JPH0810584B2 - Ｘ線イメージ管及びその製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は、Ｘ線イメージ管及びその製造方法に関す
る。

（従来の技術） 一般に、蛍光面を内蔵するＸ線イメージ管は、医療用
を主に工業用非破壊検査などＸ線工業テレビを併用して
広範囲に応用されている。

この種のＸ線イメージ管は第２図に示すように構成さ
れ、主としてAlなどの薄い金属からなる真空外囲器の入
力側内部に、入力窓1aに対向して入力面２が配設されて
いる。一方、真空外囲器１の出力側内部には、陽極３が
配設されると共に出力面４が設けられ、更に真空外囲器
１内部の側壁に沿って集束電極５が配設されている。

入力面２は、球面状のAlからなる基板６の出力側（凹
面側）にCsIの入力蛍光体層７が形成され、この入力蛍
光体層７上に更に光電面８が形成されている。又、出力
面４は、基板９の出力蛍光体層10を形成してなってい
る。

そして動作時には、Ｘ線（図示せず）が被写体（図示
せず）を通過する際、被写体のＸ線透過率によって変調
されて、入力蛍光体層７を励起する。この入力蛍光体層
７の励起光は、入力蛍光体層７の内面に形成されている
光電面８にエネルギーを与え、光電面８より電子を放出
させている。この電子は陽極３、集束電極５で構成され
る電子レンズ作用により出力蛍光体層10上に加速・集束
され、出力蛍光体層10を発光させる。

このような過程で電子の増倍が行なわれ、入力蛍光体
層７で得られる光像より格段に明るい像が出力蛍光体層
10上に得られる。

（発明が解決しようとする課題） ところで、上記のようなＸ線イメージ管における入力
窓1aの材質は、従来、ガラスが用いられていた。しか
し、Ｘ線透過率の向上と散乱Ｘ線の減少のため、最近で
は入力窓1aの材質としてAlなどの薄い金属が用いられる
ようになった。

ところが、最近のＸ線診断技術の高度化に伴い、Al製
入力窓1aから発生する散乱Ｘ線が無視出来なくなってお
り、一層の改善が求められている。

この発明は、散乱Ｘ線を除去して、優れたコントラス
トと高い真空度を維持することが出来るＸ線イメージ管
及びその製造方法を提供することを目的とする。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） この発明は、真空外囲器の一部を構成する金属製の入
力窓と、この入力窓の内側に所定間隔の空間において対
向配置された入力基板と、この入力基板の内面側に形成
された入力蛍光体層とを具備するＸ線イメージ管におい
て、上記空間をおいて対向配置された金属製入力窓及び
上記入力基板の相互対向壁面に、上記入力窓の材質より
も原子番号の大きい材質からなる蒸着層がそれぞれ形成
されてなるＸ線イメージ管である。

又、この発明は、真空外囲器の一部を構成する金属製
の入力窓と、この入力窓の内側に所定間隔の空間におい
て対向配置された入力基板と、この入力基板の内面側に
形成された入力蛍光体層とを具備するＸ線イメージ管の
製造方法において、 上記金属製入力窓及び上記入力基板の対向空間の周辺
部に上記入力窓の材質よりも原子番号の大きい蒸着材料
を抵抗加熱構体に取付けて配置し、真空排気工程又はこ
の真空排気工程後に上記抵抗加熱構体に通電して上記蒸
着材料を蒸発飛散させ、上記空間において対向配置され
た金属製入力窓及び上記入力基板の相互対向壁面に蒸着
層をそれぞれ形成するＸ線イメージ管の製造方法であ
る。

（作用） この発明によれば、入力窓と入力面との間に、入力窓
の材質よりも原子番号の大きい材質からなる蒸着層が設
けられているので、散乱Ｘ線を吸収し、且つ管内ガスを
吸着することが出来る。

この結果、優れたコントラストと高い真空度を維持す
るＸ線イメージ管が得られる。

（実施例） 以下、図面を参照して、この発明の一実施例に係るＸ
線イメージ管及びその製造方法を詳細に説明する。

この発明はＸ線イメージ管の入力窓及び入力面付近を
改良したもので、入力窓及び入力面付近についてのみ述
べることにする。

即ち、この発明によるＸ線イメージ管の入力窓及び入
力面付近は第１図に示すように構成され、従来例（第２
図）と同一箇所には同一符号を付すことにすると、真空
外囲器１内には、その一部を構成する入力窓1aに対向し
て、入力面２が真空気密保持用の金属リング1b、1cを介
し所定間隔において配置されている。

この入力面２は、従来と同様に、球面状のAlからなる
基板６の出力側（凹面側）にCsIの入力蛍光層７が形成
され、この入力蛍光体層７上に更に光電面（省略）が形
成されてなっている。

更にこの発明では、入力窓1aの内面に蒸着層11が形成
され、又、入力面２の入力側の面即ち基板６の入力側の
面に蒸着層11に対向して蒸着層12が形成されている。つ
まり、入力窓1aと入力面２との間に、蒸着層11、12が設
けられている。

この場合、各蒸着層11、12は入力窓1aの材質よりも原
子番号の大きい材質からなっており、この実施例のよう
に入力窓1aの材質がAlの場合は、各蒸着層11、12の材質
は、例えばTi、Mn、Cr、Fe、Ni、Cu、Br、Zr、Ag、Cd、
Sn、SbBa、Cs、Ｉ、Ptなどの単体又は混合物である。

このような各蒸着層11、12の形成に当たっては、入力
面２の周囲に配置した少なくとも１つの抵抗加熱構体13
に蒸着材料14を取付け、通電加熱によりこの蒸着材料14
を蒸着・飛散させ、入力窓1a内面と入力面２の基板６に
それぞれ上記の材質からなる蒸着層11、12を形成する。

この場合、複数の抵抗加熱構体13を用いる時は、ほぼ
等間隔に配設して均等に蒸着層が形成されるようにする
方が良い。

さて、動作時において入射Ｘ線は、入力窓1aを通過す
る際に、散乱Ｘ線を発生する。この散乱Ｘ線は入射Ｘ線
よりＸ線エネルギが低い所に分布する。

しかし、この発明では前述のように入力窓1aの材質よ
り大きい原子番号の材質を適切に選ぶことにより、Ｘ線
エネルギの低い方でＸ線吸収率を大きくすることが出来
る。このため、入力窓1aで発生した散乱Ｘ線を除去する
効果があり、コントラストの優れたＸ線画像を得ること
が可能である。

ところで、蒸着層11、12は、入力窓1aを真空外囲本体
に取込む前に形成することにより、同等の効果が得られ
る。しかし、この場合、一旦空気に触れることによりガ
スを吸着してしまう。

そこで、この発明ではこれを防ぐために、Ｘ線イメー
ジ管の真空排気工程中、又は真空排気工程後の高い真空
度の状態で真空蒸着を行なわせることにより、ガス付着
の少ない状態の蒸着層11、12を作ることが出来る。

従って、その後、この蒸着層11、12は管内の放出ガス
の吸着作用を有することにより、散乱Ｘ線の除去効果と
ガス吸着作用即ちゲッタ効果を併せて有することが出来
る。

尚、蒸着層11は、入力窓1aの全面に亘って形成した時
が、最も効果が大きい。しかし、周辺部だけでも、周辺
の真空外囲器部からの散乱Ｘ線の除去効果が得られる。
又、遮蔽板を付けて中心部のみ重点的に蒸着した場合に
は、入力窓1aの中心部からの散乱Ｘ線を除去す効果以外
に、中心部のＸ線を減衰させる効果も有しているため、
シェーディングを補正する効果も併せ持たせることも可
能である。

この発明のＸ線イメージ管は、上記以外の全体構造は
従来例（第２図）と同様構成ゆえ、詳細な説明を省略す
る。

［発明の効果］ この発明によれば、入力窓と入力面との間に、入力窓
の材質よりも原子番号の大きい材質からなる蒸着層が設
けられているので、散乱Ｘ線を吸収し、且つ管内ガスを
吸着することが出来る。

この結果、優れたコントラストと高い真空度を維持す
るＸ線イメージ管が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例に係るＸ線イメージ管の要
部を示す断面図、第２図は従来のＸ線イメージ管の全体
を概略的に示す断面図である。 １……真空外囲器、1a……入力窓、２……入力面、11、
12……蒸着層、13……抵抗加熱構体、14……蒸着材料。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】真空外囲器の一部を構成する金属製の入力
   窓と、この入力窓の内側に所定間隔の空間をおいて対向
   配置された入力基板と、この入力基板の内面側に形成さ
   れた入力蛍光体層とを具備するＸ線イメージ管におい
   て、 上記空間において対向配置された金属製入力窓及び上記
   入力基板の相互対向壁面に、上記入力窓の材質よりも原
   子番号の大きい材質からなる蒸着層がそれぞれ形成され
   てなることを特徴とするＸ線イメージ管。
2. 【請求項２】真空外囲器の一部を構成する金属製の入力
   窓と、この入力窓の内側に所定間隔の空間において対向
   配置された入力基板と、この入力基板の内面側に形成さ
   れた入力蛍光体層とを具備するＸ線イメージ管の製造方
   法において、 上記金属製入力窓及び上記入力基板の対向空間の周辺部
   に上記入力窓の材質よりも原子番号の大きい蒸着材料を
   抵抗加熱構体に取付けて配置し、真空排気工程又はこの
   真空排気工程後に上記抵抗加熱構体に通電して上記蒸着
   材料を蒸発飛散させ、上記空間において対向配置された
   金属製入力窓及び上記入力基板の相互対向壁面に蒸着層
   をそれぞれ形成することを特徴とするＸ線イメージ管の
   製造方法。