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JPH081455B2 - IC performance test method - Google Patents
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JPH081455B2 - IC performance test method - Google Patents

IC performance test method

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JPH081455B2
JPH081455B2 JP1301360A JP30136089A JPH081455B2 JP H081455 B2 JPH081455 B2 JP H081455B2 JP 1301360 A JP1301360 A JP 1301360A JP 30136089 A JP30136089 A JP 30136089A JP H081455 B2 JPH081455 B2 JP H081455B2
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JP
Japan
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test
socket
socket board
temperature
board
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Inventor
貢 栗原
Original Assignee
株式会社ダイトー
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、ICの性能試験方法、より具体的には熱加速
試験や温度試験の各プロセスが改善された試験方法に関
する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to an IC performance test method, and more specifically to a test method in which each process of a thermal acceleration test and a temperature test is improved.

[従来の技術] 工場で量産されたICは、一定の品質を維持するために
悪条件を加速した長時間の熱加速試験(エージング)や
耐環境試験としての短時間の温度試験を行なって各々良
品と不良品とに選別される。
[Prior Art] ICs mass-produced in a factory are subjected to a long-term thermal acceleration test (aging) in which bad conditions are accelerated to maintain constant quality, and a short-time temperature test as an environment resistance test. Sorted into good products and defective products.

熱加速試験では、多数のICが挿入されたエージングボ
ードを数組単位で炉の中に入れ、通常125℃で72時間加
熱した後にこれらを取り出し、各ICをソケットから抜き
取って検査を行なっている。
In the thermal acceleration test, several sets of aging boards with inserted ICs are put into the furnace in units of several sets, usually heated at 125 ° C for 72 hours and then taken out, and each IC is extracted from the socket for inspection. .

温度試験は、ICが熱帯地や寒冷地でも正常な特性を維
持できるかどうかを試験するもので、高温試験では70〜
100℃、低温試験では−40℃の環境下数秒〜十数秒で行
なわれ、この試験には通常ICテストハンドラーが使用さ
れる。
The temperature test tests whether the IC can maintain normal characteristics in tropical regions and cold regions.
In the low temperature test at 100 ℃, it is performed in a few seconds to tens of seconds under the environment of -40 ℃, and an IC test handler is usually used for this test.

従来のICテストハンドラーは、マガジンからICを抜き
取って搬送路に流すローダ、各ICを高温または低温に維
持する恒温槽、ICのデータを測定するテストボード、IC
を回収するアンローダから構成され、恒温槽や各機器は
外気や湿気を排除するために密封されている。
The conventional IC test handler is a loader that extracts the IC from the magazine and flows it into the transport path, a constant temperature tank that keeps each IC at high or low temperature, a test board that measures IC data, and an IC.
It consists of an unloader that collects water, and the thermostatic chamber and each equipment are sealed to exclude outside air and moisture.

しかし、従来の温度試験では、ICの種別に応じた専用
のテストハンドラーを用いるか、一つのハンドラーで対
処するには、ローダ、搬送系及びアンローダを交換調整
しなければならない。このため、予め各ICに応じたソケ
ットボードやキャリアプレートを準備し、一つのハンド
ラーで温度試験を行なう方法が提案されている(特開昭
64−80035号)。
However, in the conventional temperature test, a dedicated test handler corresponding to the type of IC is used, or in order to handle with one handler, the loader, transfer system, and unloader must be replaced and adjusted. For this reason, a method has been proposed in which a socket board or a carrier plate corresponding to each IC is prepared in advance, and a temperature test is performed by one handler (Japanese Patent Laid-Open No. Sho 61-96).
64-80035).

[発明が解決しようとする課題] しかし前述の発明にあっては、熱加速試験の終了後に
ICをエージングボードからソケットボードに移すのが大
変であり、その間にICの種別が不明になるおそれがあ
る。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in the above-described invention, after completion of the thermal acceleration test,
It is difficult to move the IC from the aging board to the socket board, and the IC type may become unknown during that time.

また、低温試験の場合にジャム、即ちICの詰まりが発
生すると恒温槽の一部を開けてジャムを除去する必要が
あるが、−40℃の槽を急に開けると外から湿気が入り込
んで中のIC、搬送系及び各機器に霜が付着する。このた
め、従来では冷却器を停止して槽内の温度を徐々に上
げ、常温にしてからジャムを除去しており、ハンドラー
の停止時間が極めて長くなっている。
Also, in the case of a low temperature test, if jamming, i.e., clogging of the IC occurs, it is necessary to open a part of the constant temperature bath to remove the jam, but if the -40 ° C bath is opened suddenly, moisture will enter from the outside and Frost adheres to the IC, carrier system and each device. For this reason, conventionally, the cooler is stopped and the temperature in the tank is gradually raised to room temperature to remove the jam, and the handler stop time is extremely long.

本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、
その目的は、各試験工程を簡略化できると共にICの種別
が混乱することなく、しかもジャムの除去を短時間で行
なえるICの性能試験方法を提供することにある。
The present invention has been made in view of such circumstances,
It is an object of the present invention to provide an IC performance test method that can simplify each test process, do not confuse the IC type, and can remove jams in a short time.

[課題を解決するための手段] 上記目的を達成するため、本発明の性能試験方法で
は、ICを長時間高温状態にした後テスタで検査する熱加
速試験と、短時間高温または低温状態にしてテストハン
ドラーで検査する温度試験に共通の断熱性ソケットボー
ドを用意し、該ソケットボードの一部にICの種別等に応
じたインデックスを付着し、熱加速試験時には、該ソケ
ットボード上の各ソケットにICを挿入して長時間高温状
態の炉に収容した後、前記ソケットボード上の各ソケッ
トにICを挿入したままの状態でテスタにより各ICのデー
タを測定し、温度試験時には、前記ボードの上方を断熱
性の蓋で覆って断熱ケースとし、該ケース内に温度調整
ガスを供給して各ICのデータを測定している。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, in the performance test method of the present invention, a thermal acceleration test in which an IC is in a high temperature state for a long time and then inspected by a tester, and a short time in a high temperature or low temperature state are used. Prepare a common heat insulating socket board for the temperature test inspected by the test handler, attach an index according to the type of IC etc. to a part of the socket board, and during the thermal acceleration test, attach it to each socket on the socket board After inserting the IC and storing it in a high temperature furnace for a long time, measure the data of each IC with a tester while the IC is still inserted in each socket on the socket board. Is covered with a heat insulating lid to form a heat insulating case, and temperature control gas is supplied into the case to measure data of each IC.

[作用] 熱加速試験と温度試験を共通のソケットボードで行な
うことにより、ICの挿入や抜き取りを繰り返す必要がな
くなり、ジャムの発生も減少する。また、ソケットボー
ドのインデックスによってICの種別等が常時確認できる
と共にインデックスに必要なデータ等を加えることがで
きる。更にジャムが生じる可能性があるのは、断熱ケー
スにガス等を注入する前であるから、低温試験時にも霜
の心配をせずに直ちにジャムを解消できる。
[Operation] By performing the thermal acceleration test and the temperature test on the common socket board, it is not necessary to repeatedly insert and remove the IC, and the occurrence of jams is reduced. The index of the socket board can always check the IC type and the like, and can add necessary data to the index. Further, there is a possibility that a jam may occur before the gas or the like is injected into the heat insulating case, so that the jam can be immediately eliminated without worrying about frost even during the low temperature test.

[実施例] 第1図には、本発明の試験方法に用いられる断熱ケー
ス1が示されており、該ケース1は、下箱となる断熱性
のソケットボード2と上方を覆う断熱性の蓋3から構成
されている。
[Example] Fig. 1 shows a heat insulating case 1 used in the test method of the present invention. The case 1 has a heat insulating socket board 2 as a lower box and a heat insulating lid for covering the upper side. It consists of three.

ソケットボード2の内部には、ICを受容する多数のソ
ケット4が設けられ、第2図から分かるようにソケット
4は底部のスルーホール5を通じてテストボード6上の
ポゴピン7と電気的に接続可能となっている。
A large number of sockets 4 for receiving ICs are provided inside the socket board 2, and as shown in FIG. 2, the sockets 4 can be electrically connected to the pogo pins 7 on the test board 6 through the through holes 5 at the bottom. Has become.

また、ソケットボード2の開口部には、蓋3と弾性的
に係合する爪8が形成され、ボード2の外面には、ICの
種別やデータ等を表示するインデックス9が設けられて
いる。このインデックス9は、バーコードのようにリー
ダやイメージセンサで自動的に読取れるものが望まし
い。
Further, a claw 8 that elastically engages with the lid 3 is formed in the opening of the socket board 2, and an index 9 for displaying the type of IC, data, etc. is provided on the outer surface of the board 2. It is desirable that the index 9 can be automatically read by a reader or an image sensor like a bar code.

蓋3は、中央に温度調整ガスの注入口10を有し、注入
口10の中に逆止弁11が設けられている。これに対応して
ソケットボード2側には、複数のガス放出口12が形成さ
れ、各放出口12は圧力弁13により内圧が一定以上になる
と開くようになっている。また、脚が出ていないICの場
合は、搬送中にソケット4内で動くおそれがあるから、
第2図に示すように蓋3の裏側にばね14と押え板15を取
り付けてICを上から固定する。図示してないがこの押え
板15にヒータを組み込んでおけば、熱伝導により高温試
験時に短時間でICを加熱することができる。
The lid 3 has an inlet 10 for temperature adjusting gas in the center, and a check valve 11 is provided in the inlet 10. Correspondingly, a plurality of gas discharge ports 12 are formed on the socket board 2 side, and each discharge port 12 is opened by a pressure valve 13 when the internal pressure exceeds a certain level. If the IC has no legs, it may move in the socket 4 during transportation.
As shown in FIG. 2, a spring 14 and a pressing plate 15 are attached to the back side of the lid 3 to fix the IC from above. Although not shown, if a heater is incorporated in the holding plate 15, the IC can be heated in a short time during a high temperature test by heat conduction.

蓋3の上縁には、低温試験時に生じた結露水が下方に
垂れるのを防止する突条部3aが形成され、ソケットボー
ド2の底面周囲にも同様の突条部2aが形成されている。
A ridge 3a is formed on the upper edge of the lid 3 to prevent the condensed water generated during the low temperature test from dripping downward, and a similar ridge 2a is formed around the bottom surface of the socket board 2. .

テストボード6は、第2図から分かるように一対の固
定レール16(1本のみ示す)の下方に設置され、測定位
置のレール16aは、両側のレール16から分離して下面が
戻りばね17で支持されている。
As shown in FIG. 2, the test board 6 is installed below a pair of fixed rails 16 (only one is shown), and the rail 16a at the measurement position is separated from the rails 16 on both sides and the lower surface is provided with a return spring 17. It is supported.

測定位置の上方には、ガス供給ノズル18と二又形状のプ
ッシャ19が設置されている。ガス供給ノズル18は、断熱
ケース1内を所定温度にするもので、高温試験では高温
空気、低温試験時には窒素ガスや冷気が噴出される。
A gas supply nozzle 18 and a bifurcated pusher 19 are installed above the measurement position. The gas supply nozzle 18 causes the inside of the heat insulating case 1 to have a predetermined temperature, and in the high temperature test, high temperature air is jetted, and in the low temperature test, nitrogen gas or cold air is jetted.

次に第3図の簡略工程図に従って本発明の試験方法を
説明する。
Next, the test method of the present invention will be described with reference to the simplified process diagram of FIG.

まず、熱加速試験では、ソケットボード2の各ソケッ
ト4にICが差し込まれ、このようなボード2が数十枚単
位で炉20に収容され、約125℃で72時間加熱される。エ
ージング終了後のICは、ソケットボード2毎にテスタ21
で所定のデータを測定され、不良品があればこの工程で
除去される。
First, in the thermal acceleration test, an IC is inserted into each socket 4 of the socket board 2, and several tens of such boards 2 are housed in the furnace 20 and heated at about 125 ° C. for 72 hours. After aging, ICs are
Predetermined data is measured in, and if there is a defective product, it is removed in this step.

次に温度試験では、まずICが収納されたままのソケッ
トボード2に蓋3が被せられ、続いてコンベア(図示せ
ず)によって断熱ケース1が固定レール16上を間欠的に
移動する。ここで低温試験の場合は、霜の発生を防止す
るため、注入口10から常温の窒素ガス等を供給して湿気
を追い出すのが望ましい。
Next, in the temperature test, first, the lid 3 is put on the socket board 2 in which the IC is still stored, and then the heat insulating case 1 is intermittently moved on the fixed rail 16 by a conveyor (not shown). In the case of the low temperature test, it is desirable to supply nitrogen gas or the like at room temperature from the inlet 10 to expel moisture in order to prevent the formation of frost.

次に断熱ケース1が測定位置に送られると、上方のノ
ズル18が下降して注入口10からケース1内に所定温度の
ガスが注入されると共に、プッシャ19が断熱ケース1を
レール16aと一体に下方へ押す。これで第2図から分か
るようにケース底部のスルーホール5に各ポゴピン7が
入り、ICのデータがソケット4、スルーホール5、ポゴ
ピン7を通じてテストボード6側で測定される。
Next, when the heat insulating case 1 is sent to the measurement position, the upper nozzle 18 descends and gas of a predetermined temperature is injected into the case 1 through the inlet 10, and the pusher 19 integrates the heat insulating case 1 with the rail 16a. Push downwards. As shown in FIG. 2, each pogo pin 7 is inserted into the through hole 5 at the bottom of the case, and the IC data is measured on the test board 6 side through the socket 4, the through hole 5 and the pogo pin 7.

次いで断熱ケース1は、次の工程で蓋3を開けられ、ア
ンローダ等で中のICが自動的に取り出される。これらの
ICは、従来のように良品と不良品あるいはデータ毎に仕
分けされ、所定のマガジンやパレット(図示せず)に収
納される。各ソケットボード2には、インデックス9が
設けられているので、ICの種別は常時確認でき、またIC
のデータ処理も自動的に行なえる。
Next, in the heat insulating case 1, the lid 3 is opened in the next step, and the IC inside is automatically taken out by an unloader or the like. these
The ICs are sorted into good products and defective products or by data as in the conventional case, and are stored in a predetermined magazine or pallet (not shown). Since each socket board 2 is provided with an index 9, the type of IC can be checked at all times.
Data processing can also be performed automatically.

尚、高温試験時には、ノズル18から高温ガスを注入す
ると同時に押え板15のヒータを併用すれば、短時間でIC
の温度を高めることができる。また、低温試験時には、
第2図に想像線で示すように内管18aと外管18bの二重管
でノズル18を構成し、注入口10で漏れた低温ガスを外管
18bで回収すれば、蓋3上の霜発生を確実に防止でき
る。更に上記実施例では、熱加速試験の次に温度試験を
行なっているが、両者を逆の順序で行なう場合も本発明
は有効である。
During the high temperature test, if a high temperature gas is injected from the nozzle 18 and the heater of the holding plate 15 is also used, the IC
The temperature can be increased. Also, during the low temperature test,
As shown by the phantom line in FIG. 2, the nozzle 18 is composed of a double tube of an inner tube 18a and an outer tube 18b, and the low-temperature gas leaked at the inlet 10 is taken as an outer tube
If collected at 18b, it is possible to reliably prevent frost formation on the lid 3. Further, in the above embodiment, the temperature test is performed after the thermal acceleration test, but the present invention is also effective when the both are performed in reverse order.

[発明の効果] 以上詳述したように本発明の試験方法によれば、両試
験に共通のソケットボードが使用されるので、ICの挿入
抜き取り工程が減少すると共にICの種別も混乱すること
なく、ジャムを短時間で除去できる効果がある。
[Effects of the Invention] As described in detail above, according to the test method of the present invention, since the common socket board is used for both tests, the number of IC insertion / extraction steps is reduced and the type of IC is not confused. The effect is that the jam can be removed in a short time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は断熱ケースのソケットボードと蓋の斜視図、第
2図はIC測定箇所の拡大断面図、第3図はICの各試験工
程を示す簡略図である。 1…断熱ケース、2…ソケットボード、3…蓋、4…ソ
ケット、6…テストボード、7…ポゴピン、9…インデ
ックス、10…ガス注入口、12…ガス放出口、18…ガス供
給ノズル
FIG. 1 is a perspective view of a socket board and a lid of a heat insulating case, FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of an IC measurement portion, and FIG. 3 is a simplified diagram showing each IC test process. 1 ... Insulation case, 2 ... Socket board, 3 ... Lid, 4 ... Socket, 6 ... Test board, 7 ... Pogo pin, 9 ... Index, 10 ... Gas inlet, 12 ... Gas outlet, 18 ... Gas supply nozzle

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ICを長時間高温状態にした後テスタで検査
する熱加速試験と、短時間高温または低温状態にしてテ
ストハンドラーで検査する温度試験に共通の断熱性ソケ
ットボードを用意し、 該ソケットボードの一部にICの種別等に応じたインデッ
クスを付着し、 熱加速試験時には、該ソケットボード上の各ソケットに
ICを挿入して長時間高温状態の炉に収容した後、前記ソ
ケットボード上の各ソケットにICを挿入したままの状態
でテスタにより各ICのデータを測定し、 温度試験時には、前記ボードの上方を断熱性の蓋で覆っ
て断熱ケースとし、該ケース内に温度調整ガスを供給し
て各ICのデータを測定すること、を特徴とするICの性能
試験方法。
1. A heat insulating socket board common to a thermal acceleration test in which an IC is in a high temperature state for a long time and then inspected by a tester and a temperature test in which a high temperature or a low temperature state is briefly inspected by a test handler are prepared. An index according to the type of IC is attached to a part of the socket board, and at the time of thermal acceleration test, it is attached to each socket on the socket board.
After inserting the IC and storing it in a high temperature furnace for a long time, measure the data of each IC with a tester with the IC still inserted in each socket on the socket board. Is covered with a heat-insulating lid to form a heat-insulating case, and temperature control gas is supplied into the case to measure data of each IC.
JP1301360A 1989-11-20 1989-11-20 IC performance test method Expired - Lifetime JPH081455B2 (en)

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