JPH0784007B2 - 電気部品搭載用基板の形成装置 - Google Patents
電気部品搭載用基板の形成装置Info
- Publication number
- JPH0784007B2 JPH0784007B2 JP11070087A JP11070087A JPH0784007B2 JP H0784007 B2 JPH0784007 B2 JP H0784007B2 JP 11070087 A JP11070087 A JP 11070087A JP 11070087 A JP11070087 A JP 11070087A JP H0784007 B2 JPH0784007 B2 JP H0784007B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- molded body
- sheet molded
- belt
- electric component
- airbag
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0005—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing
- B28D5/0041—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing the workpiece being brought into contact with a suitably shaped rigid body which remains stationary during breaking
- B28D5/0047—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing the workpiece being brought into contact with a suitably shaped rigid body which remains stationary during breaking using fluid or gas pressure
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えばセラミック等の材料からなる電気部品
搭載用基板の形成装置に関する。
搭載用基板の形成装置に関する。
近年、例えばハイブリッドIC等の半導体装置において
は、チップ等を含む電気部品搭載用基板の材料としてガ
ラスエポキシに代わりセラミックからなるものが採用さ
れている。
は、チップ等を含む電気部品搭載用基板の材料としてガ
ラスエポキシに代わりセラミックからなるものが採用さ
れている。
従来、この種の電気部品搭載用基板を形成するには、一
般にバッチ処理されることが多く、このため第６図に示
すように基板1aの素材となるセラミック製のシート成形
体１（厚さ0.6mm）にブレークラインあるいは分割線と
呼ばれる細溝２を設け、この細溝２に沿って回路パター
ン等の加工後に多数の基板1aに分割することにより行わ
れる。
般にバッチ処理されることが多く、このため第６図に示
すように基板1aの素材となるセラミック製のシート成形
体１（厚さ0.6mm）にブレークラインあるいは分割線と
呼ばれる細溝２を設け、この細溝２に沿って回路パター
ン等の加工後に多数の基板1aに分割することにより行わ
れる。
ところで、従来の電気部品搭載用基板の形成方法に用い
る装置には、シート成形体１の分割時に固定台（図示せ
ず）上のシート成形体１を押圧するローラ（図示せず）
あるいはエッジ（図示せず）が備えられている。
る装置には、シート成形体１の分割時に固定台（図示せ
ず）上のシート成形体１を押圧するローラ（図示せず）
あるいはエッジ（図示せず）が備えられている。
しかるに、これら押圧部材は剛性が高い材料によって形
成されているため、押圧時にシート成形体１が破損し易
く、分割上の信頼性が低下するという問題があった。ま
たローラやエッジではシート成形体１に対して微妙な押
圧力を付与することができないため、複雑な形状をもつ
基板1aを形成することが困難であった。さらに、基板1a
の形成を固定台（図示せず）上で行うものであるため、
シート成形体１の分割後に次工程へ移送するに際して基
板1aがばらばらの状態になることがあり、その移送作業
を煩雑にするという不都合があった。
成されているため、押圧時にシート成形体１が破損し易
く、分割上の信頼性が低下するという問題があった。ま
たローラやエッジではシート成形体１に対して微妙な押
圧力を付与することができないため、複雑な形状をもつ
基板1aを形成することが困難であった。さらに、基板1a
の形成を固定台（図示せず）上で行うものであるため、
シート成形体１の分割後に次工程へ移送するに際して基
板1aがばらばらの状態になることがあり、その移送作業
を煩雑にするという不都合があった。
本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、シート
成形体分割上の信頼性を高めることができると共に、通
常の形状のみならず複雑な形状をもつ電気部品搭載用基
板を容易に形成することができ、かつ次工程への移送作
業の簡素化を図ることができる電気部品搭載用基板の形
成装置を提供するものである。
成形体分割上の信頼性を高めることができると共に、通
常の形状のみならず複雑な形状をもつ電気部品搭載用基
板を容易に形成することができ、かつ次工程への移送作
業の簡素化を図ることができる電気部品搭載用基板の形
成装置を提供するものである。
本発明に係る電気部品搭載用基板の形成装置は、多数の
基板に分割する細溝を有するシート成形体を移送するベ
ルトと、このベルトの上方に設けられかつエアバッグ受
けによって回転自在に保持されベルト下方の受座にベル
ト上のシート成形体を押圧して電気部品搭載用基板に分
割するエアバッグとを備えたものである。
基板に分割する細溝を有するシート成形体を移送するベ
ルトと、このベルトの上方に設けられかつエアバッグ受
けによって回転自在に保持されベルト下方の受座にベル
ト上のシート成形体を押圧して電気部品搭載用基板に分
割するエアバッグとを備えたものである。
本発明においては、シート成形体の押圧時にエアバッグ
の外形を被押圧面の形状に応じて変形させることがで
き、またベルトによって電気部品搭載用基板を次工程へ
移送することができる。
の外形を被押圧面の形状に応じて変形させることがで
き、またベルトによって電気部品搭載用基板を次工程へ
移送することができる。
第１図は本発明に係る電気部品搭載用基板の形成装置の
全体を示す斜視図、第２図は同じく電気部品搭載用基板
の形成装置の使用状態を示す断面図で、同図において第
６図と同一の部材については同一の符号を付し、詳細な
説明は省略する。同図において、符号11で示すものは所
定のストローク内で前記シート成形体１を移送する平ベ
ルトで、各々が互いに所定の間隔を隔てて対向する２つ
のローラ12,13に張架されている。14はゴム性のエアバ
ッグで、前記平ベルト11の上方に設けられ、かつ柔軟性
部材からなるエアバッグ受け15によって回転自在に保持
されており、全体が断面環状に形成されている。そし
て、このエアバッグ14は、ベルト下方の例えばローラか
らなる受座16にベルト上のシート成形体１を押圧して前
記基板1aに分割するように構成されている。また、この
エアバッグ14は、管体17を介してエア供給装置（図示せ
ず）に接続されており、その内部への供給ガス圧力を調
節可能に構成されている。なお、18は前記エアバッグ14
を前記管体17に連結する回転継手である。
全体を示す斜視図、第２図は同じく電気部品搭載用基板
の形成装置の使用状態を示す断面図で、同図において第
６図と同一の部材については同一の符号を付し、詳細な
説明は省略する。同図において、符号11で示すものは所
定のストローク内で前記シート成形体１を移送する平ベ
ルトで、各々が互いに所定の間隔を隔てて対向する２つ
のローラ12,13に張架されている。14はゴム性のエアバ
ッグで、前記平ベルト11の上方に設けられ、かつ柔軟性
部材からなるエアバッグ受け15によって回転自在に保持
されており、全体が断面環状に形成されている。そし
て、このエアバッグ14は、ベルト下方の例えばローラか
らなる受座16にベルト上のシート成形体１を押圧して前
記基板1aに分割するように構成されている。また、この
エアバッグ14は、管体17を介してエア供給装置（図示せ
ず）に接続されており、その内部への供給ガス圧力を調
節可能に構成されている。なお、18は前記エアバッグ14
を前記管体17に連結する回転継手である。
このように構成された電気部品搭載用基板の形成装置に
おいては、シート成形体１の押圧時にエアバッグ14の外
形を被押圧面の形状に応じて変形させることができる。
おいては、シート成形体１の押圧時にエアバッグ14の外
形を被押圧面の形状に応じて変形させることができる。
したがって、押圧時においてシート成形体１の破損発生
を確実に防止することができる。また、エアバッグ14内
の供給ガス圧力を調節することにより、シート成形体１
に対して微妙な押圧力を付与することができる。この場
合、供給ガス圧力を予めプログラムによって設定してシ
ート成形体１の通過位置によって変化させる。さらに、
シート成形体１の分割後には平ベルト11によって多数の
基板1aを整列した状態で次工程へ移送することができ
る。
を確実に防止することができる。また、エアバッグ14内
の供給ガス圧力を調節することにより、シート成形体１
に対して微妙な押圧力を付与することができる。この場
合、供給ガス圧力を予めプログラムによって設定してシ
ート成形体１の通過位置によって変化させる。さらに、
シート成形体１の分割後には平ベルト11によって多数の
基板1aを整列した状態で次工程へ移送することができ
る。
この他、本発明における形成装置を２個用意して第３図
に示すように各々が互いに直交する位置に設置すること
により、シート成形体１を縦横に一挙に分割することが
でき、その分割作業を簡単に行うことができる。同図に
おいて、符号19で示すものはシリンダ20によって一方側
の平ベルト11から他方側の平ベルト11にシート成形体１
を移送するシフターである。
に示すように各々が互いに直交する位置に設置すること
により、シート成形体１を縦横に一挙に分割することが
でき、その分割作業を簡単に行うことができる。同図に
おいて、符号19で示すものはシリンダ20によって一方側
の平ベルト11から他方側の平ベルト11にシート成形体１
を移送するシフターである。
また、本発明においては、仮にシート成形体１が細溝２
を裏側にした状態で平ベルト11上に載置されることがあ
っても、エアバッグ14内の供給ガス圧力を最適な圧力に
設定すればシート成形体１が分割されることがないか
ら、不良品発生率を抑制することができる。
を裏側にした状態で平ベルト11上に載置されることがあ
っても、エアバッグ14内の供給ガス圧力を最適な圧力に
設定すればシート成形体１が分割されることがないか
ら、不良品発生率を抑制することができる。
なお、本実施例においては、受座16として回転式のロー
ラを使用するものを示したが、本発明はこれに限定され
るものではなく、第４図に示すように固定式のエッジ21
を使用しても実施例と同様の効果を奏する。
ラを使用するものを示したが、本発明はこれに限定され
るものではなく、第４図に示すように固定式のエッジ21
を使用しても実施例と同様の効果を奏する。
また、本実施例においては、セラミック製のシート成形
体１を分割する場合に使用する例を示したが、本発明は
ガラスエポキシ製のものを分割する場合にも実施例と同
様に使用することができ、この他シリコン製のシート成
形体の場合にも使用できることは勿論である。
体１を分割する場合に使用する例を示したが、本発明は
ガラスエポキシ製のものを分割する場合にも実施例と同
様に使用することができ、この他シリコン製のシート成
形体の場合にも使用できることは勿論である。
さらに、本発明におけるエアバッグ受け15の形式は前述
した実施例に限定されず、第５図に示すように多数のロ
ーラ22からなるものでも何等差し支えない。
した実施例に限定されず、第５図に示すように多数のロ
ーラ22からなるものでも何等差し支えない。
以上説明したように本発明によれば、多数の基板の分割
する細溝を有するシート成形体を移送するベルトと、こ
のベルトの上方に設けられかつエアバッグ受けによって
回転自在に保持されベルト下方の受座にベルト上のシー
ト成形体を押圧して電気部品搭載用基板に分割するエア
バッグとを備えたので、シート成形体の押圧時にエアバ
ッグの外形を被押圧面の形状に応じて変形させることが
できる。したがって、押圧時においてシート成形体の破
損発生を防止することができるから、分割上の信頼性を
向上させることができる。また、エアバッグ内の供給ガ
ス圧力を調節することにより、シート成形体に対して微
妙な押圧力を付与することができるから、通常の形状の
みならず複雑な形状をもつ電気部品載置用基板を簡単か
つ確実に形成することができる。さらに、シート成形体
の分割後にはベルトによって多数の電気部品搭載用基板
を整列した状態で次工程へ移送することができるから、
その移送作業の簡素化を図ることもできる。
する細溝を有するシート成形体を移送するベルトと、こ
のベルトの上方に設けられかつエアバッグ受けによって
回転自在に保持されベルト下方の受座にベルト上のシー
ト成形体を押圧して電気部品搭載用基板に分割するエア
バッグとを備えたので、シート成形体の押圧時にエアバ
ッグの外形を被押圧面の形状に応じて変形させることが
できる。したがって、押圧時においてシート成形体の破
損発生を防止することができるから、分割上の信頼性を
向上させることができる。また、エアバッグ内の供給ガ
ス圧力を調節することにより、シート成形体に対して微
妙な押圧力を付与することができるから、通常の形状の
みならず複雑な形状をもつ電気部品載置用基板を簡単か
つ確実に形成することができる。さらに、シート成形体
の分割後にはベルトによって多数の電気部品搭載用基板
を整列した状態で次工程へ移送することができるから、
その移送作業の簡素化を図ることもできる。
第１図は本発明に係る電気部品搭載用基板の形成装置の
全体を示す斜視図、第２図は同じく電気部品搭載用基板
の形成装置の使用状態を示す断面図、第３図は他の第２
実施例における使用状態を示す平面図、第４図は他の第
３実施例における使用状態を示す断面図、第５図は他の
第４実施例おける使用状態を示す断面図、第６図は電気
部品搭載用基板の素材となるシート成形体を示す斜視図
である。 １……シート成形体、1a……基板、２……細溝、11……
平ベルト、14……エアバッグ、15……エアバッグ受け、
16……受座。
全体を示す斜視図、第２図は同じく電気部品搭載用基板
の形成装置の使用状態を示す断面図、第３図は他の第２
実施例における使用状態を示す平面図、第４図は他の第
３実施例における使用状態を示す断面図、第５図は他の
第４実施例おける使用状態を示す断面図、第６図は電気
部品搭載用基板の素材となるシート成形体を示す斜視図
である。 １……シート成形体、1a……基板、２……細溝、11……
平ベルト、14……エアバッグ、15……エアバッグ受け、
16……受座。
Claims (1)
- 【請求項１】多数の電気部品搭載用基板に分割する細溝
を有するシート成形体を移送するベルトと、このベルト
の上方に設けられかつエアバック受けによって回転自在
に保持されベルト下方の受座にベルト上のシート成形体
を押圧して前記電気部品搭載用基板に分割するエアバッ
クとを備えたことを特徴とする電気部品搭載用基板の形
成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11070087A JPH0784007B2 (ja) | 1987-05-08 | 1987-05-08 | 電気部品搭載用基板の形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11070087A JPH0784007B2 (ja) | 1987-05-08 | 1987-05-08 | 電気部品搭載用基板の形成装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63276506A JPS63276506A (ja) | 1988-11-14 |
| JPH0784007B2 true JPH0784007B2 (ja) | 1995-09-13 |
Family
ID=14542236
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11070087A Expired - Fee Related JPH0784007B2 (ja) | 1987-05-08 | 1987-05-08 | 電気部品搭載用基板の形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0784007B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02190299A (ja) * | 1989-01-16 | 1990-07-26 | Nippon Haiburitsudo Kk | 電子回路基板分割装置 |
| NL9100658A (nl) * | 1991-04-15 | 1992-11-02 | Europ Patentverwertung | Opstelling van scheidingsinrichtingen. |
-
1987
- 1987-05-08 JP JP11070087A patent/JPH0784007B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63276506A (ja) | 1988-11-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2691299B2 (ja) | 基板ホルダ | |
| US5842690A (en) | Semiconductor wafer anchoring device | |
| US20040214440A1 (en) | Methods of forming patterns for semiconductor constructions; and molds configured to pattern masses associated with semiconductor constructions | |
| EP0866494A4 (en) | METHOD FOR TREATING A SEMICONDUCTIVE DISC, METHOD FOR PRODUCING AN IC CARD AND CARRIER | |
| JPH0890545A (ja) | インサートを用いずにキャビティを形成する装置および方法 | |
| KR102152009B1 (ko) | 볼 탑재 장치 | |
| KR100664777B1 (ko) | 부품실장장치 및 부품실장방법 | |
| US5414372A (en) | Reusable test apparatus for integrated circuit chips | |
| JPH05190414A (ja) | 基板吸着装置 | |
| JPH0784007B2 (ja) | 電気部品搭載用基板の形成装置 | |
| US20030059981A1 (en) | Semiconductor device, method of producing the same and semiconductor production equipment for carrying out the method | |
| JP2881376B2 (ja) | グリーンシート積層方法及び装置 | |
| JPH09107045A (ja) | Ｂｇａパッケージのボール取付け方法 | |
| KR20220052766A (ko) | 볼 어태치 장치 및 이를 이용한 볼 어태치 방법 | |
| JPH04293300A (ja) | プリント基板支持装置 | |
| JP3733777B2 (ja) | Ｉｃチップ実装システムおよびｉｃチップ実装方法 | |
| KR100795966B1 (ko) | 반도체 패키지 제조용 쏘잉장치의 척테이블 | |
| JP3490157B2 (ja) | ワーク保持装置 | |
| JP2002043353A (ja) | Ｂｇａ素子用吸着器具及び吸着方法 | |
| KR100771279B1 (ko) | 마스크를 이용한 솔더 페이스트 인쇄 방법 및 그에사용되는 지그 | |
| JP2721896B2 (ja) | 試料吸着装置 | |
| JP2516025B2 (ja) | 基板分割装置 | |
| JP3557671B2 (ja) | プリント配線板用スクリーン印刷装置 | |
| JP2628501B2 (ja) | ユニットタイルの製造方法 | |
| JP3496112B2 (ja) | スクリーン印刷機の被印刷板の保持機構における下面支え部材 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |