JPH0794127B2 - Automatic division method of ceramic substrate - Google Patents
Automatic division method of ceramic substrateInfo
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- JPH0794127B2 JPH0794127B2 JP8587991A JP8587991A JPH0794127B2 JP H0794127 B2 JPH0794127 B2 JP H0794127B2 JP 8587991 A JP8587991 A JP 8587991A JP 8587991 A JP8587991 A JP 8587991A JP H0794127 B2 JPH0794127 B2 JP H0794127B2
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はセラミック基板の自動分
割方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for automatically dividing a ceramic substrate.
【0002】[0002]
【従来の技術】セラミック基板には、矩形状の一枚の基
板に分割線を介して最終形状の多数の個別片が縦横連続
して設けられ、個々の個別片上に回路パターンが印刷さ
れる。そして、各個別片にIC、ダイオード、コンデン
サー等のチップ部品を実装して矩形状のセラミック基板
を短冊状に分割し、さらに短冊状から最終状の個別片に
分割形成するものである。2. Description of the Related Art On a ceramic substrate, a large number of individual pieces having a final shape are continuously provided longitudinally and laterally on one rectangular substrate through dividing lines, and a circuit pattern is printed on each individual piece. Then, a chip component such as an IC, a diode, and a capacitor is mounted on each individual piece to divide the rectangular ceramic substrate into strips, and then the strips are divided into final individual pieces.
【0003】従来、セラミック基板を分割する場合、こ
れら一連の分割作業は、ほとんど手作業に依存していた
ため非能率的であるばかりか、手作業のために作業者の
手指がチップ部品を実装したセラミック基板に触れるこ
とからセラミック基板の品質・信頼性を保持する上で問
題があった。Conventionally, in the case of dividing a ceramic substrate, a series of these dividing operations are almost inefficient because they rely on manual work, and in addition, the hand fingers of an operator mount the chip parts for the manual work. Since it touches the ceramic substrate, there is a problem in maintaining the quality and reliability of the ceramic substrate.
【0004】この解決手段として、本願出願人は先に、
特願平2ー47204号の『セラミック基板の分割方
法』を出願した。この発明は、セラミック基板の分割線
位置を分割ローターに設けた支点ピンに合わせ、セラミ
ック基板のエッジに分割ピンによりスイング方向の力を
加え、セラミック基板の分割線から切り離して複数のセ
ラミック基板に分割することを可能とする点で有効とさ
れているが、セラミック基板に対するショックは完全に
吸収しきれないため、セラミック基板の厚みや分割寸法
などの条件によってセラミック基板のエッジにバリが発
生する場合がある。As a solution to this problem, the present applicant has previously
We have applied for "Ceramic substrate division method" in Japanese Patent Application No. 2-47204. This invention aligns the dividing line position of the ceramic substrate with the fulcrum pin provided on the dividing rotor, applies a force in the swing direction to the edge of the ceramic substrate with the dividing pin, and separates it from the dividing line of the ceramic substrate to divide it into a plurality of ceramic substrates. However, since the shock to the ceramic substrate cannot be completely absorbed, burr may occur on the edge of the ceramic substrate depending on the conditions such as the thickness and division size of the ceramic substrate. is there.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする問題点】本発明は、このよう
な問題点を解決するための方法に関し、詳しくは、セラ
ミック基板を分割線に沿って縦横に自動分割し、ダミー
を排出しながらモジュール基板を送り出すセラミック基
板の自動分割方法であって、セラミック基板の厚み条件
に関係なく、分割精度、品質安定性、生産性が向上する
セラミック基板の自動分割方法を提供するものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a method for solving such a problem, and more specifically, it automatically divides a ceramic substrate vertically and horizontally along a dividing line and ejects a dummy module. A method for automatically dividing a ceramic substrate for feeding a substrate, which is capable of improving the division accuracy, quality stability, and productivity regardless of the thickness condition of the ceramic substrate.
【0006】[0006]
【問題点を解決するための手段】本発明は、セラミック
基板を載せるマスター側の搬送ガイドと、該マスター側
の搬送ガイドに載せたセラミック基板をストッパーに突
き当たる迄、押動により搬送させるプッシャーと、該プ
ッシャーの押動が終了した時、閉作動してセラミック基
板を掴持し、セラミック基板を掴持した状態の儘、分割
線を中心に同角度に振れ動き、セラミック基板の分割を
促し、分割された瞬時に振れ動いた分の角度だけ戻り開
作動するマスター側チャックおよび分割された瞬時に分
割線より離反し、振れ動いた分の角度を戻しながら前進
し、後工程のモジュール側の搬送ガイドに分割されたセ
ラミック基板を載せて開作動するモジュール側チャック
とを備え、前記ストッパーによりセラミック基板の分割
位置を調整し、セラミック基板エッジを掴持し、該セラ
ミック基板にスイング方向の力を加えて、セラミック基
板の自動分割を可能とする手段とした。また本発明は、
マスター側およびモジュール側の各チャックは、セラミ
ック基板の掴持凹部を弾性樹脂体で形成し、分割時の衝
撃をチャックの弾性樹脂体で吸収し、セラミック基板の
条件にかかわらず、バリ発生の低減を図る手段とした。According to the present invention, there is provided a master side conveyance guide on which a ceramic substrate is placed, and a pusher for pushing and conveying the ceramic substrate placed on the master side conveyance guide until it abuts against a stopper. When the pushing of the pusher is completed, the pusher closes and holds the ceramic substrate, and while holding the ceramic substrate, it swings at the same angle around the dividing line to promote the division of the ceramic substrate and divide it. The chuck on the master side that opens and returns by the amount of the shaken moment, and the split momentarily separated from the dividing line, moves forward while returning the angle of the shaken movement, and the conveyance guide on the module side in the subsequent process. And a module side chuck that opens and operates by placing the divided ceramic substrate on it, and adjusts the dividing position of the ceramic substrate by the stopper, and And gripping Mick substrate edge, by applying a force of the swing direction in said ceramic substrate, and a means to enable automatic division of the ceramic substrate. Further, the present invention is
For each chuck on the master side and module side, the holding recess of the ceramic substrate is formed with an elastic resin body, and the impact during division is absorbed by the elastic resin body of the chuck, reducing the occurrence of burrs regardless of the conditions of the ceramic substrate. Was taken as a means to
【0007】[0007]
【作用】本発明の実施例によれば、マスター側の搬送ガ
イド1に載せたセラミック基板2は、ストッパー3に突
き当たる迄、プッシャー4によって押動される。図1に
おいて矢示方向は、プッシャーの押動方向を示す。According to the embodiment of the present invention, the ceramic substrate 2 placed on the master side conveyance guide 1 is pushed by the pusher 4 until it abuts on the stopper 3. In FIG. 1, the arrow direction indicates the pushing direction of the pusher.
【0008】この時、マスター側チャック4およびモジ
ュール側チャック5は、開作動した状態で待機してい
る。プッシャーの押動が終了すると、マスター側チャッ
ク4およびモジュール側チャック5は閉作動し、セラミ
ック基板2を掴持し、ストッパー3は上方へ逃動する。
(図1参照。)At this time, the master-side chuck 4 and the module-side chuck 5 are on standby in the open state. When the pushing operation of the pusher is completed, the master-side chuck 4 and the module-side chuck 5 are closed, the ceramic substrate 2 is gripped, and the stopper 3 escapes upward.
(See Figure 1.)
【0009】次に、セラミック基板2を掴持したマスタ
ー側チャック4とモジュール側チャック5は、セラミッ
ク基板2の分割線Aに力が集中するよう、セラミック基
板2の分割線Aを中心に同角度(本発明の実施例の場合
は5°位)に振れ動き(図3の矢示a方向および矢示b
方向)、セラミック基板2を掴持し、分割する。この
時、マスター側搬送ガイド1も同時に振れ動き(図3の
矢示c方向)、さらに、一方のマスター側チャック4
は、振れ動いた分の角度だけ戻り(図4の矢止a´方
向)、チャック4を開き、他方のモジュール側チャック
5は、振れ動いた分の角度を戻しながら図4の矢止b´
方向に前進し、後工程のモジュール側搬送ガイド7にモ
ジュール基板8を載せて、チャック5を開き、セラミッ
ク基板2のセット位置、すなわち図1の状態へ復帰す
る。上記の分割動作中、セラミック基板2は、マスター
側チャック4およびモジュール側チャック5の弾性樹脂
体により掴持されているため、分割時の衝撃は、上記弾
性樹脂体で吸収されることになる。そのため、本発明に
よれば、セラミック基板の条件にかかわらず、バリの発
生が減少することになる。Next, the master-side chuck 4 and the module-side chuck 5 holding the ceramic substrate 2 have the same angle about the dividing line A of the ceramic substrate 2 so that the force is concentrated on the dividing line A of the ceramic substrate 2. (5 ° in the case of the embodiment of the present invention) swinging movement (in the direction of arrow a and the arrow b of FIG. 3)
Direction), the ceramic substrate 2 is gripped and divided. At this time, the master side conveyance guide 1 also swings at the same time (direction of arrow c in FIG. 3), and further, one master side chuck 4
Returns by the amount of the shake (arrow stop a'direction in FIG. 4), opens the chuck 4, and the other module-side chuck 5 returns the shake amount and returns the arrow stop b'in FIG.
In the subsequent step, the module substrate 8 is placed on the module-side conveyance guide 7 in the subsequent step, the chuck 5 is opened, and the ceramic substrate 2 is returned to the set position, that is, the state of FIG. During the above dividing operation, the ceramic substrate 2 is held by the elastic resin bodies of the master-side chuck 4 and the module-side chuck 5, so that the impact at the time of division is absorbed by the elastic resin body. Therefore, according to the present invention, burrs are reduced regardless of the condition of the ceramic substrate.
【0010】[0010]
【実施例】以下、本発明を図面に基づいて説明する。図
1・図2・図3・図4は、本発明によるセラミック基板
自動分割方法を実施するセラミック基板自動分割装置の
要部機構の作動概略を示す斜視図である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings. 1, FIG. 2, FIG. 3 and FIG. 4 are perspective views showing the outline of the operation of the main part mechanism of the ceramic substrate automatic dividing apparatus for carrying out the ceramic substrate automatic dividing method of the present invention.
【0011】図において1はマスター側搬送ガイド、2
はマスター側搬送ガイドに載せたセラミック基板、3は
ストッパー、4はマスター側チャック、5はモジュール
側チャックを示し、両チャック4,5の基板掴持凹部6
は、弾性樹脂体より形成されている。なお、図中7はモ
ジュール側の搬送ガイド、Aはセラミック基板の分割線
を示している。また図1において矢止方向は、プッシャ
ーの押動方向を示している。In the figure, 1 is a master side conveyance guide and 2
Is a ceramic substrate placed on the master side conveyance guide, 3 is a stopper, 4 is a master side chuck, 5 is a module side chuck, and the substrate holding recesses 6 of both chucks 4 and 5 are shown.
Is formed of an elastic resin body. In the figure, reference numeral 7 denotes a module-side transport guide, and A denotes a dividing line of the ceramic substrate. Further, in FIG. 1, the arrow stopping direction indicates the pushing direction of the pusher.
【0012】[0012]
【発明の効果】本発明は、ストッパースにてクライブの
位置を合わせ、セラミック基板エッジをチャックで掴持
し、セラミック基板にスイング方向の力を加えて分割す
るセラミック基板の自動分割方法であり、上記に記載し
た掴持、分割、離反の各動作により、分割作業を行うこ
とから、結果として、セラミック基板の分割精度(バリ
精度)が格段に向上し、高品質のセラミック基板個別片
の製造工程が能率的となり、生産性が向上する。Industrial Applicability The present invention is an automatic dividing method for a ceramic substrate in which the position of the scribe is aligned with a stopper, the edge of the ceramic substrate is gripped by a chuck, and a force in the swing direction is applied to the ceramic substrate to divide it. Since the dividing work is performed by each of the gripping, dividing, and separating operations described above, as a result, the dividing precision (burr precision) of the ceramic substrate is remarkably improved, and the manufacturing process of individual pieces of high-quality ceramic substrate is performed. Will be more efficient and productivity will be improved.
【0013】また、分割動作中、セラミック基板は、両
チャックの掴持凹部の弾性作用により掴持されるため、
分割時のショックは、チャックの弾性樹脂体で吸収さ
れ、セラミック基板の厚みや分割寸法などの条件にかか
わらずバリの発生が減少し、特に厚い基板(0.8mm
以上)の自動分割化が可能となった。During the dividing operation, the ceramic substrate is held by the elastic action of the holding recesses of both chucks.
The shock at the time of division is absorbed by the elastic resin body of the chuck, and the occurrence of burrs is reduced regardless of the conditions such as the thickness and division size of the ceramic substrate.
The above) has become possible.
【0014】さらに、分割動作にカム機構を採用し、分
割位置をストッパーの調整にて可変できることで、分割
動作を、迅速かつ正確に行うことができると共に汎用性
が向上する。Further, by adopting the cam mechanism for the dividing operation and changing the dividing position by adjusting the stopper, the dividing operation can be performed quickly and accurately and the versatility is improved.
【図1】本発明によるセラミック基板自動分割方法を実
施するセラミック基板自動分割装置の要部機構の作動概
略を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an outline of the operation of a main part mechanism of an automatic ceramic substrate dividing apparatus for carrying out an automatic ceramic substrate dividing method according to the present invention.
【図2】本発明によるセラミック基板自動分割方法を実
施するセラミック基板自動分割装置の要部機構の作動概
略を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing an outline of the operation of a main part mechanism of an automatic ceramic substrate dividing apparatus for carrying out the ceramic substrate automatic dividing method according to the present invention.
【図3】本発明によるセラミック基板自動分割方法を実
施するセラミック基板自動分割装置の要部機構の作動概
略を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing an outline of the operation of a main part mechanism of an automatic ceramic substrate dividing apparatus for carrying out the ceramic substrate automatic dividing method according to the present invention.
【図4】本発明によるセラミック基板自動分割方法を実
施するセラミック基板自動分割装置の要部機構の作動概
略を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing an outline of the operation of a main part mechanism of a ceramic substrate automatic dividing apparatus for carrying out the ceramic substrate automatic dividing method according to the present invention.
1 マスター側搬送ガイド 2 セラミック基板 3 ストッパー 4 マスター側チャック 5 モジュール側チャック 6 チャックの基板掴持凹部 7 モジュール側搬送ガイド A セラミック基板の分割線 1 Master Side Transport Guide 2 Ceramic Substrate 3 Stopper 4 Master Side Chuck 5 Module Side Chuck 6 Chuck's Substrate Gripping Recess 7 Module Side Transport Guide A Ceramic Board Dividing Line
Claims (2)
送ガイドと、該マスター側の搬送ガイドに載せたセラミ
ック基板をストッパーに突き当たる迄、押動させるプッ
シャーと、該プッシャーの押動が終了した時、閉作動し
てセラミック基板を掴持し、セラミック基板を掴持した
状態の儘、分割線を中心に同角度に振れ動き、セラミッ
ク基板の分割を促し、分割された瞬時に振れ動いた分の
角度だけ戻り開作動するマスター側チャックおよび分割
された瞬時に分割線より離反し、振れ動いた分の角度を
戻しながら前進し、後工程のモジュール側の搬送ガイド
に分割されたセラミック基板を載せて開作動するモジュ
ール側チャックとを備え、前記ストッパーによりセラミ
ック基板の分割位置を調整し、セラミック基板エッジを
掴持し、該セラミック基板にスイング方向の力を加え
て、セラミック基板の自動分割を可能とすることを特徴
とするセラミック基板の自動分割方法。1. A master-side transport guide on which a ceramic substrate is placed, a pusher for pushing the ceramic substrate placed on the master-side transport guide until it abuts against a stopper, and a pusher closed when pushing of the pusher is completed. Operate to hold the ceramic substrate, hold the ceramic substrate, swing at the same angle around the dividing line, promote the splitting of the ceramic substrate, and only the angle of the split instant swing The master side chuck that returns and opens, and the part that splits away from the dividing line instantly, moves forward while returning the angle of the shake, and puts the divided ceramic substrate on the transfer guide on the module side in the subsequent process and opens. And a module side chuck for adjusting the dividing position of the ceramic substrate by the stopper, grasping the ceramic substrate edge, A method for automatically dividing a ceramic substrate, wherein a force in the swing direction is applied to the substrate to enable automatic division of the ceramic substrate.
ックは、セラミック基板の掴持凹部を弾性樹脂体で形成
したことを特徴とする前記、特許請求の範囲第1項記載
のセラミック基板の自動分割方法。2. The automatic dividing method for a ceramic substrate according to claim 1, wherein each of the chucks on the master side and the module side has a holding recess of the ceramic substrate formed of an elastic resin body. .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8587991A JPH0794127B2 (en) | 1991-03-27 | 1991-03-27 | Automatic division method of ceramic substrate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8587991A JPH0794127B2 (en) | 1991-03-27 | 1991-03-27 | Automatic division method of ceramic substrate |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05124031A JPH05124031A (en) | 1993-05-21 |
| JPH0794127B2 true JPH0794127B2 (en) | 1995-10-11 |
Family
ID=13871192
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8587991A Expired - Lifetime JPH0794127B2 (en) | 1991-03-27 | 1991-03-27 | Automatic division method of ceramic substrate |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0794127B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020019189A (en) * | 2018-07-31 | 2020-02-06 | キョーラク株式会社 | Structure manufacturing method |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1222036C (en) | 2000-02-15 | 2005-10-05 | 株式会社日立制作所 | Semiconductor device manufacturing method and semiconductor device manufacturing apparatus |
| CN119840018B (en) * | 2025-01-14 | 2026-02-03 | 陕西华经微电子股份有限公司 | Ceramic substrate slicing method |
| CN119840019B (en) * | 2025-01-14 | 2026-02-03 | 陕西华经微电子股份有限公司 | Ceramic substrate slicing tool |
-
1991
- 1991-03-27 JP JP8587991A patent/JPH0794127B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020019189A (en) * | 2018-07-31 | 2020-02-06 | キョーラク株式会社 | Structure manufacturing method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05124031A (en) | 1993-05-21 |
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