JPH0785365B2 - 導電性高分子パターンの作製方法 - Google Patents
導電性高分子パターンの作製方法Info
- Publication number
- JPH0785365B2 JPH0785365B2 JP6964792A JP6964792A JPH0785365B2 JP H0785365 B2 JPH0785365 B2 JP H0785365B2 JP 6964792 A JP6964792 A JP 6964792A JP 6964792 A JP6964792 A JP 6964792A JP H0785365 B2 JPH0785365 B2 JP H0785365B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- light
- conductive polymer
- light irradiation
- polymer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 title claims description 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 claims description 25
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 claims description 22
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 19
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 18
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 7
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 claims description 7
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000005749 Copper compound Substances 0.000 claims description 2
- 150000001845 chromium compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- 150000001869 cobalt compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- 150000001880 copper compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- 150000002506 iron compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- 150000002816 nickel compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 29
- KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N Pyrrole Chemical compound C=1C=CNC=1 KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000010408 film Substances 0.000 description 12
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 11
- 150000003233 pyrroles Chemical class 0.000 description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 8
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 6
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 6
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- QTMDXZNDVAMKGV-UHFFFAOYSA-L copper(ii) bromide Chemical compound [Cu+2].[Br-].[Br-] QTMDXZNDVAMKGV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- 238000012685 gas phase polymerization Methods 0.000 description 4
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 4
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 description 4
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 239000002685 polymerization catalyst Substances 0.000 description 3
- 229930192474 thiophene Natural products 0.000 description 3
- 150000003577 thiophenes Chemical class 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021590 Copper(II) bromide Inorganic materials 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007611 bar coating method Methods 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L copper(II) chloride Chemical compound Cl[Cu]Cl ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 150000002240 furans Chemical class 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 239000003504 photosensitizing agent Substances 0.000 description 2
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 2
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- WSLDOOZREJYCGB-UHFFFAOYSA-N 1,2-Dichloroethane Chemical compound ClCCCl WSLDOOZREJYCGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021592 Copper(II) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N Cu2+ Chemical compound [Cu+2] JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 108010010803 Gelatin Proteins 0.000 description 1
- 150000001422 N-substituted pyrroles Chemical class 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 229920005601 base polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 229920006037 cross link polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 229920000159 gelatin Polymers 0.000 description 1
- 239000008273 gelatin Substances 0.000 description 1
- 235000019322 gelatine Nutrition 0.000 description 1
- 235000011852 gelatine desserts Nutrition 0.000 description 1
- 150000008282 halocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- FBAFATDZDUQKNH-UHFFFAOYSA-M iron chloride Chemical compound [Cl-].[Fe] FBAFATDZDUQKNH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- RUTXIHLAWFEWGM-UHFFFAOYSA-H iron(3+) sulfate Chemical compound [Fe+3].[Fe+3].[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O RUTXIHLAWFEWGM-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- 229910000360 iron(III) sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920005615 natural polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000123 paper Substances 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920002239 polyacrylonitrile Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 238000007430 reference method Methods 0.000 description 1
- GGCZERPQGJTIQP-UHFFFAOYSA-N sodium;9,10-dioxoanthracene-2-sulfonic acid Chemical compound [Na+].C1=CC=C2C(=O)C3=CC(S(=O)(=O)O)=CC=C3C(=O)C2=C1 GGCZERPQGJTIQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002759 woven fabric Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
- Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
- Polyoxymethylene Polymers And Polymers With Carbon-To-Carbon Bonds (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、導電性高分子パターン
(濃淡のある導電性高分子画像を含む。以下「パター
ン」には「画像」を含む。)の作製方法に関し、更に詳
しく言えば、簡便な方法で、大面積や複雑な導電性高分
子パターンを種々の基材上に製造する方法に関する。本
発明は、低電流の電気回路、スイッチ、光電素子等の電
子材料、電子基板等に利用される。
(濃淡のある導電性高分子画像を含む。以下「パター
ン」には「画像」を含む。)の作製方法に関し、更に詳
しく言えば、簡便な方法で、大面積や複雑な導電性高分
子パターンを種々の基材上に製造する方法に関する。本
発明は、低電流の電気回路、スイッチ、光電素子等の電
子材料、電子基板等に利用される。
【0002】
【従来の技術】従来の金属に代わる導電体として、導電
性高分子が注目されるようになり、種々の導電性高分子
が合成され検討されているが、不溶不融性の為加工性に
問題があり、用途が限られている。これらの導電性高分
子は電解重合法(第1方法)で製造されるのが、一般的
である(特開昭63−231884号公報、特開昭61
−138414号公報等)。
性高分子が注目されるようになり、種々の導電性高分子
が合成され検討されているが、不溶不融性の為加工性に
問題があり、用途が限られている。これらの導電性高分
子は電解重合法(第1方法)で製造されるのが、一般的
である(特開昭63−231884号公報、特開昭61
−138414号公報等)。
【0003】しかし、所定の基材上にピロール類を気相
重合して導電性膜を製造する方法も知られている。例え
ば、酸化剤が添加された架橋型ポリビニルアルコールを
塗布した後これを光照射にて架橋させ、次いでこの架橋
ポリマー層上にピロールを気相重合する方法(特開昭6
2−188394号公報、第2方法)、ピロール類と電
解質を含む高分子層を光増感剤溶液に浸漬して光照射に
より重合する方法(特開平2−160314号公報、第
3方法)、重合触媒を添加したレジスト材料を基板上に
塗布しこれに光照射して硬化させ、その後非照射部分を
除去した後、モノマーを重合する方法(特開平2−27
3926号公報、第4方法)、ホトリソグラフィーを用
いて所定形状のポリピロール膜を形成する方法(特開平
2−216127号公報、第5方法)、及び重合触媒を
含む高分子化合物を所望パターンに印刷形成しこのパタ
ーン上に導電性膜を形成する方法(特開昭62−334
92号公報、第6方法)等が知られている。尚、その他
の参考的方法としては、特開昭60−257011号公
報、特開昭60−262182号公報等のものがある。
重合して導電性膜を製造する方法も知られている。例え
ば、酸化剤が添加された架橋型ポリビニルアルコールを
塗布した後これを光照射にて架橋させ、次いでこの架橋
ポリマー層上にピロールを気相重合する方法(特開昭6
2−188394号公報、第2方法)、ピロール類と電
解質を含む高分子層を光増感剤溶液に浸漬して光照射に
より重合する方法(特開平2−160314号公報、第
3方法)、重合触媒を添加したレジスト材料を基板上に
塗布しこれに光照射して硬化させ、その後非照射部分を
除去した後、モノマーを重合する方法(特開平2−27
3926号公報、第4方法)、ホトリソグラフィーを用
いて所定形状のポリピロール膜を形成する方法(特開平
2−216127号公報、第5方法)、及び重合触媒を
含む高分子化合物を所望パターンに印刷形成しこのパタ
ーン上に導電性膜を形成する方法(特開昭62−334
92号公報、第6方法)等が知られている。尚、その他
の参考的方法としては、特開昭60−257011号公
報、特開昭60−262182号公報等のものがある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記第1の電
解重合法では、電極等の基板に使用できるものに限られ
ており、大面積や複雑なパターンの作製も困難である。
また、上記第2〜第5の方法は、いずれも光照射を行う
ものであるが、第2の方法ではポリビニルアルコールの
架橋のために光照射をしているに過ぎない。第3方法で
は、ピロール類の酸化重合触媒(例えばFeCl3 等)
を用いるものではなく、光増感剤を用いてこの作用によ
り光重合させるものである。
解重合法では、電極等の基板に使用できるものに限られ
ており、大面積や複雑なパターンの作製も困難である。
また、上記第2〜第5の方法は、いずれも光照射を行う
ものであるが、第2の方法ではポリビニルアルコールの
架橋のために光照射をしているに過ぎない。第3方法で
は、ピロール類の酸化重合触媒(例えばFeCl3 等)
を用いるものではなく、光増感剤を用いてこの作用によ
り光重合させるものである。
【0005】第4及び第5の方法では、ホトリソグラフ
ィーを用いて所望パターンを形成させるので、レジスト
の塗布、光照射、未硬化部分の除去、硬化膜の除去等の
一連の工程が必要であり、大変複雑であるとともに、光
照射はレジストの硬化に利用されるに過ぎない。以上の
光照射を用いて結果的に所望パターンの導電性膜を形成
する方法において、光照射により酸化触媒(FeCl3
等)の触媒性能が低減することに着目し又はそれを示唆
するものは1つもない。更に、これらの方法では、一定
の厚みの導電性高分子膜を作ることはできるが、濃淡の
ある画像を形成させることはできない。更に、上記第6
の方法では、印刷によりパターンを作るので、微細で且
つ精度の良いパターンを作ることは困難である。
ィーを用いて所望パターンを形成させるので、レジスト
の塗布、光照射、未硬化部分の除去、硬化膜の除去等の
一連の工程が必要であり、大変複雑であるとともに、光
照射はレジストの硬化に利用されるに過ぎない。以上の
光照射を用いて結果的に所望パターンの導電性膜を形成
する方法において、光照射により酸化触媒(FeCl3
等)の触媒性能が低減することに着目し又はそれを示唆
するものは1つもない。更に、これらの方法では、一定
の厚みの導電性高分子膜を作ることはできるが、濃淡の
ある画像を形成させることはできない。更に、上記第6
の方法では、印刷によりパターンを作るので、微細で且
つ精度の良いパターンを作ることは困難である。
【0006】本発明は、上記欠点を克服するものであ
り、任意の導電性パターンを簡便迅速に且つ精度良く作
製できる方法を提供することを目的とする。
り、任意の導電性パターンを簡便迅速に且つ精度良く作
製できる方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、導電性高
分子の酸化重合に使用できる酸化剤の中に、光照射によ
り酸化性が低減し若しくは消失し、光照射部分に導電性
高分子モノマーが重合しなくなり又はその照射程度によ
りその酸化性の低減程度が変化する性質を持つ酸化剤が
あることを見出して、本発明を完成するに至ったのであ
る。即ち、本発明の導電性高分子パターンの作製方法
は、モノマーを酸化重合でき且つ光照射により酸化重合
能力が低減若しくは消滅させられる、鉄化合物、銅化合
物、ニッケル化合物、コバルト化合物及びクロム化合物
のうちの少なくとも一種からなる酸化剤を単独に基材表
面に配置させ、又は該酸化剤と他のマトリックスポリマ
ーとからなる酸化剤層を該基材表面に形成させ、該基材
表面に所望の光照射パターンとなるように光照射を行
い、該光照射された部分の酸化重合能力を低減若しくは
消滅させて所望の重合可能な潜在パターンを形成し、そ
の後、該重合可能な潜在パターン部上に上記モノマーを
気相重合させて所望の導電性高分子パターン層を形成す
ることを特徴とする。
分子の酸化重合に使用できる酸化剤の中に、光照射によ
り酸化性が低減し若しくは消失し、光照射部分に導電性
高分子モノマーが重合しなくなり又はその照射程度によ
りその酸化性の低減程度が変化する性質を持つ酸化剤が
あることを見出して、本発明を完成するに至ったのであ
る。即ち、本発明の導電性高分子パターンの作製方法
は、モノマーを酸化重合でき且つ光照射により酸化重合
能力が低減若しくは消滅させられる、鉄化合物、銅化合
物、ニッケル化合物、コバルト化合物及びクロム化合物
のうちの少なくとも一種からなる酸化剤を単独に基材表
面に配置させ、又は該酸化剤と他のマトリックスポリマ
ーとからなる酸化剤層を該基材表面に形成させ、該基材
表面に所望の光照射パターンとなるように光照射を行
い、該光照射された部分の酸化重合能力を低減若しくは
消滅させて所望の重合可能な潜在パターンを形成し、そ
の後、該重合可能な潜在パターン部上に上記モノマーを
気相重合させて所望の導電性高分子パターン層を形成す
ることを特徴とする。
【0008】本発明において使用する「酸化剤」として
は、鉄、銅、ニッケル、コバルト、クロムの各金属化合
物が有効であり、特に好ましい化合物として、塩化鉄
(III)、硫酸鉄(III)等の鉄(III)の化合
物、塩化銅(II)、臭化銅(II)等の銅(II)の
化合物等が挙げられる。これらの金属化合物は、単独で
用いてもよいし、2種以上を混合して用いてもよい。
は、鉄、銅、ニッケル、コバルト、クロムの各金属化合
物が有効であり、特に好ましい化合物として、塩化鉄
(III)、硫酸鉄(III)等の鉄(III)の化合
物、塩化銅(II)、臭化銅(II)等の銅(II)の
化合物等が挙げられる。これらの金属化合物は、単独で
用いてもよいし、2種以上を混合して用いてもよい。
【0009】また、この酸化剤は、単独では水、メタノ
ール等のアルコール類、アセトン等のケトン類、クロロ
ホルム、1,2−ジクロルエタン等のハロゲン化炭化水
素、ベンゼン等炭化水素類等の各種溶媒に溶解させた溶
液として各種基材に塗布等されて使用されることができ
る。更に、この酸化剤及びマトリックスポリマーを溶解
可能な各種溶媒を用いた溶液から、キャスト法、バーコ
ート法等の方法により酸化剤を含む複合膜として使用す
ることもできる。このマトリックスポリマーとの複合化
は、他の一般的な膜作製法、例えばベースポリマーとの
混練押し出し等により作製したフィルム等として使用す
ることもできる。また、酸化剤は、ドーピング剤となる
導電塩を共に施すこともできる。
ール等のアルコール類、アセトン等のケトン類、クロロ
ホルム、1,2−ジクロルエタン等のハロゲン化炭化水
素、ベンゼン等炭化水素類等の各種溶媒に溶解させた溶
液として各種基材に塗布等されて使用されることができ
る。更に、この酸化剤及びマトリックスポリマーを溶解
可能な各種溶媒を用いた溶液から、キャスト法、バーコ
ート法等の方法により酸化剤を含む複合膜として使用す
ることもできる。このマトリックスポリマーとの複合化
は、他の一般的な膜作製法、例えばベースポリマーとの
混練押し出し等により作製したフィルム等として使用す
ることもできる。また、酸化剤は、ドーピング剤となる
導電塩を共に施すこともできる。
【0010】上記「マトリックスポリマー」としては、
上記酸化剤との相溶性のあるポリマーは全て使用でき
る。例えば、特にポリビニルアルコール、ポリビニルブ
チラール、ポリ酢酸ビニル、ポリメタクリル酸メチル、
ポリアクリロニトリル等が良好である。また、ゼラチン
等の天然高分子を用いることもできる。
上記酸化剤との相溶性のあるポリマーは全て使用でき
る。例えば、特にポリビニルアルコール、ポリビニルブ
チラール、ポリ酢酸ビニル、ポリメタクリル酸メチル、
ポリアクリロニトリル等が良好である。また、ゼラチン
等の天然高分子を用いることもできる。
【0011】本発明において使用される「モノマー」と
しては、ピロール類、チオフェン類、フラン類等があ
る。尚、このピロール類及びチオフェン類等のポリマー
は黒色となるので、濃淡のある遮蔽マスク(即ちポジ、
ネガ等)を用いると、所望の高分子画像を作成できる。
このピロール類としては非置換ピロール、N−置換ピロ
ール若しくは環置換ピロール等が例示される。尚、この
チオフェン類及びフラン類についても同様に非置換型、
置換型を用いることができる。またこの例示した5員環
化合物の2種以上又は他の共重合性のモノマーと共重合
させることもできる。
しては、ピロール類、チオフェン類、フラン類等があ
る。尚、このピロール類及びチオフェン類等のポリマー
は黒色となるので、濃淡のある遮蔽マスク(即ちポジ、
ネガ等)を用いると、所望の高分子画像を作成できる。
このピロール類としては非置換ピロール、N−置換ピロ
ール若しくは環置換ピロール等が例示される。尚、この
チオフェン類及びフラン類についても同様に非置換型、
置換型を用いることができる。またこの例示した5員環
化合物の2種以上又は他の共重合性のモノマーと共重合
させることもできる。
【0012】上記「光照射」手段としては、太陽光、可
視光若しくは紫外光等を目的に応じて選択でき、通常、
これらを含む光を発生する装置を使用する。また、所定
の光照射パターンを形成するには、公知の方法、例えば
所定の基材表面に、所定のマスク、ネガ、ポジ等を配置
して光照射する方法とすることができる。尚、上述のよ
うに、濃淡のある遮蔽マスク(即ちポジ、ネガ等)を用
いると、所望の高分子画像を作製できることとなる。そ
して、上記「重合可能な潜在パターン」とは、酸化重合
能力を有する酸化剤を含む部分又は層からなるパターン
を意味し、即ちその重合程度の差は問わないパターンを
意味する。例えば、この潜在パターンには、光照射が全
く遮られて重合能力が大きい部分、やや遮られて重合能
力は低減しているものの依然として重合しうる部分をも
含む。そして、この重合可能な潜在パターン部の上にモ
ノマーの蒸気が接触させられて、気相重合される。この
気相重合により得られる導電性高分子は、金属塩(酸化
剤)含有量、照射光の種類、光照射波長、光照射強度
(即ち酸化重合能力の強弱)、光照射時間、マトリック
スポリマーの種類等の選択により膜厚、電導度、濃淡等
を自由に変化させることができる。
視光若しくは紫外光等を目的に応じて選択でき、通常、
これらを含む光を発生する装置を使用する。また、所定
の光照射パターンを形成するには、公知の方法、例えば
所定の基材表面に、所定のマスク、ネガ、ポジ等を配置
して光照射する方法とすることができる。尚、上述のよ
うに、濃淡のある遮蔽マスク(即ちポジ、ネガ等)を用
いると、所望の高分子画像を作製できることとなる。そ
して、上記「重合可能な潜在パターン」とは、酸化重合
能力を有する酸化剤を含む部分又は層からなるパターン
を意味し、即ちその重合程度の差は問わないパターンを
意味する。例えば、この潜在パターンには、光照射が全
く遮られて重合能力が大きい部分、やや遮られて重合能
力は低減しているものの依然として重合しうる部分をも
含む。そして、この重合可能な潜在パターン部の上にモ
ノマーの蒸気が接触させられて、気相重合される。この
気相重合により得られる導電性高分子は、金属塩(酸化
剤)含有量、照射光の種類、光照射波長、光照射強度
(即ち酸化重合能力の強弱)、光照射時間、マトリック
スポリマーの種類等の選択により膜厚、電導度、濃淡等
を自由に変化させることができる。
【0013】また、マスク部にも導電性を持たせ、光照
射部とマスク部の導電性の差を持ったパターンとするこ
ともできる。更に、厚膜を使用して膜の表と裏で異なる
導電性を持つ素材とすることもできる。また、マスクの
濃淡によって導電性に傾斜を付けたり、複数の導電率の
ものを同時に作製することもできる。更に、塗布又はそ
の他一般的な薄膜形成法等により基材表面に酸化剤を付
与することが容易なので、本発明に用いられる「基材」
としてはあらゆる固体材料(シートのみならず、板、
布、不織布、紙等)を用いることができ、その材質も特
に問わない。
射部とマスク部の導電性の差を持ったパターンとするこ
ともできる。更に、厚膜を使用して膜の表と裏で異なる
導電性を持つ素材とすることもできる。また、マスクの
濃淡によって導電性に傾斜を付けたり、複数の導電率の
ものを同時に作製することもできる。更に、塗布又はそ
の他一般的な薄膜形成法等により基材表面に酸化剤を付
与することが容易なので、本発明に用いられる「基材」
としてはあらゆる固体材料(シートのみならず、板、
布、不織布、紙等)を用いることができ、その材質も特
に問わない。
【0014】
【作用】本発明において使用される酸化剤は、光照射に
より酸化重合能力が低減若しくは消滅させられる。従っ
て、この酸化剤を含む層等に、マスクを通して、紫外光
等の光を所望パターンになるように照射し、これに導電
性高分子のモノマー蒸気を接触させると、光照射部分は
ポリマーが生成しない(又はほとんど生成しない)が、
非光照射部分に導電性ポリマーが生成するので、所望の
導電性パターン又は電導度の異なったパターンが得られ
る。
より酸化重合能力が低減若しくは消滅させられる。従っ
て、この酸化剤を含む層等に、マスクを通して、紫外光
等の光を所望パターンになるように照射し、これに導電
性高分子のモノマー蒸気を接触させると、光照射部分は
ポリマーが生成しない(又はほとんど生成しない)が、
非光照射部分に導電性ポリマーが生成するので、所望の
導電性パターン又は電導度の異なったパターンが得られ
る。
【0015】また、酸化剤層等に、濃淡のある遮蔽マス
ク(ネガ、ポジ等)を用いて所望の光照射画像パターン
になるように光照射を行うと、光照射部分の酸化重合能
力が該濃淡に応じて低減されるので、この程度に応じ
て、モノマーの気相重合度を変えることができる。そし
て、このポリマーは黒色系を有するので、酸化重合能力
が大きい部分はより濃色に、酸化重合能力が小さい部分
はより淡色に、酸化重合能力がない部分は白色になるの
で、所望の導電性高分子画像を形成することができる。
ク(ネガ、ポジ等)を用いて所望の光照射画像パターン
になるように光照射を行うと、光照射部分の酸化重合能
力が該濃淡に応じて低減されるので、この程度に応じ
て、モノマーの気相重合度を変えることができる。そし
て、このポリマーは黒色系を有するので、酸化重合能力
が大きい部分はより濃色に、酸化重合能力が小さい部分
はより淡色に、酸化重合能力がない部分は白色になるの
で、所望の導電性高分子画像を形成することができる。
【0016】本発明を用いれば、酸化剤の濃度、光照射
時間、ネガ等の濃淡によってモノマーの重合度を、自由
に且つ極めて容易に調節することができ、導電率に変化
を持たせることができる。また大面積や曲面、凹凸部等
でのパターンも容易に形成でき、解像度も良いので数μ
mのパターンでも作製可能である。また、レジストの場
合のように不溶部分を除去する必要がなく、簡便な操作
で行える。
時間、ネガ等の濃淡によってモノマーの重合度を、自由
に且つ極めて容易に調節することができ、導電率に変化
を持たせることができる。また大面積や曲面、凹凸部等
でのパターンも容易に形成でき、解像度も良いので数μ
mのパターンでも作製可能である。また、レジストの場
合のように不溶部分を除去する必要がなく、簡便な操作
で行える。
【0017】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、任意の
導電性高分子パターンを簡便迅速に且つ精度良く作製す
ることができる。また、酸化剤の単独溶液又はマトリッ
クスポリマーとの混合溶液の塗布等により酸化剤の付与
を行うので、使用できる基材の適用範囲は極めて広い。
更に、本発明によれば、光照射が可能な面であれば全て
適用でき、例えば、基材形状が球状でも、種々の凹凸や
曲面をもっていても、また容器等の内側等であっても、
更にシート状、板状等のみならず繊維状(織物、不織
布、濾紙等)のものであっても、極めて容易に導電性高
分子パターンを形成できる。更に、上記高分子画像を形
成する方法では、モノマーの重合度で濃淡を容易に表現
できるので、銀塩を用いない白黒写真の作製法として有
用である。
導電性高分子パターンを簡便迅速に且つ精度良く作製す
ることができる。また、酸化剤の単独溶液又はマトリッ
クスポリマーとの混合溶液の塗布等により酸化剤の付与
を行うので、使用できる基材の適用範囲は極めて広い。
更に、本発明によれば、光照射が可能な面であれば全て
適用でき、例えば、基材形状が球状でも、種々の凹凸や
曲面をもっていても、また容器等の内側等であっても、
更にシート状、板状等のみならず繊維状(織物、不織
布、濾紙等)のものであっても、極めて容易に導電性高
分子パターンを形成できる。更に、上記高分子画像を形
成する方法では、モノマーの重合度で濃淡を容易に表現
できるので、銀塩を用いない白黒写真の作製法として有
用である。
【0018】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。 実施例1 ポリビニルアルコール(重合度500)5部を水50部
に溶解し、この溶液に塩化鉄(III)1を、ポリビニ
ルアルコールに対して重量比で30%となるように加え
て完全に溶解する。この溶液を、図1に示すようにポリ
エステルフィルム3の表面にキャスト法によって、適当
な厚さの薄膜2を作製する。この薄膜2に、マスク4を
重ね1mの距離から2KWジェットライトで10分間光
照射した。光照射後のこのポリエステルフィルムを、ピ
ロールモノマーを下部に入れた密閉容器中に入れ、20
℃で1時間、気相重合させて、図2に示すように、非光
照射部分22の上に導電性ポリピロールパターン層5を
形成させた。尚、光照射部分21上には、ポリピロール
層は形成されていない。テスターで計った表面抵抗は、
光照射部分21が絶縁性なのに対し、マスクによる非光
照射部分22は1KΩであった。
る。 実施例1 ポリビニルアルコール(重合度500)5部を水50部
に溶解し、この溶液に塩化鉄(III)1を、ポリビニ
ルアルコールに対して重量比で30%となるように加え
て完全に溶解する。この溶液を、図1に示すようにポリ
エステルフィルム3の表面にキャスト法によって、適当
な厚さの薄膜2を作製する。この薄膜2に、マスク4を
重ね1mの距離から2KWジェットライトで10分間光
照射した。光照射後のこのポリエステルフィルムを、ピ
ロールモノマーを下部に入れた密閉容器中に入れ、20
℃で1時間、気相重合させて、図2に示すように、非光
照射部分22の上に導電性ポリピロールパターン層5を
形成させた。尚、光照射部分21上には、ポリピロール
層は形成されていない。テスターで計った表面抵抗は、
光照射部分21が絶縁性なのに対し、マスクによる非光
照射部分22は1KΩであった。
【0019】実施例2 ポリ酢酸ビニル5部を酢酸エチル50部に溶解し、この
溶液に塩化鉄(III)を、実施例1と同様に重量比で
30%となるように加えて、完全に溶解する。この溶液
をテフロンシャーレ中にキャスト法によって適当な厚さ
の薄膜を作製する。この薄膜に、マスクを重ね、2cm
の間隔で100ワット高圧水銀灯を用いて5分間光照射
した。光照射後、ピロールモノマーを下部に入れた密閉
容器中で、20℃で2時間、気相重合させた。光照射部
分は絶縁性を示し、マスクによる非光照射部分は250
KΩのパターンが得られた。
溶液に塩化鉄(III)を、実施例1と同様に重量比で
30%となるように加えて、完全に溶解する。この溶液
をテフロンシャーレ中にキャスト法によって適当な厚さ
の薄膜を作製する。この薄膜に、マスクを重ね、2cm
の間隔で100ワット高圧水銀灯を用いて5分間光照射
した。光照射後、ピロールモノマーを下部に入れた密閉
容器中で、20℃で2時間、気相重合させた。光照射部
分は絶縁性を示し、マスクによる非光照射部分は250
KΩのパターンが得られた。
【0020】実施例3 ポリビニルアルコール(重合度500)5部を水50部
に溶解し、この溶液に臭化銅(II)を、実施例1と同
様に重量比で30%となるように加えて、完全に溶解す
る。この溶液を、ポリエステルフィルム上にバーコート
法によって塗り付け、乾燥し適当な厚さの薄膜を作製す
る。この薄膜に、マスクを重ね100ワット高圧水銀灯
で5分間光照射した。光照射後、ピロールモノマーを下
部に入れた密閉容器中で20℃で1時間気相重合させ
た。光照射部分は1MΩを示し、マスクによる非光照射
部分は4.4KΩのパターンが得られた。
に溶解し、この溶液に臭化銅(II)を、実施例1と同
様に重量比で30%となるように加えて、完全に溶解す
る。この溶液を、ポリエステルフィルム上にバーコート
法によって塗り付け、乾燥し適当な厚さの薄膜を作製す
る。この薄膜に、マスクを重ね100ワット高圧水銀灯
で5分間光照射した。光照射後、ピロールモノマーを下
部に入れた密閉容器中で20℃で1時間気相重合させ
た。光照射部分は1MΩを示し、マスクによる非光照射
部分は4.4KΩのパターンが得られた。
【0021】実施例4 実施例1で用いたマスクの代わりに、濃淡のあるポジを
用いて光照射を行うと、濃淡のある白黒の写真画像が得
られた。
用いて光照射を行うと、濃淡のある白黒の写真画像が得
られた。
【0022】実施例5 塩化鉄(III)の10%メタノール溶液を濾紙(N
o.2)に含浸し、室温で乾燥する。この濾紙に、実施
例1と同様の条件で光照射し、その後ピロールモノマー
を20℃で5分間、気相重合させた。光照射部分は2.
4MΩを示し、マスクによる非光照射部分は830Ωの
パターンが得られた。尚、本発明においては、前記具体
的実施例に示すものに限られず、目的、用途に応じて本
発明の範囲内で種々変更した実施例とすることができ
る。
o.2)に含浸し、室温で乾燥する。この濾紙に、実施
例1と同様の条件で光照射し、その後ピロールモノマー
を20℃で5分間、気相重合させた。光照射部分は2.
4MΩを示し、マスクによる非光照射部分は830Ωの
パターンが得られた。尚、本発明においては、前記具体
的実施例に示すものに限られず、目的、用途に応じて本
発明の範囲内で種々変更した実施例とすることができ
る。
【図1】実施例1においてマスクを用いて光照射をする
一部説明断面図である。
一部説明断面図である。
【図2】実施例1においてピロールを重合させた後の状
態を示す説明断面図である。
態を示す説明断面図である。
1;酸化剤、2;薄膜、21;光照射部分、22;非光
照射部分、3;ポリエステルフィルム、4;マスク、
5;導電性ポリピロールパターン層。
照射部分、3;ポリエステルフィルム、4;マスク、
5;導電性ポリピロールパターン層。
Claims (1)
- 【請求項1】 モノマーを酸化重合でき且つ光照射によ
り酸化重合能力が低減若しくは消滅させられる、鉄化合
物、銅化合物、ニッケル化合物、コバルト化合物及びク
ロム化合物のうちの少なくとも一種からなる酸化剤を単
独に基材表面に配置させ、又は該酸化剤と他のマトリッ
クスポリマーとからなる酸化剤層を該基材表面に形成さ
せ、該基材表面に所望の光照射パターンとなるように光
照射を行い、該光照射された部分の酸化重合能力を低減
若しくは消滅させて所望の重合可能な潜在パターンを形
成し、その後、該重合可能な潜在パターン部上に上記モ
ノマーを気相重合させて所望の導電性高分子パターン層
を形成することを特徴とする導電性高分子パターンの作
製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6964792A JPH0785365B2 (ja) | 1992-02-19 | 1992-02-19 | 導電性高分子パターンの作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6964792A JPH0785365B2 (ja) | 1992-02-19 | 1992-02-19 | 導電性高分子パターンの作製方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06236712A JPH06236712A (ja) | 1994-08-23 |
| JPH0785365B2 true JPH0785365B2 (ja) | 1995-09-13 |
Family
ID=13408851
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6964792A Expired - Fee Related JPH0785365B2 (ja) | 1992-02-19 | 1992-02-19 | 導電性高分子パターンの作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0785365B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101356238B1 (ko) * | 2007-03-26 | 2014-01-28 | 삼성전자주식회사 | Uv 패터닝 가능한 전도성 고분자 필름의 제조방법 및이에 의해 제조되는 전도성 고분자 필름 |
-
1992
- 1992-02-19 JP JP6964792A patent/JPH0785365B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06236712A (ja) | 1994-08-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR900003155B1 (ko) | 패턴상 도전성을 갖는 고분자 필름과 그 제조방법 | |
| CA1101586A (en) | Photosensitive compositions | |
| US5561030A (en) | Fabrication of electronically conducting polymeric patterns | |
| DE2706633A1 (de) | Lichtempfindliche harzmasse und anwendung derselben als material zur ausbildung eines metallbildes | |
| JP2004285325A (ja) | パターン形成方法及び物質付着パターン材料 | |
| GB1596769A (en) | Process for preparing printed circuit boards | |
| DE69129171T2 (de) | Verfahren zur dimensionellen Stabilisierung von Photopolymer-Flexodruckplatten | |
| US3879204A (en) | Two-layer photopolymerizable gravure resist film | |
| JPH0785365B2 (ja) | 導電性高分子パターンの作製方法 | |
| JP3069942B2 (ja) | 電気回路基板及びその製造方法 | |
| Bargon et al. | Lithographic patterning of conducting polymers and their composites | |
| EP0052806B1 (en) | Dot-enlargement process for photopolymer litho masks | |
| US3885963A (en) | Light activating imaging process | |
| US4774157A (en) | Patterned metal interlayer in a matrix | |
| JPH05501314A (ja) | 水性または半水性で処理可能なフレキソグラフ印刷板用のレリーズ層 | |
| JP2653968B2 (ja) | 電気回路基板とその製法 | |
| DE2816774A1 (de) | Photopolymerisierbares material | |
| US6007967A (en) | Methods for off-contact imaging solid printing plates | |
| Baumann et al. | Conducting polymer patterns via laser processing | |
| JPH0750106A (ja) | 導電性ポリマーのミクロン級およびサブミクロン級の三次元マイクロエレクトロードおよびその製造方法 | |
| KR910005881B1 (ko) | 실리콘 함유 네가티브 레지스트 재료 및 기판을 패터닝함에 있어서 이 재료의 사용방법 | |
| Bargon et al. | Microlithography using conducting polymers | |
| US4654296A (en) | Process for making lithographic film using photopolymer diffusion modulation layer for pigmented bottom layer | |
| JPH0235402A (ja) | 導電性複合カラーフィルター及びその製造方法 | |
| JPH026512A (ja) | 光反応性重合体及びレジストの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |