JPH0785931B2 - インクジェット印字ヘッド - Google Patents
インクジェット印字ヘッドInfo
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- JPH0785931B2 JPH0785931B2 JP1301801A JP30180189A JPH0785931B2 JP H0785931 B2 JPH0785931 B2 JP H0785931B2 JP 1301801 A JP1301801 A JP 1301801A JP 30180189 A JP30180189 A JP 30180189A JP H0785931 B2 JPH0785931 B2 JP H0785931B2
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、サーマルインクジェットプリンタ、より詳細
には、多数の発熱素子を同時にアドレスしたとき共通帰
線の寄生抵抗の効果を減らすように発熱素子に対する電
気接続を修正した改良型印字ヘッド構造に関するもので
ある。
には、多数の発熱素子を同時にアドレスしたとき共通帰
線の寄生抵抗の効果を減らすように発熱素子に対する電
気接続を修正した改良型印字ヘッド構造に関するもので
ある。
発明が解決しようとする課題 従来のプリンタの印字ヘッド構造では、インクの入って
いる細径毛管の少なくとも一壁面に発熱素子（抵抗器）
が配置されている。印字ヘッド変換器の性能は、抵抗器
とノズル間の距離に大きく左右される。また、滴サイ
ズ、滴速度、及びインク滴噴射の周波数は、すべて、抵
抗器とノズル間の距離によって決まる。抵抗器がノズル
の後方、約120μｍの所から始まると、300spiの印字性
能は最適になる。高密度印字に必要な高記録密度と結び
付く、抵抗器とノズルの近接は、抵抗器の配列の前を、
抵抗器の一端に対する前方リード線が横切らなければな
らないことを意味する。ノズルから抵抗器までの距離が
短いと、前方リード線を120μｍより狭くする必要があ
る。数ppmまで動作するように設計されたジェット配列
の場合は、抵抗器の一端がジェット配列の両端からの共
通帰線に接続されている構造が満足できるものである。
しかし、ページ幅のように広い配列になると、共通リー
ド線の高い抵抗と結び付く、印字のための抵抗器エネル
ギー要求のため、問題が起きる。
いる細径毛管の少なくとも一壁面に発熱素子（抵抗器）
が配置されている。印字ヘッド変換器の性能は、抵抗器
とノズル間の距離に大きく左右される。また、滴サイ
ズ、滴速度、及びインク滴噴射の周波数は、すべて、抵
抗器とノズル間の距離によって決まる。抵抗器がノズル
の後方、約120μｍの所から始まると、300spiの印字性
能は最適になる。高密度印字に必要な高記録密度と結び
付く、抵抗器とノズルの近接は、抵抗器の配列の前を、
抵抗器の一端に対する前方リード線が横切らなければな
らないことを意味する。ノズルから抵抗器までの距離が
短いと、前方リード線を120μｍより狭くする必要があ
る。数ppmまで動作するように設計されたジェット配列
の場合は、抵抗器の一端がジェット配列の両端からの共
通帰線に接続されている構造が満足できるものである。
しかし、ページ幅のように広い配列になると、共通リー
ド線の高い抵抗と結び付く、印字のための抵抗器エネル
ギー要求のため、問題が起きる。
課題を解決するための手段 本発明は、２っの共通帰線を形成し、それらを相互に接
続することにより、従来の印字ヘッドに使用されている
共通帰線を修正した。第２の共通帰線を設けることによ
り、抵抗器とノズルの間に配置された第１の共通帰線を
比較的狭くすることができるので、修正前の共通帰線の
より広い幅により制約されることなく、ノズルの上流側
の最適距離に抵抗器を配置することができる。抵抗器
は、第２の共通帰線の上に又は下に交差する低抵抗構造
により加熱パルス源に接続されている。第１の実施例で
は、低抵抗クロスオーバー構造は、濃くドープしたポリ
シリコン層であり、第２の共通帰線はアルミニウムであ
る。その他の組合せとして、ｐ型ウェーハ内のn+拡散と
アルミニウム及び耐熱性金属ケイ素化合物とアルミニウ
ムが考えられる。これらの例は、単一共通帰線に付随す
る寄生抵抗を減少させる効果を有し、また突合せチップ
を相互に接合するための追加空間を提供する。より詳し
く述べると、本発明は、以下の特徴を備えた複数のチャ
ンネルを有する形式のインクジェット印字ヘッドを提供
する。各チャンネルはインクが供給され、インク滴噴射
ノズルの働きをする開口が設けられ、その内部には発熱
素子が配置されている。インク滴はデータ信号源からの
データ信号に応じて前記発熱素子へ電流パルスを選択的
に印加することにより、前記ノズルから噴射される。発
熱素子は、熱エネルギーをインクに転移して、インク滴
を推進する一時的な気泡の発生及び崩壊を起こさせる働
きをする。印字ヘッドは、さらに第１及び第２の導電性
共通帰線を有しており、前記第１及び第２の共通帰線は
前記発熱素子の間に延びているリード線によって相互に
接続されている。発熱素子は前記第２の共通帰線の下に
又は上に形成された低抵抗結線によって前記第１の共通
帰線と前記データ信号源の間に接続されている。
続することにより、従来の印字ヘッドに使用されている
共通帰線を修正した。第２の共通帰線を設けることによ
り、抵抗器とノズルの間に配置された第１の共通帰線を
比較的狭くすることができるので、修正前の共通帰線の
より広い幅により制約されることなく、ノズルの上流側
の最適距離に抵抗器を配置することができる。抵抗器
は、第２の共通帰線の上に又は下に交差する低抵抗構造
により加熱パルス源に接続されている。第１の実施例で
は、低抵抗クロスオーバー構造は、濃くドープしたポリ
シリコン層であり、第２の共通帰線はアルミニウムであ
る。その他の組合せとして、ｐ型ウェーハ内のn+拡散と
アルミニウム及び耐熱性金属ケイ素化合物とアルミニウ
ムが考えられる。これらの例は、単一共通帰線に付随す
る寄生抵抗を減少させる効果を有し、また突合せチップ
を相互に接合するための追加空間を提供する。より詳し
く述べると、本発明は、以下の特徴を備えた複数のチャ
ンネルを有する形式のインクジェット印字ヘッドを提供
する。各チャンネルはインクが供給され、インク滴噴射
ノズルの働きをする開口が設けられ、その内部には発熱
素子が配置されている。インク滴はデータ信号源からの
データ信号に応じて前記発熱素子へ電流パルスを選択的
に印加することにより、前記ノズルから噴射される。発
熱素子は、熱エネルギーをインクに転移して、インク滴
を推進する一時的な気泡の発生及び崩壊を起こさせる働
きをする。印字ヘッドは、さらに第１及び第２の導電性
共通帰線を有しており、前記第１及び第２の共通帰線は
前記発熱素子の間に延びているリード線によって相互に
接続されている。発熱素子は前記第２の共通帰線の下に
又は上に形成された低抵抗結線によって前記第１の共通
帰線と前記データ信号源の間に接続されている。
実施例 サーマルインクジェット印字機構を使用するプリンタ
は、用紙が静止し、印字ヘッドが移動する形式と、用紙
が移動し、ページ幅印字ヘッドが静止している形式があ
る。第１図に、従来のキャリッジ形バブルインクジェッ
ト印字機構10を示す。往復キャリッジ組立体29の印字ヘ
ッド11には、複数の滴発生用バブルジェットチャンネル
から成る直線アレーが入っている。インク滴12は記録媒
体13に向けて発射され、記録媒体13は、印字ヘッド11が
矢印15の方向に記録媒体を横切って移動するたびに、ス
テップモーター16により矢印14の方向に所定の距離だけ
ステップ送りされる。記録媒体13、例えば供給ロール17
に巻かれた用紙は、周知の手段でステップモーター16に
よりロール18へステップ状に巻き取られる。
は、用紙が静止し、印字ヘッドが移動する形式と、用紙
が移動し、ページ幅印字ヘッドが静止している形式があ
る。第１図に、従来のキャリッジ形バブルインクジェッ
ト印字機構10を示す。往復キャリッジ組立体29の印字ヘ
ッド11には、複数の滴発生用バブルジェットチャンネル
から成る直線アレーが入っている。インク滴12は記録媒
体13に向けて発射され、記録媒体13は、印字ヘッド11が
矢印15の方向に記録媒体を横切って移動するたびに、ス
テップモーター16により矢印14の方向に所定の距離だけ
ステップ送りされる。記録媒体13、例えば供給ロール17
に巻かれた用紙は、周知の手段でステップモーター16に
よりロール18へステップ状に巻き取られる。
印字ヘッド11は、周知の手段、例えば２個の平行案内レ
ール20に沿って往復するように構成された支持体19の上
に固定されている。印字ヘッドの支持体19は、記録媒体
がステップ送りされる方向14に垂直に、記録媒体に平行
な方向に、記録媒体を横切って前後に移動するキャリッ
ジ組立体29から成る。この印字ヘッドの往復運動は、索
21と一対の回転可能なプーリー22によって与えられる。
一方のプーリーは可逆モーター23によって駆動される。
ール20に沿って往復するように構成された支持体19の上
に固定されている。印字ヘッドの支持体19は、記録媒体
がステップ送りされる方向14に垂直に、記録媒体に平行
な方向に、記録媒体を横切って前後に移動するキャリッ
ジ組立体29から成る。この印字ヘッドの往復運動は、索
21と一対の回転可能なプーリー22によって与えられる。
一方のプーリーは可逆モーター23によって駆動される。
印字ヘッド11に組み入れられた直線アレーを構成する各
インクチャンネル内の個々のバブル発生用抵抗器に対
し、制御装置25から結線24を通して電流パルスが印加さ
れる。電極26を通して受け取ったディジタルデータ信号
に応じて、制御装置25はインク滴を発生させる電流パル
スが発生する。動作中、インクチャンネルは、インク供
給源28からホース27を通してインクが充満した状態に保
たれる。
インクチャンネル内の個々のバブル発生用抵抗器に対
し、制御装置25から結線24を通して電流パルスが印加さ
れる。電極26を通して受け取ったディジタルデータ信号
に応じて、制御装置25はインク滴を発生させる電流パル
スが発生する。動作中、インクチャンネルは、インク供
給源28からホース27を通してインクが充満した状態に保
たれる。
第２図は、第１図のキャリッジ組立体29の拡大部分断面
斜視図である。印字ヘッド11は、３つの部分から成るこ
とがわかる。第１の部分は、リード線とモノリシックシ
リコン半導体集積回路チップ48を含む基板41である。他
の２つの部分は、インクチャンネル49Aとインクマニホ
ルド49Bを持つチャンネル板49を構成している。図示し
たチャンネル板49は独立した２個の部品31,32から成っ
ているが、一体構造にすることもできよう。インクチャ
ンネル49Aとインクマニホルド49Bはチャンネル板部品31
に形成されており、各インクチャンネル49Aの一端はチ
ャンネル板に形成されたノズル33に通じ、他端はインク
マニホルド49Bに通じている。インクマニホルド49Bはチ
ャンネル板部品31内の通路34（点線で示す）を介してイ
ンク供給用ホース27に通じている。チャンネル板部品32
はチャンネル49Aとマニホルド49Bをおおっている平らな
部材であり、シリコン基板41に正しく整合され、しっか
り取り付けられている。図面を簡潔にするため、８チャ
ンネルだけ図示してあるが、印字ヘッドモジュールにも
っと多くのチャンネルとノズルを形成してもよいことは
理解されるであろう。
斜視図である。印字ヘッド11は、３つの部分から成るこ
とがわかる。第１の部分は、リード線とモノリシックシ
リコン半導体集積回路チップ48を含む基板41である。他
の２つの部分は、インクチャンネル49Aとインクマニホ
ルド49Bを持つチャンネル板49を構成している。図示し
たチャンネル板49は独立した２個の部品31,32から成っ
ているが、一体構造にすることもできよう。インクチャ
ンネル49Aとインクマニホルド49Bはチャンネル板部品31
に形成されており、各インクチャンネル49Aの一端はチ
ャンネル板に形成されたノズル33に通じ、他端はインク
マニホルド49Bに通じている。インクマニホルド49Bはチ
ャンネル板部品31内の通路34（点線で示す）を介してイ
ンク供給用ホース27に通じている。チャンネル板部品32
はチャンネル49Aとマニホルド49Bをおおっている平らな
部材であり、シリコン基板41に正しく整合され、しっか
り取り付けられている。図面を簡潔にするため、８チャ
ンネルだけ図示してあるが、印字ヘッドモジュールにも
っと多くのチャンネルとノズルを形成してもよいことは
理解されるであろう。
第３図は、気泡発生用抵抗器に対する電気接続を示す、
発熱素子板30の平面図である。図示のように、各抵抗器
50にはアドレッシング電極52が付いている。各抵抗器
は、さらに共通帰線54にも接続されている。共通帰線と
アドレッシング電極は、発熱抵抗器の縁に蒸着したアル
ミニウムリード線である。電極52は、もし所望ならば、
係属中の米国特許出願第164,669号に開示されている駆
動トランジスタと論理制御回路で置換することができ
る。第４図と第５図は、それぞれ、共通帰線とチャンネ
ルノズルと向かい合っている抵抗器の位置と間隔を示
す、印字ヘッドの横断面図と平面図である。抵抗器の幅
は、一般に45μｍであり、抵抗器からノズル33までの距
離は、一般に120μｍである。ここで、第１図〜第３図
の従来の構造に関する問題点を容易に理解することがで
きる。もし印字ヘッドの寸法を増して（印字する方向
に）、インクジェットを追加すれば、同時に噴射させな
ければならないインクジェットの数も増加する。１個又
は全部のインクジェットが噴射されると、同時である滴
噴出のスレッショルドのため、アルミニウム共通帰線の
寄生抵抗の効果が増大し、ついには滴の不均一が生じ
る。また、複数の印字ヘッドを共直線状に組み立て、ペ
ージ幅印字ヘッドアレーを作る場合、従来の共通帰線相
互接続は問題を起こす。第６図は、複数の印字ヘッド11
を組み立てて作ったアレーの端面図である（組立てのた
めの好ましい技術が、米国特許出願第185,600号（1986
年４月25日出願）に記載されている）。この構造に関す
る問題点は、接合部60に、各印字ヘッドから共通帰線ま
で低抵抗結線を形成するための十分な空間が無いことで
ある。
発熱素子板30の平面図である。図示のように、各抵抗器
50にはアドレッシング電極52が付いている。各抵抗器
は、さらに共通帰線54にも接続されている。共通帰線と
アドレッシング電極は、発熱抵抗器の縁に蒸着したアル
ミニウムリード線である。電極52は、もし所望ならば、
係属中の米国特許出願第164,669号に開示されている駆
動トランジスタと論理制御回路で置換することができ
る。第４図と第５図は、それぞれ、共通帰線とチャンネ
ルノズルと向かい合っている抵抗器の位置と間隔を示
す、印字ヘッドの横断面図と平面図である。抵抗器の幅
は、一般に45μｍであり、抵抗器からノズル33までの距
離は、一般に120μｍである。ここで、第１図〜第３図
の従来の構造に関する問題点を容易に理解することがで
きる。もし印字ヘッドの寸法を増して（印字する方向
に）、インクジェットを追加すれば、同時に噴射させな
ければならないインクジェットの数も増加する。１個又
は全部のインクジェットが噴射されると、同時である滴
噴出のスレッショルドのため、アルミニウム共通帰線の
寄生抵抗の効果が増大し、ついには滴の不均一が生じ
る。また、複数の印字ヘッドを共直線状に組み立て、ペ
ージ幅印字ヘッドアレーを作る場合、従来の共通帰線相
互接続は問題を起こす。第６図は、複数の印字ヘッド11
を組み立てて作ったアレーの端面図である（組立てのた
めの好ましい技術が、米国特許出願第185,600号（1986
年４月25日出願）に記載されている）。この構造に関す
る問題点は、接合部60に、各印字ヘッドから共通帰線ま
で低抵抗結線を形成するための十分な空間が無いことで
ある。
本発明は、第１の特徴に従って、第２の共通帰線を設け
ること、そして発熱抵抗器と電源を低抵抗結線で相互に
接続することにより、従来の共通帰線を修正した。第７
図はこれらの修正を施した印字ヘッドの平面図である。
この実施例では、第２の共通帰線70を形成することによ
り従来の共通帰線の寄生抵抗が少なくとも25％減少し
た。好ましい実施例では、幅を狭くするように修正した
第１の共通帰線54′に、第２の共通帰線70が接続されて
いる。共通帰線70は各抵抗器50の間に交互に配置された
リード線72により第１の共通帰線54′に接続されてい
る。第２の共通帰線70の抵抗は、具体的な使用によって
決まる。抵抗器50は、低抵抗結線76によりトランジスタ
スイッチ74に接続されている。第２の共通帰線70は、結
線76の上又は下を通過しており、結線76から絶縁されて
いる。下表は、結線76及び第２の共通帰線70に使用する
ことができる材料の組合せを示す。結線78は接地戻りバ
スであり、これもアルミニウムから作ることが好まし
い。トランジスタスイッチ74は、モノリシック集積構造
により、抵抗器を含む同じシリコン基板の上に形成した
MOS型トランジスタにすることができる。スイッチを形
成する好ましい方法が係属中の米国特許出願第164,669
号に記載されている。結線76は、もし構造１又は２を使
用すれば、30〜10Ω／□のシート抵抗を有し、これは、
電力消費が比較的少ない印字機構の要求を満たすことが
できる。多数のインクジェットを噴射させたり、電力消
費が比較的大きな抵抗器を使用したい場合には、耐熱性
金属ケイ素化合物／シリコン又は金属ケイ素化合物／ポ
リシリコンのスタック（構造３〜４）を使用することに
より、シート抵抗をさらに小さくすることができる。好
ま しい実施例は、アルミニウムであるが、タングステンな
ど他の高導電性層を使用してもよい。
ること、そして発熱抵抗器と電源を低抵抗結線で相互に
接続することにより、従来の共通帰線を修正した。第７
図はこれらの修正を施した印字ヘッドの平面図である。
この実施例では、第２の共通帰線70を形成することによ
り従来の共通帰線の寄生抵抗が少なくとも25％減少し
た。好ましい実施例では、幅を狭くするように修正した
第１の共通帰線54′に、第２の共通帰線70が接続されて
いる。共通帰線70は各抵抗器50の間に交互に配置された
リード線72により第１の共通帰線54′に接続されてい
る。第２の共通帰線70の抵抗は、具体的な使用によって
決まる。抵抗器50は、低抵抗結線76によりトランジスタ
スイッチ74に接続されている。第２の共通帰線70は、結
線76の上又は下を通過しており、結線76から絶縁されて
いる。下表は、結線76及び第２の共通帰線70に使用する
ことができる材料の組合せを示す。結線78は接地戻りバ
スであり、これもアルミニウムから作ることが好まし
い。トランジスタスイッチ74は、モノリシック集積構造
により、抵抗器を含む同じシリコン基板の上に形成した
MOS型トランジスタにすることができる。スイッチを形
成する好ましい方法が係属中の米国特許出願第164,669
号に記載されている。結線76は、もし構造１又は２を使
用すれば、30〜10Ω／□のシート抵抗を有し、これは、
電力消費が比較的少ない印字機構の要求を満たすことが
できる。多数のインクジェットを噴射させたり、電力消
費が比較的大きな抵抗器を使用したい場合には、耐熱性
金属ケイ素化合物／シリコン又は金属ケイ素化合物／ポ
リシリコンのスタック（構造３〜４）を使用することに
より、シート抵抗をさらに小さくすることができる。好
ま しい実施例は、アルミニウムであるが、タングステンな
ど他の高導電性層を使用してもよい。
第８図は、第７図の線Ａ−Ａに沿った断面図である。シ
リコン基板ウェーハ60はLOCOS（localoxidation of sil
iconの略）処理で処理されて、厚い隔離酸化層62が形成
される。次にn+ポリシリコン層64が堆積され、ドープさ
れ、パターニングされて、抵抗器50が形成される。アド
レッシング電極リード線に対する低抵抗（30Ω／□）結
線76を形成するため、同じレベルに、n+ポリシリコン層
65が形成される。次に、絶縁層66を形成するため、燐ド
ープガラスが堆積される。次に、抵抗器64と接続リード
線65に対する開孔68,69を形成するため、フォトレジス
トが塗布され、パターニングされる。次に、ウェーハに
アルミニウムが蒸着され、パターニングされて、アルミ
ニウム共通帰線54′と70が形成される。共通帰線54′と
70の厚さは100〜300ミクロンであることが好ましい。
リコン基板ウェーハ60はLOCOS（localoxidation of sil
iconの略）処理で処理されて、厚い隔離酸化層62が形成
される。次にn+ポリシリコン層64が堆積され、ドープさ
れ、パターニングされて、抵抗器50が形成される。アド
レッシング電極リード線に対する低抵抗（30Ω／□）結
線76を形成するため、同じレベルに、n+ポリシリコン層
65が形成される。次に、絶縁層66を形成するため、燐ド
ープガラスが堆積される。次に、抵抗器64と接続リード
線65に対する開孔68,69を形成するため、フォトレジス
トが塗布され、パターニングされる。次に、ウェーハに
アルミニウムが蒸着され、パターニングされて、アルミ
ニウム共通帰線54′と70が形成される。共通帰線54′と
70の厚さは100〜300ミクロンであることが好ましい。
第９図は、本発明の第２の実施例で、第２レベルの胴体
65′は、n+拡散シリコン層（構造１）である。拡散層6
5′はアルミニウムリード線72によるか、又は抵抗器64
と拡散層65′を直接突き合わせることによって、抵抗器
に接続することができる。再び表を参照すると、構造３
と４は、構造１と２に類似した断面を有するが、結線76
の抵抗は、金属ケイ素化合物の形成によりさらに小さ
く、そのシート抵抗は約１Ω／□である。
65′は、n+拡散シリコン層（構造１）である。拡散層6
5′はアルミニウムリード線72によるか、又は抵抗器64
と拡散層65′を直接突き合わせることによって、抵抗器
に接続することができる。再び表を参照すると、構造３
と４は、構造１と２に類似した断面を有するが、結線76
の抵抗は、金属ケイ素化合物の形成によりさらに小さ
く、そのシート抵抗は約１Ω／□である。
第10図は、第７図の実施例に代る交差方式の平面図であ
る。この場合は、トランジスタスイッチ74と第２の共通
帰線70との間に、接地戻り結線78が形成されている。ま
た、トランジスタスイッチ74と論理制御回路92の間に、
結線90が形成されている。結線90は容量型ドライバーの
ゲートロードのみを駆動するので、ポリシリコン又は拡
散によって形成することができる。その理由は、回路性
能が、これらの層が示すシート抵抗の10〜1002のあまり
大きくないインピーダンスによって影響されないからで
ある。この場合には、結線72は戻り結線78の上（又は、
下）を交差して、共通帰線70に結合している。結線76に
ついて説明した同じ製造方法（第７図）を、結線72にも
適用することができる。
る。この場合は、トランジスタスイッチ74と第２の共通
帰線70との間に、接地戻り結線78が形成されている。ま
た、トランジスタスイッチ74と論理制御回路92の間に、
結線90が形成されている。結線90は容量型ドライバーの
ゲートロードのみを駆動するので、ポリシリコン又は拡
散によって形成することができる。その理由は、回路性
能が、これらの層が示すシート抵抗の10〜1002のあまり
大きくないインピーダンスによって影響されないからで
ある。この場合には、結線72は戻り結線78の上（又は、
下）を交差して、共通帰線70に結合している。結線76に
ついて説明した同じ製造方法（第７図）を、結線72にも
適用することができる。
第１図は、従来のバブルインクジェット式印字機構の斜
視図、 第２図は、第１図に示した印字ヘッドの拡大斜視図、 第３図は、第２図に示したインクチャンネル板の平面
図、 第４図は、抵抗器と共通帰線の幅と間隔を示す、第３図
の印字ヘッドの一部の横断面図、 第５図は、第４図の印字ヘッドの一部の平面図、 第６図は、より長いアレーを作るため突き合わせた複数
の印字ヘッドの側面図、 第７図は、本発明に従って、第１の共通帰線に相互に接
続された第２の共通帰線を形成することにより修正した
印字ヘッドの一部の平面図、 第８図は、第７図の印字ヘッドの一部の側面図、 第９図は、印字ヘッドの第２の実施例の平面図、 及び 第10図は、本発明に従って、第１の共通帰線に相互に接
続された第２の共通帰線を形成することにより修正した
印字ヘッドの第２の実施例の一部の平面図である。 符号の説明 10……従来のバブルインクジェット印字機構、11……印
字ヘッド、12……インク滴、13……記録媒体、14,15…
…移動方向、16……ステップモーター、17……供給ロー
ル、18……巻取りロール、19……支持体、20……案内レ
ール、21……索、22……プーリー、23……可逆モータ
ー、24……結線、25……制御装置、26……電極、27……
インク供給ホース、28……インク供給源、29……キャリ
ッジ組立体、30……発熱素子板、31,32……チャンネル
板部品、33……ノズル、34……通路、41……基板、48…
…集積回路チップ、49……チャンネル板、49A……イン
クチャンネル、49B……インクマニホルド、50……抵抗
器、52……アドレッシング電極、54……共通帰線、54′
……第１の共通帰線、60……接合部、64……抵抗器、65
……n+ポリシリコン層、65′……第２レベルの導体、66
……絶縁層、68,69……開孔、70……第２の共通帰線、7
2……リード線、74……トランジスタスイッチ、76……
低抵抗結線、78……結線、90……結線、92……論理制御
回路。
視図、 第２図は、第１図に示した印字ヘッドの拡大斜視図、 第３図は、第２図に示したインクチャンネル板の平面
図、 第４図は、抵抗器と共通帰線の幅と間隔を示す、第３図
の印字ヘッドの一部の横断面図、 第５図は、第４図の印字ヘッドの一部の平面図、 第６図は、より長いアレーを作るため突き合わせた複数
の印字ヘッドの側面図、 第７図は、本発明に従って、第１の共通帰線に相互に接
続された第２の共通帰線を形成することにより修正した
印字ヘッドの一部の平面図、 第８図は、第７図の印字ヘッドの一部の側面図、 第９図は、印字ヘッドの第２の実施例の平面図、 及び 第10図は、本発明に従って、第１の共通帰線に相互に接
続された第２の共通帰線を形成することにより修正した
印字ヘッドの第２の実施例の一部の平面図である。 符号の説明 10……従来のバブルインクジェット印字機構、11……印
字ヘッド、12……インク滴、13……記録媒体、14,15…
…移動方向、16……ステップモーター、17……供給ロー
ル、18……巻取りロール、19……支持体、20……案内レ
ール、21……索、22……プーリー、23……可逆モータ
ー、24……結線、25……制御装置、26……電極、27……
インク供給ホース、28……インク供給源、29……キャリ
ッジ組立体、30……発熱素子板、31,32……チャンネル
板部品、33……ノズル、34……通路、41……基板、48…
…集積回路チップ、49……チャンネル板、49A……イン
クチャンネル、49B……インクマニホルド、50……抵抗
器、52……アドレッシング電極、54……共通帰線、54′
……第１の共通帰線、60……接合部、64……抵抗器、65
……n+ポリシリコン層、65′……第２レベルの導体、66
……絶縁層、68,69……開孔、70……第２の共通帰線、7
2……リード線、74……トランジスタスイッチ、76……
低抵抗結線、78……結線、90……結線、92……論理制御
回路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−125858（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−125856（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−208248（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−132267（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−134251（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】複数のインクチャンネルを有する形式のイ
ンクジェット印字ヘッドであって、 前記各チャンネルはインクが供給され、インク滴噴射ノ
ズルの働きをする開口が設けられ、その内部には発熱素
子が配置されており、インク滴はデータ信号源からのデ
ータ信号に応じて前記発熱素子へ電流パルスを選択的に
印加することによって前記ノズルから噴射され、前記発
熱素子は、熱エネルギーをインクに転移して、インク滴
を推進する一時的な気泡の発生及び崩壊を起こさせる働
きをし、前記印字ヘッドは、さらに第１及び第２の導電
性共通帰線を有しており、前記第１及び第２の共通帰線
は前記発熱素子の間に延びているリード線によって相互
に接続されており、前記発熱素子は前記第２の共通帰線
の下に又は上に形成された低抵抗結線によって前記第１
の共通帰線と前記データ信号源の間に接続されているこ
とを特徴とするインクジェット印字ヘッド。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US275991 | 1988-11-25 | ||
| US07/275,991 US4887098A (en) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | Thermal ink jet printer having printhead transducers with multilevelinterconnections |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02184452A JPH02184452A (ja) | 1990-07-18 |
| JPH0785931B2 true JPH0785931B2 (ja) | 1995-09-20 |
Family
ID=23054681
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1301801A Expired - Lifetime JPH0785931B2 (ja) | 1988-11-25 | 1989-11-20 | インクジェット印字ヘッド |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4887098A (ja) |
| EP (1) | EP0370817B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0785931B2 (ja) |
| DE (1) | DE68913012T2 (ja) |
Families Citing this family (40)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP3029129B2 (ja) * | 1990-02-13 | 2000-04-04 | キヤノン株式会社 | 記録ヘッド用導電シート及びこれを用いた記録ヘッド並びに記録装置 |
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| US5144341A (en) * | 1991-04-26 | 1992-09-01 | Xerox Corporation | Thermal ink jet drivers device design/layout |
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-
1988
- 1988-11-25 US US07/275,991 patent/US4887098A/en not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-11-20 JP JP1301801A patent/JPH0785931B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1989-11-23 DE DE68913012T patent/DE68913012T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-11-23 EP EP89312194A patent/EP0370817B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE68913012T2 (de) | 1994-06-16 |
| EP0370817A2 (en) | 1990-05-30 |
| EP0370817A3 (en) | 1991-02-13 |
| EP0370817B1 (en) | 1994-02-09 |
| JPH02184452A (ja) | 1990-07-18 |
| DE68913012D1 (de) | 1994-03-24 |
| US4887098A (en) | 1989-12-12 |
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