぞれをぞれぞれの小照明領域
に配置させ、これら小照明領域に対応する照明光を照射
して小照明領域毎に基準固体撮像素子の出力を求め、し
かも、上記基準小検査領域と小照明領域の組み合わせを
変えてその全ての組み合わせについて基準固体撮像素子
の上記出力を求め、 こうして得られた出力データの平均値を各小照明領域ご
とに算出することにより、上記基準小検査領域の相違に
よる出力のばらつきを除去すると共に上記小照明領域の
相違による出力のばらつきの程度を数値化してこれを補
正値とし、 検査対象の小照明領域ごとの出力を上記補正値により補
正して検査するため、 照明領域の相違による出力のばらつきを防いで、検査対
象の固体撮像素子の感度むらのみを選択的に検査するこ
とが可能となる。
且つ同一面積の多数の小照射領域に区分すると共に、 基準となる固体撮像素子を準備して、その受光素子面を
上記小照射領域に対応してこれと同一形状且つ同一面積
の多数の基準小検査領域に区分し、 上記基準小検査領域のそれぞれをぞれぞれの小照明領域
に配置させ、これら小照明領域に対応する照明光を照射
して小照明領域毎に基準固体撮像素子の出力を求め、し
かも、上記基準小検査領域と小照明領域の組み合わせを
変えてその全ての組み合わせについて基準固体撮像素子
の上記出力を求め、 こうして得られた出力データの平均値を各小照明領域ご
とに算出することにより、上記基準小検査領域の相違に
よる出力のばらつきを除去すると共に上記小照明領域の
相違による出力のばらつきの程度を数値化してこれを補
正値とし、 検査対象の小照明領域ごとの出力を上記補正値により補
正して検査するため、 照明領域の相違による出力のばらつきを防いで、検査対
象の固体撮像素子の感度むらのみを選択的に検査するこ
とが可能となる。
（実施例） 次に、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
第１図に示すように、その光学系は従来のものと同一で
ある。すなわち、光源11から出た光はコンデンサーレン
ズ12等の上記光学系を介して照射領域を照射する。そし
て、この照射面17を、第２図イに示すように、互いに90
度づつ回転した位置にある同一形状且つ同一面積のＡ、
Ｂ、Ｃ、Ｄの４つの上記小照射領域に区分する。
ある。すなわち、光源11から出た光はコンデンサーレン
ズ12等の上記光学系を介して照射領域を照射する。そし
て、この照射面17を、第２図イに示すように、互いに90
度づつ回転した位置にある同一形状且つ同一面積のＡ、
Ｂ、Ｃ、Ｄの４つの上記小照射領域に区分する。
次に、上記照射面17に基準となる固体撮像素子の受光面
を配置させ、この受光面を上記４つの小照射領域に対応
させて、ａ、ｂ、ｃ、ｄの４つの基準小検査領域に区分
する。尚、この基準となる固体撮像素子としては、検査
対象の固体撮像素子をそのまま利用した。また、小照射
領域Ａには基準小検査領域ａを対応させ、同様にＢには
ｂ、Ｃにはｃ、Ｄにはｄを対応させた。
を配置させ、この受光面を上記４つの小照射領域に対応
させて、ａ、ｂ、ｃ、ｄの４つの基準小検査領域に区分
する。尚、この基準となる固体撮像素子としては、検査
対象の固体撮像素子をそのまま利用した。また、小照射
領域Ａには基準小検査領域ａを対応させ、同様にＢには
ｂ、Ｃにはｃ、Ｄにはｄを対応させた。
そして、上記各基準小検査領域ａ、ｂ、ｃ、ｄの出力を
基準小検査領域毎に測定し、これをVaA、VbB、VcC、VdD
とした。
基準小検査領域毎に測定し、これをVaA、VbB、VcC、VdD
とした。
次に、第２図ハに示すように、固体撮像素子をその中心
を回転中心として90度回転させ、上記小照射顔料Ａには
基準小検査領域ｂを対応させ、同様にＢにはｃ、Ｃには
ｄ、Ｄにはａを対応させた。
を回転中心として90度回転させ、上記小照射顔料Ａには
基準小検査領域ｂを対応させ、同様にＢにはｃ、Ｃには
ｄ、Ｄにはａを対応させた。
そして、上記各基準小検査領域ａ、ｂ、ｃ、ｄの出力を
基準小検査領域毎に測定し、これをVbA、VcB、VdC、VaD
とした。
基準小検査領域毎に測定し、これをVbA、VcB、VdC、VaD
とした。
そして、この操作を繰り返し、VcA、VdB、VaC、VbD、及
びVdA、VaB、VbC、VcDを測定した。
びVdA、VaB、VbC、VcDを測定した。
こうして測定された出力を、横軸を小照射領域Ａ、Ｂ、
Ｃ、Ｄ、縦軸を基準小検査領域ａ、ｂ、ｃ、ｄとしてマ
トリクス表示したものが第３図である。
Ｃ、Ｄ、縦軸を基準小検査領域ａ、ｂ、ｃ、ｄとしてマ
トリクス表示したものが第３図である。
この第３図から分かるように、上記小照射領域Ａ、Ｂ、
Ｃ、Ｄと基準小検査領域ａ、ｂ、ｃ、ｄの組合せの全て
についてその出力を測定した。
Ｃ、Ｄと基準小検査領域ａ、ｂ、ｃ、ｄの組合せの全て
についてその出力を測定した。
次に、この第３図において、縦軸に沿ってVaA、VbA、V
cA、VdAを加算し、その出力データの数４で割って、小
照射領域Ａの補正値VAを求めた。そして、同様に、VB、
VC、VDを求めた。
cA、VdAを加算し、その出力データの数４で割って、小
照射領域Ａの補正値VAを求めた。そして、同様に、VB、
VC、VDを求めた。
次に、基準となる上記固体撮像素子を検査対象の固体撮
像素子として、この固体撮像素子の位置による感度むら
を算出した。すなわち、まず、小照射領域Ａに基準小検
査領域ａを対応させて得られた上記出力データVaAを補
正値VAによって補正して小検査領域ａの感度Vaを求め
た。また、同様に、Vb、Vc及びVdを求めた。
像素子として、この固体撮像素子の位置による感度むら
を算出した。すなわち、まず、小照射領域Ａに基準小検
査領域ａを対応させて得られた上記出力データVaAを補
正値VAによって補正して小検査領域ａの感度Vaを求め
た。また、同様に、Vb、Vc及びVdを求めた。
そして、こうして得られたVa、Vb、Vc及びVdAを互いに
比較することにより、上記固体撮像素子の受光面の位置
による感度のばらつきを精度良く検査することができ
た。
比較することにより、上記固体撮像素子の受光面の位置
による感度のばらつきを精度良く検査することができ
た。
（発明の効果） 本発明によれば、照明領域の相違による出力のばらつき
を防いで、検査対象の固体撮像素子の感度むらのみを選
択的に検査することができるため、照射位置によって感
度むらのある光源を利用しても、極めて高い精度で固体
撮像素子受光面の位置による感度のばらつきを測定でき
るという効果を有する。
を防いで、検査対象の固体撮像素子の感度むらのみを選
択的に検査することができるため、照射位置によって感
度むらのある光源を利用しても、極めて高い精度で固体
撮像素子受光面の位置による感度のばらつきを測定でき
るという効果を有する。
第１図は固体撮像素子の感度の測定方法を示す説明図。
第２図イは照射面の区分を示す説明図、第２図ロは上記
照射面の区分に受光面の区分を対応させた状態の説明
図、第２図ハは受光面を回転させた場合の照射面の区分
に受光面の区分を対応させた状態の説明図、第３図は出
力データの計算方法を説明するための説明図である。 11……光源 12……コンデンサーレンズ 13……フィルター 14……パターン 15……投影レンズ 16……絞り 17……照射面
第２図イは照射面の区分を示す説明図、第２図ロは上記
照射面の区分に受光面の区分を対応させた状態の説明
図、第２図ハは受光面を回転させた場合の照射面の区分
に受光面の区分を対応させた状態の説明図、第３図は出
力データの計算方法を説明するための説明図である。 11……光源 12……コンデンサーレンズ 13……フィルター 14……パターン 15……投影レンズ 16……絞り 17……照射面
Claims (1)
- 【請求項１】固体撮像素子の受光素子面に検査光源の照
明光を照射し、この照明光に基づく固体撮像素子の出力
を検査して上記受光素子の感度を検査する検査方法にお
いて、 上記照明光で照射される照射面を同一形状且つ同一面積
の多数の小照射領域に区分すると共に、 基準となる固体撮像素子を準備して、その受光素子面を
上記小照射領域に対応してこれと同一形状且つ同一面積
の多数の基準小検査領域に区分し、 上記基準小検査領域のそれぞれをそれぞれの小照明領域
に配置させ、これら小照明領域に対応する照明光を照射
して小照明領域毎に基準固体撮像素子の出力を求め、し
かも、上記基準小検査領域と小照明領域の組み合わせを
変えてその全ての組み合わせについて基準固体撮像素子
の上記出力を求め、 こうして得られた出力データの平均値を各小照明領域ご
とに算出することにより、上記基準小検査領域の相違に
よる出力のバラツキを除去すると共に上記小照明領域の
相違による出力のバラツキの程度を数値化してこれを補
正値とし、 検査対象の固体撮像素子の受光素子面に上記検査光源の
照明光を照射して、上記小照明領域ごとに出力を求め、 この検査対象の小照明領域ごとの出力を上記補正値によ
り補正して検査することを特徴とする固体撮像素子の検
査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1176695A JPH0783095B2 (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | 固体撮像素子の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1176695A JPH0783095B2 (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | 固体撮像素子の検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0341766A JPH0341766A (ja) | 1991-02-22 |
| JPH0783095B2 true JPH0783095B2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=16018125
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1176695A Expired - Fee Related JPH0783095B2 (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | 固体撮像素子の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0783095B2 (ja) |
-
1989
- 1989-07-07 JP JP1176695A patent/JPH0783095B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0341766A (ja) | 1991-02-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |