JPH0823488B2 - 変位量検出回路とこの回路を用いた変動量制御回路 - Google Patents
変位量検出回路とこの回路を用いた変動量制御回路Info
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- JPH0823488B2 JPH0823488B2 JP63035829A JP3582988A JPH0823488B2 JP H0823488 B2 JPH0823488 B2 JP H0823488B2 JP 63035829 A JP63035829 A JP 63035829A JP 3582988 A JP3582988 A JP 3582988A JP H0823488 B2 JPH0823488 B2 JP H0823488B2
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、車両の走行中の車体姿勢制御やホログラフ
ィーセット、電子顕微鏡、半導体製造機器など超精密測
定装置などの製造装置を載置する精密定盤のレベルなど
の変位量をたちどころに正確に検出する変位量検出回路
と、床面から極微細振動が伝わる事を防止乃至軽減して
機器の精度を維持・向上させるための変動量制御回路に
前記検出回路を組み込んだ新規な制御回路に関する。
ィーセット、電子顕微鏡、半導体製造機器など超精密測
定装置などの製造装置を載置する精密定盤のレベルなど
の変位量をたちどころに正確に検出する変位量検出回路
と、床面から極微細振動が伝わる事を防止乃至軽減して
機器の精度を維持・向上させるための変動量制御回路に
前記検出回路を組み込んだ新規な制御回路に関する。
（従来の技術とその問題点） 従来の変位量検出回路は、例えばエンコーダを用いて
変動量を検出する場合を例に取って説明すれば、基準面
にエンコーダの基準スケールを取り付け、移動側にエン
コーダの移動スケールを取付て基準スケールの零点から
の移動スケールの相対移動量をパルスとしてエンコーダ
から発生させ、このパルス数をカウントして移動量の検
出を行っていた。この場合、移動量の検出精度や分解能
はパルスモータの機械的精度や機械的構造に依存するた
め限界があると言う問題点があり、精度向上を計ればエ
ンコーダ自体が大きくなると言う問題も発生し、又、移
動量の検出もエンコーダの容量に制限されると言う点に
も問題があった。
変動量を検出する場合を例に取って説明すれば、基準面
にエンコーダの基準スケールを取り付け、移動側にエン
コーダの移動スケールを取付て基準スケールの零点から
の移動スケールの相対移動量をパルスとしてエンコーダ
から発生させ、このパルス数をカウントして移動量の検
出を行っていた。この場合、移動量の検出精度や分解能
はパルスモータの機械的精度や機械的構造に依存するた
め限界があると言う問題点があり、精度向上を計ればエ
ンコーダ自体が大きくなると言う問題も発生し、又、移
動量の検出もエンコーダの容量に制限されると言う点に
も問題があった。
又、従来の変動量制御回路は単に床面から伝わった被
測定物の外乱を検出して駆動回路に外乱に対応した信号
を送り、外乱制御を行っていただけであって、車体や定
盤上の荷重変動や重心移動によるレベル変化に対応する
と言うような対策はなかった。
測定物の外乱を検出して駆動回路に外乱に対応した信号
を送り、外乱制御を行っていただけであって、車体や定
盤上の荷重変動や重心移動によるレベル変化に対応する
と言うような対策はなかった。
（発明の目的） 本発明はかかる従来例の欠点に鑑みて為されたもの
で、その目的とする処は物体の変位量を総て電気的にカ
ウントする事が出来て検出精度や分解能を非常に高く取
る事が出来るだけでなく、装置の容積も非常にコンパク
トにする事が出来る変位量検出回路とこの変位量検出回
路を利用する事により、外乱の制御だけでなく荷重変動
や重心移動にも対応する事の出来る変動量制御回路を提
供するにある。
で、その目的とする処は物体の変位量を総て電気的にカ
ウントする事が出来て検出精度や分解能を非常に高く取
る事が出来るだけでなく、装置の容積も非常にコンパク
トにする事が出来る変位量検出回路とこの変位量検出回
路を利用する事により、外乱の制御だけでなく荷重変動
や重心移動にも対応する事の出来る変動量制御回路を提
供するにある。
（問題点を解決するための手段） 本発明は、係る従来技術の問題点を解決するために第
１項では； 機器の基準位置からの変位量δを検出するレベルセン
サ（11）と、 機器の基準位置を基準電圧として設定する基準電圧設
定器（13）と、 レベルセンサ（11）からの変位電圧と基準電圧設定器
（13）からの基準電圧とを比較してその差分を出力する
比較器（14）と、 比較器（14）から差分として出力される変位信号電圧
の発生期間中内部クロックに合わせて一定のパルスを発
生する変位パルス発生器（２）と、 前記変位パルスを加算して変位量をデジタル量で把握
する加算器（３）とで変位量検出回路（Ａ）を構成す
る。
１項では； 機器の基準位置からの変位量δを検出するレベルセン
サ（11）と、 機器の基準位置を基準電圧として設定する基準電圧設
定器（13）と、 レベルセンサ（11）からの変位電圧と基準電圧設定器
（13）からの基準電圧とを比較してその差分を出力する
比較器（14）と、 比較器（14）から差分として出力される変位信号電圧
の発生期間中内部クロックに合わせて一定のパルスを発
生する変位パルス発生器（２）と、 前記変位パルスを加算して変位量をデジタル量で把握
する加算器（３）とで変位量検出回路（Ａ）を構成す
る。
と言う技術的手段を採用し、第２項では、 床面や機器等の振動源（４）による被測定物の振動量
を加速度として検出する振動検出回路（５）と、 振動検出回路（５）からの変動入力信号を変動検出信
号として出力する演算回路（６）と、 変動検出信号の位相を180゜反転させる位相反転器
（７）と、 位相反転器（７）から出力された反転信号と第１項の
変位量検出回路（Ａ）の加算器（３）から出力され、Ｄ
−Ａ変換器（15）にてアナログ信号に変換された被測定
物のレベル変位信号とを加算するレベル変動分加算器
（８）と、 レベル変動分加算器（８）からの加算変動信号に合わ
せて駆動信号を発生する駆動回路（９）とで変動量制御
回路（Ｂ）を構成する。
を加速度として検出する振動検出回路（５）と、 振動検出回路（５）からの変動入力信号を変動検出信
号として出力する演算回路（６）と、 変動検出信号の位相を180゜反転させる位相反転器
（７）と、 位相反転器（７）から出力された反転信号と第１項の
変位量検出回路（Ａ）の加算器（３）から出力され、Ｄ
−Ａ変換器（15）にてアナログ信号に変換された被測定
物のレベル変位信号とを加算するレベル変動分加算器
（８）と、 レベル変動分加算器（８）からの加算変動信号に合わ
せて駆動信号を発生する駆動回路（９）とで変動量制御
回路（Ｂ）を構成する。
；と言う技術的手段を採用している。
（作 用） 変位量検出回路（Ａ）に付いて概略説明する。まず、
レベルセンサ（11）、基準電圧設定器（13）並びに比較
器（14）とで構成される変位量センシング部（１）にて
車体や機器などの被測定物のレベルなど変位量を検出
し、この変位量に合わせてアナログの変位信号電圧を発
生する。
レベルセンサ（11）、基準電圧設定器（13）並びに比較
器（14）とで構成される変位量センシング部（１）にて
車体や機器などの被測定物のレベルなど変位量を検出
し、この変位量に合わせてアナログの変位信号電圧を発
生する。
このアナログ変位信号電圧は変位パルス発生器（２）
に入力するが、変位パルス発生器（２）内の内部クロッ
クに合わせて変位信号電圧の発生期間中一定のパルスが
変位パルス発生器（２）から発生される。
に入力するが、変位パルス発生器（２）内の内部クロッ
クに合わせて変位信号電圧の発生期間中一定のパルスが
変位パルス発生器（２）から発生される。
前記変位パルスは続いて加算器（３）に入力され、加
算器（３）で入力パルス数がカウントされた後、変位信
号として出力される。これにより、変位量がデジタル量
として把握される事になる。
算器（３）で入力パルス数がカウントされた後、変位信
号として出力される。これにより、変位量がデジタル量
として把握される事になる。
次に、この変位量検出回路（Ａ）を用いた変動量制御
回路（Ｂ）の概略に付いて説明する。床面や機器等の振
動源（４）による被測定物の振動量を加速度として振動
検出回路（５）にて検出する。
回路（Ｂ）の概略に付いて説明する。床面や機器等の振
動源（４）による被測定物の振動量を加速度として振動
検出回路（５）にて検出する。
振動検出回路（５）からの変動入力信号に合わせてア
ナログの変動検出信号を演算回路（６）から出力する。
ナログの変動検出信号を演算回路（６）から出力する。
この変動検出信号の位相を位相反転器（７）で180゜
反転させる。
反転させる。
位相反転器（７）から出力された反転信号と前記加算
器（３）から出力された、Ｄ−Ａ変換器（15）にてアナ
ログ信号に変換されたレベル変位信号とをレベル変動分
加算器（８）にて加算して外乱制御だけでなくレベル補
正も行う。
器（３）から出力された、Ｄ−Ａ変換器（15）にてアナ
ログ信号に変換されたレベル変位信号とをレベル変動分
加算器（８）にて加算して外乱制御だけでなくレベル補
正も行う。
補正された加算変動信号を駆動回路（９）に入力し、
駆動回路（９）から制御機構にレベル補正のされた外乱
制御駆動信号を出力する。
駆動回路（９）から制御機構にレベル補正のされた外乱
制御駆動信号を出力する。
（実 施 例） 本発明の説明に当たって、まず、変位量検出回路
（Ａ）に付いて説明し、続いて変動量制御回路（Ｂ）に
付いて説明し、最後にこれらを組み込んだ精密定盤
（Ｃ）を例に取って説明する。
（Ａ）に付いて説明し、続いて変動量制御回路（Ｂ）に
付いて説明し、最後にこれらを組み込んだ精密定盤
（Ｃ）を例に取って説明する。
A.変位量検出回路（Ａ）の一例 変位量検出回路（Ａ）は、例えばレベルセンサ（11）
のような基準位置からの被測定物の変位量を検出するセ
ンサに接続された変位量増幅器（12）、基準電圧設定器
（13）及び比較器（14）とで構成された変位量センシン
グ部（１）と、変位パルス発生器（２）、変位量検出用
加算器（３）とで構成されている。レベルセンサ（11）
は例えば定盤（Ｃ）のようなものに負荷（Ｄ）を懸けた
場合に定盤（Ｃ）の沈み量を検出し、検出量に対応した
検出信号電圧を発生するものである。ここで、変位量を
δで表す。この検出信号電圧は変位量増幅器（12）を通
って所定倍率で増幅され、比較器（14）に入力する。こ
の比較器（14）には基準電圧設定器（13）も接続されて
おり、前述の増幅された検出信号電圧は基準電圧と比較
され、基準を越えている場合または下回っている場合に
比較器（14）から変位信号電圧として出力され、次の変
位パルス発生器（２）に入力される。変位パルス発生器
（２）は内部クロックに合わせて変位信号電圧の発生期
間中一定のパルスを発出力し続ける。この変位パルスは
次の加算器（３）に入力して順次加算され、変位量がデ
ジタル量として把握される。この変位量は段階状のデジ
タル信号として出力され、次のD/A変換器（15）に入力
した後、滑らかな変位アナログ信号として出力され、必
要ならば次のレベル変動分加算器（８）に入力する。
のような基準位置からの被測定物の変位量を検出するセ
ンサに接続された変位量増幅器（12）、基準電圧設定器
（13）及び比較器（14）とで構成された変位量センシン
グ部（１）と、変位パルス発生器（２）、変位量検出用
加算器（３）とで構成されている。レベルセンサ（11）
は例えば定盤（Ｃ）のようなものに負荷（Ｄ）を懸けた
場合に定盤（Ｃ）の沈み量を検出し、検出量に対応した
検出信号電圧を発生するものである。ここで、変位量を
δで表す。この検出信号電圧は変位量増幅器（12）を通
って所定倍率で増幅され、比較器（14）に入力する。こ
の比較器（14）には基準電圧設定器（13）も接続されて
おり、前述の増幅された検出信号電圧は基準電圧と比較
され、基準を越えている場合または下回っている場合に
比較器（14）から変位信号電圧として出力され、次の変
位パルス発生器（２）に入力される。変位パルス発生器
（２）は内部クロックに合わせて変位信号電圧の発生期
間中一定のパルスを発出力し続ける。この変位パルスは
次の加算器（３）に入力して順次加算され、変位量がデ
ジタル量として把握される。この変位量は段階状のデジ
タル信号として出力され、次のD/A変換器（15）に入力
した後、滑らかな変位アナログ信号として出力され、必
要ならば次のレベル変動分加算器（８）に入力する。
尚、レベルセンサ（11）の容量を越えるような過大な
変位量に対しても回路構成が前述のようになっているの
で、基準電位から変位量検出電位が外れている以上パル
ス数のカウントが続き、その後、移動側がホームポジシ
ョンに復帰し、変位量が零となって始めてパルス数のカ
ウントが停止するものであってレベルセンサ（11）のオ
ーバースケールの場合でも正確な零点復帰が出来るもの
である。
変位量に対しても回路構成が前述のようになっているの
で、基準電位から変位量検出電位が外れている以上パル
ス数のカウントが続き、その後、移動側がホームポジシ
ョンに復帰し、変位量が零となって始めてパルス数のカ
ウントが停止するものであってレベルセンサ（11）のオ
ーバースケールの場合でも正確な零点復帰が出来るもの
である。
B.変動量制御回路（Ｂ）の一例 変動量制御回路（Ｂ）は、加速度センサのような振動
センサ（16）に接続された低域通過フィルタ（17）とで
構成される振動検出回路（５）と、演算回路（６）、位
相反転器（７）、レベル変動分加算器（８）及び駆動回
路（９）とで構成されている。
センサ（16）に接続された低域通過フィルタ（17）とで
構成される振動検出回路（５）と、演算回路（６）、位
相反転器（７）、レベル変動分加算器（８）及び駆動回
路（９）とで構成されている。
まず、床面や機器等の振動源（４）から被測定物に伝
わった振動は振動センサ（16）にてこれに対応する振動
信号電圧として検出されるが、この段階では振動信号電
圧には高周波分が重畳しており、必要があれば次の低域
通過フィルタ（17）にて高周波成分が過されて比較的
滑らかな低周波成分だけの振動信号電圧として出力され
る。勿論、高周波成分に対して後述の制御機構が十分応
答出来れば、高周波成分を過する必要がない。このよ
うに過された振動信号電圧は振動信号として次ぎに演
算回路（６）に入力し、変動検出信号として出力され
る。この変動検出信号は続いて位相反転器（７）に入力
し、180゜位相が反転した反転信号が出力され、次の変
位量分加算器（８）に入力する。
わった振動は振動センサ（16）にてこれに対応する振動
信号電圧として検出されるが、この段階では振動信号電
圧には高周波分が重畳しており、必要があれば次の低域
通過フィルタ（17）にて高周波成分が過されて比較的
滑らかな低周波成分だけの振動信号電圧として出力され
る。勿論、高周波成分に対して後述の制御機構が十分応
答出来れば、高周波成分を過する必要がない。このよ
うに過された振動信号電圧は振動信号として次ぎに演
算回路（６）に入力し、変動検出信号として出力され
る。この変動検出信号は続いて位相反転器（７）に入力
し、180゜位相が反転した反転信号が出力され、次の変
位量分加算器（８）に入力する。
さて、位相反転器（７）から出力された反転信号と前
述の変位量検出回路（Ａ）の加算器（３）から出力され
たレベル変位信号とはレベル変動分加算器（８）に入力
して加減算されて出力され、次の駆動部に入力する。駆
動部ではレベル変動分加算器（８）からの加算変動信号
に合わせて駆動信号を出力し、この加算変動信号にて制
御機構の姿勢制御や制振を図るのである。
述の変位量検出回路（Ａ）の加算器（３）から出力され
たレベル変位信号とはレベル変動分加算器（８）に入力
して加減算されて出力され、次の駆動部に入力する。駆
動部ではレベル変動分加算器（８）からの加算変動信号
に合わせて駆動信号を出力し、この加算変動信号にて制
御機構の姿勢制御や制振を図るのである。
この点を精密定盤（Ｃ）に組み込んだ場合を例に取っ
て更に詳述する。精密定盤（Ｃ）は圧力容器（20）を備
えた空気ばね（21）にて支持されており、空気ばね（2
1）の圧力制御はサーボ弁や比例制御弁のような制御弁
（18）とレギュレータ（19）によって行なわれており、
前記制御回路で制御弁（18）の開閉を制御して空気ばね
（21）の圧力制御を行っているものである。
て更に詳述する。精密定盤（Ｃ）は圧力容器（20）を備
えた空気ばね（21）にて支持されており、空気ばね（2
1）の圧力制御はサーボ弁や比例制御弁のような制御弁
（18）とレギュレータ（19）によって行なわれており、
前記制御回路で制御弁（18）の開閉を制御して空気ばね
（21）の圧力制御を行っているものである。
さて、精密定盤（Ｃ）に負荷（Ｄ）を掛けると負荷
（Ｄ）に対応して精密定盤（Ｃ）が沈む。この沈み量δ
は直ちにレベルセンサ（11）にて検出され、前述の経路
を通って駆動回路（９）に入力され、制御弁（18）の励
磁電圧又は電流を調節して空気ばね（21）の圧力容器
（20）に必要量の圧縮空気を供給して空気ばね（21）を
膨らませ、精密定盤（Ｃ）をホームポジションに戻るよ
うに駆動する。精密定盤（Ｃ）が完全に復帰すると比較
器（14）にて基準電圧設定器（13）とレベルセンサ出力
とが比較され、変位量δが零であるために変位信号電圧
も零となる。この時、加算器（３）によって負荷（Ｄ）
により発生したパルス数がカウントされているので、駆
動回路（９）から制御弁（18）へは負荷（Ｄ）に合わせ
た励磁電流が流れ続けており（又は、励磁電圧が印加さ
れて）、空気ばね（21）の圧力容器（20）へは負荷
（Ｄ）をホームポジションに持ち上げ続けるだけの圧縮
空気が連続的に供給されるようになる。
（Ｄ）に対応して精密定盤（Ｃ）が沈む。この沈み量δ
は直ちにレベルセンサ（11）にて検出され、前述の経路
を通って駆動回路（９）に入力され、制御弁（18）の励
磁電圧又は電流を調節して空気ばね（21）の圧力容器
（20）に必要量の圧縮空気を供給して空気ばね（21）を
膨らませ、精密定盤（Ｃ）をホームポジションに戻るよ
うに駆動する。精密定盤（Ｃ）が完全に復帰すると比較
器（14）にて基準電圧設定器（13）とレベルセンサ出力
とが比較され、変位量δが零であるために変位信号電圧
も零となる。この時、加算器（３）によって負荷（Ｄ）
により発生したパルス数がカウントされているので、駆
動回路（９）から制御弁（18）へは負荷（Ｄ）に合わせ
た励磁電流が流れ続けており（又は、励磁電圧が印加さ
れて）、空気ばね（21）の圧力容器（20）へは負荷
（Ｄ）をホームポジションに持ち上げ続けるだけの圧縮
空気が連続的に供給されるようになる。
尚、ホームポジションを越えて精密定盤（Ｃ）が持ち
上げられた場合にはレベルセンサ（11）から前述とは逆
の変位信号電圧が発生し、精密定盤（Ｃ）を降ろしてホ
ームポジションに戻るように作動する。
上げられた場合にはレベルセンサ（11）から前述とは逆
の変位信号電圧が発生し、精密定盤（Ｃ）を降ろしてホ
ームポジションに戻るように作動する。
一方、変動量制御回路（Ｂ）側では位相反転器（７）
で180゜位相が反転した反転信号が出力されるため、振
動源（４）から発生する振動は打ち消され、精密定盤
（Ｃ）はほぼ静止状態になる。
で180゜位相が反転した反転信号が出力されるため、振
動源（４）から発生する振動は打ち消され、精密定盤
（Ｃ）はほぼ静止状態になる。
このようにして速やかなレベル復帰と制振を行い、機
器の姿勢制御と振動遮断が行なわれるのである。
器の姿勢制御と振動遮断が行なわれるのである。
（効 果） 本発明の第１項の変位量検出回路は、機器の変位量を
検出して変位信号電圧を発生する変位量センシング部
と、内部クロックに合わせて変位信号電圧の発生期間中
一定のパルスを発生する変位パルス発生器と、前記変位
パルスを加算して変位量をデジタル量で把握する加算器
とで構成されているので、従来のエンコーダ方式と違っ
て移動量の検出精度や分解能は電気的に決まる事にな
り、非常に高い精度になるだけでなく、同時に応答性に
も優れ、しかも変位量に拘わらずスケールオーバの発生
がなく且つ容量もコンパクトにまとめられると言う利点
がある。
検出して変位信号電圧を発生する変位量センシング部
と、内部クロックに合わせて変位信号電圧の発生期間中
一定のパルスを発生する変位パルス発生器と、前記変位
パルスを加算して変位量をデジタル量で把握する加算器
とで構成されているので、従来のエンコーダ方式と違っ
て移動量の検出精度や分解能は電気的に決まる事にな
り、非常に高い精度になるだけでなく、同時に応答性に
も優れ、しかも変位量に拘わらずスケールオーバの発生
がなく且つ容量もコンパクトにまとめられると言う利点
がある。
又、本発明の第２項の変動量制御回路は、床面や機器
等の振動源による被測定物の振動量を検出する振動検出
回路と、振動検出回路からの変動入力信号に合わせて変
動検出信号を出力する演算回路と、変動検出信号の位相
を180゜反転させる位相反転器と、位相反転器から出力
された反転信号と第１項の変位量検出回路の加算器から
出力された被測定物のレベル変位信号とを加算するレベ
ル変動分加算器と、レベル変動分加算器からの加算変動
信号に合わせて駆動信号を発生する駆動回路とで構成さ
れたものであるが、位相反転器によって振動源の振動を
相殺できるだけでなく、前述のようにレベル復帰も迅速
に行えるので実機に適用できる実用的な変動量制御回路
とする事が出来た。
等の振動源による被測定物の振動量を検出する振動検出
回路と、振動検出回路からの変動入力信号に合わせて変
動検出信号を出力する演算回路と、変動検出信号の位相
を180゜反転させる位相反転器と、位相反転器から出力
された反転信号と第１項の変位量検出回路の加算器から
出力された被測定物のレベル変位信号とを加算するレベ
ル変動分加算器と、レベル変動分加算器からの加算変動
信号に合わせて駆動信号を発生する駆動回路とで構成さ
れたものであるが、位相反転器によって振動源の振動を
相殺できるだけでなく、前述のようにレベル復帰も迅速
に行えるので実機に適用できる実用的な変動量制御回路
とする事が出来た。
第１図…本発明の一実施例の回路図 第２図…本発明の回路を適用した精密定盤の概略構成図 第３図…本発明の制御弁に流れる電流の変化を示すグラ
フと制御時の波形との対応関係を示す図面 （Ａ）……変位量検出回路、（Ｂ）……変動量制御回路 （Ｃ）……精密定盤、（Ｄ）……負荷 （１）……変位量センシング部 （２）……変位パルス発生器 （３）……加算器、（４）……振動源 （５）……振動検出回路、（６）……演算回路 （７）……位相反転器、（８）……レベル変動分加算器 （９）……駆動回路 （11）……レベルセンサ、（12）……変位量増幅器 （13）……基準電圧設定器、（14）……比較器 （15）……D/A変換器、（16）……振動センサ （17）……低域通過フィルタ、（18）……制御弁 （19）……レギュレータ、（20）……圧力容器 （21）……空気ばね
フと制御時の波形との対応関係を示す図面 （Ａ）……変位量検出回路、（Ｂ）……変動量制御回路 （Ｃ）……精密定盤、（Ｄ）……負荷 （１）……変位量センシング部 （２）……変位パルス発生器 （３）……加算器、（４）……振動源 （５）……振動検出回路、（６）……演算回路 （７）……位相反転器、（８）……レベル変動分加算器 （９）……駆動回路 （11）……レベルセンサ、（12）……変位量増幅器 （13）……基準電圧設定器、（14）……比較器 （15）……D/A変換器、（16）……振動センサ （17）……低域通過フィルタ、（18）……制御弁 （19）……レギュレータ、（20）……圧力容器 （21）……空気ばね
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安田 正志 兵庫県尼崎市南塚口町５丁目17―43 特許 機器株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−52772（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−222309（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】機器の基準位置からの変位量を検出するレ
ベルセンサと、機器の基準位置を基準電圧として設定す
る基準電圧設定器と、レベルセンサからの変位電圧と基
準電圧設定器からの基準電圧とを比較してその差分を出
力する比較器と、比較器から差分として出力される変位
信号電圧の発生期間中内部クロックに合わせて一定のパ
ルスを発生する変位パルス発生器と、前記変位パルスを
加算して変位量をデジタル量で把持する加算器とで構成
された事を特徴とする変位量検出回路。 - 【請求項２】床面や機器等の振動源による被測定物の振
動量を加速度として検出する振動検出回路と、振動検出
回路からの変動入力信号を変動検出信号として出力する
演算回路と、変動検出信号の位相を180゜反転させる位
相反転器と、位相反転器から出力された反転信号と第１
項の変位量検出回路の加算器から出力され、Ｄ−Ａ変換
器にてアナログ信号に変換された被測定物のレベル変位
信号とを加算するレベル変動分加算器と、レベル変動分
加算器からの加算変動信号に合わせて駆動信号を発生す
る駆動回路とで構成された事を特徴とする変位量検出回
路を用いた変動量制御回路。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63035829A JPH0823488B2 (ja) | 1988-02-18 | 1988-02-18 | 変位量検出回路とこの回路を用いた変動量制御回路 |
| US07/299,586 US5060519A (en) | 1988-02-18 | 1989-01-23 | Active control precision damping table |
| US07/680,174 US5179516A (en) | 1988-02-18 | 1991-04-03 | Variation control circuit having a displacement detecting function |
| US07/680,173 US5180958A (en) | 1988-02-18 | 1991-04-03 | Active control precision damping table |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63035829A JPH0823488B2 (ja) | 1988-02-18 | 1988-02-18 | 変位量検出回路とこの回路を用いた変動量制御回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01210808A JPH01210808A (ja) | 1989-08-24 |
| JPH0823488B2 true JPH0823488B2 (ja) | 1996-03-06 |
Family
ID=12452848
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63035829A Expired - Lifetime JPH0823488B2 (ja) | 1988-02-18 | 1988-02-18 | 変位量検出回路とこの回路を用いた変動量制御回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0823488B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6052772A (ja) * | 1983-08-31 | 1985-03-26 | Tokyo Keiki Co Ltd | Ａｄ変換装置 |
| JPS60222307A (ja) * | 1984-04-20 | 1985-11-06 | Nhk Spring Co Ltd | 車輛用懸架装置 |
-
1988
- 1988-02-18 JP JP63035829A patent/JPH0823488B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01210808A (ja) | 1989-08-24 |
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