JPH0824230B2 - 部品組立装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、集積回路装置を含む組
立て体の製造の場合における、パッケ−ジ化された装置
の製造および試験に関する。

【０００２】

【従来の技術】製造方法の一部として、集積回路は、一
般的には、多種類の機能試験を受ける。多くのパッケ−
ジは、バ−ンイン試験のような極端な動作条件下での試
験を受ける。多くの現代の集積回路パッケ−ジは、もろ
く、容易に曲り、または破損しやすい多くのリ−ド線を
有している。従って、パッケ−ジは、しばしば、パッケ
−ジのリ−ド線を保護する保護キャリヤに包囲されて、
これらのリ−ド線に対する外部の電気接続を容易にして
いる。パッケ−ジのキャリヤは、しばしば、出荷スライ
ドまたは、試験部所どうしの間の輸送用の「コア棒」と
呼ばれる容器内に格納される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】キャリヤ内へのパッケ
−ジの配置及びコア棒内へのキャリヤの配置は、時間が
掛る、労働集約的な作業である。パッケ−ジをキャリヤ
の中に配置する時には、密接配置のリ−ド線の破損及び
曲げを防止するために細心の注意が、必要とされる。従
って、本発明の目的は、パッケージの搬送に際し、パッ
ケージの移動を容易にし、その破損を最小にする部品の
組立装置を提供することである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明の装置は、集積回
路装置のパッケ−ジと、キャリヤと、これらを組み合わ
せたパッケ−ジ−キャリヤ組み立て体を、傾斜させて支
持する手段を有している。この本発明の装置は、更に、
パッケ−ジと、キャリヤと、これらを組み合わせたパッ
ケ−ジ−キャリヤ組み立て体を取得し配置する手段と、
パッケ−ジとキャリヤを取得配置手段に解放する手段
と、パッケ−ジとキャリヤ組み立て体を取得配置手段か
ら離して運ぶ手段とを有する。

【０００５】

【実施例】図１は、パッケ−ジ１３を保持し、そして、
これを包囲して保護するに適したキャリヤ１１を示す。
「上」位置に描かれた蝶番付きラッチ１７は、一対の突
起１９に係合してこれを覆うように作用し、それによ
り、パッケ−ジ１３をキャリヤ１１の内部に固定する。
対応するラッチ１５は、「下」位置に示してある。パッ
ケ−ジの格納中、ラッチ１５は、「上」位置にまで移動
され、パッケ−ジが挿入され、そして、ラッチ１５が
「下」位置に移動されてパッケ−ジ１３を固定する。

【０００６】キャリヤ１１の一例は、この明細書に援用
された「インテグレイテッド サ−キット パッケ−ジ
キャリア」（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ
Ｐａｃｋａｇｅ Ｃａｒｒｉｅｒ）なる名称で、エガ
ワ（Ｅｇａｗａ）に与えられた米国特許第４，５３５，
８８７号により提供される。パッケ−ジ１３は、プラス
チックの四角平坦パック（ＰＱＦＰ）として示してあ
る。

【０００７】一般的には、ＰＱＦＰは、８４本，１００
本と１３２本の入出力電気リ−ド線のそれぞれの全数に
対応して、一側当たり２１本、２５本または３６本のリ
−ド線を有している。パッケ−ジ１３がキャリヤ１１に
挿入されて固定されると、組み合わせ体（即ち、パッケ
ージが格納されたキャリヤ）は、パッケ−ジ１３の上の
弱いリ−ド線２１に対する損傷の恐れ無しに取り扱うこ
とができる。

【０００８】図２は、パッケ−ジ１３を含むキャリヤ１
１が如何にして、試験部所の間の輸送または出荷のため
にコア棒１０３の中に格納できるかを示す。図２に示し
たコア棒に似たコア棒が、キャリヤに入らないパッケ−
ジにも提供されうる。勿論、キャリヤ無しにパッケ−ジ
を保持するように設計されたコア棒は、集積回路パッケ
−ジを保持するように意図された、図２に示すコア棒１
０３よりも幾分小さい寸法となっている。

【０００９】本発明の実施例は、キャリヤ１１内へのパ
ッケ−ジ１３の自動挿入及びパッケージが格納されたキ
ャリヤ１１のコア棒１０３の中への自動挿入装置に関す
る。本発明の他の態様は、コア棒１０３からキャリヤ１
１の自動除去と、キャリヤ１１からのパッケ−ジ１３の
その後の除去からなる。今迄、これらの方法は、手動的
に行われ、かくして、かなりの費用と時間が掛かった。

【００１０】図３は、この発明の装置の実施例の全体的
な斜視図である。テ−ブル（支持手段）１０１は、アク
チエ−タ（図示せず）により傾斜される。二つの平行な
コア棒１０３と１０５は、テ−ブル１０１の上端に位置
決めされている。コア棒１０３は、図１に描いたキャリ
ヤに似た複数の空のキャリヤ１１を有している。コア棒
１０５は、図１に示したパッケ−ジ１３に似た複数のパ
ッケ−ジを有している。コア棒１０３の中に含まれるキ
ャリヤ１１の中にパッケ−ジを配置することが望まし
い。

【００１１】パッケ−ジとこのキャリヤの両方は、取得
配置機構１０７に遭遇するまで、重力の影響で下方に滑
る。取得配置機構１０７は、各パッケ−ジを、つまみ、
そして、それをそれぞれのキャリヤの中に格納する。パ
ッケージが格納されたキャリヤは、空のコア棒１０９の
中に滑り込み、後で試験部所または出荷部所で取り出さ
れる。（この発明の装置は、逆の機能、即ち、キャリヤ
からパッケ−ジをといだして、パッケ−ジとキャリヤの
両方を別々のコアスライド内へ配置することもでき
る。）

【００１２】参照数字１１１は、中央処理装置と、取得
配置機構１０７及びテ−ブル１０１を制御し且つこれに
電力を供給する電気−機械／圧搾空気制御ユニットを示
す。電気−機械／圧搾空気制御ユニット１１１の上にボ
ルト付けされたテ−ブル支持部１１３は、蝶番１１５を
支持する。テ−ブル（支持手段）１０１は、重力がパッ
ケ−ジとキャリヤの両方を取得配置機構１０７の方へ向
けるために利用できるように蝶番１１５に回転可能に取
り付けられている。

【００１３】テ−ブル１０１は、前述のように、図示し
ないアクチュエ−タにより約４０度の角度に傾斜され
る。ガイドレ−ル（第１のガイド）１１７と１１９は、
上述のように、空のキャリヤを含むコア棒１０３を保持
し、且つ、安定化させるに役立つ。同様に、コア棒１０
５は、ガイド（第２のガイド）１２１とガイドレ−ル１
５１と１５３により拘束されている。ガイドレール１２
３、１２４はコア棒１０９を保持するに役立つ。

【００１４】図４に取得配置機構１０７の詳細が描かれ
ている。回転アーム１３１は、保持カラ−１３５により
包囲された軸１３３により支持されている。回転アーム
１３１は、集積回路パックをつまみ、そして、それらを
それぞれのキャリヤ内に配置する回転ア−ムとして役立
っている。

【００１５】軸１３３は、回転ア−ム１３１を上昇さ
せ、回転させることができるテ−ブル１０１の下の電気
機械装置に接続されている。弾性の真空ライン１３７と
１４１は、カラ−１４７に結合され、そこで、真空チャ
ック１４３と１４５にそれぞれ（電気−機械／圧搾空気
制御ユニット１１１の制御下で適当な真空ポンプを介し
て）吸引力を提供する。

【００１６】図４で、パッケ−ジ１３は、ガイドレ−ル
１１７の間に保持されたキャリヤ１１内へ真空チャック
１４５によりまさに付着されている。さらに、真空チャ
ック１４３は、その１８０度の回転及び次ぎに利用でき
るキャリヤへの挿入の準備としてパッケ−ジ１３´をつ
まみつつある。

【００１７】図４をにおいて、参照数字１６１と１６３
は、回転ア−ム１３１に取り付けたラッチ解放用のピン
である。このピン１６１と１６３は、集積回路パッケ−
ジ１３がキャリヤ１１の内部に挿入できるように、（キ
ャリヤ１１の孔１７９と１７７を通ることによって）
（図１）ラッチ１７と１５を解放するに役立つ。

【００１８】逃げピン１６５は、テ−ブル１０１の表面
から垂直上方に伸びて、パッケ−ジ１３がキャリヤ１１
の中に配置されたときに、このキャリヤ１１を保持し、
且つ、重力の影響下でキャリヤ１１が下方に滑るのを防
止する役目をしている。（次にラッチ１５と１７は次で
説明する装置により閉じられる）。配置及びラッチ−閉
鎖動作が完了し、そして、回転ア−ム１３１が係合を解
かれた後、逃げピン１６５は、テ−ブル１０１の表面の
下に下がり、格納されたキャリヤ１１が下方に滑ってコ
ア棒１０９の中に入ることが可能となる（図３）。

【０
０１９図４は、第２の逃げピン１６７に接触する第２の
（未格納の）キャリヤ１１´を示す。キャリヤ１１´
は、結局は、今真空チャック１４３に保持されているパ
ッケ−ジ１３´を受けることになる。一方、逃げピン１
６７は、キャリヤ１１´が前方へ滑って、キャリヤ１１
の格納を妨害するのを防止する。キャリヤ１１´の存在
は、ホトセル１６９により検出される。ホトセル１６９
がキャリヤの存在を検出しない場合、中央処理装置１１
１は、すべての利用可能なキャリヤが充填され、そし
て、格納動作を終了してもよい（そして、テ−ブル１０
１を水平状態に戻してもよい）と結論づける。 【００２０】前述のように、真空チャック１４３を備え
た回転ア−ム１３１は、パッケ−ジをつまみ、そして、
テ−ブル１０１の表面から上昇し、回転し、ガイドレ−
ル１１７どうしの間に固定されて待侍状態のキャリヤの
上にこのパッケ−ジを位置決めする。回転ア−ム１３１
の上昇は、保持カラー１３５を介して軸１３３の上昇
（即ち、上方への滑り）により生じる。回転後、回転ア
−ム１３１は降下し（即ち、軸１３３が降下し）、真空
が真空チャック１４３から除去され、パック１３がキャ
リヤ１１の内部に付着される。

【００２１】回転ア−ム１３１がキャリヤの中にパッケ
−ジを正確に位置決めすることを保証するために、多種
類のストッパ及びガイドが設けられている。例えば、ピ
ン１７１は、回転ア−ム１３１から垂下している。図４
で、ピン１７１は、テ−ブル表面１０１に固定された停
止ブロック１７３に接触している。回転ア−ム１３１が
１８０度回転すると、ピン１７１は、テ−ブル１０１に
固定されてもいる停止ブロック１７５に接触する。かく
して、回転ア−ム１３１は、待機状態のキャリヤの上に
正確に停止する。

【００２２】回転ア−ム１３１が降下してキャリヤの中
にパッケ−ジを配置するに従って、ピン１７１は、孔１
７７の中に降下する。かくして、ピン１７１、ブロック
１７３、１７５の存在により、回転ア−ム１３１は、正
確な所定の二つの固定位置の間で回転する。（図４で
は、回転ア−ム１３１が、完全には上昇していないの
で、ピン１７１は、いくぶん、孔１７９の中に突出して
いる。）停止ブロック１９９は、パッケ−ジ１３´が真
空チャック１４３により摘まれているときにこのパッケ
−ジ１３を正確に位置決めする手助けをする。

【００２３】前述のように、回転ア−ム１３１は、降下
してパッケ−ジをつまみ、上昇してパッケ−ジをキャリ
ヤの上の適所にまで回転させ、それから降下してキャリ
ヤの中にこのパッケ−ジを配置する。重要なことは、回
転ア−ム１３１の降下が正確に制御されて回転ア−ム１
３１が、例えば、あまりに遠くへ降下し過ぎて、パッケ
−ジまたはキャリヤを損傷させないようにすることであ
る。調節ねじ１８５と１８７は、回転ア−ム１３１に位
置決めされている。

【００２４】両方のねじ１８５と１８７は、下方に突出
しているが、この下方への突出は、図面には示してな
い。停止ブロック１７３、１７５は、調節ねじ１８５、
１８７の下方への突出部に接触している。かくして、回
転ア−ム１３１の下方への移動は、ボルト１８５、１８
７の一つが、停止ピン１７３または１７５の一つに当た
るときに捕えられる。なお、ボルト１８５と１８７は、
調節可能であり、かくして、パッケ−ジとキャリヤが種
々の大きさの本発明の装置の使用を容易にしている。

【００２５】ブロック１９１は、安全覆い（図示せず）
用の中子（図示せず）を受け入れる溝１９５を有してい
る。光検出器１９３は、安全覆いが適所にあるか否かを
決定し、安全覆いが適所に置かれるまでユニットの動作
を防止する。

【００２６】次に、如何にパッケ−ジがキャリヤ内に置
かれて固定されるかをさらに詳細に説明する。図５は、
本発明の装置の実施例の平面図であって、パッケ−ジ１
３が回転ア−ム１３１を介してキャリヤ１１の中に配置
されることを示す。キャリヤ１１´、１１´´、１１´
´´は、空であって、格納を待っている。パッケ−ジ１
３´は、キャリヤ１１の中に格納される予定であり、パ
ッケ−ジ１３´´は、キャリヤ１１´´内へ格納される
予定である。以下同様。

【００２７】なお、図３から、キャリヤとパッケ−ジの
両方が重力の影響により回転ア−ム１３１の方へ滑る。
テ−ブル１０１の下に位置決めされた種々のピン１６
５、１６７、１７０は、待ち行列のキャリヤとパッケ−
ジが回転ア−ム１３１との相互作用を待っているとき
に、これらのキャリヤとパッケ−ジを保持する逃げピン
を駆動する役目をする。

【００２８】例えば、図６を見ると、逃げピン１６５
は、キャリヤ１１が前方に滑るのを防止しながらこのキ
ャリヤにパッケ−ジ１３を格納する。一方、ピン１６７
は、キャリヤ１１´、（キャリヤ１１´´とキャリヤ１
１´´´のような）キャリヤ１１´の後のキャリヤとと
もに前方へ滑り、そして、キャリヤ１１内へのパッケ−
ジ１３の配置を妨害するのを防止する役目をする。

【００２９】パッケ−ジ１３が格納されてキャリヤ１１
内に固定された後、ピン１６５は、テ−ブル１０１の表
面の下のマイクロプロセッサ１１１により制御される、
アクチュエ−タ２０１の制御下に引き抜かれて、格納パ
ッケ−ジのキャリヤが下方に滑ってコア棒１０９の中に
移動することができる（図３）。

【００３０】次ぎにピン１７０は、アクチュエ−タ２０
１を介して上方へ押される。ピン１７０は、キャリヤ１
１´´の開いた中央に係合する。次ぎにピン１６７は、
アクチュエ−タ２０１を介してテ−ブル１０１の表面の
下へ引かれ、キャリヤ１１は、回転ア−ム１３１の下の
適所へ滑ることができる。一方、ピン１６５は、再びテ
−ブル１０１の表面の上に上昇し、かくして、キャリヤ
１１１がパッケ−ジを格納されたときに停止できるスト
ッパとなる。同様な２−ピンシ−ケンスにより回転ア−
ム１３１へのパッケ−ジ１３の供給が制御される。

【００３１】図６〜８は、キャリヤ１１内へのパッケ−
ジ１３の配置の詳細を示す。図６では、パッケ−ジ１３
は、真空チャック１４３により保持されている。キャリ
ヤ１１のラッチ１７と１５は、閉鎖位置にある。取得配
置回転ア−ム１３１が降下するにしたがって（図７）、
ピン１６３と１６１は、孔１７８と１８０を介してラッ
チ１７と１５にそれぞれ係合し（図１）、かくして、両
方のラッチを解放し、キャリヤ１１内へのパッケ−ジ１
３の挿入を容易にする。

【００３２】テ−ブル１０１は、（図６〜８で右の方
へ）下方に傾斜されるので、パッケ−ジ１３が挿入でき
る前に重力の影響によりラッチ１７が再び閉じる傾向が
ある。空気ジェット２００は、ラッチ１７のぶらつく下
部を曲げ、かくして、ラッチ１７を解放位置に維持す
る。空気ジェット２００は、側方のピン１６５に沿って
位置決めされている。

【００３３】図６で、取得配置回転ア−ム１３１は、ま
ずラッチ１７と１５を解放し、次ぎに、真空チャック１
４３からパッケ−ジ１３を降下させて解放することによ
りキャリヤ１１内にパッケ−ジ１３を配置させる。

【００３４】図８で、取得配置ア−ム１３１は格納され
たキャリヤ１３から上昇している。ラッチ対１５、１７
の閉鎖は、二段階で達成される。空気ジェット１８１と
１８３は、下方へでぶらつくラッチ１７と１５の部分を
閉鎖位置の方へ曲げる。次ぎに、アクチュエ−タ１９１
は、一対のピン１８９を有する板１８５’を押し上げ
る。アクチュエ−タ１９１は、ラッチ対１７と１５の閉
鎖を完了し、かくして、キャリヤ１１内にパッケ−ジを
固定する。次ぎに、格納されたキャリヤ１１は、前述の
ように、テ−ブル１０１のレベルの下にピン１６５が押
圧された後に前方に滑ることができる態勢となる。

【００３５】キャリヤ１１は、ほぼ正方形であるので、
おそらく、あるキャリヤは間違った位置、すなわち、１
８０度回転された位置にあるコア棒１０３の中に偶然格
納されてしまうかも知れない。図６〜８の平面の外に配
置されたホトダイオ−ド１７２は、キャリヤ１１の側面
２０を照射する。孔２２のような孔が存在する場合、ホ
トダイオ−ド１７２からの光は、キャリヤ１１の側面２
０の開孔２２（図１）に入って、キャリヤ１１の底から
現われ、テ−ブル１０１の上に入り、そこから、光検出
器により検出される。孔が存在しない場合、光は、光検
出器により検出されることはない。従って、キャリヤの
正確な位置合わせが保証される。

【００３６】前述のように、コア棒にパッケ−ジを含む
キャリヤを格納する過程は逆であってもよい。即ち、コ
ア棒は格納を解かれて、パッケ−ジが今説明した過程の
逆によってキャリヤから取り除かれてもよい。（停止ブ
ロック１９９は除去され、コア棒１０５（図３）は、パ
ッケ−ジ１３を捕獲するように位置決めされる。）

【００３７】上記の装置及び方法で実施された本発明の
原理は、図１０に示したように拡張することができる。
図１０では、傾斜可能なテ−ブル１１０１が、マイクロ
プロセッサと制御部を有する箱１１１１の上において蝶
番１１１５と支持ブラケット１１１３に取り付けられて
いる。ラック１１２１と１１２３（及び図示しない他の
ラック）は、パッケ−ジのキャリヤを備えたコア棒１１
０３、空きのコア棒１１０９及びパッケ−ジを備えたコ
ア棒のそれぞれを有している。

【００３８】各ラックは、順次上昇されて、上記の動作
がそれぞれのパッケージ及びキャリヤに対してそれぞれ
行われるようにしている。次に、ラックは、再び上昇さ
れて新しい一組のコア棒が処理されるようにしている、
以下同様。本実施例は、多量のコア棒の格納及びその解
放を自動的に可能にする。

【００３９】以上の説明は、本発明の一実施例に関する
もので、この技術分野の当業者であれば、本発明の種々
の変形例が考え得るが、それらはいずれも本発明の技術
的範囲に包含される。尚、特許請求の範囲に記載した参
照番号は発明の容易なる理解のためで、その技術的範囲
を制限するよう解釈されるべきではない。

【００３９】

【発明の効果】以上述べたごとく、本発明によれば、キ
ャリヤ内へのパッケ−ジの配置及びコア棒内へのキャリ
ヤの配置は、自動的に簡単に短時間で行われ、従来必要
とされた密接配置のリ−ド線の破損及び曲げを防止する
ための注意は、必要ない。

【図面の簡単な説明】

【図１】集積回路パッケ−ジを挿入することができる例
示的なキャリヤの概略斜視図である。

【図２】格納されたパッケ−ジのキャリヤを保持する大
きさの例示的なコア棒の概略斜視図である。

【図３】本発明の実施例に従う装置の概略斜視図であ
る。

【図４】図３に示した装置の一部の概略斜視図である。

【図５】図３に示した装置の一部の平面図である。

【図６】図３と図４に示した装置の断面図である。

【図７】図３と図４に示した装置の断面図である。

【図８】図３と図４に示した装置の断面図である。

【図９】図３と図４に示した装置の断面図である。

【図１０】本発明の他の実施例の略図である。

【符号の説明】

１１ キャリヤ １３ パッケ−ジ １５ ラッチ １７ ラッチ １９ 突出部 ２１ リ−ド線 ２２ 孔 １０１ テ−ブル（支持手段） １０３、１０５ コア棒 １０７ 取得配置機構 １１１ 電気−機械／圧搾空気制御ユニット １１３ テ−ブル支持部 １１５ 蝶番 １２１ ガイド １１７、１１９、１５１、１５３、１２３、１２４ ガ
イドレ−ル １３１ 回転ア−ム １３３ 軸 １３５ 保持カラ− １３７、１４１ 真空ライン １４３、１４５ 真空チャック １４７ カラ− １６１、１６３ ラッチ解放ピン １６５、１６７ 逃げピン １６９ ホトセル １７１ ピン １７２ ホトダイオ−ド １７３、１７５ 停止ブロック １７７ 孔 １９１ アクチュエ−タ １７８、１８０ 孔 １８１、１８３ 空気ジェット １８５、１８７ 調節ねじ １８５’板 １９３ 光検出器 １９５ 溝 １９９ 停止ブロック ２００ 空気ジェット ２０１ アクチュエータ １１０１ 傾斜可能なテ−ブル １１０３、１１０９ コア棒 １１１１ 箱 １１１５ 蝶番 １１１３ 支持ブラケット １１２１、１１２３ ラック

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 フィリップ アンソニー ソロモン アメリカ合衆国 19522 ペンシルベニア フリートウッド フランクリン ストリ ート 119 エヌ (56)参考文献 特開 昭62−181837（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−85491（ＪＰ，Ａ)

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 集積回路パッケ−ジ（１３）用キャリヤ
   （１１）と、集積回路パッケ−ジ（１３）とキャリヤ
   （１１）との組立体を保持する第１ガイド（１１７、１
   １９）と、 集積回路パッケ−ジ（１３）を保持する第２ガイド（１
   ２１、１５１、１５３）と、 前記第１ガイド（１１７、１１９）と、前記第２ガイド
   （１２１、１５１、１５３）とを 水平位置から傾斜支持
   する支持手段（１０１）と、 前記支持手段（１０１）上に設けた、前記第２ガイド上
   の集積回路パッケ−ジ（１３）を取得し、前記第１ガイ
   ド上の集積回路パッケ−ジ（１３）用キャリヤ（１１）
   内に配置する取得配置手段（１０７）と、 前記集積回路パッケ−ジ（１３）または、前記集積回路
   パッケ−ジ（１３）用キャリヤ（１１）を取得配置手段
   （１０７）に放出する解放手段（１６７）と、 前記パッケ−ジーキャリヤ結合体を取得配置手段（１０
   ７）から搬出する運搬手段（１６５）とを有する部品の
   組立装置。
2. 【請求項２】 前記取得配置手段（１０７）が、 二つの端部を備えた回転アーム（１３１）と、 前記回転ア−ム（１３１）のそれぞれの端にそれぞれ配
   置された二つの真空チャック（１４５、１４３）と、 前記集積回路パッケ−ジ（１３）を取得、配置するため
   に各真空チャックを制御する制御手段（１４１、１３
   ７）とを有することを特徴とする請求項１記載の装置。
3. 【請求項３】 前記真空チャック（１４５、１４３）近
   傍に、前記回転ア−ム（１３１）の各端に接続されたピ
   ン（１６１、１６３）をさらに有し、 前記ピン（１６１、１６３）が、前記集積回路パッケ−
   ジ（１３）の配置前にキャリヤ（１１）の一部に係合す
   ることを特徴とする請求項２記載の装置。
4. 【請求項４】 前記第１ガイド（１１７、１１９）に、 ３個の突出したピン（１７０、１６７、１６５）と、一
   対の突出したピン（１８７，１８９）をさらに有し、 前記単独の突出したピン（１６５）の一つが、前記集積
   回路パッケ−ジ（１３）をキャリヤ（１１）に取り付け
   中のキャリヤ（１１）を保持し、 他の二つピン（１７０、１６７）が、複数の他のキャリ
   ヤを待ち状態に保持するように位置決めされ、 一対の突出したピン（１８７，１８９）が、パッケ−ジ
   （１３）との組み合わせ中にキャリヤ（１１）に係合す
   ることを特徴とする請求項１記載の装置。
5. 【請求項５】 前記支持手段（１０１）の下で、前記集
   積回路パッケ−ジ（１３）と組み合わされたキャリヤ
   （１１）の下に位置決めされた一対の空気ジェット（１
   ８３、１８１）をさらに有し、 前記空気ジェット（１８３、１８１）が、パッケ−ジ
   （１３）のキャリヤ（１１）への固定配置を容易にする
   ことを特徴とする請求項１記載の装置。
6. 【請求項６】 前記キャリヤ（１１）に近接して配置さ
   れた光検出器（１９３）をさらに有し、 この光検出器（１９３）が、キャリヤ（１１）の有無を
   判別することを特徴とする請求項１記載の装置。