JPH0827936B2 - Method of manufacturing magnetic recording medium - Google Patents
Method of manufacturing magnetic recording mediumInfo
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- JPH0827936B2 JPH0827936B2 JP61315058A JP31505886A JPH0827936B2 JP H0827936 B2 JPH0827936 B2 JP H0827936B2 JP 61315058 A JP61315058 A JP 61315058A JP 31505886 A JP31505886 A JP 31505886A JP H0827936 B2 JPH0827936 B2 JP H0827936B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 非磁性支持体上に斜め蒸着により金属磁性薄膜を磁性
層として形成してなる磁気記録媒体の製造方法に関する
もので、特に磁性層の表面処理方法に関するものであ
る。The present invention relates to a method for producing a magnetic recording medium in which a metal magnetic thin film is formed as a magnetic layer on a non-magnetic support by oblique vapor deposition, and particularly to a surface treatment of the magnetic layer. It is about the method.
本発明は、非磁性支持体上に斜め蒸着により金属磁性
薄膜を形成してなる磁気記録媒体の磁性層を研磨する際
に、 前記金属磁性薄膜の柱状構造の成長方向に沿って研磨
することにより、 強磁性金属薄膜型磁気記録媒体のドロップアウトを減
少させ、表面処理による所謂スクラッチキズの発生を防
止しようとするものである。According to the present invention, when polishing a magnetic layer of a magnetic recording medium in which a metal magnetic thin film is formed by oblique vapor deposition on a non-magnetic support, polishing is performed along the growth direction of the columnar structure of the metal magnetic thin film. The present invention aims to reduce the dropout of a ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium and prevent the occurrence of so-called scratches due to surface treatment.
従来より磁気記録媒体としては、非磁性支持体上にγ
−Fe2O3,Coを含有するγ−Fe2O3,Fe3O4,Coを含有するF
e3O4,γ−Fe2O3とFe3O4とのベルトライド化合物、Coを
含有するベルトライド化合物,CrO2等の酸化物強磁性粉
末あるいはFe,Co,Ni等を主成分とする合金磁性粉末等の
粉末磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル系共重合体、ポ
リエステル樹脂,ポリウレタン樹脂等の有機バインダー
中に分散せしめた磁性塗料を塗布・乾燥することにより
作製される塗布型の磁気記録媒体が広く使用されてい
る。Conventionally, as a magnetic recording medium, γ has been formed on a non-magnetic support.
-Fe 2 O 3 , Co containing γ-Fe 2 O 3 , Fe 3 O 4 , Co containing F
e 3 O 4 , γ-Fe 2 O 3 and Fe 3 O 4 beltride compounds, B-containing compound containing Co, oxide ferromagnetic powder such as CrO 2 or Fe, Co, Ni as the main component Coating type magnetic produced by coating and drying a magnetic paint in which a powder magnetic material such as alloy magnetic powder is dispersed in an organic binder such as vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, polyester resin, polyurethane resin, etc. Recording media are widely used.
これに対して、高密度磁気記録への要求の高まりとと
もに、Co−Ni合金等の強磁性金属材料を、メッキや真空
薄膜形成技術(真空蒸着法やスパッタリング法,イオン
プレーティング法等)によってポリエステルフィルムや
ポリイミドフィルム等の非磁性支持体上に直接被着し
た、いわゆる強磁性金属薄膜型の磁気記録媒体が提案さ
れ、注目を集めている。この強磁性金属薄膜型磁気記録
媒体は、抗磁力や角形比等に優れ、短波長記録での電磁
変換特性に優れるばかりでなく、磁性層の厚みを極めて
薄くすることが可能であるため記録減磁や再生時の厚み
損失が著しく小さいこと、磁性層中に非磁性材である有
機バインダーを混入する必要がないため磁性材料の充填
密度を高めることができること等、数々の利点を有して
いる。On the other hand, with the increasing demand for high-density magnetic recording, a ferromagnetic metal material such as a Co-Ni alloy is coated with polyester by a plating or vacuum thin film forming technique (vacuum deposition method, sputtering method, ion plating method, etc.). A so-called ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium, which is directly deposited on a non-magnetic support such as a film or a polyimide film, has been proposed and has attracted attention. This ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium is excellent not only in coercive force and squareness ratio but also in electromagnetic conversion characteristics in short wavelength recording, and it is possible to make the thickness of the magnetic layer extremely thin, thereby reducing the recording loss. It has a number of advantages such as extremely small thickness loss during magnetism and reproduction, and higher packing density of magnetic material because it is not necessary to mix an organic binder that is a non-magnetic material in the magnetic layer. .
ところで、上記強磁性金属薄膜型磁気記録媒体を作製
する際、Co−Ni合金等の強磁性金属材料を磁性層として
非磁性支持体上に直接被着するには、磁性層の保磁力や
角形比等の磁気特性を向上させるために斜め蒸着法によ
り被着することが一般的である。By the way, when the ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium is manufactured, in order to directly deposit a ferromagnetic metal material such as a Co--Ni alloy as a magnetic layer on a non-magnetic support, the coercive force or the rectangular shape of the magnetic layer is used. In order to improve the magnetic properties such as the ratio, the deposition is generally performed by the oblique vapor deposition method.
ところが、上述のように斜め蒸着法により強磁性金属
材料を非磁性支持体上に被着したままの状態では、その
表面性が悪く,いわゆるドロップアウトが発生し易く磁
気記録媒体の磁気特性の劣化等を招き好ましくない。し
たがって、強磁性金属薄膜の表面性を改善し、ドロップ
アウトの発生を減少させる必要がある。However, as described above, when the ferromagnetic metal material is left deposited on the non-magnetic support by the oblique deposition method, its surface property is poor and so-called dropout easily occurs, which deteriorates the magnetic characteristics of the magnetic recording medium. Etc. is not preferable. Therefore, it is necessary to improve the surface property of the ferromagnetic metal thin film and reduce the occurrence of dropout.
そこで、強磁性金属薄膜型磁気記録媒体のドロップア
ウトを減少させ、表面処理によるスクラッチキズの発生
を防止することができる磁気記録媒体の製造方法を提供
することを目的とする。Therefore, it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a magnetic recording medium capable of reducing the dropout of a ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium and preventing the occurrence of scratches due to surface treatment.
本発明は、上述の目的を達成するために提案されたも
のであって、非磁性支持体上に斜め蒸着により金属磁性
薄膜を形成した後、前記金属磁性薄膜をその柱状構造の
成長方向に沿って順目方向に研磨することを特徴とする
ものである。The present invention has been proposed in order to achieve the above-mentioned object, and after forming a metal magnetic thin film on a non-magnetic support by oblique vapor deposition, the metal magnetic thin film is formed along the growth direction of its columnar structure. It is characterized by polishing in the normal direction.
金属磁性薄膜の柱状構造の成長方向に沿って研磨処理
を施すため、柱状構造を逆撫ですることがなく良好に強
磁性金属薄膜型磁気記録媒体の表面処理が行え、スクラ
ッチキズの発生が防止され、また、ドロップアウトも良
好に減少する。Since the polishing treatment is performed along the growth direction of the columnar structure of the metal magnetic thin film, the surface treatment of the ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium can be performed satisfactorily without stroking the columnar structure, and the occurrence of scratches is prevented. Also, dropout is reduced favorably.
以下、本発明を適用した磁気記録媒体の製造方法の実
施例を図面を参考して説明する。An embodiment of a method of manufacturing a magnetic recording medium to which the present invention is applied will be described below with reference to the drawings.
本発明が適用される磁気記録媒体は、強磁性金属薄膜
型の磁気記録媒体,特に斜め蒸着法により強磁性金属薄
膜を被着形成した磁気記録媒体である。The magnetic recording medium to which the present invention is applied is a ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium, particularly a magnetic recording medium on which a ferromagnetic metal thin film is formed by oblique deposition.
したがって、第1図に示すように、磁気記録媒体を製
造するには、先ず非磁性支持体(1)表面に対してCo−
Ni合金等の強磁性金属材料を斜め方向から真空蒸着し、
強磁性金属薄膜よりなる磁性層(2)を形成する。Therefore, as shown in FIG. 1, in order to manufacture a magnetic recording medium, first of all, Co-- is applied to the surface of the non-magnetic support (1).
Vacuum-deposit a ferromagnetic metal material such as Ni alloy from an oblique direction,
A magnetic layer (2) made of a ferromagnetic metal thin film is formed.
ここで、斜め蒸着する強磁性金属材料としては、Co−
Ni合金の他、Co−Pt合金,Co−Ni−Pt合金,Fe−Co合金,F
e−Ni合金,Fe−Co−Ni合金,Fe−Co−B合金,Co−Ni−Fe
−B合金等が使用可能であり、またこれに限らずこの種
の媒体に使用される強磁性金属材料がいずれも使用可能
である。Here, as the ferromagnetic metal material obliquely deposited, Co-
Other than Ni alloy, Co-Pt alloy, Co-Ni-Pt alloy, Fe-Co alloy, F
e-Ni alloy, Fe-Co-Ni alloy, Fe-Co-B alloy, Co-Ni-Fe
-B alloy or the like can be used, and not limited to this, any ferromagnetic metal material used for this type of medium can be used.
上記磁性層(2)は、強磁性金属薄膜に磁気異方性を
付与し、抗磁力を高めるために斜め蒸着法により形成さ
れるものである。したがって、その膜構造を観察した場
合には、第2図に模式的に示すように、例えば図中右側
に向かって斜めの柱状構造を呈する。The magnetic layer (2) is formed by the oblique vapor deposition method in order to impart magnetic anisotropy to the ferromagnetic metal thin film and increase the coercive force. Therefore, when the film structure is observed, as schematically shown in FIG. 2, for example, a columnar structure oblique to the right side in the drawing is exhibited.
本発明においては、ドロップアウトの減少対策として
上記磁性層(2)に対してラッピングテープ等を使用し
た研磨処理を施すこととした。しかし、強磁性金属薄膜
を斜め蒸着した磁気記録媒体は、磁性層を構成する強磁
性金属薄膜の柱状構造が方向性を有しているため、研磨
処理を該磁性層の方向性を無視して行ったのでは、ドロ
ップアウトを減少させることができないばかりか、磁性
層表面にスクラッチキズを発生させる等の問題が生じる
ことになる。In the present invention, as a measure for reducing dropout, the magnetic layer (2) is subjected to a polishing treatment using a wrapping tape or the like. However, in a magnetic recording medium in which a ferromagnetic metal thin film is obliquely vapor-deposited, the columnar structure of the ferromagnetic metal thin film forming the magnetic layer has directionality. If it is done, not only the dropout cannot be reduced, but also problems such as scratches on the surface of the magnetic layer occur.
そこで本発明者等は、上述のように斜め蒸着法により
被着形成した強磁性金属薄膜を有する磁気記録媒体にお
いて、該磁気記録媒体のドロップアウトを防止するため
の表面処理の方法、特にラッピングテープの走行方向に
ついて種々検討した。Therefore, the inventors of the present invention, in a magnetic recording medium having a ferromagnetic metal thin film deposited by the oblique vapor deposition method as described above, a method of surface treatment for preventing dropout of the magnetic recording medium, particularly a lapping tape. Various studies were made on the traveling direction of the.
その結果、斜め蒸着法により被着形成される上記強磁
性金属薄膜は、その柱状構造が非磁性支持体(1)に対
してある所定の角度を有して斜めに形成されることか
ら、柱状構造に対して順目方向(第2図中矢印A方向,
以下、A方向と記す。)にラッピングテープを走行させ
ることが必要であることがわかった。このように強磁性
金属薄膜の柱状結晶に対してA方向にラッピングテープ
を走行させた場合には、顕著にドロップアウトを減少さ
せることができ、さらに磁性層(2)に対しても何等キ
ズを発生させることがなく、所定の表面処理が行える。As a result, since the columnar structure of the ferromagnetic metal thin film deposited and formed by the oblique deposition method is formed obliquely with a certain predetermined angle with respect to the non-magnetic support (1), Forward direction with respect to the structure (direction of arrow A in FIG. 2,
Hereinafter, it is referred to as the A direction. It was found necessary to run a wrapping tape on). As described above, when the lapping tape is run in the A direction with respect to the columnar crystals of the ferromagnetic metal thin film, the dropout can be remarkably reduced, and further, the magnetic layer (2) is not damaged. Predetermined surface treatment can be performed without generation.
これに対して、研磨処理の際ラッピングテープを強磁
性金属薄膜の柱状構造に対して逆目方向(第2図中矢印
B方向,以下、B方向と記す。)に走行させた場合に
は、ドロップアウトが減少しないばかりか、磁性層
(2)に対してスクラッチキズを発生させることになっ
てしまった。On the other hand, when the lapping tape is run in the reverse direction (the arrow B direction in FIG. 2, hereinafter referred to as B direction) with respect to the columnar structure of the ferromagnetic metal thin film during the polishing treatment, Not only did the dropout decrease, but scratches were generated on the magnetic layer (2).
すなわち、スクラッチテープを使用して磁性層(2)
の表面研磨処理を行うには、強磁性金属薄膜の柱状構造
に対してA方向(順目方向)にラッピングテープを走行
させなければ研磨処理の効果が現れず、ドロップアウト
も減少させることができない。That is, using a scratch tape, the magnetic layer (2)
In order to carry out the surface polishing treatment, the lapping tape does not have the effect of polishing treatment and the dropout cannot be reduced unless the lapping tape is run in the A direction (forward direction) with respect to the columnar structure of the ferromagnetic metal thin film. .
上述の知見に基づき、実際に強磁性金属薄膜型磁気記
録媒体を用いてラッピングテープによる表面処理を行っ
た。Based on the above-mentioned findings, the surface treatment with the lapping tape was actually performed using the ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium.
先ず、厚さ12μmのポリエチレンテレフタレートのベ
ースフィルム上に、Co80Ni20(尚、数値は各成分の組成
比を原子%で示したものである。)よりなる磁性合金を
斜め蒸着法により1500〜1600Åの厚みに形成し、磁性層
を形成した。First, a magnetic alloy of Co 80 Ni 20 (the numerical values indicate the composition ratio of each component in atomic%) is deposited on a 12 μm-thick polyethylene terephthalate base film by oblique vapor deposition from 1500 to 500 The magnetic layer was formed with a thickness of 1600Å.
上記磁気記録媒体に対して、第2図中A方向にラッピ
ングテープを走行させ磁性層の表面処理を行った。A wrapping tape was run in the direction A in FIG. 2 on the magnetic recording medium to perform surface treatment of the magnetic layer.
その結果、磁性層表面にスクラッチキズ等発生するこ
とがなく、またドロップアウトも顕著に減少しており、
良好な表面処理が行えた。As a result, scratches and the like did not occur on the surface of the magnetic layer, and dropout was significantly reduced.
Good surface treatment was performed.
これに対して、同様に作製した磁気記録媒体を用い
て、第2図中B方向にラッピングテープを走行させ磁性
層の表面処理を行ったところ、磁性層表面にスクラッチ
キズが多数発生し、しかもドロップアウトの減少も全く
みられなかった。On the other hand, when the magnetic recording medium prepared in the same manner was used to run the lapping tape in the direction B in FIG. 2 to perform the surface treatment of the magnetic layer, many scratches were generated on the surface of the magnetic layer. There was no reduction in dropouts.
なお、ラッピングテープによる表面処理は、第3図に
示すような、非磁性支持体(1)のバック面にバックコ
ート層(3)を設けた磁気記録媒体に対しても適用する
ことができる。このようなバックコート層(3)を有し
た磁気記録媒体では、磁性層(2)に対して研磨処理を
行った後、一端巻き取られるため、磁性層(2)とバッ
クコート層(3)が直接接触することになる。この場
合、磁性層(2)のみを表面処理しても何等表面処理さ
れていないバックコート層(3)と接触することにより
悪影響を受ける虞がある。したがって、磁性層(2)及
びバックコート層(3)両者に対して研磨処理を施す必
要がある。その際には、先ずバックコート層(3)に対
して研磨処理を施し、その後磁性層(2)に対して研磨
処理するようにする。このように処理することにより、
すでに表面処理済のバックコート層(3)と接触するた
め、未処理のバックコート層(3)と接触することによ
り生じた悪影響を防止することができる。また、磁性層
(2)及びバックコート層(3)両者を表面処理するこ
とにより、磁性層(2)のみを表面処理する場合に比
べ、磁性層(2)に対するラッピングテープの走行回数
を少なくすることができ、強磁性金属薄膜への悪影響が
防止される。また、表面処理を容易に行えることにな
る。The surface treatment with the wrapping tape can also be applied to a magnetic recording medium having a back coat layer (3) on the back surface of the non-magnetic support (1) as shown in FIG. In the magnetic recording medium having such a back coat layer (3), after the magnetic layer (2) is polished, it is wound up once, so that the magnetic layer (2) and the back coat layer (3) are Will be in direct contact. In this case, even if only the magnetic layer (2) is surface-treated, it may be adversely affected by coming into contact with the back coat layer (3) which is not surface-treated at all. Therefore, it is necessary to polish both the magnetic layer (2) and the back coat layer (3). In that case, the back coat layer (3) is first subjected to a polishing treatment, and then the magnetic layer (2) is subjected to a polishing treatment. By processing in this way,
Since it comes into contact with the back coat layer (3) that has already been surface-treated, it is possible to prevent adverse effects caused by coming into contact with the untreated back coat layer (3). Further, by performing surface treatment on both the magnetic layer (2) and the back coat layer (3), the number of times the lapping tape runs on the magnetic layer (2) is reduced as compared with the case where only the magnetic layer (2) is surface treated. It is possible to prevent the adverse effect on the ferromagnetic metal thin film. Further, the surface treatment can be easily performed.
上述の実施例より明らかなように、ラッピングテープ
により磁性層の表面処理を行うにあたり、強磁性金属薄
膜の柱状結晶に対して第2図中A方向(すなわち、順目
方向)にラッピングテープを走行させることにより、ド
ロップアウトを減少させることができ、且つスクラッチ
キズの発生も防止することができる。As is apparent from the above-described examples, when the surface treatment of the magnetic layer is performed by the lapping tape, the lapping tape is run in the direction A (that is, the forward direction) in FIG. 2 with respect to the columnar crystals of the ferromagnetic metal thin film. By doing so, dropout can be reduced and the occurrence of scratches can be prevented.
非磁性支持体上に斜め蒸着により金属磁性薄膜を形成
してなる磁気記録媒体の磁性層を保磁力や角形比等の磁
気特性向上のため研磨処理する際において、上記金属磁
性薄膜の柱状構造の成長方向に沿ってラッピングテープ
を走行させて研磨処理することにより、磁気記録媒体の
ドロップアウトを減少させることができ、且つスクラッ
チキズの発生も防止することができる。When a magnetic layer of a magnetic recording medium formed by obliquely vapor-depositing a metal magnetic thin film on a non-magnetic support is subjected to polishing treatment for improving magnetic properties such as coercive force and squareness, the columnar structure of the metal magnetic thin film is By causing the lapping tape to run along the growth direction and performing the polishing treatment, it is possible to reduce the dropout of the magnetic recording medium and prevent the occurrence of scratches.
このように磁性層を表面処理することにより、強磁性
金属薄膜型磁気記録媒体のドロップアウトを減少させ、
スクラッチキズの発生を防止することができる磁気記録
媒体の製法を提供することができる。By surface-treating the magnetic layer in this manner, the dropout of the ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium is reduced,
It is possible to provide a method for producing a magnetic recording medium capable of preventing the occurrence of scratches.
第1図は本発明の方法により表面処理がなされる磁気記
録媒体の一構成例を示す要部拡大断面図である。 第2図は第1図に示す磁気記録媒体の、強磁性金属薄膜
の柱状構造を模式的に示す模式図である。 第3図は本発明の方法により表面処理がなされる磁気記
録媒体の他の構成例を示す要部拡大断面図である。 1……非磁性支持体 2……磁性層 3……バックコート層FIG. 1 is an enlarged sectional view of an essential part showing one structural example of a magnetic recording medium surface-treated by the method of the present invention. FIG. 2 is a schematic diagram schematically showing the columnar structure of the ferromagnetic metal thin film of the magnetic recording medium shown in FIG. FIG. 3 is an enlarged sectional view of an essential part showing another example of the structure of a magnetic recording medium which is surface-treated by the method of the present invention. 1 ... Non-magnetic support 2 ... Magnetic layer 3 ... Back coat layer
Claims (1)
薄膜を形成した後、 前記金属磁性薄膜をその柱状構造の成長方向に沿って順
目方向に研磨することを特徴とする磁気記録媒体の製造
方法。1. A magnetic recording medium, comprising: forming a metal magnetic thin film on a non-magnetic support by oblique vapor deposition; and polishing the metal magnetic thin film in a normal direction along the growth direction of its columnar structure. Manufacturing method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61315058A JPH0827936B2 (en) | 1986-12-27 | 1986-12-27 | Method of manufacturing magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61315058A JPH0827936B2 (en) | 1986-12-27 | 1986-12-27 | Method of manufacturing magnetic recording medium |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63167425A JPS63167425A (en) | 1988-07-11 |
| JPH0827936B2 true JPH0827936B2 (en) | 1996-03-21 |
Family
ID=18060929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61315058A Expired - Lifetime JPH0827936B2 (en) | 1986-12-27 | 1986-12-27 | Method of manufacturing magnetic recording medium |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0827936B2 (en) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5948449B2 (en) * | 1979-06-15 | 1984-11-27 | 日本真空技術株式会社 | Manufacturing method of magnetic recording medium |
-
1986
- 1986-12-27 JP JP61315058A patent/JPH0827936B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63167425A (en) | 1988-07-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |