JPH081886B2 - レジスト吐出ノズル - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、被処理物の表面にレジストを塗布するレジ
スト塗布装置に装着されるレジスト吐出ノズルに関す
る。

（従来の技術） 一般に、被処理物にレジスト塗布を行う装置では、被
処理物の表面にレジストを所定量滴下するためのレジス
ト吐出ノズルが設けられている。

第４図は、このような従来のレジスト吐出ノズルの一
例として、半導体ウエハにレジストを塗布しこれを現像
する現像装置等に備えられるレジスト吐出ノズルを示す
もので、ノズル本体１は、例えばSUS316等のステレンス
鋼やPTFE等からなる管で、例えば外径3mm、内径2mmで、
長さは例えば500mm程度に形成されている。

ノズル本体１はレジスト供給管２によりレジスト供給
部３と接続されており、例えばノボラック系フォトレジ
ストがこのレジスト供給部３から予め定められた所定
量、例えば６インチウエハで３〜5cc送られて供給管２
内を通りノズル本体１先端部より吐出される。

一方、ノズル本体１の下方には、これと対向して半導
体ウエハ４を載置した回転台５が配設されており、半導
体ウエハ４上に滴下されたレジストが回転台５の回転
（例えば1000rpm）による遠心力で半導体ウエハ表面に
均一に分散するように構成されている。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上述した従来のレジスト吐出ノズルで
は、レジスト滴下後にレジスト吐出口即ち、ノズル先端
部表面1aにレジストがその表面張力により残留してしま
い、この残留したレジストにより次回のウエハ処理時に
レジストの塗布ムラが発生するという問題があった。

即ち、ノズル先端部表面1aの残留したレジスト６は徐
々に乾燥し、例えばノボラック系フォトレジストでは正
常時20cp〜100cpの粘度が乾燥により例えば500cp程度ま
で高くなる。そして次の作業時にこの高粘度のレジスト
がレジスト液滴内に混入することにより、レジスト液滴
中の粘度分布が不均一となるため、半導体ウエハ表面上
におけるレジストの分散が均一とならず、レジストの塗
布ムラを発生させてしまう。

また、残留したレジスト６に塵埃が付着し、これが半
導体ウエハ４に付着して歩留りを抵下させる原因になる
という問題もあった。

本発明は上述した問題点を解決するためになされたも
ので、ノズル先端表面のレジストの残留量を少なくする
ことにより、レジストの塗布ムラを減少し、さらに歩留
りの向上が図れるレジスト吐出ノズルを提供することを
目的とする。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 本発明のレジスト吐出ノズルは、管体の先端部に吐出
口を有し、該吐出口から被処理物にレジスト液を吐出す
るレジスト吐出ノズルにおいて、 前記管体先端部表面の肉厚を他の部分の肉厚よりも薄
く構成するとともに、前記ノズルの少なくとも先端部の
内径を、他の部分の内径よりも細くしたことを特徴とす
るものである。

（作用） レジスト吐出ノズルの先端部表面の肉厚を薄くすると
ともに、ノズルの少なくとも先端部の内径を、他の部分
の内径よりも細くすることにより、該先端部に残留する
レジストが減少するので、レジストの塗布ムラを防止で
き、また、ノズル先端部表面に残留するレジストが少な
いので、残留レジストに付着した塵埃による歩留りの低
下も防止できる。

（実施例） 以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明
する。まず、比較のため第２図を参照して従来のレジス
ト吐出ノズルの構成を詳細に説明する。

ノズル本体７は、その先端部の外径が細くなった段付
き細円筒状の管で、例えばSUS316等のステンレス鋼やPT
FE等からなり、例えば長さ500mm、例えば太管部7aの外
径が3mm、細管部7bの外径が2.5mm、内径が1.5mmで、細
管部7bの長さが例えば10mmに形成されている。

さらにレジスト吐出口即ちノズル先端部表面7cは、レ
ジストの付着量を少なくするため、平滑面に形成されて
いる。

このようにノズル先端部表面7cの肉厚を薄くすること
により、レジスト吐出後におけるノズル先端部表面7cに
残留するレジスト量が減少するので、次作業において高
粘度のレジストのレジスト液滴中への混入量を少なくす
ることができる。従って、レジスト液滴中の粘度分布を
一定に保てるので、半導体ウエハ上におけるレジストの
分散が均一となり、レジストの塗布ムラを減少させるこ
とができる。

また、ノズル先端部表面7cに残留するレジストが少な
いので、残留レジストに付着した塵埃による歩留りの低
下も防止できる。

また他の従来例として第３図に示すように、ノズル本
体７の太管部7aと細管部7bとの段付き部7dをテーパー状
に形成したものもある。このように段付き部7dをテーパ
ー状とすれば、ノズル製作時における加工性が向上し、
さらに段付き部7dの曲げ強度を大きくすることができ
る。

そして、第１図に示すように、本発明の実施例では、
ノズル本体７を先端部に向って先窄み状に形成すること
によって、ノズル本体７先端部表面の肉厚を他の部分の
肉厚よりも薄く構成し、かつ、外径のみならず内径も、
ノズル本体７先端部が他の部分よりも細くなるよう構成
されている。この場合、先端をナイフエッジ状にしても
よい。

このように本発明では、ノズル先端部の肉厚が薄く、
かつ、ノズルの先端部の内径が他の部分の内径より細く
なっているので、前述した従来例に比べてノズル先端部
のレジストの残流量が少なくなり、次作業におけるレジ
スト液滴中への残留レジストの混入が減少し、レジスト
の塗布ムラを防止することができる。また、ノズル先端
部表面に残留するレジストが少ないので、残留レジスト
に付着した塵埃による歩留りの低下も防止できる。

なお、ノズル先端部表面における外径と内径間の肉厚
が薄くなり、かつ、先端部の内径が他の部分よりも細く
なるよう構成されていればどのような形状でもよい。ま
た、ノズル先端部表面を平滑面とすればレジストが付着
し難くさらに効果的である。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明のレジスト吐出ノズルによ
れば、ノズル先端部の肉厚が薄く、かつ、ノズルの少な
くとも先端部の内径が他の部分の内径よりも細くなって
いるので、ノズル先端部のレジストの残流量が少なくな
り、次作業におけるレジスト液滴中への残留レジストの
混入が減少し、レジストの塗布ムラを防止することがで
きる。

また、ノズル先端部表面に残留するレジストが少ない
ので、残留レジストに付着した塵埃による歩留りの低下
も防止できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による実施例のレジスト吐出ノズルを示
す一部断面図、第２図は従来のレジスト吐出ノズルを示
す一部断面図、第３図は従来のレジスト吐出ノズルを示
す一部断面図、第４図は従来のレジスト吐出ノズルを示
す一部断面図である。 ７……ノズル本体、7a……太管部、7b……細管部、7c…
…ノズル先端部表面、7d……テーパー部。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】管体の先端部に吐出口を有し、該吐出口か
   ら被処理物にレジスト液を吐出するレジスト吐出ノズル
   において、 前記管体先端部表面の肉厚を他の部分の肉厚よりも薄く
   構成するとともに、前記ノズルの少なくとも先端部の内
   径を、他の部分の内径よりも細くしたことを特徴とする
   レジスト吐出ノズル。
2. 【請求項２】管体先端部表面が平滑面に構成されている
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレジスト
   吐出ノズル。
3. 【請求項３】前記ノズルの先端部をナイフエッジ状に構
   成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレ
   ジスト吐出ノズル。
4. 【請求項４】前記ノズルの先端部の外径が、他の部分の
   外径よりも細くなったことを特徴とする特許請求の範囲
   第２項記載のレジスト吐出ノズル。