JPH0789591B2 - 炭酸ガスレ−ザ装置 - Google Patents
炭酸ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPH0789591B2 JPH0789591B2 JP59131692A JP13169284A JPH0789591B2 JP H0789591 B2 JPH0789591 B2 JP H0789591B2 JP 59131692 A JP59131692 A JP 59131692A JP 13169284 A JP13169284 A JP 13169284A JP H0789591 B2 JPH0789591 B2 JP H0789591B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- carbon dioxide
- resonator
- laser device
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- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
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- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は大出力の炭酸ガスレーザ装置に係り、特にそ
の出力レーザ光の偏光特性の改善に関する。
の出力レーザ光の偏光特性の改善に関する。
従来、大出力の炭酸ガスレーザ装置は、第３図及び第４
図に示すようにエンドミラー１と出力ミラー２から共振
器３が構成されている。第３図では、（ｂ）に示すよう
なランダム偏光レーザ光４が得られ、第４図では共振器
３内にブリユスターウインドウ５を設けて（ｂ）に示す
ような直線偏光レーザ光６を得ている。この直線偏光レ
ーザ光６を円偏光に変換する方法が、第５図に示してあ
る。
図に示すようにエンドミラー１と出力ミラー２から共振
器３が構成されている。第３図では、（ｂ）に示すよう
なランダム偏光レーザ光４が得られ、第４図では共振器
３内にブリユスターウインドウ５を設けて（ｂ）に示す
ような直線偏光レーザ光６を得ている。この直線偏光レ
ーザ光６を円偏光に変換する方法が、第５図に示してあ
る。
従来の炭酸ガスレーザ装置においては、第４図に示した
ように、ブリユスターウインドウ５を設け、そのブリユ
スターウインドウ５の光の偏光面の違いによる透過率の
違いにより、レーザ共振光の偏光面を決定していた。し
かしながら、レーザ出力が高くなり、又、炭酸ガスレー
ザのように波長が10.6μｍと長くなると、一般のガラス
材が用いられず、特殊な材料（ZnSe等）を用いる必要が
ある。共振エネルギーが高くなると、このブリユスター
ウインドウ５を通過するエネルギーを多くなり、従つて
ブリユスターウインドウ５が吸収するエネルギーが増大
する。そのため、このブリユスターウインドウ材が光学
的熱歪を受け、共振器３の構成を狂わせ、レーザ出力の
低下、発振横モードの変化をもたらすことがあつた。
ように、ブリユスターウインドウ５を設け、そのブリユ
スターウインドウ５の光の偏光面の違いによる透過率の
違いにより、レーザ共振光の偏光面を決定していた。し
かしながら、レーザ出力が高くなり、又、炭酸ガスレー
ザのように波長が10.6μｍと長くなると、一般のガラス
材が用いられず、特殊な材料（ZnSe等）を用いる必要が
ある。共振エネルギーが高くなると、このブリユスター
ウインドウ５を通過するエネルギーを多くなり、従つて
ブリユスターウインドウ５が吸収するエネルギーが増大
する。そのため、このブリユスターウインドウ材が光学
的熱歪を受け、共振器３の構成を狂わせ、レーザ出力の
低下、発振横モードの変化をもたらすことがあつた。
又、第５図に示したように、直線偏光のレーザ光６の円
偏光のレーザ光８への変換においても、1/4波長板７を
用いて行なつていたが、この場合も上記ブリユスターウ
インドウ５と同じような不具合を生じると共に、その熱
負荷のため、破壊されてしまう場合もあつた。
偏光のレーザ光８への変換においても、1/4波長板７を
用いて行なつていたが、この場合も上記ブリユスターウ
インドウ５と同じような不具合を生じると共に、その熱
負荷のため、破壊されてしまう場合もあつた。
この発明の目的は、上記従来の問題点を解消し、きれい
な円偏光の大出力炭酸ガスレーザ光が得られる炭酸ガス
レーザ装置を提供することである。
な円偏光の大出力炭酸ガスレーザ光が得られる炭酸ガス
レーザ装置を提供することである。
この発明は、管軸がＬ字状の管の両端部にそれぞれエン
ドミラーおよび出力ミラーを備え、前記管の内部であっ
て、前記出力ミラー近くに入射角および反射角が30度〜
60度となるように光軸を折り曲げる折曲げ反射ミラーが
配置された一体構成の炭酸ガスレーザ共振器と、この共
振器の出力ミラー近くの光路上に入射角が45度となるよ
うに配置された1/4波長変換ミラーとからなる炭酸ガス
レーザ装置である。
ドミラーおよび出力ミラーを備え、前記管の内部であっ
て、前記出力ミラー近くに入射角および反射角が30度〜
60度となるように光軸を折り曲げる折曲げ反射ミラーが
配置された一体構成の炭酸ガスレーザ共振器と、この共
振器の出力ミラー近くの光路上に入射角が45度となるよ
うに配置された1/4波長変換ミラーとからなる炭酸ガス
レーザ装置である。
この発明の炭酸ガスレーザ装置は第１図に示すようにな
り、従来例と同一箇所は同一符号を付すと、共振器３は
管軸がＬ字状の管の両端部にそれぞれエンドミラー１と
出力ミラー２により構成されている。そして、この共振
器３の内部の角部、すなわち上記出力ミラー２の近くに
は、折曲げ反射ミラー９がその入射角及び反射角が30゜
〜60゜、例えば45゜になるように配設されている。更
に、共振器３の外部、即ち上記出力ミラー２の近くの光
路上には、45゜の入射角に設定された1/4波長変換ミラ
ー10が設けられている。
り、従来例と同一箇所は同一符号を付すと、共振器３は
管軸がＬ字状の管の両端部にそれぞれエンドミラー１と
出力ミラー２により構成されている。そして、この共振
器３の内部の角部、すなわち上記出力ミラー２の近くに
は、折曲げ反射ミラー９がその入射角及び反射角が30゜
〜60゜、例えば45゜になるように配設されている。更
に、共振器３の外部、即ち上記出力ミラー２の近くの光
路上には、45゜の入射角に設定された1/4波長変換ミラ
ー10が設けられている。
動作時には、折曲げ反射ミラー９により共振におけるレ
ーザ光の偏光面が決定される。これは、Ｐ偏光、Ｓ偏光
により反射率が違うことと、炭酸ガスレーザでは発振の
ゲインが高いことにより、決定させるものである。その
Ｐ偏光、Ｓ偏光における反射の特性曲線を第２図に示し
た。次に、1/4波長変換ミラー10により、共振器３から
射出された直線偏光のレーザ光６は、1/4波長変換ミラ
ー10により偏光面の回転作用を受け、円偏光のレーザ光
８に変換される。
ーザ光の偏光面が決定される。これは、Ｐ偏光、Ｓ偏光
により反射率が違うことと、炭酸ガスレーザでは発振の
ゲインが高いことにより、決定させるものである。その
Ｐ偏光、Ｓ偏光における反射の特性曲線を第２図に示し
た。次に、1/4波長変換ミラー10により、共振器３から
射出された直線偏光のレーザ光６は、1/4波長変換ミラ
ー10により偏光面の回転作用を受け、円偏光のレーザ光
８に変換される。
この発明によれば、従来のように光学部品、特にブリユ
スターウインドウ５及び1/4波長板７に対して大きな熱
負荷を与えることなく、折曲げ反射ミラー９を共振器内
部に１枚、1/4波長変換ミラー10をレーザ出射直後に１
枚、それぞれ設けることにより、簡単に円偏光の炭酸ガ
スレーザ光を得ることができ、そのレーザ光の加工等へ
の応用の効果は大である。
スターウインドウ５及び1/4波長板７に対して大きな熱
負荷を与えることなく、折曲げ反射ミラー９を共振器内
部に１枚、1/4波長変換ミラー10をレーザ出射直後に１
枚、それぞれ設けることにより、簡単に円偏光の炭酸ガ
スレーザ光を得ることができ、そのレーザ光の加工等へ
の応用の効果は大である。
又、この発明では、上記機能を出力ミラー２付近に集結
したため、全機能のユニツト化が可能となつた。更に一
体構造としたため、直線偏光面と1/4波長変換ミラー10
との位置関係を機械的精度で設定することができた。こ
の一体構造のため、出力ミラーユニツト部での回転に関
しても、その円偏光（直線偏光から円偏光への変換機
能）には影響がない。
したため、全機能のユニツト化が可能となつた。更に一
体構造としたため、直線偏光面と1/4波長変換ミラー10
との位置関係を機械的精度で設定することができた。こ
の一体構造のため、出力ミラーユニツト部での回転に関
しても、その円偏光（直線偏光から円偏光への変換機
能）には影響がない。
更にこの発明によれば、レーザの共振器の基本の光軸と
円偏光化された後の光軸とを平行にすることができるう
え、更に同軸上に合わせる場合にも、あと２枚の折曲げ
反射ミラー９の使用でよい。この場合には、1/4波長変
換ミラー10を1/8波長変換ミラー２枚としてもよい。
円偏光化された後の光軸とを平行にすることができるう
え、更に同軸上に合わせる場合にも、あと２枚の折曲げ
反射ミラー９の使用でよい。この場合には、1/4波長変
換ミラー10を1/8波長変換ミラー２枚としてもよい。
尚、この発明は、単軸の共振器に適用できるのみなら
ず、多重折返し型の共振器にも適用できるのは勿論であ
る。
ず、多重折返し型の共振器にも適用できるのは勿論であ
る。
第１図はこの発明の一実施例に係る炭酸ガスレーザ装置
を示す概略構成図、第２図はＰ偏光、Ｓ偏光における反
射特性を示す特性曲線図、第３図及び第４図は従来の炭
酸ガスレーザ装置の２例を示す概略構成図、第５図は直
線偏光のレーザ光を1/4波長板により円偏光のレーザ光
に変換する方法を示す説明図である。 １……エンドミラー、２……出力ミラー、９……折曲げ
反射ミラー、10……1/4波長変換ミラー。
を示す概略構成図、第２図はＰ偏光、Ｓ偏光における反
射特性を示す特性曲線図、第３図及び第４図は従来の炭
酸ガスレーザ装置の２例を示す概略構成図、第５図は直
線偏光のレーザ光を1/4波長板により円偏光のレーザ光
に変換する方法を示す説明図である。 １……エンドミラー、２……出力ミラー、９……折曲げ
反射ミラー、10……1/4波長変換ミラー。
Claims (1)
- 【請求項１】管軸がＬ字状の管の両端部にそれぞれエン
ドミラーおよび出力ミラーを備え、前記管の内部であっ
て、前記出力ミラー近くに入射角および反射角が30度〜
60度となるように光軸を折り曲げる折曲げ反射ミラーが
配置された一体構成の炭酸ガスレーザ共振器と、この共
振器の出力ミラー近くの光路上に入射角が45度となるよ
うに配置された1/4波長変換ミラーとからなる炭酸ガス
レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59131692A JPH0789591B2 (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 炭酸ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59131692A JPH0789591B2 (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 炭酸ガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6110291A JPS6110291A (ja) | 1986-01-17 |
| JPH0789591B2 true JPH0789591B2 (ja) | 1995-09-27 |
Family
ID=15063975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59131692A Expired - Lifetime JPH0789591B2 (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 炭酸ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0789591B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63292432A (ja) * | 1987-05-25 | 1988-11-29 | Sony Corp | 光学ピックアップ装置 |
| JPH0710542B2 (ja) * | 1989-12-22 | 1995-02-08 | 株式会社松田製作所 | 射出成形機における金型移動装置 |
| JPH0856028A (ja) * | 1994-08-10 | 1996-02-27 | Fanuc Ltd | レーザ発振器 |
| US5878067A (en) * | 1994-08-10 | 1999-03-02 | Fanuc Ltd. | Laser oscillator |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5613389A (en) * | 1979-06-29 | 1981-02-09 | Ajinomoto Kk | Valve for powder |
| JPS56133889A (en) * | 1980-03-24 | 1981-10-20 | Hitachi Ltd | Laser generating apparatus |
| JPS59129485A (ja) * | 1983-01-13 | 1984-07-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ発振装置 |
-
1984
- 1984-06-26 JP JP59131692A patent/JPH0789591B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6110291A (ja) | 1986-01-17 |
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