JPH0795045B2 - Ｘ線分光装置 - Google Patents
Ｘ線分光装置Info
- Publication number
- JPH0795045B2 JPH0795045B2 JP63005328A JP532888A JPH0795045B2 JP H0795045 B2 JPH0795045 B2 JP H0795045B2 JP 63005328 A JP63005328 A JP 63005328A JP 532888 A JP532888 A JP 532888A JP H0795045 B2 JPH0795045 B2 JP H0795045B2
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- Japan
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- ray
- dispersive crystal
- rays
- sensitive
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は、EPMA、PIXE、蛍光Ｘ線分析等に使用されるＸ
線分光装置に関する。
線分光装置に関する。
（ロ）従来技術とのその問題点 従来のこの種の装置には、第３図に示すものがある。こ
のＸ線分光装置が、ローランド円Ｌ上に試料S1のＸ線発
生点Ｅ、ローランド円Ｌに沿う円弧面をもつ分光結晶C1
およびＸ線検出器D1がそれぞれ配置されている。そし
て、試料S1からのＸ線を分光結晶C1で分光し、特定波長
のＸ線をＸ線検出器D1に向けて収束させて検出する。こ
の構成のものは、一般定波長のＸ線のみを分光結晶C1で
分光してＸ線検出器D1に入射させるので、Ｘ線強度の大
きい信号が得られるものの、多元素分析を行う場合には
波長走査をする必要があり、そのために分析に時間がか
かる不具合がある。
のＸ線分光装置が、ローランド円Ｌ上に試料S1のＸ線発
生点Ｅ、ローランド円Ｌに沿う円弧面をもつ分光結晶C1
およびＸ線検出器D1がそれぞれ配置されている。そし
て、試料S1からのＸ線を分光結晶C1で分光し、特定波長
のＸ線をＸ線検出器D1に向けて収束させて検出する。こ
の構成のものは、一般定波長のＸ線のみを分光結晶C1で
分光してＸ線検出器D1に入射させるので、Ｘ線強度の大
きい信号が得られるものの、多元素分析を行う場合には
波長走査をする必要があり、そのために分析に時間がか
かる不具合がある。
分析時間を短縮するようにした従来装置としては、第４
図に示すものが提案されている。この装置では、平板状
の分光結晶C2と位置敏感型比例計数器D2とを組み合わせ
て構成されており、試料S2から発生された広い波長範囲
のＸ線を同時にこの分光結晶C2で分光し、分光された各
波長のＸ線を位置敏感型比例計数器D2で位置検出するこ
とによりＸ線を各波長ごとに分解するものである。この
装置を使用すれば同時多元素分析が可能であるが、分光
装置C2が平板状であるため位置敏感型比例計数器D2に対
するＸ線の入射角はＸ線の波長によって異なり、そのた
め、各波長に対するＸ線の検出効率も変動する。したが
って、検出出力に対する較正が必要となるばかりか、波
長分解能の低下をもたらす。
図に示すものが提案されている。この装置では、平板状
の分光結晶C2と位置敏感型比例計数器D2とを組み合わせ
て構成されており、試料S2から発生された広い波長範囲
のＸ線を同時にこの分光結晶C2で分光し、分光された各
波長のＸ線を位置敏感型比例計数器D2で位置検出するこ
とによりＸ線を各波長ごとに分解するものである。この
装置を使用すれば同時多元素分析が可能であるが、分光
装置C2が平板状であるため位置敏感型比例計数器D2に対
するＸ線の入射角はＸ線の波長によって異なり、そのた
め、各波長に対するＸ線の検出効率も変動する。したが
って、検出出力に対する較正が必要となるばかりか、波
長分解能の低下をもたらす。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、Ｘ線の検出効率を波長に依存することなく一定に保
つとともに、波長分解能の向上を図った多元素同時分析
が実現できるようにすることを目的とする。
て、Ｘ線の検出効率を波長に依存することなく一定に保
つとともに、波長分解能の向上を図った多元素同時分析
が実現できるようにすることを目的とする。
（ハ）問題点を解決するための手段 本発明は、上記の目的を達成するために、次の構成を採
る。
る。
すなわち、本発明のＸ線分光装置においては、分光結晶
と、位置敏感型Ｘ線検出器とを有したＸ線分光装置であ
って、前記分光結晶は、放射線の焦点に配置され励起源
からの励起線が照射される試料からの発生Ｘ線を平行に
反射するよう前記放射線に沿って湾曲されて配置されて
おり、かつ、放物線上の任意の位置で反射したＸ線を反
射面から所定の距離で収束させる円弧形状を有するもの
であり、前記位置敏感型Ｘ線検出器は、前記分光結晶か
ら前記所定の距離のところで前記分光結晶から平行に反
射してくるＸ線の反射光路に対して直交する方向に直線
状に配置されて、前記分光結晶で反射されたＸ線を検出
するものであることを特徴としている。
と、位置敏感型Ｘ線検出器とを有したＸ線分光装置であ
って、前記分光結晶は、放射線の焦点に配置され励起源
からの励起線が照射される試料からの発生Ｘ線を平行に
反射するよう前記放射線に沿って湾曲されて配置されて
おり、かつ、放物線上の任意の位置で反射したＸ線を反
射面から所定の距離で収束させる円弧形状を有するもの
であり、前記位置敏感型Ｘ線検出器は、前記分光結晶か
ら前記所定の距離のところで前記分光結晶から平行に反
射してくるＸ線の反射光路に対して直交する方向に直線
状に配置されて、前記分光結晶で反射されたＸ線を検出
するものであることを特徴としている。
（ニ）作用 上記構成によれば、試料から発生された散乱Ｘ線は、分
光結晶で各波長ごとに所定の角度で反射されるが、その
反射Ｘ線は全て平行になる。このため、分光されたＸ線
は位置敏感型Ｘ線検出器に常に一定角度で入射する。し
たがって、Ｘ線検出効率の入射位置による変化が無くな
る。しかも、一般に波長分解能はＸ線の検出市の精度に
依存するので、Ｘ線の入射角が一定になることにより位
置精度も高くなって波長分解能が向上する。
光結晶で各波長ごとに所定の角度で反射されるが、その
反射Ｘ線は全て平行になる。このため、分光されたＸ線
は位置敏感型Ｘ線検出器に常に一定角度で入射する。し
たがって、Ｘ線検出効率の入射位置による変化が無くな
る。しかも、一般に波長分解能はＸ線の検出市の精度に
依存するので、Ｘ線の入射角が一定になることにより位
置精度も高くなって波長分解能が向上する。
（ホ）実施例 第１図はＸ線分光装置の全体構成図、第２図は分光結晶
と位置敏感型Ｘ線検出器の斜視図である。これらの図に
おいて、符号１はＸ線分析装置の全体を示し、２は分析
対象となる試料、４は分光結晶、６は分光結晶４で反射
されたＸ線を検出する位置敏感型Ｘ線検出器（本例では
位置敏感型比例計数器）である。上記の分光結晶４は、
所定の放物線Ｐに沿って湾曲されており、その放物線焦
点Ｆが試料２上のＸ線の発生位置と一致するように設定
されている。さらに、この分光結晶４は、放射線Ｐとの
直交面が位置敏感型比例計数器６の前面に配置されたス
リット８に向けてＸ線が収束されるように円弧状に形成
されている。また、上記の位置敏感型比例計数器６は、
Ｘ線の反射光路に対して直交配置されている。
と位置敏感型Ｘ線検出器の斜視図である。これらの図に
おいて、符号１はＸ線分析装置の全体を示し、２は分析
対象となる試料、４は分光結晶、６は分光結晶４で反射
されたＸ線を検出する位置敏感型Ｘ線検出器（本例では
位置敏感型比例計数器）である。上記の分光結晶４は、
所定の放物線Ｐに沿って湾曲されており、その放物線焦
点Ｆが試料２上のＸ線の発生位置と一致するように設定
されている。さらに、この分光結晶４は、放射線Ｐとの
直交面が位置敏感型比例計数器６の前面に配置されたス
リット８に向けてＸ線が収束されるように円弧状に形成
されている。また、上記の位置敏感型比例計数器６は、
Ｘ線の反射光路に対して直交配置されている。
なお、6a、6bは位置敏感型比例計数器６のアノードおよ
びカソード、8a〜8cは像幅器、10a、10bは遅延回路、12
a〜12cはTSCA（Timing Single Channel Analyzer）、14
は時間／波高変換器、16はリニアゲート、18は波高分析
器である。
びカソード、8a〜8cは像幅器、10a、10bは遅延回路、12
a〜12cはTSCA（Timing Single Channel Analyzer）、14
は時間／波高変換器、16はリニアゲート、18は波高分析
器である。
上記構成において、試料２に電子ビーム等の励起線が照
射されると、試料２からＸ線が発生される。試料２から
発生したＸ線は、分光結晶４で各波長に応じて反射され
るが、分光結晶４の放射線焦点Ｆは予め試料２上のＸ線
の発生位置と一致するように設定されているから、その
反射Ｘ線は全て平行になる。しかも、位置敏感型比例計
数器６は、予め反射光路に対して直交配置されているの
で、分光されたＸ線は位置敏感型Ｘ線検出器に垂直に入
射する。したがって、Ｘ線検出効率の入射位置による変
化は無く一定である。また、波長分解能はＸ線の検出位
置の精度に依存するので、Ｘ線の入射角が一定になるこ
とにより位置精度が高くなって波長分解能が向上する。
射されると、試料２からＸ線が発生される。試料２から
発生したＸ線は、分光結晶４で各波長に応じて反射され
るが、分光結晶４の放射線焦点Ｆは予め試料２上のＸ線
の発生位置と一致するように設定されているから、その
反射Ｘ線は全て平行になる。しかも、位置敏感型比例計
数器６は、予め反射光路に対して直交配置されているの
で、分光されたＸ線は位置敏感型Ｘ線検出器に垂直に入
射する。したがって、Ｘ線検出効率の入射位置による変
化は無く一定である。また、波長分解能はＸ線の検出位
置の精度に依存するので、Ｘ線の入射角が一定になるこ
とにより位置精度が高くなって波長分解能が向上する。
なお、位置敏感型比例計数器６に入射したＸ線は、入射
位置に応じた時間差信号としてカソード6bで位置検出さ
れる。また、Ｘ線強度に対応する信号はアノード6aの検
出出力となる。カソード6bで得られた時間差信号は時間
／波高変換回路14で時間差に対応する電圧値に変換さ
れ、次いで、アノード6aからＸ線強度信号によりゲート
がかけられた後、波高分析器18に入力される。また、ア
ノード6aからのＸ線強度信号も波高分析器18に入力され
る。これにより、横軸を波長、縦軸をＸ線強度としたス
ペクトルが測定される。
位置に応じた時間差信号としてカソード6bで位置検出さ
れる。また、Ｘ線強度に対応する信号はアノード6aの検
出出力となる。カソード6bで得られた時間差信号は時間
／波高変換回路14で時間差に対応する電圧値に変換さ
れ、次いで、アノード6aからＸ線強度信号によりゲート
がかけられた後、波高分析器18に入力される。また、ア
ノード6aからのＸ線強度信号も波高分析器18に入力され
る。これにより、横軸を波長、縦軸をＸ線強度としたス
ペクトルが測定される。
（ヘ）効果 本発明によれば、位置敏感型Ｘ線検出器に対するＸ線の
入射角が波長によらず一定になるので、Ｘ線の検出効率
の変化を防止でき、また、波長分解能の向上を図った多
元素同時分析が可能となる等の優れた効果が発揮され
る。
入射角が波長によらず一定になるので、Ｘ線の検出効率
の変化を防止でき、また、波長分解能の向上を図った多
元素同時分析が可能となる等の優れた効果が発揮され
る。
第１図および第２図は本発明の実施例を、第３図および
第４図は従来例をそれぞれ示し、第１図はＸ線分光装置
の全体構成図、第２図は分光結晶と位置敏感型Ｘ線検出
器の斜視図、第３図および第４図はＸ線分光装置の説明
図である。 １……Ｘ線分光装置、２……試料、４……分光結晶、６
……位置敏感型Ｘ線検出器。
第４図は従来例をそれぞれ示し、第１図はＸ線分光装置
の全体構成図、第２図は分光結晶と位置敏感型Ｘ線検出
器の斜視図、第３図および第４図はＸ線分光装置の説明
図である。 １……Ｘ線分光装置、２……試料、４……分光結晶、６
……位置敏感型Ｘ線検出器。
Claims (1)
- 【請求項１】分光結晶と、位置敏感型Ｘ線検出器とを有
したＸ線分光装置であって、 前記分光結晶は、放射線の焦点に配置され励起源からの
励起線が照射される試料からの発生Ｘ線を平行に反射す
るよう前記放射線に沿って湾曲されて配置されており、
かつ、放物線上の任意の位置で反射したＸ線を反射面か
ら所定の距離で収束させる円弧形状を有するものであ
り、 前記位置敏感型Ｘ線検出器は、前記分光結晶からは前記
所定の距離のところで前記分光結晶から平行に反射して
くるＸ線の反射光路に対して直交する方向に直線状に配
置されて、前記分光結晶で反射されたＸ線を検出するも
のであることを特徴とするＸ線分光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63005328A JPH0795045B2 (ja) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | Ｘ線分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63005328A JPH0795045B2 (ja) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | Ｘ線分光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01180439A JPH01180439A (ja) | 1989-07-18 |
| JPH0795045B2 true JPH0795045B2 (ja) | 1995-10-11 |
Family
ID=11608177
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63005328A Expired - Fee Related JPH0795045B2 (ja) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | Ｘ線分光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0795045B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5204672B2 (ja) * | 2009-01-09 | 2013-06-05 | 日本電子株式会社 | Ｘ線分光情報取得方法及びｘ線分光装置 |
| US10845491B2 (en) * | 2018-06-04 | 2020-11-24 | Sigray, Inc. | Energy-resolving x-ray detection system |
| US20240402101A1 (en) * | 2021-08-10 | 2024-12-05 | Shimadzu Corporation | X-ray analyzer |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50115085A (ja) * | 1974-02-20 | 1975-09-09 | ||
| JPS6122240A (ja) * | 1984-07-11 | 1986-01-30 | Rigaku Denki Kk | 微小部ｘ線分析装置 |
-
1988
- 1988-01-12 JP JP63005328A patent/JPH0795045B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01180439A (ja) | 1989-07-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |