Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JPH0789142B2 - 検査装置 - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JPH0789142B2 - 検査装置 - Google Patents

検査装置

Info

Publication number
JPH0789142B2
JPH0789142B2 JP62322194A JP32219487A JPH0789142B2 JP H0789142 B2 JPH0789142 B2 JP H0789142B2 JP 62322194 A JP62322194 A JP 62322194A JP 32219487 A JP32219487 A JP 32219487A JP H0789142 B2 JPH0789142 B2 JP H0789142B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
base
interface
probe
pin
tester
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP62322194A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH01162176A (ja
Inventor
巽 佐々木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Electron Ltd
Original Assignee
Tokyo Electron Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Electron Ltd filed Critical Tokyo Electron Ltd
Priority to JP62322194A priority Critical patent/JPH0789142B2/ja
Publication of JPH01162176A publication Critical patent/JPH01162176A/ja
Publication of JPH0789142B2 publication Critical patent/JPH0789142B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、例えば回路基板に各種電子部品を実装して組
み立てられた電子回路基板等を被測定体とし、この被測
定体を機能検査する検査装置に関する。
(従来の技術) この種の検査装置では、回路基板とテスターとの間に、
テストフィクチャーと呼ばれる部材を配置し、回路基板
のパターン面とテスターの出力端子とを接続すること
で、前記回路基板の機能検査を実行するようになってい
る。
ここで、従来のテストフィクチャーは、第4図に示すよ
うに、プローブベース1,インターフェースベース2と称
される2枚のベース1,2をそれぞれ対向するように支持
ベース3に固定して構成される。
前記プローブベース1とは、回路基板のパターンと対向
して配置され、一端5aが前記パターン面と接触し、他端
5b側に線材4が接続されるプローブピン5を配列支持し
たものであり、前記インターフェースベース2とは、前
記プローブピン5と対向する一端6aに前記線材4を接続
し、その他端6bをテスターの出力端子に接触させるイン
ターフェースピン6を配列支持したものである。
(発明が解決しようとする問題点) 上述した構成の検査装置では、前記プローブベース1と
インターフェースベース2とのそれぞれ対向する面側に
配置される前記ピン端子5b,6aに線材4を配線する必要
があり、2枚のベース1,2を前記支持ベース3に固定し
た状態では、手作業による前記配線を実行することが不
可能である。
そこで、従来は、第5図に示すように、プローブベース
1のみを前記支持ベース3に固定し、インターフェース
ベース2の前記ピン端子6aが外側に向くような状態で両
ピン端子5b,6aに配線をせざるを得なかった。
このため、前記線材4の長さは、インターフェースベー
ス2を第5図の状態に設定することができるように十分
長くする必要があった。
ところで、このように線材4の長さを長くすると、この
線材4によって伝送される検査信号にノイズが重畳した
場合、特に、この検査信号が高周波信号の場合には、ノ
イズが信号として検出されてしまい、正確な機能検査が
実行できないという問題があった。
そこで、本発明の目的とするところは、上述した従来の
問題点を解決し、プローブピン,インターフェースピン
接続用の線材長さを従来よりも大幅に短くすることがで
き、もって検査信号に重畳するノイズを低減し、正確な
機能検査を実行することができる検査装置を提供するこ
とにある。
[発明の構成] (問題点を解決するための手段) 本発明は、多数の測定端が平面的に存在する被測定体
と、この被測定体の各測定端に対応して配置され、一端
が測定端に接触し、他端側がテスターに接続されるプロ
ーブピンを配列支持したプローブベースと、このプロー
ブベース及びテスター間を中継接続するインターフェー
スベースとを有する検査装置において、 前記インターフェースベースは、少なくとも横又は縦方
向の一列毎に分割された複数の分割ベースに前記インタ
ーフェースピンを支持した構成としている。
(作用) 本発明では、インターフェースベースを、縦又は横方向
でインターフェースピンの一列毎に分割した複数の分割
ベースとして構成している。そして、このテストフィク
チャーを製造する際には、先ず、プローブベースを支持
ベースに固定しておく。
そして、端から順に分割ベースを前記支持ベースに取り
付けてゆき、この取り付けを行う毎に、分割ベースに支
持されたインターフェースピンと前記プローブベースに
支持されたプローブピンとを、検査装置の配線情報を基
に線材によって接続することになる。
この場合、インターフェースベースが分割されているの
で、この分割ベースを裏返して作業し易い方向に向けて
線材の接続作業を行っても、従来の一枚のベースから成
るインターフェースベースを使用した場合に比べれば、
前記線材の長さをほぼ4分の1程度に短くすることが可
能となる。
尚、前記分割ベースを支持ベースに対して回転自在に構
成しておけば、上記作業をより簡易に実行することがで
き、作業性の向上をも図ることができる。
(実施例) 以下、本発明を回路基板検査装置に適用した一実施例に
ついて、図面を参照して具体的に説明する。
まず、実施例装置の全体の概要について、第3図を参照
して説明する。
本実施例装置を大別すれば、被検査体である電子部品を
実装した回路基板10と、この回路基板10の機能検査を実
行するためのテスター20と、前記回路基板10を載置固定
し、かつ、この回路基板10のパターン面と前記テスター
20の出力端子とを接続するテストフィクチャー30とから
構成されている。
前記テスター20は、前記テストフィクチャー30を昇降可
能に支持するリフター21と、前記テストフィクチャー30
の後述する支持ベース60を位置決め案内する案内部材の
一例であるロケーティングピン22と、前記支持ベース60
を真空吸引するためのバキュームポート23と、前記テス
トフィクチャー30と対向する面上に、テスター20の出力
端子であるスプリング付きコンタクトプローブ24とを有
して構成されている。
次に、本実施例装置の特徴的構成である前記テストフィ
クチャー30について、第1図,第2図を参照して説明す
る。
前記テストフィクチャー30は、プローブベース40及びイ
ンターフェースベース50を有し、この各ベース40,50は
前記支持ベース60に離間して平行に配置固定されるよう
になっている。
まず、プローブベース40,インターフェースピン50の取
り付け構造について説明すると、第1図に示すように前
記テストフィクチャー20の基台となる前記支持ベース60
に前記インターフェースベース50が固定されている。ま
た、前記支持ベース60には支柱61が垂直に支持固定され
ている。
次に、前記プローブベース40について説明する。
前記プローブベース40は、前記回路基板1の部品実装面
とは反対側のパターン面と接触するプローブピン41を支
持するベースである。
前記プローブピン41は、第1図に詳図するように、その
両端に電気的に導通する接続片41a,41bを有し、上側の
前記接続片41aは、同図の矢印方向である軸方向の一端
側に突出付勢されるように、スプリングピン構造となっ
ている。
このプローブピン41は、前記プローブベース40に形成し
た挿入穴40aに挿入されて支持固定されている。また、
前記プローブベース40の上面には、前記各プローブピン
41の配列位置に対応してガイド穴35aを有するピンガイ
ドプレート35がプレートガイド36によって取り付け案内
され、かつ、圧縮コイルスプリング37によって常時上方
に付勢されている。そして、前記ガイド穴35aに挿通さ
れることにより、前記プローブピン41を回路基板10のパ
ターン面に正確に接触できるように構成している。さら
に、前記ピンガイトプレート35上には、回路基板10用の
ガイドピン38が垂直に立設され、前記基板10をピンガイ
ドプレート35上で正確に位置決めできるようになってい
る。
次に、前記インターフェースベース50について説明す
る。
このインターフェースベース50は、前記テスター20のス
プリング付きコンタクトプローブ24と接触して、インタ
ーフェースとしての機能を有するベースであり、このベ
ース50には、前記テスター20のスプリング付きコンタク
トプローブ24と対向する各位置に、インターフェースピ
ン51が支持されている。このインターフェースピン51
は、その両端に電気的に導通する接続片51a,51bを有し
て構成されている。
また、前記インターフェースベース50には、前記テスタ
ー20のロケーティングピン22に挿通される被案内部材で
あるガイド穴が形成され、前記テスター側との正確な位
置決めが成されるようになっている。
尚、このインターフェースベース50は、後述するよう
に、テスター20側に真空吸引されるので、テスター20側
に空気の流入を防止する構造となっている。
次に、前記インターフェースベース50の特徴的構成につ
いて説明する。
このインターフェースベース50は、第2図に示すよう
に、マトリクス状の各位置に配置されたインターフェー
スピン51の一列ごとに、例えば縦方向に分割された複数
の分割ベース52から構成されている。
そして、この各分割ベース52は、前記支持ベース60の両
側よりボルト53によって独立して固定できるように構成
されている。すなわち、前記支持ベース60の両縁60aに
は、対向した穴65が設けられ、一方、前記各分割ベース
52には前記穴65に対向する位置にネジ穴52aを有してい
る。そして、前記ボルト53を前記支持ベース60の穴65を
介し前記ネジ穴52aに螺合することで、前記分割ベース5
2を支持ベース60に固定できるようになっている。尚、
前記ボルト53を完全に締め付けない状態にあっては、前
記ボルト53が回転軸となって穴65に支持されて回転自在
であり、この結果、前記分割ベース52が回転できるよう
になっている。
また、前記プローブベース40に固定されたプローブピン
41の接続片41aと、前記インターフェースベース50に支
持されたインターフェースピン51の接続片51aとは、線
材70によって接続されるようになっている。
次に、作用について説明する。
まず、この検査装置の組み立てについて説明する。
この検査装置は、各種基板の種類に合わせて個別的に製
造する必要があり、このために線材70を回路基板10に合
わせて前記プローブピン41とインターフェースピン51と
にラッピングする必要がある。
そこで、第2図の例えば左端の分割ベース52から順に一
つづつ分割ベース52を前記支持ベース60にボルト53によ
って仮止めし、この仮止めの状態で前記プローブピン41
に一端を接続した線材70の他端を、所定のインターフェ
ースピン51にラッピングによって接続する。
ここで、このラッピングを実行する場合、前記分割ベー
ス52上のインターフェースピン51に前記線材70を接続す
べき接続片51aが外側(前記プローブピン41に対向しな
い向き)になるように、前記ボルト53を回転軸として分
割ベース52を回転して行う。このようにすれば、外側に
向いた前記接続片51aに対するラッピングを容易に実行
することができる。
そして、一枚の前記分割ベース52に対する前記ラッピン
グが終了したら、この分割ベース52を回転して前記プロ
ーブピン41の下側接続片41bとインターフェースピン51
の上側接続片51aとが対向するように設定し、その後前
記ボルト53の本締めにより固定する。
以降、第2図の例えば左側の分割ベース52から順に上記
作業を繰り返すことで、全ての分割ベース52に対するラ
ッピング処理を容易に実行することができる。
ここで、一列に分割された分割ベース52毎に線材70の接
続を実行しているので、従来の第5図に示すもののよう
に、一枚の大きなインターフェースベース上のインター
フェースピンにラッピングを行うものに比べれば、前記
線材の長さが明らかに短くて済む。
このようにして構成されるテストフィクチャー30を用い
ての前記回路基板10の検査について説明する。
前記テスター20のバキュームポート23によって前記テス
トフィクチャー30の基台である支持ベース60をテスター
20側に吸引し、前記インターフェースベース50に支持さ
れているインターフェースピン51の接続片51bを前記テ
スター20のスプリング付きコンタクトプローブ24に接触
させる。
このような状態に設定した後、前記テスター20によっ
て、前記回路基板10に通電し、所定の機能検査を実行す
ることができる。
ここで、前記プローブピン41とインターフェースピン51
とを接続する前記線材70の長さが従来よりも大幅に短く
なっているので、線材70の引き回し時に重畳するノイズ
が大幅に少なくなり、たとえ高周波信号が伝送される場
合であっても、重畳するノイズが少ないのでより正確な
機能検査を実行することが可能となる。
尚、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
例えば、上記実施例では、分割ベース52を回転自在に構
成し、線材70の接続作業の簡易化を図ったが、必ずしも
これに限定されるものではなく、要はインターフェース
ベース50を各列毎に分割しておけば、線材70の長さを短
くできるという本発明の効果を奏することができる。
また、より作業の簡易化を図るためには、前記分割ベー
ス52を回転自在とすると共に、この分割ベース52が作業
しやすい位置で停止できるように回転ストッパーを具備
するようにしても良い。
尚、前記分割ベース52を得るための分割方向について言
及すれば、この分割の方法はテスター20の出力端子のグ
ループ毎に対応するものが好ましく、すなわち、インタ
ーフェースピン51への接続は、テスター20の出力端子の
配置と対応関係があるからである。従って、上記実施例
のように縦方向で分割するものに限らず、横方向に分割
してもよいことは言うまでもない。
また、上記実施例では、回路基板検査装置について説明
したが、マトリックス液晶表示装置の駆動回路等に適用
しても同様な効果が得られる。
[発明の効果] 以上説明したように、本発明によればインターフェース
ベースを一列毎に分割した構成であるので、プローブベ
ース上のプローブピンとインターフェースピンとの接続
のための線材を従来より短くして接続することが可能と
なり、もって、信号に重畳するノイズの低減が図れるの
で、特に検出信号が高周波信号であっても常時的確な機
能検査を実行することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例である回路基板装置における
テストフィクチャーの断面構造を示す断面図、 第2図は第1図のテストフィクチャーにおけるインター
フェースベースの平面図、 第3図は第1図のテストフィクチャーを用いた検査装置
の全体構成を示す概略説明図、 第4図は従来の検査装置の概略説明図、 第5図は従来のテストフィクチャーの組み立て作業を示
す概略説明図である。 10……回路基板、 20……テスター、 30……テストフィクチャー、 40……プローブベース、 41……プローブピン、 50……インターフェースベース、 51……インターフェースピン、 52……分割ベース、 60……支持ベース、 70……線材。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】多数の測定端が平面的に存在する被測定体
    と、この被測定体の各測定端に対応して配置され、一端
    が測定端に接触し、他端側がテスターに接続されるプロ
    ーブピンを配列支持したプローブベースと、このプロー
    ブベース及びテスター間をインターフェースピンを介し
    て中継接続するインターフェースベースとを有する検査
    装置において、 前記インターフェースベースは、少なくとも横又は縦方
    向の一列毎に分割された複数の分割ベースに前記インタ
    ーフェースピンを支持して構成したことを特徴とする検
    査装置。
  2. 【請求項2】各分割ベースは、前記プローブピンとの接
    続端側を、前記プローブベースと対面しない側に回転で
    きるように、回転自在に支持されるものである特許請求
    の範囲第1項記載の検査装置。
  3. 【請求項3】被測定体は回路基板である特許請求の範囲
    第1項又は第2項記載の検査装置。
  4. 【請求項4】被測定体は液晶駆動回路である特許請求の
    範囲第1項又は第2項記載の検査装置。
JP62322194A 1987-12-18 1987-12-18 検査装置 Expired - Lifetime JPH0789142B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62322194A JPH0789142B2 (ja) 1987-12-18 1987-12-18 検査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62322194A JPH0789142B2 (ja) 1987-12-18 1987-12-18 検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01162176A JPH01162176A (ja) 1989-06-26
JPH0789142B2 true JPH0789142B2 (ja) 1995-09-27

Family

ID=18140995

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62322194A Expired - Lifetime JPH0789142B2 (ja) 1987-12-18 1987-12-18 検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0789142B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008191064A (ja) * 2007-02-07 2008-08-21 Produce:Kk アクティブプローブを備えた電気特性検査装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH01162176A (ja) 1989-06-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2764854B2 (ja) プローブカード及び検査方法
JPH0789142B2 (ja) 検査装置
JPH06186271A (ja) プリント基板検査方法と検査装置
JPS62269075A (ja) プリント基板検査装置
JPH07122601A (ja) プローブ装置及びそのメンテナンス用治具
JPH03245600A (ja) プリント基板の検査方法および検査装置
KR20050067759A (ko) 반도체 검사장치
JPH0814610B2 (ja) 回路基板検査装置
JPS6119142A (ja) 半導体装置の試験装置
JPS63211642A (ja) 半導体試験装置
JP3076424B2 (ja) 回路基板検査方法と検査基板並びに回路基板検査装置
JPH0731185Y2 (ja) プロービィング装置
JPH11121547A (ja) ウェーハ測定治具、テストヘッド装置およびウェーハ測定装置
KR100276102B1 (ko) 웨이퍼 검사기의 헤드캐비넷 구조와 프로브 카드 장착구조
JPH04364485A (ja) 混成集積回路装置の検査方法
JPS59147277A (ja) 半導体集積回路の測定装置
JPS6161560B2 (ja)
JPH0729636Y2 (ja) 半導体ウェハー検査装置
JPH022901A (ja) 配線基板端子ピンの長さ検査機構
JPH11190764A (ja) 多数の端子を有する基板等の検査装置および検査方法
JPH01263572A (ja) 半導体塔載基板試験装置
JP2591453B2 (ja) バーンインボード検査装置およびバーンインボード検査方法
JPH08254569A (ja) 電子基板用検査治具
JPH01141377A (ja) 厚膜混成集積回路の検査装置
JPH01287476A (ja) 回路基板の電気検査装置