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JPH0793512B2 - Electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet - Google Patents
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JPH0793512B2 - Electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet - Google Patents

Electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet

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JPH0793512B2
JPH0793512B2 JP1246484A JP24648489A JPH0793512B2 JP H0793512 B2 JPH0793512 B2 JP H0793512B2 JP 1246484 A JP1246484 A JP 1246484A JP 24648489 A JP24648489 A JP 24648489A JP H0793512 B2 JPH0793512 B2 JP H0793512B2
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metal thin
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electromagnetic wave
wave shielding
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電磁波シールド性金属薄膜積層シートに関す
るものである。更に詳しく述べるならば、本発明は、柔
軟でかつ適度な圧縮弾性を有する表面を有し、かつ、電
磁波シールド性にすぐれた金属薄膜積層シートに関する
ものである。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to an electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet. More specifically, the present invention relates to a metal thin film laminated sheet which has a surface which is soft and has appropriate compression elasticity and which has an excellent electromagnetic wave shielding property.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

近年エレクトロニクス機器の発達および普及に伴い、こ
れらの機器および、磁気記録体などを、静電気、および
電磁波の悪影響から保護することが必要になり、この保
護材料として、シート材料、例えば、被覆用シート材料
および包装用シート材料の需要が大きくなってきてい
る。
With the recent development and popularization of electronic devices, it is necessary to protect these devices and magnetic recording bodies from the adverse effects of static electricity and electromagnetic waves. As this protective material, a sheet material, for example, a covering sheet material. And the demand for packaging sheet materials is increasing.

従来エレクトロニクス機器を静電気の影響から保護する
ために、カーボン粉末、カーボン繊維、金属箔、又は金
属粉末を含有する導電性材料を含む導電性シートが用い
られている。しかし、このような従来の導電性シート
は、エレクトロニクス機器を電磁波の影響から保護する
目的には十分に効果があるとは云えないものであり、か
つ、その変形(柔軟)性が不十分で、保護すべき機器の
形状にフィットしにくいものであった。
In order to protect electronic devices from the influence of static electricity, a conductive sheet containing carbon powder, carbon fiber, metal foil, or a conductive material containing metal powder has been used. However, such a conventional conductive sheet cannot be said to be sufficiently effective for the purpose of protecting electronic devices from the influence of electromagnetic waves, and its deformation (flexibility) is insufficient, It was difficult to fit the shape of the equipment to be protected.

また、電磁波シールド性を有する金属薄膜に、フィルム
を貼着した積層シートが、開発されたが、従来の金属薄
膜積層シートは、表面が硬く弾性に乏しく、このため、
この積層シートをエレクトロニクス機器の被覆包装用に
用いても、これらの機器にフィットせず、また、ドレー
プ性やクッション性も不十分であり、しかも屈曲、折り
曲げにより金属薄膜が容易に折損したり、折り目が残留
したり、積層成分層が互に他から剥離したり、或は、部
分的白化、筋むらを発生するなどの問題点があった。
Further, a laminated sheet in which a film is attached to a metal thin film having an electromagnetic wave shielding property has been developed, but a conventional metal thin film laminated sheet has a hard surface and poor elasticity, and therefore,
Even if this laminated sheet is used for covering and packaging of electronic devices, it does not fit these devices, and the drape property and cushioning property are also insufficient, and furthermore, the metal thin film is easily broken by bending or bending, There are problems such as remaining folds, peeling of the laminated component layers from each other, partial whitening, and uneven streaks.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be Solved by the Invention]

本発明は、従来の電磁波シールド性金属薄膜積層シート
の問題点、すなわち、表面の柔軟性および弾性の不足、
そのために発生する屈曲による金属薄膜の裂断、折損、
および折れ目、折れ筋の形成、成分層曲の剥離に伴う白
化、筋むらの発生などの問題点を解消し、形状変形に対
する柔軟な適応性、良好なドレープ性、表面の良好な柔
軟性および圧縮弾性を有し、しかも電界および磁界の両
方に対しすぐれたシールド性を有し、機器被覆包装用と
して有用な電磁波シールド性金属薄膜積層シートを提供
しようとするものである。
The present invention has problems of the conventional electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet, that is, lack of flexibility and elasticity of the surface,
The metal thin film is torn or broken due to the bending that occurs,
It also solves problems such as creases, formation of creases, whitening due to peeling of component layer bending, and generation of streaks, and flexible adaptability to shape deformation, good drape, good surface flexibility and It is intended to provide an electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet which has a compressive elasticity and an excellent shielding property against both an electric field and a magnetic field and is useful for equipment packaging.

〔課題を解決するための手段および作用〕[Means and Actions for Solving the Problems]

本発明の電磁波シールド性金属薄膜積層シートは、上述
の問題点を解消できるものであって、 電磁波シールド性金属薄膜層と、その少なくとも1面上
に結着され、かつ可撓性シート材料からなる1層以上の
被覆層とからなり、 前記金属薄膜層が、アモルファス金属からなるリボン状
薄膜基体と、その少なくとも1面を被覆している導電性
金属メッキ層とからなる複数枚の導電性金属メッキアモ
ルファス金属薄膜リボンを、互いに平行に配列して形成
されたものであり、 前記被覆層が、少なくとも1層の可撓性重合体発泡多孔
質シート材料層と、前記可撓性重合体発泡多孔質シート
材料層に結着され、かつ繊維布帛からなる補強層とを含
む、 ことを特徴とするものである。
MEANS TO SOLVE THE PROBLEM The electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet of the present invention is capable of solving the above-mentioned problems and comprises an electromagnetic wave shielding metal thin film layer and a flexible sheet material bound on at least one surface thereof. A plurality of conductive metal platings each including one or more coating layers, the metal thin film layer including a ribbon-shaped thin film substrate made of amorphous metal and a conductive metal plating layer coating at least one surface thereof. It is formed by arranging amorphous metal thin film ribbons in parallel to each other, wherein the coating layer is at least one flexible polymer foam porous sheet material layer, and the flexible polymer foam porous material. A reinforcing layer which is bound to the sheet material layer and is made of a fiber cloth.

本発明の電磁波シールド性金属薄膜積層シートにおい
て、金属薄膜層の両面に可撓性シート材料からなる被覆
層が結着され、この被覆層の少なくとも1層を形成する
可撓性シート材料が、可撓性重合体発泡多孔質シート材
料を含むものであってもよい。
In the electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet of the present invention, a flexible sheet material in which at least one coating layer is formed by binding a coating layer made of a flexible sheet material on both surfaces of the metal thin film layer is applicable. It may include a flexible polymer foam porous sheet material.

また、本発明の電磁波シールド性金属薄膜積層シート
は、金属薄膜層の1面上に結着された被覆層が、可撓性
重合体発泡多孔質シート材料層を含み、かつ、金属薄膜
層の他の1面上に結着された被覆層が、可撓性重合体の
非多孔質シート材料層を含むものであってもよい。
Further, in the electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet of the present invention, the coating layer bound on one surface of the metal thin film layer includes a flexible polymer foam porous sheet material layer, and The coating layer bound on the other side may include a layer of flexible polymeric non-porous sheet material.

本発明の電磁波シールド性金属薄膜積層シートに用いら
れる金属薄膜は、アモルファス金属薄膜からなるもので
ある。
The metal thin film used for the electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet of the present invention is composed of an amorphous metal thin film.

最近アモルファス金属を、その特性に基いて、種々の用
途に使用することが試みられている。一般にアモルファ
ス金属薄膜は、幅2.54〜10.16cmのリボン状材料として
供給されており、その幅の拡大に関しては近い将来、幅
20.32cmの小幅シートが、供給されることが期待されて
いる程度である。
Recently, attempts have been made to use amorphous metals for various applications based on their properties. Amorphous metal thin films are generally supplied as ribbon-shaped materials with a width of 2.54 to 10.16 cm.
20.32 cm narrow sheet is expected to be supplied.

従来は、上述のようなリボン状、又は小(細)幅材料
は、カードケース、或は小物用包装収納材料としてのみ
使用可能であって、これを100〜300cmの広幅が要求され
る被覆シートなどに利用することは殆ど不可能と考えら
れていた。
Conventionally, the ribbon-shaped or small (narrow) width material as described above can be used only as a card case or a packaging material for small items, and a covering sheet requiring a wide width of 100 to 300 cm. It was thought to be almost impossible to use for such purposes.

本発明の電磁波シールド性金属薄膜積層シートにおいて
は、アモルファス金属薄膜は、その供給幅のまゝ、また
は、必要に応じ、これを所望の幅に接合して使用され
る。
In the electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet of the present invention, the amorphous metal thin film is used up to its supply width, or if necessary, by bonding it to a desired width.

上述のエレクトロニクス機器の保護効果とは、電磁波シ
ールド手段により電磁波エネルギーを吸収したり、或は
反射したりして、エレクトロニクス機器に電磁波エネル
ギーの影響が及ばないようにする効果を云う。この電磁
波シールド手段による電磁波エネルギー減衰の程度は単
位デシベル(dB)で表わされ、電磁波シールド材料とし
てはこの数値が大きい程減衰効果が大きく、好ましいこ
とになる。
The above-mentioned effect of protecting the electronic device means an effect that the electromagnetic wave energy is absorbed or reflected by the electromagnetic wave shield means so that the electronic device is not affected by the electromagnetic wave energy. The degree of electromagnetic wave energy attenuation by the electromagnetic wave shield means is expressed in a unit decibel (dB), and as the electromagnetic wave shield material has a larger value, the attenuation effect is larger, which is preferable.

本発明の電磁波シールド性金属薄膜積層シートにおい
て、その電磁波シールド効果は、それに含まれているア
モルファス金属薄膜のシールド効果にほぼ依存し、一般
に、10dB以上であることが好ましく、30dB以上であるこ
とがより好ましく、60dB以上であることが更に好まし
く、90dB以上であることがより一層好ましい。本発明の
電磁波シールド性金属薄膜積層シートにおいて、使用さ
れるアモルファス金属としては、一般には鉄を主成分と
し、これにホウ素、硅素、炭素、ニッケル、コバルト、
およびモリブデンなどから選ばれた1種以上を添加して
得られるアモルファス合金から選ばれることが好まし
い。例えば、アライド社の商品名METGLAS No.2605SC(F
e:81%,B:13.5%,Si:3.5%,C:2%のアモルファス合
金)、No.2605S−C(Fe:78%,B:13%,Si:9%のアモル
ファス合金)、No.2605−CO(Fe:87部、B:14部、Si:1
部、Co:18部のアモルファス合金)、No.2826−MB(Fe:4
0%,Ni:38%,Mo:4%,B:18%のアモルファス合金)など
を用いることができる。
In the electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet of the present invention, the electromagnetic wave shielding effect is substantially dependent on the shielding effect of the amorphous metal thin film contained therein, and is generally preferably 10 dB or more, and 30 dB or more. More preferably, it is more preferably 60 dB or more, still more preferably 90 dB or more. In the electromagnetic shielding metal thin film laminated sheet of the present invention, the amorphous metal used is generally iron as a main component, and boron, silicon, carbon, nickel, cobalt,
It is preferably selected from amorphous alloys obtained by adding one or more selected from molybdenum and the like. For example, Allied's product name METGLAS No. 2605SC (F
e: 81%, B: 13.5%, Si: 3.5%, C: 2% amorphous alloy), No. 2605S-C (Fe: 78%, B: 13%, Si: 9% amorphous alloy), No .2605-CO (Fe: 87 parts, B: 14 parts, Si: 1
Part, Co: 18 parts amorphous alloy), No. 2826-MB (Fe: 4
0%, Ni: 38%, Mo: 4%, B: 18% amorphous alloy) and the like can be used.

また、上記の鉄を主成分とする合金系の外に、コバルト
を主成分とする合金系(例えばCo90Zr10,Co78Si10B12,C
o56Cr26C18,Co44Mo36C20,Co34Cr28Mo20C18)、ニッケル
を主成分とする合金系(例えばNi90Zr10,Ni78Si10B12,N
i34Cr24Mo24C18)、およびその他の金属を主成分とする
合金系(例えばPd80Si20,Cu80Zr20,Nb50Ni50,Ti50C
u50)等も利用できる。
In addition to the above-mentioned iron-based alloy system, cobalt-based alloy system (for example, Co 90 Zr 10 , Co 78 Si 10 B 12 , C
o 56 Cr 26 C 18 ,, Co 44 Mo 36 C 20 ,, Co 34 Cr 28 Mo 20 C 18 ), an alloy system containing nickel as the main component (for example, Ni 90 Zr 10 , Ni 78 Si 10 B 12 , N)
i 34 Cr 24 Mo 24 C 18 ) and alloys based on other metals (eg Pd 80 Si 20 , Cu 80 Zr 20 , Nb 50 Ni 50 , Ti 50 C
u 50 ) etc. are also available.

また、アモルファス金属薄膜は、その電磁波シールド性
に実質的な影響のない範囲内で、有孔薄膜であってもよ
い。
Further, the amorphous metal thin film may be a perforated thin film as long as it does not substantially affect the electromagnetic wave shielding property.

これらのアモルファス金属薄膜材料は、前述のようにリ
ボン又は細幅シートの形状で供給されている場合が多い
ので、本発明の電磁波シールド性金属薄膜積層シート
に、これらを使用するとき、必要に応じて複数個のリボ
ン状、又は、細幅シート状のアモルファス金属薄膜材料
を互に並列に配列して、広幅シート状体とし、必要によ
りそれらの対向する側縁部を接着剤又は半田により接合
して、所望の幅を有する広幅シート状体とする。また、
アモルファス金属薄膜は、アモルファス金属の粉末を利
用して形成してもよい。或は、アモルファス金属からな
る細線から編織物状、又は不織布状シートとして、これ
をアモルファス金属薄膜として用いてもよい。
Since these amorphous metal thin film materials are often supplied in the form of ribbons or narrow sheets as described above, when they are used in the electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet of the present invention, if necessary. A plurality of ribbon-shaped or narrow sheet-shaped amorphous metal thin film materials are arranged in parallel with each other to form a wide sheet-shaped body, and if necessary, their opposite side edges are joined by an adhesive or solder. To obtain a wide sheet body having a desired width. Also,
The amorphous metal thin film may be formed by using amorphous metal powder. Alternatively, it may be used as a knitted woven fabric-like or non-woven fabric-like sheet from thin wires made of amorphous metal, and this sheet may be used as an amorphous metal thin film.

前述のようなアモルファス金属薄膜は磁界に対しすぐれ
たシールド効果を有している。
The amorphous metal thin film as described above has an excellent shield effect against a magnetic field.

本発明の電磁波シールド性金属薄膜積層シートにおいて
アモルファス金属薄膜層は、アモルファス金属からなる
基体薄膜層と、その少なくとも1面を被覆している導電
性金属メッキ層とからなるものである。メッキ用導電性
金属としては、例えば銅、ニッケル、コバルト、鉄、ア
ルミニウム、金、銀、錫、亜鉛およびこれらから選ばれ
た2種以上の合金などを用いることができる。このよう
にして、アモルファス金属薄膜からなる基体の少なくと
も1面上に導電性金属をメッキすると、得られるアモル
ファス金属薄膜層は前記磁界シールド性に、メッキ層に
よる電界シールド性が加算され、アモルファス金属薄膜
層全体として、低周波から高周波までの広範囲の電磁波
に対して、すぐれたシールド効果を示すことができる。
また、導電性金属メッキ層は、アモルファス金属薄膜の
半田接合性を向上させる効果も有している。
In the electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet of the present invention, the amorphous metal thin film layer comprises a base thin film layer made of amorphous metal and a conductive metal plating layer covering at least one surface thereof. As the conductive metal for plating, for example, copper, nickel, cobalt, iron, aluminum, gold, silver, tin, zinc, and an alloy of two or more selected from these can be used. In this way, when a conductive metal is plated on at least one surface of a substrate made of an amorphous metal thin film, the obtained amorphous metal thin film layer has the magnetic field shielding property and the electric field shielding property of the plating layer added, and the amorphous metal thin film is obtained. The entire layer can exhibit an excellent shielding effect against a wide range of electromagnetic waves from low frequencies to high frequencies.
Further, the conductive metal plating layer also has an effect of improving the solder bondability of the amorphous metal thin film.

本発明の電磁波シールド性金属薄膜積層シートにおい
て、アモルファス金属薄膜層は、100μm以下の厚さを
有することが好ましく、1〜70μmの厚さを有すること
がより好ましく、5〜50μmの厚さを有することが更に
好ましく、10〜30μmの厚さを有することが更に一層好
ましい。
In the electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet of the present invention, the amorphous metal thin film layer preferably has a thickness of 100 μm or less, more preferably 1 to 70 μm, and further preferably 5 to 50 μm. It is even more preferred that it has a thickness of 10 to 30 μm.

また、アモルファス金属薄膜層中に含まれる導電性金属
メッキ層は、0.1μm以上の厚さを有することが好まし
く、0.1〜5μm程度の厚さを有することがより好まし
い。
The conductive metal plating layer contained in the amorphous metal thin film layer preferably has a thickness of 0.1 μm or more, more preferably about 0.1 to 5 μm.

アモルファス金属薄膜層の厚さが100μmより大きくな
ると、芯層の剛性が過大となり、変形しにくく、ドレー
プ性が不十分となり、鋭利な切断面を形成して作業上危
険を生ずることがある。またアモルファス金属薄膜層又
はその金属メッキ層表面に、防錆剤その他の薄い保護膜
を形成してもよい。
When the thickness of the amorphous metal thin film layer is more than 100 μm, the rigidity of the core layer becomes excessive, the core layer is hard to be deformed, the drape property becomes insufficient, and a sharp cut surface may be formed, which may be dangerous in operation. In addition, a thin protective film such as a rust preventive may be formed on the surface of the amorphous metal thin film layer or the metal plating layer thereof.

本発明の電磁波シールド性金属薄膜積層シートにおい
て、アモルファス金属薄膜層の少なくとも1面に、可撓
性重合体の発泡多孔質シート材料層、およびそれに結着
され、かつ繊維布帛からなる補強層を含む被覆層が結着
される。この発泡多孔質シート材料層および繊維布帛補
強層を含む被覆層で被覆された電磁波シールド性金属薄
膜積層シートは、好ましい柔軟性、圧縮弾性、および衡
撃や押圧に対する緩衝性を示す。
In the electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet of the present invention, at least one surface of the amorphous metal thin film layer includes a foamed porous sheet material layer of a flexible polymer and a reinforcing layer which is bound to the foamed porous sheet material layer and is made of a fiber cloth. The coating layer is bound. The electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet covered with the covering layer including the foamed porous sheet material layer and the fiber cloth reinforcing layer exhibits favorable flexibility, compression elasticity, and shock-proof and pressure-damping property.

すなわち電磁波シールド性金属薄膜積層シートに屈曲な
どの外力が作用したとき、発泡多孔質シート材料層およ
び繊維布帛補強層が、変形することによってこの外力を
吸収し、アモルファス金属薄膜の伸びおよび圧縮を少な
くし、これによってアモルファス金属薄膜の裂断や折損
を防止し、かつ永久変形(折れ目の形成)を防止すると
いう緩衝作用を発揮する。このような電磁波シールド性
金属薄膜積層シートは、エレクトロニクス機器の被覆用
シート、或は、包装収納用シートとして有用なものであ
る。
That is, when an external force such as bending acts on the electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet, the foamed porous sheet material layer and the fiber cloth reinforcing layer deform and absorb the external force, and the expansion and compression of the amorphous metal thin film are reduced. However, this exerts a buffering effect of preventing the amorphous metal thin film from breaking or breaking and preventing permanent deformation (crease formation). Such an electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet is useful as a sheet for covering electronic equipment or a sheet for packaging and storing.

発泡多孔質シート材料を形成するに適した可撓性重合体
材料は、天然ゴム、合成ゴム(例えばSBR,NBR、ニトリ
ルゴム、ポリクロロプレンゴム、ポリイソブチレンゴ
ム、フッ素含有ゴム、およびシリコーンゴムなど、これ
らはラテックス状態で用いられることが多い)、および
可撓性合成樹脂(例えば、ポリエチレン、ポリウレタ
ン、ポリ塩化ビニル、およびポリスチレン)などから、
任意に選択することができる。この発泡多孔質シート材
料は、可撓性である限り硬質フォームであってもよい
が、一般に軟質フォームであることが好ましい。
Suitable flexible polymeric materials for forming the foamed porous sheet material include natural rubber, synthetic rubber (such as SBR, NBR, nitrile rubber, polychloroprene rubber, polyisobutylene rubber, fluorine-containing rubber, and silicone rubber). These are often used in the latex state), and flexible synthetic resins (eg, polyethylene, polyurethane, polyvinyl chloride, and polystyrene),
It can be arbitrarily selected. The foamed porous sheet material may be a rigid foam as long as it is flexible, but it is generally preferred that it is a flexible foam.

発泡多孔質シート材料層の気孔率は、50〜99%(発泡倍
率:2〜100倍)であることが好ましく、80〜98%(発泡
倍率:5〜50倍)であることがより好ましい。通常は発泡
倍率20〜60倍のものが用いられる。また、発泡多孔質シ
ート材料層の圧縮抵抗は、25%圧縮において、10kg/cm2
以下であれば用途によって実用可能であるが、一般に0.
5kg/cm2以下であることが好ましく、0.1kg/cm2以下であ
ることがより好ましい。
The porosity of the foamed porous sheet material layer is preferably 50 to 99% (foaming ratio: 2 to 100 times), and more preferably 80 to 98% (foaming ratio: 5 to 50 times). Usually, a foaming ratio of 20 to 60 times is used. The compression resistance of the foamed porous sheet material layer is 10 kg / cm 2 at 25% compression.
It is practically possible depending on the application if it is below, but generally 0.
It is preferably 5 kg / cm 2 or less, and more preferably 0.1 kg / cm 2 or less.

発泡多孔質シート材料層の厚さには、格別の制限はな
く、電磁波シールド性金属薄膜積層シートの用途に応じ
て任意に設定することができるが、一般に、0.5〜100mm
の範囲内にあることが好ましく、1〜50mmの範囲内にあ
ることがより好ましい。
The thickness of the foamed porous sheet material layer is not particularly limited and can be arbitrarily set according to the application of the electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet, but generally 0.5 to 100 mm.
Is preferably within the range of 1, and more preferably within the range of 1 to 50 mm.

被覆層の発泡多孔質シート層がアモルファス金属薄膜層
に結着されている場合、発泡多孔質シートを予じめ作成
しておき、これを接着剤を用いて結着してもよく、或
は、発泡多孔質シート材料層の接着表面部分を熱溶融し
て、融着してもよい。また、発泡多孔質シート材料層
は、アモルファス金属薄膜上で化学発泡させて形成して
もよいし、或は、気泡を含有する重合体塗料をアモルフ
ァス金属薄膜上に塗布し、これを固化する、所謂、機械
発泡法により形成してもよい。
When the foamed porous sheet layer of the coating layer is bound to the amorphous metal thin film layer, a foamed porous sheet may be prepared in advance and bound with an adhesive, or The adhesive surface portion of the foamed porous sheet material layer may be heat-melted and fused. The foamed porous sheet material layer may be formed by chemically foaming on an amorphous metal thin film, or a polymer coating containing bubbles is applied on the amorphous metal thin film and solidified, You may form by what is called a mechanical foaming method.

上述のような可撓性重合体発泡多孔質シート材料層を含
む被覆層は、アモルファス金属薄膜の両面に形成されて
もよく、或は、その片面のみに形成されてもよい。後者
の場合、アモルファス金属薄膜層の他の片面に、前述の
ような可撓性重合体の非多孔質シート材料層を含む被覆
層が結着されていてもよい。
The coating layer including the flexible polymer foam porous sheet material layer as described above may be formed on both sides of the amorphous metal thin film, or may be formed on only one side thereof. In the latter case, a coating layer including a non-porous sheet material layer of the flexible polymer as described above may be bonded to the other surface of the amorphous metal thin film layer.

上述の可撓性重合体発泡多孔質シート材料層および必要
により非多孔質シート材料層は、繊維布帛よりなる補強
層と積層結着され、被覆層を形成している。このような
繊維布帛補強層を有する本発明の電磁波シールド性金属
薄膜積層シートは、高い機械的強度を要求される用途、
例えば、重包装材料、或は重被覆材料として有用なもの
である。
The flexible polymer foam porous sheet material layer and optionally the non-porous sheet material layer described above are laminated and bound with a reinforcing layer made of a fiber cloth to form a coating layer. The electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet of the present invention having such a fiber cloth reinforcing layer is used for applications requiring high mechanical strength,
For example, it is useful as a heavy packaging material or a heavy coating material.

アモルファス金属薄膜の引裂き強さは殆んど0に等しい
程低く、低い負荷で容易に裂断する。またこのようなア
モルファス金属薄膜は引張強さにおいても比較的弱く、
かつ、強度のバラツキが大きい。例えば厚さ25μmのア
モルファス金属薄膜の引張り強さを、JIS−L−1096(1
979)。「一般織物試験方法」の6.12、引張り強さ及び
伸び率6.12.1(1)A法、(ストリップ法)に準拠し、
幅:3cm、把み間隔:20cm、引張りスピード:200mm/分での
条件で測定すると、その引張り強さは、65〜125kg/3c
m、平均100kg/3cm程度の比較的弱いものであり、また測
定値にバラツキが大きい、また、アモルファス金属薄膜
は、一般に幅の狭いリボン状で提供されているので、こ
れらを並列に配列してシート状にすると、たとえ、これ
らを、その対向している側縁部で、半田により、或は接
合剤で接着しても、このシートの横方向の引張り強さは
不十分であり、しかもそのバラツキが大きいという問題
がある。そこで、重包装用、重被覆用に使用される電磁
波シールド性金属薄膜積層シート、或は局部的に摩擦さ
れたり、局部的に外力が作用する用途に用いられる電磁
波シールド性金属薄膜積層シートは、繊維布帛補強層に
より補強されていることが有効である。
The tear strength of the amorphous metal thin film is so low that it is almost equal to 0, and it tears easily at a low load. Also, such an amorphous metal thin film is relatively weak in tensile strength,
Moreover, there is a large variation in strength. For example, the tensile strength of a 25 μm-thick amorphous metal thin film can be determined by JIS-L-1096 (1
979). In accordance with 6.12 of "General woven fabric test method", tensile strength and elongation rate 6.12.1 (1) A method, (strip method),
Width: 3 cm, gripping interval: 20 cm, pulling speed: 200 mm / min, the tensile strength is 65-125 kg / 3c
m, an average of about 100 kg / 3 cm, which is relatively weak, and the measured values vary widely.Amorphous metal thin films are generally provided in the shape of a narrow ribbon. If formed into a sheet, even if they are adhered at their opposite side edges by soldering or a bonding agent, the tensile strength in the lateral direction of the sheet is insufficient, and There is a problem that the variation is large. Therefore, for heavy packaging, electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet used for heavy coating, or locally rubbed, electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet used for the application of external force locally, It is effective to be reinforced by the fiber fabric reinforcing layer.

この繊維布帛補強層の繊維布帛の引張り強さは、アモル
ファス金属薄膜層の引張り強さよりも高いことが好まし
い。このような繊維布帛補強層は、アモルファス金属薄
膜層の引張り強さを補強し、かつ、そのばらつきを少な
くすることができる。
The tensile strength of the fiber cloth of the fiber cloth reinforcing layer is preferably higher than the tensile strength of the amorphous metal thin film layer. Such a fiber cloth reinforcing layer can reinforce the tensile strength of the amorphous metal thin film layer and reduce variations in the tensile strength.

また、補強層用繊維布帛として破断伸度が5%以下のも
のを用いると、芯層と繊維布帛補強層との伸長性の差が
小さくなり、従って、両者のS−S荷重曲線は近似し、
このため基層は、比較的大きな引張り強さを示すことが
できる。また破断伸度がアモルファス金属薄膜のそれと
等しいか、或は、5%以下の繊維布帛を補強層として芯
層と合体すると、芯層の形成に当り、アモルファス金属
リボンを並列に配置しただけでよく、半田による、或は
接合剤によるリボンの接合は必らずしも必要でなくな
る。このような接合目のないアモルファス金属薄膜は、
継ぎ目が目立たず良好な外観を示す。
Further, when a fiber having a breaking elongation of 5% or less is used as the reinforcing layer fiber cloth, the difference in extensibility between the core layer and the fiber cloth reinforcing layer becomes small. Therefore, the SS load curves of both are approximate. ,
Therefore, the base layer can exhibit a relatively large tensile strength. Further, if the breaking elongation is equal to that of the amorphous metal thin film, or if a fiber cloth of 5% or less is combined with the core layer as a reinforcing layer, only the amorphous metal ribbons need to be arranged in parallel to form the core layer. It is not always necessary to bond the ribbon with solder or with a bonding agent. An amorphous metal thin film without such a joint is
The seams are inconspicuous and show a good appearance.

このような繊維布帛を構成する繊維としては130kg/mm2
以上の引張り強さと5%以下の破断伸度を有するものが
好ましい。このような性能を有する繊維の種類に格別の
限定はないが下記のものが例示される。
130 kg / mm 2 as the fibers that make up such fiber cloth
A material having the above tensile strength and a breaking elongation of 5% or less is preferable. There is no particular limitation on the type of fiber having such performance, but the following are exemplified.

これらの高強度繊維は、上記の効果を達成するのに有効
なものであるが、低伸度を有し、屈曲強度の低いもので
ある。従って、電磁波シールド性金属薄膜積層シートの
用途に耐屈曲性の高いことを要求される場合は、上記高
強度繊維に高伸度の、屈曲強度の高い他の繊維を混用す
ることが好ましい。このような高伸度繊維の種類に格別
の限定はないが、それらを例示すれば下記の通りであ
る。
These high-strength fibers are effective in achieving the above effects, but have low elongation and low flexural strength. Therefore, when high flex resistance is required for the application of the electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet, it is preferable to mix other fibers having high elongation and high flex strength with the high strength fiber. There is no particular limitation on the kind of the high elongation fiber, but examples thereof are as follows.

また繊維布帛補強層の表面は、電磁波シールド性金属薄
膜積層シートの用途に応じて、必要な平滑性、又は、滑
り防止性、或は、所望の色彩、模様などを有していても
よく、この繊維布帛補強層の上に、上記特性を付与する
処理を施してもよいし、或は、被覆を施してもよい。
The surface of the fiber fabric reinforcing layer may have required smoothness, or slip resistance, or a desired color or pattern, depending on the application of the electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet, The fiber cloth reinforcing layer may be subjected to a treatment for imparting the above-mentioned characteristics, or a coating may be applied thereto.

本発明の電磁波シールド性金属薄膜積層シートにおい
て、アモルファス金属薄膜層は、少なくとも1層の発泡
多孔層シート材料層および繊維布帛補強層で被覆されて
おり、この発泡多孔質シート材料層および繊維布帛補強
層は、変形容易であり、かつ圧縮容易である。従って、
例えば、この電磁波シールド性金属薄膜積層シートを屈
曲変形させた場合、発泡多孔質シート材料層および繊維
布帛補強層が容易に変形してアモルファス金属薄膜の伸
長および折損を防止し、かつ、容易に圧縮変形して、
(重)被覆又は(重)包装すべき機器の形状にフィット
することができる。
In the electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet of the present invention, the amorphous metal thin film layer is covered with at least one foam porous layer sheet material layer and a fiber cloth reinforcing layer, and the foam porous sheet material layer and fiber cloth reinforcing layer. The layers are deformable and compressible. Therefore,
For example, when this electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet is bent and deformed, the foamed porous sheet material layer and the fiber cloth reinforcing layer are easily deformed to prevent expansion and breakage of the amorphous metal thin film, and easily compressed. Transform,
It can fit into the shape of the device to be (heavy) coated or (heavy) packaged.

以下に本発明の電磁波シールド性金属薄膜積層シートを
実施例により更に説明する。
The electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet of the present invention will be further described below with reference to examples.

実施例1 アモルファス合金薄膜(Fe:81%,B:13.5%,Si:3.5%,C:
2%、商標:METGLAS No.2605SC、アライド社製、幅7.62c
m、厚さ25μmのリボン状体)の全表面に、厚さ1μm
の銅メッキを施した。
Example 1 Amorphous alloy thin film (Fe: 81%, B: 13.5%, Si: 3.5%, C:
2%, trademark: METGLAS No.2605SC, Allied, width 7.62c
m, 25 μm thick ribbon-like body), 1 μm thick on all surfaces
Copper plated.

この銅メッキされたアモルファス合金薄膜リボンの13枚
を、互に並列に配列し、それぞれの側縁端を1cmづつ重
ね合わせ、接着することなく幅約85cmのシート状に形成
した。
Thirteen pieces of the copper-plated amorphous alloy thin film ribbons were arranged in parallel with each other, and the side edges of the ribbons were overlapped by 1 cm, and formed into a sheet having a width of about 85 cm without adhering.

この広幅アモルファス合金シート状物の片面に合成ゴム
系接着剤(商標:SC 12N、ソニーケミカル社製)を塗布
し、その上に、寒冷紗タイプのガラス繊維布帛(商標:K
S−5207、カネボウ硝子繊維社製、厚さ0.1mm、目付38g/
m2、からみ織、径(7+7)本/25.4mm、緯7本/25.4m
m、繊維引張り強さ350kg/mm2、繊維破断伸度3%、布帛
引張り強さ、経緯両方向各々18,20kg/2.5cm、布帛破断
伸度、経緯両方向ともに3.0%)を貼着し、その上に上
記接着剤を塗布し、この塗布面に発泡倍率40倍(気孔
率:97.5%)、厚さ5mmのポリウレタンフォームを貼着し
て包材とした。
A synthetic rubber adhesive (trademark: SC 12N, manufactured by Sony Chemical Co., Ltd.) is applied to one side of this wide amorphous alloy sheet-like material, and a glass cloth of a ginseng type (trademark: K
S-5207, manufactured by Kanebo Glass Fiber Co., Ltd., thickness 0.1 mm, basis weight 38 g /
m 2 , entangled weave, diameter (7 + 7) /25.4mm, weft 7 / 25.4m
m, fiber tensile strength 350 kg / mm 2 , fiber breaking elongation 3%, cloth tensile strength, both longitudinal and latitudinal directions 18,20 kg / 2.5 cm, cloth breaking elongation and longitudinal and lateral directions 3.0%) The above adhesive was applied on the above, and a polyurethane foam having a foaming ratio of 40 times (porosity: 97.5%) and a thickness of 5 mm was attached to the applied surface to form a packaging material.

得られた電磁波シールド性金属薄膜積層シートは、50dB
の電磁波シールド性を示した。また、この電磁波シール
ド性金属薄膜積層シートは、ガラス繊維寒冷紗の伸長変
形が極めて小さいので、アモルファス金属薄膜リボンの
スライドやスリップがなく、また、その重ね合わせ部の
盛り上りも殆ど目立たないようになっていた。
The obtained electromagnetic wave shielding metal thin film laminate sheet is 50 dB
The electromagnetic wave shielding property of Further, in this electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet, the elongation deformation of the glass fiber gauze is extremely small, so that there is no slide or slip of the amorphous metal thin film ribbon, and the swelling of the overlapping part is hardly noticeable. Was there.

この電磁波シールド性金属薄膜積層シートは、良好な引
張強度および引裂強度を示し、取り扱いの容易なもので
あった。
This electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet exhibited good tensile strength and tear strength and was easy to handle.

実施例2 実施例1と同様の操作を行った。但し、銅メッキされた
アモルファス合金薄膜リボン11枚を並列し、それぞれの
側縁端を半田接合して幅約80cmの広幅シートを作成し
た。
Example 2 The same operation as in Example 1 was performed. However, 11 copper-plated amorphous alloy thin film ribbons were arranged in parallel, and the side edges of the ribbons were soldered together to form a wide sheet having a width of about 80 cm.

この得られた電磁波シールド性金属薄膜積層シートは、
50dBのすぐれた電磁波シールド効果を示した。
The obtained electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet,
It showed an excellent electromagnetic wave shielding effect of 50 dB.

比較例1 厚さ4.9μm、幅10cmのステンレススチール金属薄膜リ
ボンの全表面に、厚さ1μmの銅メッキを施した。
Comparative Example 1 A stainless steel metal thin film ribbon having a thickness of 4.9 μm and a width of 10 cm was copper-plated with a thickness of 1 μm on the entire surface.

この銅メッキされたステンレススチール金属膜リボンを
11枚並列し、それぞれの側縁端を半田接合して幅約105c
mの広幅シートを作成した。
This copper plated stainless steel metal film ribbon
Width of about 105c
I made a wide sheet of m.

この広幅ステンレススチールシートの片面に合成ゴム系
接着剤(商標:SC 12N、ソニーケミカル社製)を塗布
し、その面に発泡倍率40倍(気孔率:97.5%)、厚さ5mm
のポリウレタンフォームを貼着して包材とした。このも
のゝ電磁波シールド性は35dBであった。
A synthetic rubber adhesive (trademark: SC 12N, made by Sony Chemical Co., Ltd.) was applied to one side of this wide stainless steel sheet, and the expansion ratio was 40 times (porosity: 97.5%) and thickness was 5 mm on that side.
The polyurethane foam of No. 1 was attached to make a packaging material. This one had an electromagnetic wave shielding property of 35 dB.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

本発明の電磁波シールド性金属薄膜積層シートは、メッ
キされたアモルファス金属薄膜層により良好な電磁波シ
ールド性を示すとともに、可撓性重合体発泡多孔質シー
ト材料層および繊維布帛補強層を含む被覆層をアモルフ
ァス金属薄膜層に積層することによって、良好な柔軟
性、圧縮弾性およびそれに伴う緩衝性が得られた。本発
明の電磁波シールド性金属薄膜積層シートは発泡多孔質
シート材料層が屈曲の際圧縮されて陥没しアモルファス
金属薄膜層は大きな曲率で屈曲されることになり、この
ような発泡多孔質シート材料層の緩衝作用によりアモル
ファス金属薄膜が部分的に異常に伸長されて裂断、折損
したり或は弾性体の緩衝作用により鋭く折り曲げられて
折れすじが発生したりすることがなく、(重)被覆シー
トとして、或は、(重)包装用シートとして、有用なも
のである。
The electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet of the present invention shows good electromagnetic wave shielding property due to the plated amorphous metal thin film layer, and includes a coating layer including a flexible polymer foam porous sheet material layer and a fiber cloth reinforcing layer. Good flexibility, compression resilience and accompanying cushioning were obtained by laminating it on the amorphous metal thin film layer. In the electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet of the present invention, the foamed porous sheet material layer is compressed and depressed during bending, and the amorphous metal thin film layer is bent with a large curvature. The amorphous metal thin film will not be abnormally stretched and broken or broken due to the buffering action of the above, or will not be bent due to the buffering action of the elastic body to cause creases, and the (heavy) coated sheet Or as a (heavy) packaging sheet.

Claims (16)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】電磁波シールド性金属薄膜層と、その少な
くとも1面上に結着され、かつ可撓性シート材料からな
る1層以上の被覆層とからなり、 前記金属薄膜層が、アモルファス金属からなるリボン状
薄膜基体と、その少なくとも1面を被覆している導電性
金属メッキ層とからなる複数枚の導電性金属メッキアモ
ルファス金属薄膜リボンを、互いに平行に配列して形成
されたものであり、 前記被覆層が、少なくとも1層の可撓性重合体発泡多孔
質シート材料層と、前記可撓性重合体発泡多孔質シート
材料層に結着され、かつ繊維布帛からなる補強層とを含
む、 ことを特徴とする電磁波シールド性金属薄膜積層シー
ト。
1. An electromagnetic wave shielding metal thin film layer and one or more coating layers made of a flexible sheet material and bound on at least one surface thereof, wherein the metal thin film layer is made of an amorphous metal. And a plurality of conductive metal-plated amorphous metal thin film ribbons each comprising a ribbon-shaped thin film substrate and a conductive metal plating layer covering at least one surface thereof are arranged in parallel with each other, The coating layer includes at least one flexible polymer foam porous sheet material layer, and a reinforcing layer which is bonded to the flexible polymer foam porous sheet material layer and is made of a fiber cloth. An electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet characterized by the above.
【請求項2】前記金属薄膜層の両面に可撓性シート材料
からなる被覆層が結着され、この被覆層の少なくとも1
層を形成する可撓性シート材料が可撓性重合体発泡多孔
質シート材料層を含んでいる、特許請求の範囲第1項記
載の電磁波シールド性金属薄膜積層シート。
2. A coating layer made of a flexible sheet material is attached to both surfaces of the metal thin film layer, and at least one of the coating layers is bonded.
The electromagnetic shielding metal thin film laminate sheet according to claim 1, wherein the flexible sheet material forming the layer comprises a flexible polymer foam porous sheet material layer.
【請求項3】前記金属薄膜層の1面上に結着された被覆
層が可撓性重合体発泡多孔質シート材料層を含み、かつ
前記金属薄膜層の他の1面上に、結着された被覆層が可
撓性重合体の非多孔質シート材料層を含む、特許請求の
範囲第2項記載の電磁波シールド性金属薄膜積層シー
ト。
3. A coating layer bound on one side of said metal thin film layer comprises a flexible polymer foam porous sheet material layer, and bound on another side of said metal thin film layer. An electromagnetic wave shielding metal thin film laminate sheet according to claim 2, wherein the coated layer comprises a non-porous sheet material layer of a flexible polymer.
【請求項4】前記可撓性重合体非多孔質シート材料層を
含む被覆層が、この非多孔質シート材料層に結着され、
かつ繊維布帛からなる補強層を有している、特許請求の
範囲第3項記載の電磁波シールド性金属薄膜積層シー
ト。
4. A coating layer comprising the flexible polymeric non-porous sheet material layer is bound to the non-porous sheet material layer,
The electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet according to claim 3, which has a reinforcing layer made of a fiber cloth.
【請求項5】前記金属薄膜層において、前記並列に配列
された複数枚のアモルファス金属薄膜リボンが、その互
いに隣接対向している側縁部において互いに接合されて
いる、特許請求の範囲第1項記載の電磁波シールド性金
属薄膜積層シート。
5. The metal thin film layer according to claim 1, wherein the plurality of amorphous metal thin film ribbons arranged in parallel are bonded to each other at their side edge portions that are adjacent to each other and facing each other. The electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet described.
【請求項6】前記アモルファス金属薄膜リボンの接合が
ハンダによりなされている、特許請求の範囲第5項記載
の電磁波シールド性金属薄膜積層シート。
6. The electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet according to claim 5, wherein the amorphous metal thin film ribbon is joined by soldering.
【請求項7】前記アモルファス金属薄膜リボンの接合が
導電性接着剤によりなされている、特許請求の範囲第5
項記載の電磁波シールド性金属薄膜積層シート。
7. The method according to claim 5, wherein the amorphous metal thin film ribbon is joined by a conductive adhesive.
An electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet according to the item.
【請求項8】前記アモルファス金属薄膜が、100μm以
下の厚さを有する、特許請求の範囲第1項記載の電磁波
シールド性金属薄膜積層シート。
8. The electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet according to claim 1, wherein the amorphous metal thin film has a thickness of 100 μm or less.
【請求項9】前記アモルファス金属薄膜が、70μm以下
の厚さを有する、特許請求の範囲第8項記載の電磁波シ
ールド性金属薄膜積層シート。
9. The electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet according to claim 8, wherein the amorphous metal thin film has a thickness of 70 μm or less.
【請求項10】前記アモルファス金属基体薄膜上の導電
性金属メッキ層が0.1μm以上の厚さを有する、特許請
求の範囲第1項記載の電磁波シールド性金属薄膜積層シ
ート。
10. The electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet according to claim 1, wherein the conductive metal plating layer on the amorphous metal substrate thin film has a thickness of 0.1 μm or more.
【請求項11】前記アモルファス金属がFeを主成分と
し、これにB,Si,C,Co,NiおよびMoから選ばれた少なくと
も1種が添加されたアモルファス金属からなる、特許請
求の範囲第1項記載の電磁波シールド性金属薄膜積層シ
ート。
11. The amorphous metal mainly composed of Fe, to which at least one selected from B, Si, C, Co, Ni and Mo is added, and the amorphous metal is an amorphous metal. An electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet according to the item.
【請求項12】前記可撓性重合体発泡多孔質シート材料
層を有する被覆層が0.5〜100mmの厚さを有する、特許請
求の範囲第1項記載の電磁波シールド性金属薄膜積層シ
ート。
12. The electromagnetic wave shielding metal thin film laminate sheet according to claim 1, wherein the coating layer having the flexible polymer foam porous sheet material layer has a thickness of 0.5 to 100 mm.
【請求項13】前記可撓性重合体発泡多孔質材料層が55
〜99%の気孔率を有する、特許請求の範囲第1項記載の
電磁波シールド性金属薄膜積層シート。
13. The flexible polymer foam porous material layer comprises 55
The electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet according to claim 1, which has a porosity of ˜99%.
【請求項14】前記繊維布帛補強層が、前記金属薄膜層
よりも高い引っ張り強さを有する、特許請求の範囲第1
項記載の電磁波シールド性金属薄膜積層シート。
14. The fiber fabric reinforcement layer has a higher tensile strength than the metal thin film layer.
An electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet according to the item.
【請求項15】前記繊維布帛補強層が、5%以下の破断
伸度を有する、特許請求の範囲第1項記載の電磁波シー
ルド性金属薄膜積層シート。
15. The electromagnetic wave shielding metal thin film laminated sheet according to claim 1, wherein the fiber fabric reinforcing layer has a breaking elongation of 5% or less.
【請求項16】前記繊維布帛補強層が、130kg/mm2以上
の引っ張り強さと、5%以下の破断伸度を有する繊維を
含んでいる、特許請求の範囲第1項記載の電磁波シール
ド性金属薄膜積層シート。
16. The electromagnetic wave shielding metal according to claim 1, wherein the fiber cloth reinforcing layer contains fibers having a tensile strength of 130 kg / mm 2 or more and a breaking elongation of 5% or less. Thin film laminated sheet.
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