JPH0793230B2 - セラミックシートの積層方法 - Google Patents
セラミックシートの積層方法Info
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- JPH0793230B2 JPH0793230B2 JP3083308A JP8330891A JPH0793230B2 JP H0793230 B2 JPH0793230 B2 JP H0793230B2 JP 3083308 A JP3083308 A JP 3083308A JP 8330891 A JP8330891 A JP 8330891A JP H0793230 B2 JPH0793230 B2 JP H0793230B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- ceramic
- carrier film
- ceramic sheet
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- Ceramic Capacitors (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、積層磁器コンデンサな
どの電子部品に見られるセラミックシートの積層方法に
関する。
どの電子部品に見られるセラミックシートの積層方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】電子部品、例えば積層磁器コンデンサは
誘電体層と導体からなる内部電極層とを交互に形成した
構造に特徴を有し、その製造方法としてキャリアフィル
ム上に連続的に形成されたセラミックシートを一定形状
に切断する操作と、このセラミックシート上に内部電極
層を形成する操作とを行うことにより必要量のセラミッ
クシートを作製し、これを所定枚数積層し、圧着する方
法が一般に行われている。
誘電体層と導体からなる内部電極層とを交互に形成した
構造に特徴を有し、その製造方法としてキャリアフィル
ム上に連続的に形成されたセラミックシートを一定形状
に切断する操作と、このセラミックシート上に内部電極
層を形成する操作とを行うことにより必要量のセラミッ
クシートを作製し、これを所定枚数積層し、圧着する方
法が一般に行われている。
【０００３】一方、近年の電子部品の小型化に伴い、積
層磁器コンデンサなどの電子部品においては静電容量を
増加するために、セラミックシートの薄層化と積層精度
の向上が要求されている。前者については薄いセラミッ
クシートの機械的強度には自ずと限界があるのでセラミ
ックシートをキャリアフィルムごと切断し、このまま扱
うことにより見かけの強度を著しく向上することによっ
て対応している。次に後者の積層精度については、セラ
ミックシートの変形を最小限とし、なおかつ、セラミッ
クシートの切断、内部電極層の形成、積層および圧着と
いう一連の操作それぞれの精度の向上が必要となる。
層磁器コンデンサなどの電子部品においては静電容量を
増加するために、セラミックシートの薄層化と積層精度
の向上が要求されている。前者については薄いセラミッ
クシートの機械的強度には自ずと限界があるのでセラミ
ックシートをキャリアフィルムごと切断し、このまま扱
うことにより見かけの強度を著しく向上することによっ
て対応している。次に後者の積層精度については、セラ
ミックシートの変形を最小限とし、なおかつ、セラミッ
クシートの切断、内部電極層の形成、積層および圧着と
いう一連の操作それぞれの精度の向上が必要となる。
【０００４】したがって例えば積層磁器コンデンサの製
造においては内部電極パターンを所望の位置に精度よく
積層する技術が必要不可欠であり、これにより必要な静
電容量のコンデンサを歩留り良く得ることができる。
造においては内部電極パターンを所望の位置に精度よく
積層する技術が必要不可欠であり、これにより必要な静
電容量のコンデンサを歩留り良く得ることができる。
【０００５】こうした背景のもとに考案された方法とし
てセラミックシートを金属枠上に張りつけ、内部電極を
印刷した後、打ち抜いてセラミックシートを積層する方
法がある。さらに薄いセラミックシートはキャリアフィ
ルムごと金属枠に張りつける方法がある。
てセラミックシートを金属枠上に張りつけ、内部電極を
印刷した後、打ち抜いてセラミックシートを積層する方
法がある。さらに薄いセラミックシートはキャリアフィ
ルムごと金属枠に張りつける方法がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】精度良く積層するため
には各操作における設備の充実と共に、一連の操作を常
に前の操作の結果を確認して行う必要があった。例えば
前述の枠張り法の場合、金属枠にセラミックシートを張
りつけた後、枠に合せて内部電極層を所定の位置に形成
し、さらにこの枠に合せて、あるいはＣＣＤ（電荷結合
素子）カメラ等でパターンを読み取って位置合せを行い
所定形状に打ち抜く。最後に同様に位置合せを行って積
層しなくてはならない。この結果、各操作の微細なズレ
であっても相乗的に作用して、積層、圧着後には最小で
も40μｍ程度の積層ズレが発生し、積層コンデンサの歩
留りを低下させる原因となっていた。また、キャリアフ
ィルムから剥がして印刷を行うとシートアタックにより
セラミックシートの変形を引き起こし、やはり積層ズレ
の要因となっていた。
には各操作における設備の充実と共に、一連の操作を常
に前の操作の結果を確認して行う必要があった。例えば
前述の枠張り法の場合、金属枠にセラミックシートを張
りつけた後、枠に合せて内部電極層を所定の位置に形成
し、さらにこの枠に合せて、あるいはＣＣＤ（電荷結合
素子）カメラ等でパターンを読み取って位置合せを行い
所定形状に打ち抜く。最後に同様に位置合せを行って積
層しなくてはならない。この結果、各操作の微細なズレ
であっても相乗的に作用して、積層、圧着後には最小で
も40μｍ程度の積層ズレが発生し、積層コンデンサの歩
留りを低下させる原因となっていた。また、キャリアフ
ィルムから剥がして印刷を行うとシートアタックにより
セラミックシートの変形を引き起こし、やはり積層ズレ
の要因となっていた。
【０００７】したがって、本発明の目的は、大容量の積
層磁器コンデンサなどの電子部品に対して、特に積層精
度を向上させ、したがって歩留り良く生産でき、しかも
従来の方法よりも容易なセラミックシートの積層方法を
提供することにある。
層磁器コンデンサなどの電子部品に対して、特に積層精
度を向上させ、したがって歩留り良く生産でき、しかも
従来の方法よりも容易なセラミックシートの積層方法を
提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記目的
を達成すべく研究の結果、セラミックシートを予めキャ
リアフィルムごと所定の形状に切断した後に内部電極を
形成し、セラミックシートの積層を行うセラミックシー
トの積層方法において、一連の操作における位置合せを
行うに際し、例えばピンあるいは付き当てなどの固定手
段によってキャリアフィルムの形状を検出するようにす
れば、特に積層精度が著しく高く、製品歩留りが向上す
ることを見出し本発明に到達した。
を達成すべく研究の結果、セラミックシートを予めキャ
リアフィルムごと所定の形状に切断した後に内部電極を
形成し、セラミックシートの積層を行うセラミックシー
トの積層方法において、一連の操作における位置合せを
行うに際し、例えばピンあるいは付き当てなどの固定手
段によってキャリアフィルムの形状を検出するようにす
れば、特に積層精度が著しく高く、製品歩留りが向上す
ることを見出し本発明に到達した。
【０００９】すなわち、本発明は、誘電体材料をバイン
ダー溶液に分散したスラリーをキャリアフィルム上に塗
工し、得られたセラミックシートを長方形の所定の大き
さに打ち抜いた後、該シート上に内部電極を印刷し、次
いでこれらのセラミックシートを積層・圧着して積層体
とするセラミックシートの積層方法において、上記セラ
ミックシートをキャリアフィルムごと打ち抜き、キャリ
アフィルムとセラミックシートからなるシート体の位置
決め用固定手段、好ましくは位置出し用ピンを設けたス
クリーン印刷用テーブル上において内部電極の印刷を行
い、位置決め用固定手段、好ましくは位置出し用ピンを
設けた圧着金型上に該シート体のキャリアフィルムを上
側にして固定し、キャリアフィルムの剥離により表面に
出たセラミックシート上に同様にしてシート体を固定
し、キャリアフィルムの剥離を繰り返して複数のセラミ
ックシートを積層し圧着することを特徴とするセラミッ
クシートの積層方法を提供するものである。
ダー溶液に分散したスラリーをキャリアフィルム上に塗
工し、得られたセラミックシートを長方形の所定の大き
さに打ち抜いた後、該シート上に内部電極を印刷し、次
いでこれらのセラミックシートを積層・圧着して積層体
とするセラミックシートの積層方法において、上記セラ
ミックシートをキャリアフィルムごと打ち抜き、キャリ
アフィルムとセラミックシートからなるシート体の位置
決め用固定手段、好ましくは位置出し用ピンを設けたス
クリーン印刷用テーブル上において内部電極の印刷を行
い、位置決め用固定手段、好ましくは位置出し用ピンを
設けた圧着金型上に該シート体のキャリアフィルムを上
側にして固定し、キャリアフィルムの剥離により表面に
出たセラミックシート上に同様にしてシート体を固定
し、キャリアフィルムの剥離を繰り返して複数のセラミ
ックシートを積層し圧着することを特徴とするセラミッ
クシートの積層方法を提供するものである。
【００１０】なお、本発明方法に用いられるキャリアフ
ィルムとしては、セラミックシート形成の際に必要な柔
軟性と耐熱性および位置合せに耐える剛性をもち、かつ
セラミックシートと共に打ち抜くことができるフィルム
であることが必要であり、例えば40〜80μｍの厚さのポ
リエステルフィルム等の高分子フィルムおよびこれに類
似するものが挙げられる。
ィルムとしては、セラミックシート形成の際に必要な柔
軟性と耐熱性および位置合せに耐える剛性をもち、かつ
セラミックシートと共に打ち抜くことができるフィルム
であることが必要であり、例えば40〜80μｍの厚さのポ
リエステルフィルム等の高分子フィルムおよびこれに類
似するものが挙げられる。
【００１１】
【作用】本発明の方法によれば、内部電極層を形成する
際と積層する際の位置合せを同じキャリアフィルムによ
って行うことができ、しかもその操作の間に、打ち抜き
など他の操作を行う必要がない。したがって位置合せの
必要な操作が従来の方法よりも減り、またシートアタッ
ク等によるセラミックシートの変形が起きにくいという
利点がある。
際と積層する際の位置合せを同じキャリアフィルムによ
って行うことができ、しかもその操作の間に、打ち抜き
など他の操作を行う必要がない。したがって位置合せの
必要な操作が従来の方法よりも減り、またシートアタッ
ク等によるセラミックシートの変形が起きにくいという
利点がある。
【００１２】さらに枠張りを行わないことにより、これ
に付随した操作、例えば枠張り、乾燥、枠の再使用のた
めの処理が一切不要となる。
に付随した操作、例えば枠張り、乾燥、枠の再使用のた
めの処理が一切不要となる。
【００１３】
【実施例１】図１ないし図５はいずれも本発明の方法を
説明するための斜視図であって、これらを参照して以下
説明する。
説明するための斜視図であって、これらを参照して以下
説明する。
【００１４】まず、片面にシリコン処理をした厚さ50μ
ｍのポリエチレンテレフタレートのキャリア（ベース）
フィルム上に、従来の方法に従って、誘電体セラミック
材料をバインダー溶液に分散したスラリーを塗工し、長
尺の厚さ10μｍのセラミックシートを作製した。
ｍのポリエチレンテレフタレートのキャリア（ベース）
フィルム上に、従来の方法に従って、誘電体セラミック
材料をバインダー溶液に分散したスラリーを塗工し、長
尺の厚さ10μｍのセラミックシートを作製した。
【００１５】次に、図１の斜視図に見られるように、セ
ラミックシート２を 7×10cmの大きさの長方形に切断す
る際に、その４隅に相隣れる２辺からそれぞれ５mmの位
置に径３mmの位置出し用穴３をキャリアフィルム１ごと
打ち抜いた。この４つの穴は内部電極印刷および積層時
の位置出しを行うため正確に打ち抜く必要がある。逆に
いかなる形状でも、位置出し用の部位を正確に切断でき
れば、他はいかなる方法でもハンドリング可能な形状に
切断すればよい。またこの操作が可能な範囲でキャリア
フィルムの剛性は高い程、以後の操作での精度が高ま
る。
ラミックシート２を 7×10cmの大きさの長方形に切断す
る際に、その４隅に相隣れる２辺からそれぞれ５mmの位
置に径３mmの位置出し用穴３をキャリアフィルム１ごと
打ち抜いた。この４つの穴は内部電極印刷および積層時
の位置出しを行うため正確に打ち抜く必要がある。逆に
いかなる形状でも、位置出し用の部位を正確に切断でき
れば、他はいかなる方法でもハンドリング可能な形状に
切断すればよい。またこの操作が可能な範囲でキャリア
フィルムの剛性は高い程、以後の操作での精度が高ま
る。
【００１６】次に、図３の斜視図に示すように、キャリ
アフィルム１上に形成されたセラミックシート２に内部
電極ペースト５をスクリーン印刷した。この際の位置出
しは、図２の斜視図に示すように、印刷用テーブル６上
の径３mm、高さ１mmの４本の金属製位置出し用ピン４を
位置出し用穴３に挿入することによって行った。なお、
図１ないし図５では説明のため、横方向に比し上下方向
の寸法を拡大して示した。
アフィルム１上に形成されたセラミックシート２に内部
電極ペースト５をスクリーン印刷した。この際の位置出
しは、図２の斜視図に示すように、印刷用テーブル６上
の径３mm、高さ１mmの４本の金属製位置出し用ピン４を
位置出し用穴３に挿入することによって行った。なお、
図１ないし図５では説明のため、横方向に比し上下方向
の寸法を拡大して示した。
【００１７】次に、カバー用セラミックシートとして厚
さ約 100μｍのセラミックシートを、電極印刷工程を除
去した以外は上記と同様に製造し、図４の斜視図に示す
ように、圧着金型８の径３mmの位置出し用ピン４に挿入
した。
さ約 100μｍのセラミックシートを、電極印刷工程を除
去した以外は上記と同様に製造し、図４の斜視図に示す
ように、圧着金型８の径３mmの位置出し用ピン４に挿入
した。
【００１８】このカバー用セラミックシート７の上に、
前記キャリアフィルム１とセラミックシート２からなる
シート体をキャリアフィルム側を上にして圧着金型８の
径３mmの位置出し用ピン４に挿入し、軽く圧着した。圧
着後、最上層にあるキャリアフィルム１をセラミックシ
ート２から剥離した（図５参照）。
前記キャリアフィルム１とセラミックシート２からなる
シート体をキャリアフィルム側を上にして圧着金型８の
径３mmの位置出し用ピン４に挿入し、軽く圧着した。圧
着後、最上層にあるキャリアフィルム１をセラミックシ
ート２から剥離した（図５参照）。
【００１９】キャリアフィルムの剥離により表面に出た
セラミックシート上に、上記と同様にして製造したシー
ト体を同様に挿入および圧着し、最上層にあるキャリア
フィルムを剥離した。これを繰り返し行い、電極搭載セ
ラミックシートを30層積層した後、もう１枚の前記と同
様のカバー用セラミックシートを最上層として挿入およ
び圧着して積層磁器コンデンサ素体を製造した。
セラミックシート上に、上記と同様にして製造したシー
ト体を同様に挿入および圧着し、最上層にあるキャリア
フィルムを剥離した。これを繰り返し行い、電極搭載セ
ラミックシートを30層積層した後、もう１枚の前記と同
様のカバー用セラミックシートを最上層として挿入およ
び圧着して積層磁器コンデンサ素体を製造した。
【００２０】以上の方法では、セラミックシートの切断
は１回、一連の製造過程において、必要な位置合せは２
回であり、従来の方法に比し簡潔になった。しかも２回
の位置合せは、十分な剛性を備えたキャリアフィルム上
の同一の位置出し用穴で行うため以下に述べるように従
来よりも積層精度が向上した。
は１回、一連の製造過程において、必要な位置合せは２
回であり、従来の方法に比し簡潔になった。しかも２回
の位置合せは、十分な剛性を備えたキャリアフィルム上
の同一の位置出し用穴で行うため以下に述べるように従
来よりも積層精度が向上した。
【００２１】本実施例では、図６に示すＡパターンの積
層磁器コンデンサ素体を多数製造し、そのうちから無作
為に50点選び、焼成前の圧着体の積層精度を測定し、１
チップ内において最もズレの大きかったものを表１の実
施例１の欄に示した。
層磁器コンデンサ素体を多数製造し、そのうちから無作
為に50点選び、焼成前の圧着体の積層精度を測定し、１
チップ内において最もズレの大きかったものを表１の実
施例１の欄に示した。
【００２２】
【実施例２】図７は、本実施例で製造された積層磁器コ
ンデンサの積層態様（Ｂパターン）を示す側断面図であ
る。
ンデンサの積層態様（Ｂパターン）を示す側断面図であ
る。
【００２３】本実施例ではセラミックシート上に内部電
極パターンをスクリーン印刷機によって印刷する際、積
層したときに隣接するシートに形成されている内部電極
同士が一方向に交互にずれるように打ち抜き、積層体用
が図７に示すＢパターンの積層磁器コンデンサ素体を製
造したこと以外は実施例１と同様に行った。なお本実施
例では、Ｂパターンの積層磁器コンデンサ素体を多数製
造し、そのうちから無作為に50点選び焼成前の圧着体の
積層精度を測定し、１チップ内において最もズレの大き
かったものを表１の実施例２の欄に示した。
極パターンをスクリーン印刷機によって印刷する際、積
層したときに隣接するシートに形成されている内部電極
同士が一方向に交互にずれるように打ち抜き、積層体用
が図７に示すＢパターンの積層磁器コンデンサ素体を製
造したこと以外は実施例１と同様に行った。なお本実施
例では、Ｂパターンの積層磁器コンデンサ素体を多数製
造し、そのうちから無作為に50点選び焼成前の圧着体の
積層精度を測定し、１チップ内において最もズレの大き
かったものを表１の実施例２の欄に示した。
【００２４】
【比較例１】本比較例では、従来の技術の枠張り方式に
より、実施例１と同様のＡパターンの積層磁器コンデン
サ素体を多数製造し、そのうちから無作為に50点選び焼
成前の圧着体の積層精度を測定し、１チップ内において
最もズレの大きかったものを表１の比較例１の欄に示し
た。
より、実施例１と同様のＡパターンの積層磁器コンデン
サ素体を多数製造し、そのうちから無作為に50点選び焼
成前の圧着体の積層精度を測定し、１チップ内において
最もズレの大きかったものを表１の比較例１の欄に示し
た。
【００２５】表１からもわかるように、本発明の方法と
比較すると従来の方法で製造されたＡパターンの積層磁
器コンデンサは、積層ズレが15μｍ以上大きいことが確
認された。
比較すると従来の方法で製造されたＡパターンの積層磁
器コンデンサは、積層ズレが15μｍ以上大きいことが確
認された。
【００２６】
【比較例２】本比較例では、従来の技術の枠張り方式に
より、実施例２と同様のＢパターンの積層磁器コンデン
サ素体を多数製造し、そのうちから無作為に50点選び焼
成前の圧着体の積層精度を測定し、１チップ内において
最もズレの大きかったものを表１の比較例２の欄に示し
た。
より、実施例２と同様のＢパターンの積層磁器コンデン
サ素体を多数製造し、そのうちから無作為に50点選び焼
成前の圧着体の積層精度を測定し、１チップ内において
最もズレの大きかったものを表１の比較例２の欄に示し
た。
【００２７】表１からもわかるように、本発明の方法と
比較すると従来の方法で製造されたＢパターンの積層磁
器コンデンサは、積層ズレが２倍程大きいことが確認さ
れた。以上の実施例および比較例では、ともに積層磁器
コンデンサを例に説明したが、本発明の方法は位置決め
が重要である類似の電子部品における積層方法に広く利
用できることは当業者にとって容易に理解されよう。
比較すると従来の方法で製造されたＢパターンの積層磁
器コンデンサは、積層ズレが２倍程大きいことが確認さ
れた。以上の実施例および比較例では、ともに積層磁器
コンデンサを例に説明したが、本発明の方法は位置決め
が重要である類似の電子部品における積層方法に広く利
用できることは当業者にとって容易に理解されよう。
【００２８】
【表１】
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の方法によ
れば、内部電極を形成する際と、積層する際の位置合せ
を同じキャリアフィルムによって行えるので、従来の方
法よりも簡潔であり、しかも積層精度を著しく向上させ
る結果、大容量の積層磁器コンデンサなどの電子部品を
歩留りよく生産することができる。
れば、内部電極を形成する際と、積層する際の位置合せ
を同じキャリアフィルムによって行えるので、従来の方
法よりも簡潔であり、しかも積層精度を著しく向上させ
る結果、大容量の積層磁器コンデンサなどの電子部品を
歩留りよく生産することができる。
【図１】 本発明の実施例において、内部電極印刷のと
きの位置出し用穴が形成されたキャリアフィルムとセラ
ミックシートからなるシート体を示す斜視図である。
きの位置出し用穴が形成されたキャリアフィルムとセラ
ミックシートからなるシート体を示す斜視図である。
【図２】 本発明の実施例において、内部電極のスクリ
ーン印刷の際に位置出しに用いられるスクリーン印刷用
テーブルと位置出し用ピンを示す斜視図である。
ーン印刷の際に位置出しに用いられるスクリーン印刷用
テーブルと位置出し用ピンを示す斜視図である。
【図３】 本発明の実施例において、キャリアフィルム
とセラミックシートからなるシート体に形成された位置
出し用穴およびセラミックシート上に印刷された内部電
極ペーストを示す斜視図である。
とセラミックシートからなるシート体に形成された位置
出し用穴およびセラミックシート上に印刷された内部電
極ペーストを示す斜視図である。
【図４】 本発明の実施例において、内部電極を印刷し
たセラミックシートを積層・圧着する圧着金型および位
置出し用ピンを示す斜視図である。
たセラミックシートを積層・圧着する圧着金型および位
置出し用ピンを示す斜視図である。
【図５】 本発明の実施例において、圧着金型上位置決
めされたカバー用セラミックシートに内部電極印刷ずみ
のセラミックシートを順次積層する要領を説明するため
の斜視図である。
めされたカバー用セラミックシートに内部電極印刷ずみ
のセラミックシートを順次積層する要領を説明するため
の斜視図である。
【図６】 本発明の実施例１および比較例１に用いられ
た積層磁器コンデンサの積層態様（Ａパターン）を示す
側断面図である。
た積層磁器コンデンサの積層態様（Ａパターン）を示す
側断面図である。
【図７】 本発明の実施例２および比較例２に用いられ
た積層磁器コンデンサの積層態様（Ｂパターン）を示す
側断面図である。
た積層磁器コンデンサの積層態様（Ｂパターン）を示す
側断面図である。
１ キャリアフィルム ２ セラミックシート ３ 位置出し用穴 ４ 位置出し用ピン ５ 内部電極ペースト ６ スクリーン印刷用テーブル ７ カバー用セラミックシート ８ 圧着用金型
Claims (2)
- 【請求項１】 誘電体材料をバインダー溶液に分散した
スラリーをキャリアフィルム上に塗工し、得られたセラ
ミックシートを長方形の所定の大きさに打ち抜いた後、
該シート上に内部電極を印刷し、次いでこれらのセラミ
ックシートを積層・圧着して積層体とするセラミックシ
ートの積層方法において、上記セラミックシートをキャ
リアフィルムごと打ち抜き、キャリアフィルムとセラミ
ックシートからなるシート体の位置決め用固定手段を設
けたスクリーン印刷用テーブル上において内部電極の印
刷を行い、位置決め用固定手段を設けた圧着金型上に該
シート体のキャリアフィルムを上側にして固定し、キャ
リアフィルムの剥離により表面に出たセラミックシート
上に同様にしてシート体を固定し、キャリアフィルムの
剥離を繰り返して複数のセラミックシートを積層し圧着
することを特徴とするセラミックシートの積層方法。 - 【請求項２】 上記位置決め用固定手段がスクリーン印
刷用テーブルまたは圧着金型上に設けられた位置出し用
ピンである請求項１記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3083308A JPH0793230B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | セラミックシートの積層方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3083308A JPH0793230B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | セラミックシートの積層方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06120074A JPH06120074A (ja) | 1994-04-28 |
| JPH0793230B2 true JPH0793230B2 (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=13798792
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3083308A Expired - Lifetime JPH0793230B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | セラミックシートの積層方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0793230B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8644002B2 (en) * | 2011-05-31 | 2014-02-04 | Medtronic, Inc. | Capacitor including registration feature for aligning an insulator layer |
| US20130058004A1 (en) | 2011-09-01 | 2013-03-07 | Medtronic, Inc. | Feedthrough assembly including underfill access channel and electrically insulating material |
| US8644936B2 (en) | 2012-01-09 | 2014-02-04 | Medtronic, Inc. | Feedthrough assembly including electrical ground through feedthrough substrate |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2906697B2 (ja) * | 1990-03-09 | 1999-06-21 | 日本電気株式会社 | セラミック多層配線基板の製造方法 |
-
1991
- 1991-03-22 JP JP3083308A patent/JPH0793230B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06120074A (ja) | 1994-04-28 |
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