JPH0818240B2 - Polishing method and tool - Google Patents
Polishing method and toolInfo
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- JPH0818240B2 JPH0818240B2 JP62062610A JP6261087A JPH0818240B2 JP H0818240 B2 JPH0818240 B2 JP H0818240B2 JP 62062610 A JP62062610 A JP 62062610A JP 6261087 A JP6261087 A JP 6261087A JP H0818240 B2 JPH0818240 B2 JP H0818240B2
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- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光学レンズ等に使用される光学素子の研摩加
工、又は高精度な金型の仕上げ加工に好適に利用され
る、研摩方法及び研摩工具に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial field of application] The present invention is suitable for polishing of optical elements used for optical lenses or the like, or polishing method and polishing which are suitably used for finishing of a highly accurate mold. Regarding tools.
従来、被加工物と研摩工具を研摩液中に配置し、前記
研摩工具に回転を与えて、前記研摩液を被加工物の加工
表面に衝突させて、前記被加工物の表面を研摩する研摩
方法が知られている。Conventionally, a work piece and a polishing tool are placed in a polishing solution, and the polishing tool is rotated to collide the polishing solution with the work surface of the work piece to polish the work piece surface. The method is known.
従来のこの種の研摩方法を、第６図を用いて説明す
る。尚、第６図は従来の研摩方法を示す概略側面図であ
る。A conventional polishing method of this type will be described with reference to FIG. Incidentally, FIG. 6 is a schematic side view showing a conventional polishing method.
図において、２は従来の研摩工具である。該研摩工具
２は円筒状の回転軸４を有し、該軸４の先端部にはポリ
ウレタン等の樹脂で構成された球体のポリウレタン球６
が接続固定されている。In the figure, 2 is a conventional polishing tool. The polishing tool 2 has a cylindrical rotation shaft 4, and a spherical polyurethane ball 6 made of a resin such as polyurethane is provided at the tip of the shaft 4.
Is connected and fixed.
又、図示する８は被加工物である。該被加工物８は研
摩工具２のポリウレタン球６部と一緒に、研摩液10中に
配置されている。該研摩液10中には研摩砥粒が含まれて
いる。Further, reference numeral 8 shown in the drawing is a workpiece. The work piece 8 is placed in a polishing liquid 10 together with 6 parts of the polyurethane spheres of the polishing tool 2. The polishing liquid 10 contains abrasive grains.
そして、この研摩液10中でポリウレタン球６を回転さ
せ、周囲の研摩液10をつれ回りさせることにより該研摩
液10に必要な流速を与え、ポリウレタン球６を被加工物
８の研摩加工したい部分に近づけることで、ポリウレタ
ン球６と被加工物８の間に研摩液10の動圧を得て、これ
により研摩加工を行う。Then, by rotating the polyurethane sphere 6 in the polishing liquid 10 and causing the surrounding polishing liquid 10 to circulate, the polishing liquid 10 is supplied with a necessary flow velocity, and the polyurethane sphere 6 is a portion of the workpiece 8 to be polished. By bringing the polishing liquid closer to, the dynamic pressure of the polishing liquid 10 is obtained between the polyurethane sphere 6 and the workpiece 8, and thereby the polishing processing is performed.
しかしながら、上述の如き従来技術による研摩方法で
は次の様な問題点を有する。However, the conventional polishing method as described above has the following problems.
即ち、問題点の１番目として、ポリウレタン球の加工
精度を上げることが困難なため、被加工物にポリウレタ
ン球をあまり近づけることができない。なぜなら回転す
るポリウレタン球を被加工物に接触させてしまうと、被
加工物の表面に微小なキズがつき、良好な表面粗さを得
ることができないため。That is, as the first problem, it is difficult to improve the processing accuracy of the polyurethane sphere, and therefore the polyurethane sphere cannot be brought too close to the workpiece. This is because if the rotating polyurethane sphere is brought into contact with the work piece, the surface of the work piece will have minute scratches, and good surface roughness cannot be obtained.
問題点の２番目として、従来のポリウレタン球を回転
させることによって生ずる該ポリウレタン球の近傍の被
加工物との距離による研摩液流速の変化率は、第７図の
グラフに示す様に、ポリウレタン球の表面が被加工物の
表面から離れるにつれて急激に低下するので、加工点に
十分な動圧を与えようとすると、どうしてもポリウレタ
ン球を被加工物に近づけなくてはならない。即ち、この
ことは前述の問題点の１番目と同様にポリウレタン球と
被加工物との接触の危険がある。又、球の加工精度が悪
いので、このことからも近づけることができない。The second problem is that the rate of change of the polishing liquid flow velocity due to the distance between the polyurethane sphere and the work piece in the vicinity of the polyurethane sphere caused by rotating the conventional polyurethane sphere is as shown in the graph of FIG. Since the surface of the object drops sharply as it moves away from the surface of the work piece, the polyurethane sphere must be brought close to the work piece in order to give a sufficient dynamic pressure to the working point. That is, this poses a risk of contact between the polyurethane sphere and the workpiece as in the case of the first problem described above. Further, since the processing accuracy of the sphere is poor, it cannot be approached from this point as well.
問題点の３番目として、従来例ではそれでも被加工物
に近づけなければならないので、非常に精密な工具移動
系を持たなければならない。The third problem is that the conventional example still has to be brought close to the work piece, so that a very precise tool movement system must be provided.
問題点の４番目として、上記のことから適正な加工条
件を維持することが困難であるため、加工能率は非常に
悪い。As the fourth problem, it is difficult to maintain proper processing conditions from the above, and thus the processing efficiency is very poor.
従来例は以上の如くの問題点を有する。 The conventional example has the above problems.
本発明は上述従来技術の問題点に鑑みなされたもので
あり、その目的は従来の研摩方法において、研摩液のつ
れ回りの効率を上げることにより、高精度な表面形状の
形成能力と、非常に良好な表面粗さを得ることを可能と
する、研摩方法及び研摩工具を提供することにある。The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the conventional technique, and its object is to increase the efficiency of the polishing liquid in the conventional polishing method to form a highly precise surface shape, and An object of the present invention is to provide a polishing method and a polishing tool that make it possible to obtain good surface roughness.
上記目的は本発明によれば、被加工物と、工具の表面
に高分子のゲル状物質が付着されている研摩工具とを研
摩液中に配置し、前記研摩工具の被加工物に対する相対
的な運動により前記研摩液を被加工物の表面に衝突せし
めて研摩を行う、研摩方法によって達成され、 又、上記方法に使用される研摩工具として、工具の表
面に高分子のゲル状物質が付着されていることを特徴と
する、研摩工具が提供される。According to the present invention, the above-mentioned object is to arrange a work piece and a polishing tool having a polymer gel-like substance adhered to the surface of the tool in a polishing liquid, and to make the polishing tool relative to the work piece. This is achieved by a polishing method in which the polishing liquid is collided with the surface of the work piece by various movements to perform polishing, and as a polishing tool used in the above method, a polymeric gel substance adheres to the surface of the tool. An abrasive tool is provided which is characterized in that
以下、本発明に係る研摩方法及び研摩工具の実施例を
図面に基づいて具体的且つ詳細に説明する。Hereinafter, embodiments of a polishing method and a polishing tool according to the present invention will be described specifically and in detail with reference to the drawings.
研摩液は水をベースにしたものである。 The polishing fluid is water based.
第１図は本発明の研摩方法の一実施例を示す概略側面
図である。FIG. 1 is a schematic side view showing an embodiment of the polishing method of the present invention.
図において、12は本発明の研摩工具である。該研摩工
具12は円筒状の回転軸14を有する。該軸14の先端部に
は、材料がアルミニウムで構成され且つ多孔性を有する
多孔性アルミニウム球体16が接続固定されている。更
に、該球体16の外周には親水性のポリマーゲル18（例え
ば、ポリビニルピロリドンゲル）が付着されている。研
摩液は水をベースにしたものであるので、ポリマーゲル
としては親水性のものが適当である。In the figure, 12 is the polishing tool of the present invention. The polishing tool 12 has a cylindrical rotating shaft 14. A porous aluminum sphere 16 made of aluminum and having porosity is connected and fixed to the tip of the shaft 14. Further, a hydrophilic polymer gel 18 (for example, polyvinylpyrrolidone gel) is attached to the outer periphery of the sphere 16. Since the polishing liquid is based on water, a hydrophilic polymer gel is suitable.
又、図示する20は被加工物である。該被加工物20は研
摩工具12のアルミニウム球体16部及び親水性のポリマー
ゲル18と一緒に、研摩液22中に配置されている。該研摩
液22中には研摩砥粒が含まれている。Further, reference numeral 20 shown in the figure is a workpiece. The work piece 20 is placed in a polishing fluid 22 together with 16 parts of the aluminum spheres of the polishing tool 12 and the hydrophilic polymer gel 18. The polishing liquid 22 contains polishing abrasive grains.
そして、研摩液22の中でポリマーゲル18が付着されて
いる球体16を回転させ、周囲の研摩液22をつれ回りさせ
ることにより該研摩液22に必要な流速を与え、ポリマー
ゲル18を被加工物20の研摩加工したい部分に近づけるこ
とで、ポリマーゲル18と被加工物20の間に研摩液22の動
圧を得て、これにより研摩加工を行う。Then, the sphere 16 to which the polymer gel 18 is adhered in the polishing liquid 22 is rotated, and the surrounding polishing liquid 22 is swung around to give the polishing liquid 22 a required flow rate, and the polymer gel 18 is processed. By bringing the object 20 closer to the portion to be polished, a dynamic pressure of the polishing liquid 22 is obtained between the polymer gel 18 and the workpiece 20, and thereby the polishing is performed.
以上の様に、本実施例の研摩加工方法は基本的な加工
原理は従来例と同様である。違う点は研摩工具の先端部
に、親水性のポリマーゲルが設けられていることにあ
る。As described above, the polishing method of this embodiment has the same basic processing principle as that of the conventional example. The difference is that the tip of the polishing tool is provided with a hydrophilic polymer gel.
以下、上述の研摩方法において、親水性ポリマーゲル
が設けられている研摩工具を使用することの効果につい
て説明する。Hereinafter, the effect of using the polishing tool provided with the hydrophilic polymer gel in the above-described polishing method will be described.
第２図は本発明の研摩工具12を研摩液中で回転させた
ときの該工具の周囲における研摩液22のつれ回り速度を
示すグラフである。FIG. 2 is a graph showing the rolling speed of the polishing liquid 22 around the polishing tool 12 of the present invention when the polishing tool 12 is rotated in the polishing liquid.
第２図のグラフに示す様に、親水性のポリマーゲル層
は周囲の研摩液をつれ回りするので、研摩液のつれ回り
速度が中心のアルミニウム球体からゲル層分だけ移動し
たことと同じことになる。これはゲル層を中心球体とし
て考えないで済むことによるから。（また、ミクロ的に
もゲル層は架橋が極めてまばらなため、固体とはいえな
い。） その結果、中心球体（アルミニウム球体16）を被加工
物から十分離しても、能率を下げずに研摩加工をするこ
とが可能となる。又、このことにより、接触に対する安
全性が増す。As shown in the graph of FIG. 2, the hydrophilic polymer gel layer circulates around the polishing liquid, so the same as the movement speed of the polishing liquid moved from the center aluminum sphere by the gel layer. Become. This is because it is not necessary to consider the gel layer as a central sphere. (Also, microscopically, the gel layer has very sparse crosslinks, so it cannot be said to be a solid.) As a result, even if the central sphere (aluminum sphere 16) is sufficiently separated from the workpiece, polishing is not reduced It becomes possible to process. This also increases contact safety.
又、本実施例の様に、回転軸14の先端部に設けられる
球体の材料としてアルミニムウ製のものを用いた場合、
後述する様に該球体の加工精度を高くすることができ、
従って回転精度も向上させることができる。Further, as in the present embodiment, when the one made of aluminum is used as the material of the sphere provided at the tip of the rotary shaft 14,
As described later, the processing accuracy of the sphere can be increased,
Therefore, the rotation accuracy can be improved.
又、アルミニウム球体16の外周に設けられた親水性ポ
リマーゲル層18が被加工物20に接触しても、該被加工物
20にはキズがつかない。従って、流速の高い（即ち球体
16に近い）部分を使用できるので、加工能率が向上す
る。Further, even if the hydrophilic polymer gel layer 18 provided on the outer periphery of the aluminum sphere 16 comes into contact with the work piece 20, the work piece
20 is not scratched. Therefore, the flow velocity is high (ie sphere
(Close to 16) can be used, improving processing efficiency.
又、研摩液中の研摩剤（砥粒）として、シリカの極微
粉（粒径、数10Å）を使用すれば、ゲル層18中に研摩液
22が浸透し、一段と研摩液と加工球体の境界をあいまい
にすることができる。If ultrafine silica powder (particle size, several 10Å) is used as the abrasive (abrasive grain) in the polishing liquid, the polishing liquid will be contained in the gel layer 18.
22 penetrates and can further obscure the boundary between the polishing liquid and the processing sphere.
以上が本発明の研摩工具を使用した場合の効果の説明
である。The above is the description of the effect when the polishing tool of the present invention is used.
以下、本発明の研摩工具の製造方法の一例を、第３図
（ａ）〜（ｄ）を用いて説明する。Hereinafter, an example of the method for manufacturing the polishing tool of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 (a) to 3 (d).
第３図（ａ）に示す様に、工具軸30の先端部にエポキ
シ接着などにより多孔性のアルミニウム材32を固着す
る。そして、第３図（ｂ）に示す様に、該アルミニウム
材32を切削加工により球面にする。As shown in FIG. 3A, a porous aluminum material 32 is fixed to the tip of the tool shaft 30 by epoxy bonding or the like. Then, as shown in FIG. 3B, the aluminum material 32 is cut into a spherical surface.
この様にされた研摩工具を第３図（ｃ）に示す様なモ
ールド型34（上下）に、軸基準で挾持し、第３図（ｄ）
に示す様に、親水性のモノマー溶液36を注入して重合さ
せる。The thus-prepared polishing tool is held by a mold 34 (upper and lower) as shown in FIG. 3 (c) on the basis of the axis, and FIG. 3 (d) is shown.
As shown in, the hydrophilic monomer solution 36 is injected and polymerized.
親水性のポリマーゲルとしては、親水性ポリマーに架
橋構造を付与したものが用いられる。該親水性ポリマー
は、これを構成するモノマーの主要部分が親水性モノマ
ー単位より成るポリマーである。このような親水性モノ
マー単位を例示するならば、非イオン性の親水性モノマ
ー単位としては、例えばアクリルアミド、メタクリルア
ミド、N,N−ジメチルアクリルアミド等のアクリルアミ
ド類、Ｎ−ビニルホルムアミド、Ｎ−ビニルアセトアミ
ド、Ｎ−ビニルピロリドン等のＮ−ビニルアミド類、メ
チルビニルエーテル、エチレンオキシド等のエーテル
類、ヒドロキシエチルメタクリレート、ビニルアルコー
ル等のアルコール類などを挙げる事ができる。As the hydrophilic polymer gel, one obtained by imparting a crosslinked structure to a hydrophilic polymer is used. The hydrophilic polymer is a polymer in which the main part of the monomer constituting the hydrophilic polymer is a hydrophilic monomer unit. To exemplify such a hydrophilic monomer unit, examples of the nonionic hydrophilic monomer unit include acrylamides such as acrylamide, methacrylamide, N, N-dimethylacrylamide, N-vinylformamide, N-vinylacetamide. , N-vinylamides such as N-vinylpyrrolidone, ethers such as methyl vinyl ether and ethylene oxide, and alcohols such as hydroxyethyl methacrylate and vinyl alcohol.
また、アニオン性の親水性モノマー単位としては例え
ば、アクリル酸、メタクリル酸、ビニル酢酸、マレイン
酸、Ｎ−カルボキシメチルアクリルアミド等のカルボン
酸類、スチレンスルホン酸、ビニルスルホン酸、２−ア
クリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸等のスル
ホン酸類などを挙げることができる。Examples of the anionic hydrophilic monomer unit include acrylic acid, methacrylic acid, vinylacetic acid, maleic acid, carboxylic acids such as N-carboxymethylacrylamide, styrenesulfonic acid, vinylsulfonic acid, and 2-acrylamido-2-methyl. Examples thereof include sulfonic acids such as propanesulfonic acid.
また、カチオン性の親水性モノマー単位としては例え
ば、ジメチルアミノエチルメタクリレート、ジメチルア
ミノプロピルメタクリルアミド、アリルアミン、エチレ
ンイミン、ビニルピリジン等のアミン類や、トリメチル
−Ｎ−アクリロイル−３−アミノプロピルアンモニウム
クロライド、メタクリロイルオキシエチルトリメチルア
ンモニウムクロライド等のアンモニウム塩類を挙げる事
ができる。Examples of the cationic hydrophilic monomer unit include amines such as dimethylaminoethyl methacrylate, dimethylaminopropyl methacrylamide, allylamine, ethyleneimine, and vinylpyridine, trimethyl-N-acryloyl-3-aminopropylammonium chloride, Examples thereof include ammonium salts such as methacryloyloxyethyltrimethylammonium chloride.
必要に応じて２種以上の親水性モノマー単位を有する
親水性ポリマーを用いてもよい。If necessary, a hydrophilic polymer having two or more kinds of hydrophilic monomer units may be used.
親水性ポリマーへの架橋構造の付与には、従来公知の
架橋方法を用いることができるが、例示するならば、親
水性高分子を構成するモノマーと架橋性モノマーとを共
存させて高分子化反応を行うことにより高分子合成と同
時に架橋を形成させる方法や、あらかじめ調製した高分
子に架橋剤や輻射線を作用させる方法が挙げられる。A conventionally known cross-linking method can be used for imparting a cross-linking structure to the hydrophilic polymer, but, for example, a monomer for forming a hydrophilic polymer and a cross-linking monomer are allowed to coexist in a polymerization reaction. The method of forming a crosslink at the same time as the synthesis of the polymer by carrying out the above, and the method of acting a crosslinking agent or radiation on the polymer prepared in advance.
上述の架橋性モノマーとしては、例えば、N,N′−メ
チレンビスアクリルアミド、エチレングリコールジメタ
クリレート、グリシジルメタクリレート、Ｎ−メチロー
ルアクリルアミド、Ｎ−メトキシメチルアクリルアミド
等を挙げることができる。また、上述の架橋剤としては
例えば、ホルムアルデヒド、グルタルアルデヒド、塩化
シアヌル、ブタジエンジエポキシド等を挙げる事ができ
る。また、輻射線としては、紫外線、γ線等を用いる事
ができる。Examples of the above-mentioned crosslinkable monomer include N, N'-methylenebisacrylamide, ethylene glycol dimethacrylate, glycidyl methacrylate, N-methylolacrylamide, N-methoxymethylacrylamide and the like. Examples of the above-mentioned cross-linking agent include formaldehyde, glutaraldehyde, cyanuric chloride, butadiene diepoxide and the like. Further, as the radiation rays, ultraviolet rays, γ rays and the like can be used.
本例ではビニルピロリドン５％水溶液（水溶性モノマ
ー）に、架橋剤としてN,N′メチレンビスアクリルアミ
ドを0.2％加え、適当な重合開始剤（ラジカル開始剤）
を加え、ただちにモールド型に注入する。In this example, 0.2% of N, N'methylenebisacrylamide as a cross-linking agent was added to a 5% aqueous solution of vinylpyrrolidone (water-soluble monomer) to prepare a suitable polymerization initiator (radical initiator).
And then immediately pour into the mold.
その後、適当な温度に加熱して重合を開始する。する
と、第４図に示す様に、アルミ多孔体40の空孔中にもモ
ノマー42が浸入して重合を開始するので、出来上がった
ゲル44は強固に球体表面46に付着されている。Then, it is heated to an appropriate temperature to start the polymerization. Then, as shown in FIG. 4, the monomer 42 penetrates into the pores of the aluminum porous body 40 to initiate polymerization, so that the finished gel 44 is firmly attached to the spherical surface 46.
又、ゲル外面の球精度はモールド型精度で決まるの
で、比較的精度は良い。Further, the accuracy of the sphere on the outer surface of the gel is relatively good because it is determined by the accuracy of the mold.
次に、この様に製造された研摩工具の実際の使用例
を、第５図に示す。Next, FIG. 5 shows an example of actual use of the polishing tool thus manufactured.
第５図は本発明の研摩方法を実施するための研摩装置
の一実施例を示す概略構成図である。FIG. 5 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of a polishing apparatus for carrying out the polishing method of the present invention.
第５図において、50は基台であり、該基台上には該基
台に対し相対的にｙ方向に往復移動可能なｙテーブル52
が取付けられている。54は該ｙテーブルの移動を駆動す
るためのモータであり、該モータにはエンコーダ56が付
設されており、該エンコーダにより上記ｙテーブルのｙ
方向移動量が検出される。ｙテーブル52上には該ｙテー
ブルに対しｘ方向に相対的に往復移動可能なｘテーブル
58が取付けられている。60は該ｘテーブルの移動を駆動
するためのモータであり、該モータにはエンコーダ62が
付設されており、該エンコーダにより上記ｘテーブルの
ｘ方向移動量が検出される。In FIG. 5, reference numeral 50 designates a base, on which a y table 52 which is reciprocally movable in the y direction relative to the base.
Is installed. Reference numeral 54 is a motor for driving the movement of the y table, and an encoder 56 is attached to the motor, and the y of the y table is moved by the encoder.
The amount of directional movement is detected. On the y table 52, an x table capable of reciprocating relative to the y table in the x direction.
58 is installed. Reference numeral 60 denotes a motor for driving the movement of the x table. The motor is provided with an encoder 62, and the encoder detects the x direction movement amount of the x table.
該ｘテーブル58上には研摩槽64が固設されている。該
研摩槽中には支持体66が固定されており、該支持体には
軸68により被研摩物保持体70が取付けられている。該保
持体はＬ字形状をなしており、その垂直面部分に軸68が
接続されている。該軸はｙ方向を向いていて、従って保
持体70はｙ方向のまわりに回動可能である。上記支持体
66にはモータ72が取付けられており、その駆動回転軸は
上記軸68に結合されている。A polishing tank 64 is fixedly mounted on the x table 58. A support 66 is fixed in the polishing tank, and an object-to-be-polished support 70 is attached to the support by a shaft 68. The holder is L-shaped, and a shaft 68 is connected to the vertical surface portion of the holder. The axis is oriented in the y-direction, so that the holder 70 is rotatable about the y-direction. The above support
A motor 72 is attached to 66, and its drive rotating shaft is connected to the shaft 68.
一方、上記ｘテーブル58には上記研摩槽64の外側に支
持体74が固定されている。該支持体には上下方向即ちｚ
方向のガイド76が形成されており、該ガイドに沿って上
下方向に往復移動可能な様に研摩工具保持体78が取付け
られている。該保持体にはｘ方向のまわりに回動可能な
様にモータ80が支持されている。該モータ80の回転軸82
の下端には親水性のポリマーゲル層84が設けられてい
る。上記保持体78にはモータ86が取付けられており、そ
の駆動回転軸は上記モータ80に接続されていて、該モー
タ80のｘ方向のまわりの回動を駆動することができる。
88は上記保持体78をガイド76に沿って上下方向に移動さ
せるための駆動手段たるエアーシリンダであり、該エア
ーシリンダのロッド90の先端が保持体78と連結されてい
る。On the other hand, a support 74 is fixed to the outside of the polishing tank 64 on the x-table 58. The support has a vertical direction, that is, z
A direction guide 76 is formed, and a polishing tool holder 78 is attached so as to be reciprocally movable in the vertical direction along the guide. A motor 80 is supported on the holder so as to be rotatable in the x direction. Rotating shaft 82 of the motor 80
A hydrophilic polymer gel layer 84 is provided at the lower end of the. A motor 86 is attached to the holding body 78, and its drive rotation shaft is connected to the motor 80 so that the rotation of the motor 80 around the x direction can be driven.
Reference numeral 88 denotes an air cylinder which is a driving means for moving the holding body 78 in the vertical direction along the guide 76, and the tip of the rod 90 of the air cylinder is connected to the holding body 78.
92は制御装置であり、上記エンコーダ56,62からのｙ
テーブル移動量及びｘテーブル移動量が該制御装置92に
入力され、更に上記モータ54,60,72,80,86,及びエアー
シリンダ88又はモータが該制御装置92からの指令により
駆動される。Reference numeral 92 is a control device, which is the y from the encoders 56 and 62.
The table movement amount and the x-table movement amount are input to the control device 92, and the motors 54, 60, 72, 80, 86, and the air cylinder 88 or the motor are driven by a command from the control device 92.
上記研摩装置を用いて研摩を行なう際には、保持体70
上に被研摩物100を載置固定する。該被研摩物は前加工
により所定の表面粗さ及び形状に仕上げられている。本
実施例においては被研摩物100の被研摩面の形状は凹ト
ーリック面とされている。When carrying out polishing with the above polishing apparatus, the holder 70
Place and fix the object to be polished 100 on top. The object to be polished has a predetermined surface roughness and shape by pre-processing. In this embodiment, the shape of the surface to be polished of the object to be polished 100 is a concave toric surface.
又、研摩槽64中には研摩液102が適宜の量だけ注入さ
れている。Further, the polishing liquid 102 is injected into the polishing tank 64 in an appropriate amount.
そして上述の研摩装置において、研摩工具を図示する
Ａ回り方向に回転させて、研摩液102をつれ回りよって
流速を与えることにより、被研摩物100の表面を研摩す
る。Then, in the above-described polishing apparatus, the surface of the object to be polished 100 is polished by rotating the polishing tool in the direction A shown in the drawing to circulate the polishing liquid 102 to give a flow velocity.
又、本発明の他の実施例として、研摩工具の球体の部
分は必ずしも球体である必要はなく、半球あるいはその
他の形状のものであっても良い。Further, as another embodiment of the present invention, the spherical portion of the polishing tool does not necessarily have to be a spherical body, but may be a hemisphere or another shape.
又、球体の中心部となるものはアルミニウム製の多孔
体である必要はない。Further, the central part of the sphere does not have to be a porous body made of aluminum.
又、ゲルは研摩液が水ベースのときは親水性高分子で
あれば他のものでも良い。Further, the gel may be any other one as long as it is a hydrophilic polymer when the polishing liquid is water-based.
高調波変換素子として使用するKDP単結晶（KH2PO4）
は潮解性（水分を吸収して溶解する）があるので水系の
研摩液を使用できない。そこで、ポリマーが炭化水素系
のモノマー単位よりなる非親水性のポリマーに架橋構造
を付与した非親水性のゲルたとえばスチレンブタジエン
ラバー、イソプレンラバー、イソブテンラバーなどを単
独もしくは共重合させて得られるポリマーを、鉱物油ベ
ースの研摩液中で十分にゲルとして膨潤させて、本発明
で得られる工具として使用することができる。KDP single crystal (KH 2 PO 4 ) used as a harmonic conversion element
Is deliquescent (it absorbs water and dissolves), so an aqueous polishing liquid cannot be used. Therefore, a polymer obtained by homopolymerizing or copolymerizing a non-hydrophilic gel in which a polymer is a non-hydrophilic polymer composed of a hydrocarbon-based monomer unit with a cross-linking structure such as styrene butadiene rubber, isoprene rubber, or isobutene rubber is used. The gel can be sufficiently swollen as a gel in a mineral oil-based polishing liquid and used as a tool obtained in the present invention.
本発明では、研摩液の種類により高分子のゲル状物質
の組成を選択できるので、研摩液の適用範囲が広いとい
う特徴もある。The present invention is also characterized in that the range of application of the polishing liquid is wide because the composition of the polymer gel substance can be selected depending on the type of the polishing liquid.
以上詳細且つ具体的に説明した様に、本発明によれ
ば、研摩液のつれ回りの効率を上げることができるの
で、高精度な表面形状の形成能力と、非常に良好な表面
粗さを得ることが可能となる。As described above in detail and concretely, according to the present invention, the efficiency of the polishing liquid can be increased, so that a highly accurate surface shape forming ability and a very good surface roughness can be obtained. It becomes possible.
第１図は本発明の研摩方法の一実施例を示す概略側面
図、第２図は本発明によるつれ回り速度を示すグラフ、
第３図（ａ）〜（ｄ）は本発明の研摩工具の製造方法を
説明するための図、第４図は本発明の研摩工具の拡大断
面図、第５図は本発明による研摩装置の一実施例を示す
概略構成図、第６図は従来の研摩方法を示す概略側面
図、第７図は従来例によるつれ回り速度を示すグラフで
ある。 12……研摩工具 16……多孔性アルミニウム球体 18……親水性ポリマーゲル層 20……被加工物 22……研摩液FIG. 1 is a schematic side view showing an embodiment of the polishing method of the present invention, and FIG. 2 is a graph showing the rolling speed according to the present invention.
3 (a) to 3 (d) are views for explaining the method for manufacturing the polishing tool of the present invention, FIG. 4 is an enlarged sectional view of the polishing tool of the present invention, and FIG. 5 is a drawing of the polishing apparatus of the present invention. FIG. 6 is a schematic constitutional view showing one embodiment, FIG. 6 is a schematic side view showing a conventional polishing method, and FIG. 7 is a graph showing a rolling speed according to a conventional example. 12 ... Abrasive tool 16 ... Porous aluminum sphere 18 ... Hydrophilic polymer gel layer 20 ... Workpiece 22 ... Abrasive liquid
Claims (1)
物質が付着されている研摩工具とを研摩液中に配置し、
前記研摩工具の被加工物に対する相対的な運動により前
記研摩液を被加工物の表面に衝突せしめて研摩を行う、
研摩方法。1. A work piece and a polishing tool having a polymeric gel substance attached to the surface of the tool are placed in a polishing liquid,
Polishing is performed by causing the polishing liquid to collide with the surface of the workpiece by the relative movement of the polishing tool with respect to the workpiece,
Polishing method.
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62062610A JPH0818240B2 (en) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | Polishing method and tool |
| US07/169,060 US4974368A (en) | 1987-03-19 | 1988-03-16 | Polishing apparatus |
| US07/569,386 US4999954A (en) | 1987-03-19 | 1990-08-15 | Polishing apparatus |
| US08/157,440 US5347763A (en) | 1987-03-19 | 1993-11-26 | Polishing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62062610A JPH0818240B2 (en) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | Polishing method and tool |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63232949A JPS63232949A (en) | 1988-09-28 |
| JPH0818240B2 true JPH0818240B2 (en) | 1996-02-28 |
Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0818240B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5700604B1 (en) * | 2014-03-20 | 2015-04-15 | 西部自動機器株式会社 | Processing head moving device |
| JP6259902B2 (en) * | 2016-12-26 | 2018-01-10 | 富士紡ホールディングス株式会社 | Polishing tool |
-
1987
- 1987-03-19 JP JP62062610A patent/JPH0818240B2/en not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JPS63232949A (en) | 1988-09-28 |
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