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JPH0818208B2 - Method for determining static pressure of air semi-floating sliding surface of machine tool and its control device - Google Patents
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JPH0818208B2 - Method for determining static pressure of air semi-floating sliding surface of machine tool and its control device - Google Patents

Method for determining static pressure of air semi-floating sliding surface of machine tool and its control device

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JPH0818208B2
JPH0818208B2 JP1227550A JP22755089A JPH0818208B2 JP H0818208 B2 JPH0818208 B2 JP H0818208B2 JP 1227550 A JP1227550 A JP 1227550A JP 22755089 A JP22755089 A JP 22755089A JP H0818208 B2 JPH0818208 B2 JP H0818208B2
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air
air pressure
value
sliding surface
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務 芳賀
英昭 松木
和弘 祐成
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日立精機株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、摺動面に沿って移動する移動体を備えた
工作機械や各種測定装置等における空気半浮上すべり面
の静圧制御装置に関する。更に詳しくは、金属部材が互
いに摺動する摺動面に圧力空気を供給して移動体を浮上
させて、送り抵抗を少なくしたものである。このとき、
摺動面には金属接触部分と空気接触部分とを有する空気
半浮上すべり面の静圧制御装置に関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a static pressure control device for an air semi-floating sliding surface in a machine tool or various measuring devices equipped with a moving body that moves along a sliding surface. . More specifically, the feed resistance is reduced by supplying pressurized air to the sliding surfaces on which the metal members slide with each other to levitate the moving body. At this time,
The present invention relates to a static pressure control device for an air semi-floating sliding surface having a metal contact portion and an air contact portion on a sliding surface.

「従来技術」 工作機械など両部材が互いに摺動するもの、例えばワ
ークを載置したワークテーブルなどの移動体のすべり面
とベッドの摺動案内面との間にすべり案内面を有してい
る。このすべり案内面に作用する圧力を、すべり案内面
間に供給した圧力流体の静圧力と、移動体と摺動面との
直接的な接触、すなわち固体(金属)摩擦力とによって
支持するようにした機械が提案されている(例えば、特
開昭54−126850号、特開昭56−126547号)。
"Prior Art" A machine tool or the like in which both members slide with each other, for example, a slide table of a moving body such as a work table on which a work is placed and a slide guide surface of a bed. . The pressure acting on the slide guide surfaces is supported by the static pressure of the pressure fluid supplied between the slide guide surfaces and the direct contact between the moving body and the sliding surface, that is, the solid (metal) friction force. Machines have been proposed (for example, JP-A-54-126850 and JP-A-56-126547).

この提案は、移動体と移動体に載置したワークの重量
に応じて、変化する荷重変動をすべり案内面間に供給す
る圧力流体を静圧力により調整し、移動体と摺動面との
直接的な接触によりすべり抵抗を所望の値となるように
自動的に制御し、荷重に応じた静圧力の補償がされてい
る。一方、静圧力の調整のために、ワーク重量の変動に
対してワークの所定重量毎に予め複数段の静圧を設定し
ておき、ワーク重量が変わる毎に、ワーク重量に応じて
静圧を手動操作、またはプログラム指令で選択するもの
も知られている。
This proposal adjusts the load fluid that changes according to the weight of the moving body and the work placed on the moving body by the static pressure of the pressure fluid that is supplied between the sliding guide surfaces, and directly adjusts the moving body and the sliding surface. The sliding resistance is automatically controlled to a desired value by dynamic contact, and the static pressure is compensated according to the load. On the other hand, in order to adjust the static pressure, a plurality of stages of static pressure are set in advance for each predetermined weight of the work against the fluctuation of the work weight, and the static pressure is adjusted according to the work weight each time the work weight changes. It is also known to select manually or by programming.

[発明が解決しようとする課題] 特に、工作機械のすべり案内面としては、1)荒仕
上、重切削時にはすべり案内面に大きな荷重がかかるの
ですべり抵抗を大きくし振動減衰能を確保する必要があ
り、2)仕上加工時には、すべり抵抗を減じて送り精度
を高める必要がある。このように、2つの相反する特性
が要求されている。工作機械の空気半浮上すべり面の静
圧制御では、切削条件が荒仕上、重切削から仕上加工に
変える毎に静圧を調整し直す必要があり、操作が煩雑に
なるばかりではなく、ワーク重量に応じて数多く静圧を
設定しておくことができないため、円滑になる制御が行
えない問題点があった。
[Problems to be solved by the invention] In particular, as a slide guide surface of a machine tool, 1) a large load is applied to the slide guide surface during rough finishing and heavy cutting, so it is necessary to increase slip resistance and ensure vibration damping capability. Yes, 2) It is necessary to reduce slip resistance and improve feed accuracy during finishing. Thus, two contradictory properties are required. In the static pressure control of the air semi-floating sliding surface of machine tools, it is necessary to readjust the static pressure every time the cutting conditions change from rough cutting to heavy cutting to finishing, which not only complicates the operation but also reduces the work weight. There is a problem that smooth control cannot be performed because a large number of static pressures cannot be set according to the above.

この発明は、前記したような技術背景にかんがみて、
発明されたものであり、次の目的を達成するものであ
る。
In view of the technical background as described above, the present invention is
The invention has been invented and achieves the following object.

この発明の目的は、工作機械の空気半浮上すべり面の
状態を判定するためにテーブルを送るサーボモータの出
力トルクにより推定する工作機械の空気半浮上すべり面
の静圧決定方法とその制御装置を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a static pressure determination method for a semi-air-floating sliding surface of a machine tool and a control apparatus therefor, which is estimated by the output torque of a servomotor that sends a table to determine the state of the air-floating sliding surface of a machine tool. To provide.

この発明の他の目的は、工作機械の空気半浮上すべり
面の状態をテーブルを送るサーボモータの出力トルクに
より推定し判定後、すべり面へ供給す空気圧の大きさを
選定するための工作機械の空気半浮上すべり面の静圧決
定方法とその制御装置を提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a machine tool for selecting the magnitude of the air pressure to be supplied to the sliding surface after the state of the air semi-floating sliding surface of the machine tool is estimated and judged by the output torque of the servomotor sending the table. An object of the present invention is to provide a static pressure determination method for a semi-floating sliding surface of air and its control device.

この発明の更に他の目的は、切削中の機体の振動を防
ぐためにすべり面へ供給する空気圧を変えることにより
行う工作機械の空気半浮上すべり面の静圧決定方法とそ
の制御装置を提供することにある。
Still another object of the present invention is to provide a static pressure determination method for a semi-floating sliding surface of a machine tool and a control device therefor, which is performed by changing the air pressure supplied to the sliding surface in order to prevent vibration of the machine body during cutting. It is in.

この発明の更に他の目的は、工作機械の空気半浮上す
べり面の状態を最適に保つためにすべり面へ供給する空
気圧の大きさを被移動体の重量によって決定する工作機
械の空気半浮上すべり面の静圧決定方法とその制御装置
を提供することにある。
Still another object of the present invention is to provide an air semi-floating slide for a machine tool, in which the magnitude of the air pressure supplied to the slide surface in order to keep the state of the air semi-float slide surface of the machine tool optimum. A static pressure determination method for a surface and a control device therefor.

[前記課題を解決するための手段および作用] 前記課題を解決するために次のような手段を採る。[Means and Actions for Solving the Problems] The following means are adopted to solve the problems.

本発明の工作機械の空気半浮上すべり面の静圧決定方
法は、 ベッド、 ワークを搭載し移動させるためのテーブルと、 このテーブルを駆動するための送りねじと、 この送りねじを回転駆動させるための送りサーボモー
タと、 前記ベッドと前記テーブルとの間のすべり面に圧力空
気を供給する空気圧供給路からなる工作機械の空気半浮
上すべり面において、 前記ワークが非加工時でかつ前記テーブルの早送り時
に、前記送りサーボモータの出力トルクを計測し、 この出力トルクの計測値により前記すべり面に供給す
る空気圧の大きさを選択し供給し、 前記テーブルの早送り時に決定した前記出力トルクを
標準値として前記空気圧を決定した後、前記ワークの切
削時の前記テーブルの振動を検出し、 前記検出値があらかじめ設定された振動しきい値以上
のとき前記空気圧を最適値に制御して空気供給するもの
である。
The static pressure determination method for the air semi-floating sliding surface of a machine tool according to the present invention includes a bed, a table for mounting and moving a work, a feed screw for driving the table, and a rotational drive for driving the feed screw. Of a semi-floating sliding surface of a machine tool comprising a feed servomotor and a pneumatic supply path for supplying compressed air to the sliding surface between the bed and the table, when the workpiece is not machined and the table is fast-fed. At that time, the output torque of the feed servomotor is measured, the magnitude of the air pressure supplied to the sliding surface is selected and supplied by the measured value of the output torque, and the output torque determined during the fast-forwarding of the table is set as a standard value. After the air pressure is determined, the vibration of the table during the cutting of the workpiece is detected, and the detected value vibrates in advance. When more have value by controlling the optimum value of the air pressure is to the air supply.

更に、前記出力トルクをあらかじめ設定したしきい値
と比較して前記すべり面の状態を推定し、この推定によ
り前記空気圧を選択し供給すると良い。
Further, the state of the slip surface may be estimated by comparing the output torque with a preset threshold value, and the air pressure may be selected and supplied based on this estimation.

本発明の第1の工作機械の空気半浮上すべり面の静圧
制御装置は、 ベッドと、 ワークを搭載し移動させるためのテーブルと、 このテーブルを駆動するための送りねじと、この送り
ねじを回転駆動させるための送りサーボモータと、 前記ベッドと前記テーブルとの間のすべり面に空気圧
を供給する空気圧供給路からなる工作機械の空気半浮上
すべり面において、 前記空気供給路の空気圧を選択的に供給するための圧
力調整手段と、 前記送りサーボモータの出力トルクを計測するトルク
計測手段と、 あらかじめ前記送りサーボモータの出力トルクのしき
い値を設定するトルク設定手段と、 前記トルク計測手段による計測値と前記トルク設定手
段の設定値とを比較する比較手段と、 前記設定値内に前記計測値が納まるように前記圧力調
整手段を制御する空気圧選択手段と、 前記しきい値を前記ワークの重量により決定するため
に前記ワーク重量を計測する重量計測手段とからなる。
A static pressure control device for an air semi-floating sliding surface of a first machine tool of the present invention includes a bed, a table for mounting and moving a work, a feed screw for driving the table, and a feed screw for driving the table. In the air semi-floating sliding surface of the machine tool, which comprises a feed servo motor for rotationally driving, and an air pressure supply path for supplying air pressure to the sliding surface between the bed and the table, the air pressure in the air supply path is selectively A pressure adjusting means for supplying the output torque of the feed servomotor, a torque measuring means for measuring an output torque of the feed servomotor, a torque setting means for setting a threshold value of the output torque of the feed servomotor in advance, and a torque measuring means. Comparing means for comparing the measured value with the set value of the torque setting means; and the pressure adjusting means so that the measured value falls within the set value. A pneumatic selection means for controlling, and a weight measuring means for measuring the workpiece weight the threshold to determine the weight of the workpiece.

本発明の第2の工作機械の空気半浮上すべり面の静圧
制御装置は、 ベッドと、 ワークを搭載し移動させるためのテーブルと、 このテーブルを駆動するための送りねじと、この送り
ねじを回転駆動さえるための送りサーボモータと、 前記ベッドと前記テーブルとの間のすべり面に空気圧
を供給する空気圧供給路からなる工作機械の空気圧半浮
上すべり面において、 前記空気圧供給路の空気圧を選択的に供給するための
圧力調整手段と、 前記送りサーボモータの出力トルクを計測するトルク
計測手段と、 あらかじめ前記送りサーボモータの出力トルクのしき
い値を設定するトルク設定手段と、 前記トルク計測手段による計測値と前記トルク設定手
段の設定値とを比較する比較手段と、 前記工作機械の機体の振動値を検知する振動検知手段
と、 あらかじめ前記機体の振動のしきい値を設定する振動
設定手段と、 前記振動検知手段による振動検知値と前記振動設定手
段の振動しきい値とを比較する比較手段と、 前記テーブルの早送り時の前記トルク計測手段による
計測値が前記トルク設定値内に納まるように前記空気圧
を選択した後、前記ワーク切削時の前記振動検知手段に
よる振動検知値が前記振動しきい値以上になったとき前
記空気圧を低下させるように、前記圧力調整手段を制御
する空気圧選択手段とからなる。
A second static pressure control device for a semi-floating sliding surface of a machine tool according to the present invention includes a bed, a table for mounting and moving a work, a feed screw for driving the table, and a feed screw for driving the table. In a pneumatic semi-floating sliding surface of a machine tool, which comprises a feed servo motor for rotationally driving and an air pressure supplying path for supplying air pressure to a sliding surface between the bed and the table, the air pressure in the air pressure supplying path is selectively A pressure adjusting means for supplying the output torque of the feed servomotor, a torque measuring means for measuring an output torque of the feed servomotor, a torque setting means for setting a threshold value of the output torque of the feed servomotor in advance, and a torque measuring means. Comparing means for comparing the measured value with the set value of the torque setting means; and vibration detecting means for detecting the vibration value of the machine body of the machine tool. Vibration setting means for setting a vibration threshold value of the machine body in advance, comparing means for comparing a vibration detection value by the vibration detecting means and a vibration threshold value of the vibration setting means, and the table at the time of fast-forwarding the table. After selecting the air pressure so that the measured value by the torque measuring means falls within the torque setting value, the air pressure is adjusted when the vibration detection value by the vibration detecting means during the work cutting becomes equal to or higher than the vibration threshold value. Air pressure selecting means for controlling the pressure adjusting means so as to reduce the pressure.

[実施例] 以下、この発明の実施例を図面にしたがって説明す
る。第1図は、空気半浮上すべり面の静圧制御装置の概
要を示したブロック図である。ベッド1上には、すべり
案内面2が形成してある。このすべり案内面2は研削面
であり、この上には、テーブル3が摺動自在に設けてあ
る。すべり案内面2とテーブル3との間のテーブル3の
下面には、空気圧室であるポケット4が形成してある。
テーブル3上には、ワークWがクランプ治具でクランプ
されている。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing an outline of a static pressure control device for an air semi-floating sliding surface. A slip guide surface 2 is formed on the bed 1. The sliding guide surface 2 is a grinding surface, and a table 3 is slidably provided on the sliding guide surface 2. A pocket 4, which is a pneumatic chamber, is formed on the lower surface of the table 3 between the slide guide surface 2 and the table 3.
The work W is clamped on the table 3 by a clamp jig.

ワークWは、フライスカッタ5により切削加工され
る。フライスカッタ5は、主軸モータ6により回転駆動
させられる。これらの点は、周知の構造、機能であり詳
細な説明は省略する。テーブル3に設けたナット(図示
せず)には、送りねじ7がねじ込まれていて、この送り
ねじ7は送りサーボモータ8により回転駆動させられ
る。ポケット4には、供給管9を介して圧力調整手段で
ある電空圧力比例弁10から圧力空気が供給される。電空
圧力比例弁10は、入力電流に応じた圧力空気の圧力を制
御するための比例弁である。
The work W is cut by the milling cutter 5. The milling cutter 5 is driven to rotate by a spindle motor 6. These points are well-known structures and functions, and detailed description thereof will be omitted. A feed screw 7 is screwed into a nut (not shown) provided on the table 3, and the feed screw 7 is rotationally driven by a feed servomotor 8. Pressure air is supplied to the pocket 4 through a supply pipe 9 from an electropneumatic pressure proportional valve 10 which is a pressure adjusting means. The electropneumatic pressure proportional valve 10 is a proportional valve for controlling the pressure of compressed air according to the input current.

電空圧力比例弁10は、公知の構造であり、ここでは詳
記しない。電空圧力比例弁10には、圧力空気供給源11か
ら圧力空気が供給される。電空圧比例弁10には、空気圧
選択回路13から電流が入力される。電空圧力比例弁10
は、この電流の大きさに比例した圧力の圧力空気が流出
される。一方、N/C装置20は、公知の数値制御装置であ
り、テーブル3の移動をプログラム指令等により制御す
る。
The electro-pneumatic pressure proportional valve 10 has a known structure and will not be described in detail here. Pressure air is supplied to the electropneumatic pressure proportional valve 10 from a pressure air supply source 11. A current is input to the electropneumatic pressure proportional valve 10 from the air pressure selection circuit 13. Electro-pneumatic pressure proportional valve 10
The compressed air having a pressure proportional to the magnitude of this current flows out. On the other hand, the N / C device 20 is a known numerical control device and controls the movement of the table 3 by a program command or the like.

N/C装置20からの送り指令は、アンプ21を介して送り
サーボモータ8に伝達される。送りサーボモータ8は、
この送り指令で送りねじ7を回転駆動し、テーブル3を
移動制御する。アンプ21と送りサーボモータ8との間に
は、電流検出回路22が組み込んであり、この電流検出回
路22は送りサーボモータ8への入力電流を検知し、この
入力電流の大きさを電圧の大きさとして出力する。送り
サーボモータ8への入力電流は、サーボモータ出力トル
クの大きさに比例する。結果として、送りサーボモータ
8の入力電流の大きさは、送りサーボモータ8の出力ト
ルクの大きさに等しい。
The feed command from the N / C device 20 is transmitted to the feed servomotor 8 via the amplifier 21. The feed servo motor 8 is
The feed screw 7 is rotationally driven by this feed command to control the movement of the table 3. A current detection circuit 22 is incorporated between the amplifier 21 and the feed servo motor 8, and this current detection circuit 22 detects the input current to the feed servo motor 8 and determines the magnitude of this input current as the magnitude of the voltage. Will be output. The input current to the feed servomotor 8 is proportional to the magnitude of the servomotor output torque. As a result, the magnitude of the input current of the feed servomotor 8 is equal to the magnitude of the output torque of the feed servomotor 8.

トルクレベル設定回路23は、N/C装置20からの信号に
より、一定の電圧を発生する回路である。第2図(a)
は、送りサーボモータ8を起動したときの送り速度と時
間との関係を示す図である。送り速度は急速に立ち上が
り、ある時間を経過すると一定速度になる。第2図
(b)は、このときの送りサーボモータ8のトルクの変
動の例を示す。送りサーボモータ8の立ち上げ、停止時
には、トルクが変動し不安定であることがうかがえる。
The torque level setting circuit 23 is a circuit that generates a constant voltage in response to a signal from the N / C device 20. Fig. 2 (a)
FIG. 4 is a diagram showing a relationship between a feed speed and time when the feed servomotor 8 is activated. The feed rate rises rapidly and becomes constant after a certain time. FIG. 2B shows an example of fluctuations in the torque of the feed servomotor 8 at this time. It can be seen that the torque fluctuates and is unstable when the feed servo motor 8 is started and stopped.

これは、主にすべり面の静止摩擦力と潤滑油の状態
と、テーブルなどの移動体の慣性によるものと推定でき
る。このトルクは、定速度の領域では、安定している。
このトルクは、前記したように送りサーボモータ8の入
力電流として測定できる。この定速度状態のトルクは、
非切削時、すなわち無負荷状態では、ワークW、テーブ
ルの重量とテーブルとベッドのすべり面の状態に依存す
る。すべり面の状態とは、潤滑油を介した動摩擦係数に
依存する。ただし、ナットと送りねじ7などの他のすべ
り面の影響は小さいので一定とする。
It can be estimated that this is mainly due to the static frictional force on the slip surface, the state of the lubricating oil, and the inertia of the moving body such as the table. This torque is stable in the constant speed region.
This torque can be measured as the input current of the feed servomotor 8 as described above. The torque in this constant speed state is
In the non-cutting state, that is, in the unloaded state, it depends on the work W, the weight of the table, and the state of the sliding surfaces of the table and the bed. The state of the slip surface depends on the coefficient of dynamic friction through the lubricating oil. However, since the influence of the nut and the other sliding surface such as the feed screw 7 is small, it is fixed.

出力トルクの大きさは、金属接触部分の面積が増加す
ると、上しきい値をオーバーし、金属接触部分が全くな
くなると摩擦係数が低下し、下しきい値以下となる。結
局、理想的なすべり面の状態は、この中間の数値になる
ものと推定する。トルクレベル設定回路23は、上しきい
値と下しきい値を発生する回路であり、この上下のしき
い値はN/C装置20からの指令によって設定される。比較
器24は、トルクレベル設定回路23と電流検出回路22との
出力を電圧の大きさで比較する回路である。
The output torque exceeds the upper threshold value when the area of the metal contact portion increases, and decreases below the lower threshold value when the metal contact portion disappears altogether. After all, it is estimated that the ideal state of the slip surface will be in the middle of this range. The torque level setting circuit 23 is a circuit that generates an upper threshold value and a lower threshold value, and the upper and lower threshold values are set by a command from the N / C device 20. The comparator 24 is a circuit that compares the outputs of the torque level setting circuit 23 and the current detection circuit 22 with the magnitude of the voltage.

比較器24は、電流検出回路22からの出力値がトルクレ
ベル設定回路23の上下のしきい値を外れたときのみ出力
する。比較器24の出力は、アンド回路25に入力される。
アンド回路25には、N/C装置20で発生される送り電流検
出回路有効信号が入力されている。
The comparator 24 outputs only when the output value from the current detection circuit 22 deviates from the upper and lower thresholds of the torque level setting circuit 23. The output of the comparator 24 is input to the AND circuit 25.
The AND circuit 25 is supplied with a feed current detection circuit valid signal generated by the N / C device 20.

この信号は、送りサーボモータ8が早送りされ一定時
経過した後、定速状態になったときのみ出力される信号
である。第2図(b)でいう検知時間である。この検知
時間内に比較器24からの出力があると、アンド回路25は
信号をオア回路34に出力し、その信号はオア回路34から
空気圧選択回路13に出力される。空気圧選択回路13は、
この信号を受けて電空圧力比例弁10に空気圧を向上させ
るか、低下させるかどちらかの指令を行う。
This signal is a signal that is output only when the feed servo motor 8 is fast-forwarded and a constant speed has elapsed, and then a constant speed state is reached. This is the detection time referred to in FIG. If there is an output from the comparator 24 within this detection time, the AND circuit 25 outputs a signal to the OR circuit 34, and the signal is output from the OR circuit 34 to the air pressure selection circuit 13. The air pressure selection circuit 13
In response to this signal, the electropneumatic pressure proportional valve 10 is instructed to either increase or decrease the air pressure.

一方、振動センサ30は、テーブル3上に設けてある。
この振動センサ30は、機械的な振動に比例して電気出力
を発生する変換素子である。この出力はアンプ35を介し
て、比較器32に入力される。一方、比較器32には、振動
レベル設定回路31からも入力されている。振動レベル設
定回路31の設定値は、N/C装置20からしきい値を自由に
設定できる。このしきい値は、通常の切削状態のときに
検出される振動振幅によって出力される出力値よりやや
高いレベルに設定する。望ましくは、工作機械が重切削
状態のときの異常振動振幅レベルと判定される限界値に
設定する。これらの値は、あらかじめ実験などで確かめ
た値とする。
On the other hand, the vibration sensor 30 is provided on the table 3.
The vibration sensor 30 is a conversion element that generates an electric output in proportion to mechanical vibration. This output is input to the comparator 32 via the amplifier 35. On the other hand, the comparator 32 is also input from the vibration level setting circuit 31. As for the set value of the vibration level setting circuit 31, the threshold value can be freely set from the N / C device 20. This threshold value is set to a level slightly higher than the output value output by the vibration amplitude detected in the normal cutting state. Desirably, it is set to a limit value that is determined as an abnormal vibration amplitude level when the machine tool is in heavy cutting. These values are values that have been confirmed in advance by experiments or the like.

この振動レベル以上の振動振幅を振動センサ30が検知
すると、比較器32に出力する。比較器32の出力は、アン
ド回路33に入力される。アンド回路33には、切削加工時
にN/C装置20から切削加工時である旨の信号、すなわち
振動検出有効信号が出力されており、異常振動振幅が生
じた場合信号をオア回路34に出力する。オア回路34は、
この信号を空気圧選択回路13に出力する。空気圧選択回
路13は、この信号が送られると、電空圧力比例弁10に空
気圧低下の指令を行う。
When the vibration sensor 30 detects a vibration amplitude equal to or higher than this vibration level, it outputs it to the comparator 32. The output of the comparator 32 is input to the AND circuit 33. To the AND circuit 33, a signal indicating that the cutting is being performed, that is, a vibration detection valid signal is output from the N / C device 20 during cutting, and a signal is output to the OR circuit 34 when abnormal vibration amplitude occurs. . The OR circuit 34 is
This signal is output to the air pressure selection circuit 13. When this signal is sent, the air pressure selection circuit 13 instructs the electropneumatic pressure proportional valve 10 to lower the air pressure.

動 作 第3図(a)は、送りサーボモータ8によって送り抵
抗、すなわちサーボモータ出力トルクの検出動作の概要
を示すフロー図である。詳しくは、テーブル3にワーク
Wを搭載し、早送りしたときにテーブル3の送り抵抗値
を検出し、この検出値を標準値としてポケット4の空気
圧、すなわち静圧を設定するときの前記制御装置の動作
を示す。N/C装置20からサーボモータ8へ早送り指令
(例えば、G00指令)が発せられると、N/C装置20は検知
時間か否か判断する。
Operation FIG. 3 (a) is a flowchart showing an outline of the operation of detecting the feed resistance, that is, the servo motor output torque by the feed servo motor 8. More specifically, the work W is mounted on the table 3 and the feed resistance value of the table 3 is detected when fast-forwarding, and the detected value is used as a standard value to set the air pressure of the pocket 4, that is, the static pressure. It shows the operation. When a fast-forward command (for example, G00 command) is issued from the N / C device 20 to the servo motor 8, the N / C device 20 determines whether it is the detection time.

言い換えると、送りサーボモータ8が回転駆動され、
早送りの定常状態になるまでの時間の間は検知をしな
い。この非検知時間は、送りサーボモータ8の特性によ
って決まる時間であり、あらかじめN/C装置20に設定さ
れ記憶されている。あるいは、送りサーボモータ8の定
速信号が出力された時点で検出時間であると判定を行う
方法でも良い。なお、定速信号は、標準的なN/C装置に
は、この出力機能を有している。
In other words, the feed servomotor 8 is rotationally driven,
No detection is performed during the time until the fast-forward steady state is reached. This non-detection time is a time determined by the characteristics of the feed servomotor 8, and is set and stored in the N / C device 20 in advance. Alternatively, a method of determining that it is the detection time when the constant speed signal of the feed servo motor 8 is output may be used. The constant-speed signal has this output function in a standard N / C device.

検知時間になると、電流検出回路22は、送りサーボモ
ータ8の入力電流をサンプリングする。サンプリングさ
れた入力電流データは、送りサーボモータ8の出力トル
クを意味する。入力電流データの大きさは、電圧値で出
力されトルクレベル設定回路23の出力と比較される。ト
ルクレベル設定回路23の上下のしきい値は、N/C装置20
のプログラム指令、またはキーボード入力などの手段に
よりあらかじめその大きさを設定されている。
At the detection time, the current detection circuit 22 samples the input current of the feed servomotor 8. The sampled input current data means the output torque of the feed servomotor 8. The magnitude of the input current data is output as a voltage value and compared with the output of the torque level setting circuit 23. The upper and lower thresholds of the torque level setting circuit 23 are the N / C device 20.
The size is set in advance by means such as a program command or keyboard input.

このしきい値の大きさは、基本的にはワークWの重量
によって決める。ただし、ワークWの重量だけでは一義
的には決まらないので、実験値または経験値で選択して
も良い。すなわち、すべり案内面2とテーブル3との接
触面の状態は、テーブル3の重量は一定であるがワーク
Wの重量が変化するため変わるのである。比較器24は、
設定されたしきい値を電流検出回路22の出力電圧が越え
ると、テーブル3とすべり案内面2の間のすべり面が必
要以上に金属接触している状態であると推定する。
The size of this threshold value is basically determined by the weight of the work W. However, since it is not uniquely determined only by the weight of the work W, an experimental value or an empirical value may be selected. That is, the state of the contact surface between the slide guide surface 2 and the table 3 changes because the weight of the table 3 is constant but the weight of the work W changes. The comparator 24 is
When the output voltage of the current detection circuit 22 exceeds the set threshold value, it is estimated that the sliding surface between the table 3 and the sliding guide surface 2 is in metal contact more than necessary.

設定されたしきい値以下であるときは、完全な空気浮
上に近い状態と推定する。理想的な状態は、この中間の
位置であるから、上のしきい値を越えると比較器24は、
空気圧を上げるための信号を出力し、空気圧選択回路13
に入力する。空気圧選択回路13は、この入力信号に応じ
て電空圧力比例弁10に空気圧を上げる旨の入力を行う。
When it is below the set threshold value, it is presumed that it is close to complete air levitation. Since the ideal state is the intermediate position, when the upper threshold is exceeded, the comparator 24
Outputs a signal to increase the air pressure, and the air pressure selection circuit 13
To enter. The air pressure selection circuit 13 inputs to the electropneumatic pressure proportional valve 10 that the air pressure should be increased in response to this input signal.

電空圧力比例弁10は、供給管9を介して一段上げた空
気圧をポケット4に供給する。設定したしきい値より低
いときは、比較器24は、前記と逆に空気圧を低下させる
ための信号を発生させる。電空圧力比例弁10は、供給管
9に一段低い空気圧を供給する。結局、早送り指令が発
生されるたびに、すべり面に最適な空気圧を供給するこ
とになる。この早送り時の静圧を標準として、言い換え
ると正常なすべり面状態であるものと判定して加工を開
始する。
The electro-pneumatic pressure proportional valve 10 supplies the raised air pressure to the pocket 4 via the supply pipe 9. When it is lower than the set threshold value, the comparator 24 conversely generates a signal for lowering the air pressure. The electropneumatic pressure proportional valve 10 supplies the air pressure to the supply pipe 9 to be one step lower. After all, each time the fast-forward command is generated, the optimum air pressure is supplied to the slip surface. Using the static pressure at the time of this rapid feed as a standard, in other words, it is determined that the sliding surface is in a normal state, and processing is started.

第3図(b)は、切削中の振動を検知して静圧を変え
る動作を示すフロー図ある。テーブルの早送り時の送り
トルクにもとづいて空気圧の設定が終了すると、N/C装
置20が切削加工指令(例えば、G01)を発するプログラ
ムになると、振動センサ30によって振動の検知を開始す
る。この振動センサ30の出力値は、振動レベル設定回路
31からの出力値と比較器32で比較され、設定値以上の値
が出るとこの信号がアンド回路33に入力される。
FIG. 3 (b) is a flow chart showing an operation of detecting the vibration during cutting and changing the static pressure. When the setting of the air pressure is completed based on the feed torque at the time of fast-forwarding the table, the vibration sensor 30 starts detecting the vibration when the N / C device 20 becomes a program that issues a cutting command (for example, G01). The output value of this vibration sensor 30 is the vibration level setting circuit.
The output value from 31 is compared with the comparator 32, and when a value above the set value is output, this signal is input to the AND circuit 33.

アンド回路33には、N/C装置20から切削中を意味する
振動検出有効信号が出ている。したがって、比較器32の
出力信号はオア回路34に出力され、空気圧選択回路13に
入力される。空気圧選択回路13は、この信号を受けて電
空圧力比例弁10を作動させて、空気圧を低下させてすべ
り案内面2とテーブル3との金属接触面積の割合を増大
させる。設定された時間経過後、すなわち静圧を低下さ
せテーブル3が充分安定した状態になるに要する時間
(設定された時間)後、再びN/C装置20が振動検出有効
信号を出力し再び振動センサ30の出力を設定値と比較し
設定値以上の振動があれば再びすべり面の空気圧を低下
させる。この振動の監視は、プログラムの切削加工ブロ
ックの間有効に働く。
To the AND circuit 33, the N / C device 20 outputs a vibration detection valid signal which means that cutting is being performed. Therefore, the output signal of the comparator 32 is output to the OR circuit 34 and input to the air pressure selection circuit 13. In response to this signal, the air pressure selection circuit 13 operates the electropneumatic pressure proportional valve 10 to reduce the air pressure and increase the ratio of the metal contact area between the slide guide surface 2 and the table 3. After the set time has passed, that is, after the time required for the static pressure to drop and the table 3 to become sufficiently stable (the set time), the N / C device 20 outputs the vibration detection valid signal again and the vibration sensor again. Compare the output of 30 with the set value, and if there is vibration above the set value, reduce the air pressure on the slip surface again. This vibration monitoring works effectively during the cutting block of the program.

[他の実施例] 前記実施例では、早送り定常時の送りサーボモータ8
の電流を検知対象とし、これを標準値として設定してい
る。トルクレベル設定回路23の設定値は、ワークWの重
量はあらかじめ既知のものとして、この重量に応じて実
験値または経験値を設定している。しかし、ワークW
は、加工中に重量が減少し軽くなる。また、重量を知る
には、事前に計測する必要もある。第4図に示すもの
は、このワークWの重量を自動的に計測し、この計測値
により静圧を制御するものである。
[Other Embodiments] In the above embodiment, the feed servo motor 8 during the normal fast-forward operation is used.
The current of is detected and is set as a standard value. As the set value of the torque level setting circuit 23, the weight of the work W is known in advance, and an experimental value or an empirical value is set according to this weight. But work W
Is lighter as it loses weight during processing. Also, to know the weight, it is necessary to measure it in advance. In FIG. 4, the weight of the work W is automatically measured, and the static pressure is controlled by the measured value.

通常マシニングセンタのワークWは、パレット40上に
搭載される。パレット40は、加工時にテーブル3上にク
ランプされる。このクランプは、テーブル3内に設けた
油圧シリンダ41によりクランプされる。油圧シリンダ41
のピストン42のピストンロッドは、その先端にクランプ
部材43を有し、このクランプ部材によりテーブル3上に
クランプされる。油圧シリンダ41には、切換弁45を介し
て油圧源44から圧油が供給される。
The work W of the normal machining center is mounted on the pallet 40. The pallet 40 is clamped on the table 3 during processing. This clamp is clamped by a hydraulic cylinder 41 provided in the table 3. Hydraulic cylinder 41
The piston rod of the piston 42 has a clamp member 43 at its tip and is clamped on the table 3 by this clamp member. Pressure oil is supplied to the hydraulic cylinder 41 from a hydraulic pressure source 44 via a switching valve 45.

ピストン42の下側の油圧シリンダ41に通じる排出管46
には、圧力センサ47が連結されている。圧力センサ47
は、圧電素子からなるセンサーであり、油圧の圧力の大
きさを計測する。圧力センサ47の出力は、アンプ48で増
幅されて電空圧力比例弁10を駆動する。圧力センサ47で
ワークWの重量を計測するためには、開閉弁45を操作し
ピストン42の下側のシリンダ室に油圧を導入する。ピス
トン42は上昇し、パレット40、ワークWを持ち上げる。
Discharge pipe 46 leading to hydraulic cylinder 41 under piston 42
A pressure sensor 47 is connected to. Pressure sensor 47
Is a sensor composed of a piezoelectric element and measures the magnitude of hydraulic pressure. The output of the pressure sensor 47 is amplified by the amplifier 48 and drives the electropneumatic pressure proportional valve 10. In order to measure the weight of the work W with the pressure sensor 47, the on-off valve 45 is operated to introduce hydraulic pressure into the cylinder chamber below the piston 42. The piston 42 rises and lifts the pallet 40 and the work W.

この状態で開閉弁45を中立状態にして両ポットととも
に閉じ、圧力センサ47で排出管46内の油圧圧力を計測す
る。この油圧圧力は、ワークWの重量に比例するので重
量を計測したことになる。この重量に応じて、すべり面
に供給する空気圧を制御する。すべり面には、ワークW
の重量に応じた空気圧が供給される。また、前記実施例
は、上下のしきい値をN/C装置20からの設定値で変更し
た。しかし、本実施例のように、自動的にワークWの重
量を設定し、この重量によりしきい値を自動的に設定し
ても良い。
In this state, the on-off valve 45 is set to the neutral state and both pots are closed, and the pressure sensor 47 measures the hydraulic pressure in the discharge pipe 46. Since this hydraulic pressure is proportional to the weight of the work W, the weight is measured. The air pressure supplied to the sliding surface is controlled according to this weight. Work W on the sliding surface
The air pressure is supplied according to the weight of. Further, in the above embodiment, the upper and lower threshold values are changed by the set value from the N / C device 20. However, as in this embodiment, the weight of the work W may be automatically set, and the threshold value may be automatically set based on this weight.

また、前記送りサーボモータ8の出力トルクは、入力
電流を検知したが、送りねじ7のねじれなど他の公知の
トルク検知手段でも良い。なお、振動センサ30は、テー
ブル3の振動を検知していたが、テーブル3ではなく他
の機体部分を検知しても良い。
Although the output torque of the feed servomotor 8 is the input current detected, other known torque detection means such as twisting of the feed screw 7 may be used. Although the vibration sensor 30 detects the vibration of the table 3, the vibration sensor 30 may detect another body portion instead of the table 3.

なお、前記実施例でいうテーブル3は、ワークテーブ
ルのみを意味せず刃物台などでも良い。したがって前記
ワークもここでは刃物台のタレット、工具などと同等の
意味である。
The table 3 in the above embodiment does not mean only the work table but may be a tool rest or the like. Therefore, the work also has the same meaning here as a turret of a tool rest, a tool, and the like.

[発明の効果] 以上前記したように、この発明は、すべり面の状態を
簡単な方法で検知し、かつこのすべり面に応じた空気圧
を供給できるので、すべり案内面の特性状態を良好に保
つことができる。
[Advantages of the Invention] As described above, the present invention can detect the state of the slip surface by a simple method and can supply the air pressure corresponding to the slip surface, so that the characteristic state of the slip guide surface can be kept good. be able to.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は空気半浮上すべり面の静圧装置の制御を示すブ
ロック図、第2図は送りサーボモータの送り速度、トル
クの起動後の変化を示す線図、第3図は装置の動作を示
すフロー図、第4図はワーク重量の計測装置を示す実施
例である。 1……ベッド、2……すべり案内面、3……テーブル、
7……送りねじ、8……送りサーボモータ、10……電空
圧力比例弁、23……検出レベル設定回路、24……比較器
FIG. 1 is a block diagram showing the control of a static pressure device for a semi-floating sliding surface of air, FIG. 2 is a diagram showing the change in feed speed and torque of a feed servomotor after starting, and FIG. 3 shows the operation of the device. A flow chart shown in FIG. 4 is an embodiment showing a work weight measuring apparatus. 1 …… Bed, 2 …… Slip guide surface, 3 …… Table,
7 ... Feed screw, 8 ... Feed servomotor, 10 ... Electropneumatic pressure proportional valve, 23 ... Detection level setting circuit, 24 ... Comparator

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ベッドと、 ワークを搭載し移動させるためのテーブルと、 このテーブルを駆動するための送りねじと、 この送りねじを回転駆動させるための送りサーボモータ
と、 前記ベッドと前記テーブルとの間のすべり面に圧力空気
を供給する空気圧供給路からなる工作機械の空気半浮上
すべり面において、 前記ワークが非加工時でかつ前記テーブルの早送り時
に、前記送りサーボモータの出力トルクを計測し、 この出力トルクの計測値により前記すべり面に供給する
空気圧の大きさを選択し供給し、 前記テーブルの早送り時に決定した前記出力トルクを標
準値として前記空気圧を決定した後、前記ワークの切削
時の前記テーブルの振動を検出し、 前記検出値があらかじめ設定された振動しきい値以上の
とき前記空気圧を最適値に制御して空気供給する ことを特徴とする工作機械の空気半浮上すべり面の静圧
決定方法。
1. A bed, a table for mounting and moving a work, a feed screw for driving the table, a feed servomotor for rotationally driving the feed screw, the bed and the table. In the air semi-floating sliding surface of the machine tool, which consists of an air pressure supply path that supplies compressed air to the sliding surface between, while the workpiece is not processed and the table is fast-forwarded, the output torque of the feed servo motor is measured. When the magnitude of the air pressure to be supplied to the sliding surface is selected and supplied according to the measured value of the output torque, and the air pressure is determined using the output torque determined during the fast-forwarding of the table as a standard value, the workpiece is cut. The vibration of the table is detected, and the air pressure is controlled to an optimum value when the detected value is equal to or more than a preset vibration threshold value. Static pressure determination method of an air half floating sliding surface of a machine tool, wherein the air supply Te.
【請求項2】請求項1において、 前記出力トルクをあらかじめ設定したしきい値と比較し
て前記すべり面の状態を推定し、 この推定により前記空気圧を選択し供給する ことを特徴とする工作機械の空気半浮上すべり面の静圧
決定方法。
2. The machine tool according to claim 1, wherein the state of the slip surface is estimated by comparing the output torque with a preset threshold value, and the air pressure is selected and supplied based on this estimation. Method for determining static pressure on semi-floating sliding surface of air.
【請求項3】ベッドと、 ワークを搭載し移動させるためのテーブルと、 このテーブルを駆動するための送りねじと、この送りね
じを回転駆動させるための送りサーボモータと、 前記ベッドと前記テーブルとの間のすべり面に空気圧を
供給する空気圧供給路からなる工作機械の空気半浮上す
べり面において、 前記空気供給路の空気圧を選択的に供給するための圧力
調整手段と、 前記送りサーボモータの出力トルクを計測するトルク計
測手段と、 あらかじめ前記送りサーボモータの出力トルクのしきい
値を設定するトルク設定手段と、 前記トルク計測手段による計測値と前記トルク設定手段
の設定値とを比較する比較手段と、 前記設定値内に前記計測値が納まるように前記圧力調整
手段を制御する空気圧選択手段と、 前記しきい値を前記ワークの重量により決定するために
前記ワーク重量を計測する重量計測手段と からなることを特徴とする工作機械の空気半浮上すべり
面の静圧制御装置。
3. A bed, a table for mounting and moving a work, a feed screw for driving the table, a feed servomotor for rotationally driving the feed screw, the bed and the table. In the air semi-floating sliding surface of the machine tool, which comprises an air pressure supply path for supplying air pressure to the sliding surface between the pressure adjusting means for selectively supplying the air pressure of the air supply path, and the output of the feed servomotor. A torque measuring means for measuring a torque, a torque setting means for setting a threshold value of the output torque of the feed servo motor in advance, and a comparing means for comparing a measured value by the torque measuring means with a set value by the torque setting means. An air pressure selecting unit that controls the pressure adjusting unit so that the measured value falls within the set value; Air semi floating sliding surface static pressure control device for a machine tool, characterized by comprising a weight measuring means for measuring the workpiece weight to determine the weight of the click.
【請求項4】ベッドと、 ワークを搭載し移動させるためのテーブルと、 このテーブルを駆動するための送りねじと、この送りね
じを回転駆動させるための送りサーボモータと、 前記ベッドと前記テーブルとの間のすべり面に空気圧を
供給する空気圧供給路からなる工作機械の空気半浮上す
べり面において、 前記空気圧供給路の空気圧を選択的に供給するための圧
力調整手段と、 前記送りサーボモータの出力トルクを計測するトルク計
測手段と、 あらかじめ前記送りサーボモータの出力トルクのしきい
値を設定するトルク設定手段と、 前記トルク計測手段による計測値と前記トルク設定手段
の設定値とを比較する比較手段と、 前記工作機械の機体の振動値を検知する振動検知手段
と、 あらかじめ前記機体の振動のしきい値を設定する振動設
定手段と、 前記振動検知手段による振動検知値と前記振動設定手段
の振動しきい値とを比較する比較手段と、 前記テーブルの早送り時の前記トルク計測手段による計
測値が前記トルク設定値内に納まるように前記空気圧を
選択した後、前記ワーク切削時の前記振動検知手段によ
る振動検知値が前記振動しきい値以上になったとき前記
空気圧を低下させるように、前記圧力調整手段を制御す
る空気圧選択手段とからなることを特徴とする工作機械
の空気半浮上すべり面の静圧制御装置。
4. A bed, a table for mounting and moving a work, a feed screw for driving the table, a feed servomotor for rotationally driving the feed screw, the bed and the table. In the semi-floating sliding surface of the machine tool, which comprises an air pressure supply path for supplying air pressure to the sliding surface between the pressure adjusting means for selectively supplying the air pressure of the air pressure supply path, and the output of the feed servomotor A torque measuring means for measuring a torque, a torque setting means for setting a threshold value of the output torque of the feed servo motor in advance, and a comparing means for comparing a measured value by the torque measuring means with a set value by the torque setting means. Vibration detecting means for detecting a vibration value of the machine body of the machine tool, and vibration for setting a threshold value of the vibration of the machine body in advance Setting means, comparing means for comparing the vibration detection value of the vibration detecting means with the vibration threshold value of the vibration setting means, and the measurement value of the torque measuring means during fast-forwarding of the table is within the torque setting value. After selecting the air pressure so as to be contained, the air pressure for controlling the pressure adjusting means so as to reduce the air pressure when the vibration detection value by the vibration detecting means at the time of cutting the work becomes equal to or more than the vibration threshold value. A static pressure control device for an air semi-floating sliding surface of a machine tool, characterized by comprising selection means.
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