JPH0830675B2 - 超清浄度の評価方法および該評価方法に使用される測定装置 - Google Patents
超清浄度の評価方法および該評価方法に使用される測定装置Info
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- JPH0830675B2 JPH0830675B2 JP62015775A JP1577587A JPH0830675B2 JP H0830675 B2 JPH0830675 B2 JP H0830675B2 JP 62015775 A JP62015775 A JP 62015775A JP 1577587 A JP1577587 A JP 1577587A JP H0830675 B2 JPH0830675 B2 JP H0830675B2
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- JP
- Japan
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- cleanliness
- dust
- air
- measuring device
- free air
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、超LSI等の製造或いは研究開発を行うクリ
ーンルーム内の超清浄度の評価方法および該評価方法に
使用される測定装置に関する。
ーンルーム内の超清浄度の評価方法および該評価方法に
使用される測定装置に関する。
従来、清浄空気の評価は、サンプリング管内に測定空
気を吸引しこれにレーザ光を照射し、レーザ光が粒子に
衝突し散乱する光を光センサにより検出しているが、現
在、清浄空気の評価については、米国連邦規格で規定さ
れているクラス100、クラス1,000、クラス10,000、クラ
ス100,000について評価が行われている。これは、粒子
径0.5μｍ以上の粒子数が、1ft3の立方体の中にそれぞ
れ100個、1,000個、10,000個、100,000個存在すること
を意味している。
気を吸引しこれにレーザ光を照射し、レーザ光が粒子に
衝突し散乱する光を光センサにより検出しているが、現
在、清浄空気の評価については、米国連邦規格で規定さ
れているクラス100、クラス1,000、クラス10,000、クラ
ス100,000について評価が行われている。これは、粒子
径0.5μｍ以上の粒子数が、1ft3の立方体の中にそれぞ
れ100個、1,000個、10,000個、100,000個存在すること
を意味している。
しかしながら、対象粒子径が0.1μｍ、クラス１（１
個/ft3）さらには対象粒子径が0.03μｍ、クラス0.5
（１個/2ft3）といった超清浄空気の正確な評価方法は
なかった。
個/ft3）さらには対象粒子径が0.03μｍ、クラス0.5
（１個/2ft3）といった超清浄空気の正確な評価方法は
なかった。
これは、レーザパーティクルカウンタでは粒子径が0.
1μｍのものまで計測可能であり、また、粒子を飽和ア
ルコールの中を通過させ粒子径を大にしてから計測する
CNCカウンタでは、粒子径が0.02〜0.03μｍのものまで
計測可能であるが、測定器のバックグランド計数値（真
に無塵の空気をサンプリングした場合でも粒子数をカウ
ントする値）が問題となり正確に評価が出来ないためで
ある。この測定器のバックグランド計数値は、周囲の静
電気、電磁波等の影響により測定器がノイズを発生し、
これをカウントする値が主なものであるが、他に測定器
内の空気流路等の汚染により、ここから粒子が発生して
バックグランド計数値に加算される場合もある。
1μｍのものまで計測可能であり、また、粒子を飽和ア
ルコールの中を通過させ粒子径を大にしてから計測する
CNCカウンタでは、粒子径が0.02〜0.03μｍのものまで
計測可能であるが、測定器のバックグランド計数値（真
に無塵の空気をサンプリングした場合でも粒子数をカウ
ントする値）が問題となり正確に評価が出来ないためで
ある。この測定器のバックグランド計数値は、周囲の静
電気、電磁波等の影響により測定器がノイズを発生し、
これをカウントする値が主なものであるが、他に測定器
内の空気流路等の汚染により、ここから粒子が発生して
バックグランド計数値に加算される場合もある。
本発明は上記問題を解決するものであって、バックグ
ランド計数値が現場により異なっていても、限りなく０
に近い超清浄度をも評価できる超清浄度の評価方法およ
び該評価方法に使用される測定装置を提供することを目
的とする。
ランド計数値が現場により異なっていても、限りなく０
に近い超清浄度をも評価できる超清浄度の評価方法およ
び該評価方法に使用される測定装置を提供することを目
的とする。
そのために本発明の超清浄度の評価方法は、クリーン
ルーム内に無塵空気発生器と微粒子測定器を配し、前記
無塵空気発生器から発生する無塵空気の清浄度であるバ
ックグランド計数値と、クリーンルーム内の対象空気の
清浄度とを前記微粒子測定器により測定し、これらバッ
クグランド計数値と対象空気の清浄度とを統計的に検定
し、有意であれば両者の平均値の差をその対象空気の清
浄度とし、有意でないならば、その対象空気の清浄度を
無塵空気の清浄度と同じと見做すことを特徴とし、ま
た、本発明の清浄度の評価方法に使用される測定装置
は、前記微粒子測定器は、測定器本体と、該測定器本体
空気に接続されたサンプリング管と、サンプリング管に
支持具を介して接続された可撓性管と、サンプリング管
固定器具と、該固定器具に形成された溝とを備え、該溝
に沿って前記支持具を回動可能にすることにより、前記
無塵空気発生器から発生する無塵空気と対象空気の両者
の清浄度を測定可能にしたことを特徴とするものであ
る。
ルーム内に無塵空気発生器と微粒子測定器を配し、前記
無塵空気発生器から発生する無塵空気の清浄度であるバ
ックグランド計数値と、クリーンルーム内の対象空気の
清浄度とを前記微粒子測定器により測定し、これらバッ
クグランド計数値と対象空気の清浄度とを統計的に検定
し、有意であれば両者の平均値の差をその対象空気の清
浄度とし、有意でないならば、その対象空気の清浄度を
無塵空気の清浄度と同じと見做すことを特徴とし、ま
た、本発明の清浄度の評価方法に使用される測定装置
は、前記微粒子測定器は、測定器本体と、該測定器本体
空気に接続されたサンプリング管と、サンプリング管に
支持具を介して接続された可撓性管と、サンプリング管
固定器具と、該固定器具に形成された溝とを備え、該溝
に沿って前記支持具を回動可能にすることにより、前記
無塵空気発生器から発生する無塵空気と対象空気の両者
の清浄度を測定可能にしたことを特徴とするものであ
る。
本発明においては例えば第１図に示すように、先ず、
サンプリング管17を水平に倒して第２図点線の位置に
し、無塵空気発生器11からでる無塵空気をサンプリング
して微粒子測定器12のバックグランド計数値を測定し、
次に、サンプリング管17を垂直に起こして、クリーンル
ーム１内の空気を等速サンプリングし、クリーンルーム
１内の微粒子を測定する。そして、これらバックグラン
ド計数値と測定対象データとを統計的に検定し、有意で
あれば両者の平均値の差をその対象空気の清浄度とし、
有意でないならば、そのその対象空気の清浄度は無塵空
気の清浄度と同じと見做し、清浄度をクラス０とするも
のである。
サンプリング管17を水平に倒して第２図点線の位置に
し、無塵空気発生器11からでる無塵空気をサンプリング
して微粒子測定器12のバックグランド計数値を測定し、
次に、サンプリング管17を垂直に起こして、クリーンル
ーム１内の空気を等速サンプリングし、クリーンルーム
１内の微粒子を測定する。そして、これらバックグラン
ド計数値と測定対象データとを統計的に検定し、有意で
あれば両者の平均値の差をその対象空気の清浄度とし、
有意でないならば、そのその対象空気の清浄度は無塵空
気の清浄度と同じと見做し、清浄度をクラス０とするも
のである。
以下、本発明の実施例について図面を参照しつつ説明
する。第１図は本発明の超清浄度の評価方法および該評
価方法に使用される測定装置の１実施例を説明するため
の図、第２図は本発明の超清浄度の評価方法に使用され
る測定装置の要部を示す側面図である。図中、１はクリ
ーンルーム、２はフィルタ、３はグレーチング床、４、
５はダクト、６はフィルタ、７は空調機、８はファン、
９…クリーンユニット、10は超清浄度測定装置、11は無
塵空気発生器、12は微粒子測定器、13、14…台車、15は
ファン、16はULPAフィルタ、17…サンプリング管、18は
サンプリング管固定器具、19…測定器本体、20は支持
具、21は可撓性管、22は溝を示す。
する。第１図は本発明の超清浄度の評価方法および該評
価方法に使用される測定装置の１実施例を説明するため
の図、第２図は本発明の超清浄度の評価方法に使用され
る測定装置の要部を示す側面図である。図中、１はクリ
ーンルーム、２はフィルタ、３はグレーチング床、４、
５はダクト、６はフィルタ、７は空調機、８はファン、
９…クリーンユニット、10は超清浄度測定装置、11は無
塵空気発生器、12は微粒子測定器、13、14…台車、15は
ファン、16はULPAフィルタ、17…サンプリング管、18は
サンプリング管固定器具、19…測定器本体、20は支持
具、21は可撓性管、22は溝を示す。
第１図において、クリーンルーム１の天井部には、HE
PAフィルタ、ULPAフィルタ、スーパーULPAフィルタ等の
捕集効率の高いフィルタ２が配設され、クリーンルーム
１の天井部およびグレーチング床３には、ダクト４、５
を介してフィルタ６、空調機７およびファン８を備える
クリーンユニット９が連結されている。
PAフィルタ、ULPAフィルタ、スーパーULPAフィルタ等の
捕集効率の高いフィルタ２が配設され、クリーンルーム
１の天井部およびグレーチング床３には、ダクト４、５
を介してフィルタ６、空調機７およびファン８を備える
クリーンユニット９が連結されている。
超清浄度測定装置10は、無塵空気発生器11と微粒子測
定器12から構成され、それぞれ移動可能な台車13、14上
に載置されている。無塵空気発生器11は、ファン15によ
り吸引した空気を３枚のULPAフィルタ16を通過させ無塵
空気を発生させるものである。ULPAフィルタ16は、例え
ば0.1μｍに対して捕集効率が99.999％で３枚のULPAフ
ィルタ16の総合捕集効率は99.99…99（15ナイン）％
で、これを通過した空気は真に無塵の空気と見做すこと
ができる。
定器12から構成され、それぞれ移動可能な台車13、14上
に載置されている。無塵空気発生器11は、ファン15によ
り吸引した空気を３枚のULPAフィルタ16を通過させ無塵
空気を発生させるものである。ULPAフィルタ16は、例え
ば0.1μｍに対して捕集効率が99.999％で３枚のULPAフ
ィルタ16の総合捕集効率は99.99…99（15ナイン）％
で、これを通過した空気は真に無塵の空気と見做すこと
ができる。
微粒子測定器12は、サンプリング管17、サンプリング
管固定器具18および測定器本体19からなり、第２図に詳
細に示すように、サンプリング管17は支持具20を介して
塩ビ管等の可撓性管21と接続されると共に、サンプリン
グ管固定器具18は、サンプリング管17の支持具20が固定
器具18の溝22に沿って回動可能に形成され、これにより
サンプリング管17を垂直に立ててクリーンルーム１内の
空気を吸引したり、例えば、矢印Ａに示すように水平に
して無塵空気発生器11からでる空気を吸引することがで
きるように、固定位置が可変になるように形成されてい
る。また、微粒子測定器12の必要条件はサンプリング管
17に近づいてサンプリングの位置を換える際に、人から
の発塵により測定値の信頼性が低下するのを防止するこ
とである。
管固定器具18および測定器本体19からなり、第２図に詳
細に示すように、サンプリング管17は支持具20を介して
塩ビ管等の可撓性管21と接続されると共に、サンプリン
グ管固定器具18は、サンプリング管17の支持具20が固定
器具18の溝22に沿って回動可能に形成され、これにより
サンプリング管17を垂直に立ててクリーンルーム１内の
空気を吸引したり、例えば、矢印Ａに示すように水平に
して無塵空気発生器11からでる空気を吸引することがで
きるように、固定位置が可変になるように形成されてい
る。また、微粒子測定器12の必要条件はサンプリング管
17に近づいてサンプリングの位置を換える際に、人から
の発塵により測定値の信頼性が低下するのを防止するこ
とである。
次に測定方法について説明すると、先ず、サンプリン
グ管17を水平に倒して第２図点線の位置にし、無塵空気
発生器11からでる無塵空気をサンプリングして微粒子測
定器12のバックグランド計数値を測定し、次に、サンプ
リング管17を垂直に起こして、クリーンルーム１内の空
気を等速サンプリングし、クリーンルーム１内の微粒子
を測定する。そして、これらバックグランド計数値と測
定対象データとを統計的に検定し、有意であれば両者の
平均値の差をその対象空気の清浄度とし、有意でないな
らば、そのその対象空気の清浄度は無塵空気の清浄度と
同じと見做し、清浄度がクラス０とするものである。
グ管17を水平に倒して第２図点線の位置にし、無塵空気
発生器11からでる無塵空気をサンプリングして微粒子測
定器12のバックグランド計数値を測定し、次に、サンプ
リング管17を垂直に起こして、クリーンルーム１内の空
気を等速サンプリングし、クリーンルーム１内の微粒子
を測定する。そして、これらバックグランド計数値と測
定対象データとを統計的に検定し、有意であれば両者の
平均値の差をその対象空気の清浄度とし、有意でないな
らば、そのその対象空気の清浄度は無塵空気の清浄度と
同じと見做し、清浄度がクラス０とするものである。
次に、本発明による超清浄度の評価方法の評価例につ
いて説明すると、次ページの表１は上記した評価装置を
用いて測定した結果を示し、無塵空気によるバックグラ
ンドを15回測定した値と、クリーンルーム内を20回測定
した値を示している。
いて説明すると、次ページの表１は上記した評価装置を
用いて測定した結果を示し、無塵空気によるバックグラ
ンドを15回測定した値と、クリーンルーム内を20回測定
した値を示している。
上記表１で得られたデータを基にバックグランドデー
タと測定データの有意義検定をｔ分布を用いて行う例を
以下に説明する。
タと測定データの有意義検定をｔ分布を用いて行う例を
以下に説明する。
バックグランド値の符号をｂ、測定値の符号をｍと
し、それぞれの平均値をMb、Mm、標準偏差をSDb、SDm、
サンプル数をNb、Nmとすると、変数 ｔ＝（Mm−Mb）/SD′（1/Nb＋1/Nm） SD′＝〔（SDb 2＋SDm 2）／（Nb＋Nm−２）〕1/2 は自由度（Nb＋Nm−２）のｔ分布に従うことが証明され
ている。上式に表１のデータから得られる Mb＝0.133、SDb＝0.352、Nb＝15 Mm＝0.150、SDm＝0.366、Nm＝20 を代入すると、t0＝0.566となる。
し、それぞれの平均値をMb、Mm、標準偏差をSDb、SDm、
サンプル数をNb、Nmとすると、変数 ｔ＝（Mm−Mb）/SD′（1/Nb＋1/Nm） SD′＝〔（SDb 2＋SDm 2）／（Nb＋Nm−２）〕1/2 は自由度（Nb＋Nm−２）のｔ分布に従うことが証明され
ている。上式に表１のデータから得られる Mb＝0.133、SDb＝0.352、Nb＝15 Mm＝0.150、SDm＝0.366、Nm＝20 を代入すると、t0＝0.566となる。
次にｔ表より危険率αのときのｔ（Nb＋Nm−2,α）を
求める。危険率α＝0.05のとき、 ｔ（15＋20−2,0.05） ＝ｔ（33.0.05）＝2.03 となる。
求める。危険率α＝0.05のとき、 ｔ（15＋20−2,0.05） ＝ｔ（33.0.05）＝2.03 となる。
t0＞ｔ（Nb＋Nm−2,α）が成立すれば、バックグラン
ドデータと測定データに有意な差があると判断してよ
く、両者の平均値の差をその対象空気の清浄度とする
が、この場合のように、t0＝0.566＜ｔ（33,0.05）＝2.
03の場合には、両者に有意な差がないとしてその対象空
気の清浄度を無塵空気の清浄度と同じと見做し、清浄度
を０個/ft3と判定する。
ドデータと測定データに有意な差があると判断してよ
く、両者の平均値の差をその対象空気の清浄度とする
が、この場合のように、t0＝0.566＜ｔ（33,0.05）＝2.
03の場合には、両者に有意な差がないとしてその対象空
気の清浄度を無塵空気の清浄度と同じと見做し、清浄度
を０個/ft3と判定する。
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではな
く、種々の変更が可能である。例えば、上記実施例にお
いては、バックグランドデータと測定データの有意義検
定をｔ分布を用いて行っているが、他の検定手法を用い
てもよい。
く、種々の変更が可能である。例えば、上記実施例にお
いては、バックグランドデータと測定データの有意義検
定をｔ分布を用いて行っているが、他の検定手法を用い
てもよい。
以上説明したように本発明によれば、クリーンルーム
内に無塵空気発生器と微粒子測定器を配し、前記無塵空
気発生器から発生する無塵空気の清浄度であるバックグ
ランド計数値と、クリーンルーム内の対象空気の清浄度
とを前記微粒子測定器により測定し、これらバックグラ
ンド計数値と対象空気の清浄度とを統計的に検定し、有
意であれば両者の平均値の差をその対象空気の清浄度と
し、有意でないならば、その対象空気の清浄度を無塵空
気の清浄度と同じと見做し、清浄度０個/ft3とするもの
であるから、バックグランド計数値が現場により異なっ
ていても、限りなく０に近い超清浄度をも評価すること
ができる。
内に無塵空気発生器と微粒子測定器を配し、前記無塵空
気発生器から発生する無塵空気の清浄度であるバックグ
ランド計数値と、クリーンルーム内の対象空気の清浄度
とを前記微粒子測定器により測定し、これらバックグラ
ンド計数値と対象空気の清浄度とを統計的に検定し、有
意であれば両者の平均値の差をその対象空気の清浄度と
し、有意でないならば、その対象空気の清浄度を無塵空
気の清浄度と同じと見做し、清浄度０個/ft3とするもの
であるから、バックグランド計数値が現場により異なっ
ていても、限りなく０に近い超清浄度をも評価すること
ができる。
第１図は本発明の超清浄度の評価方法および該評価方法
に使用される測定装置の１実施例を説明するための図、
第２図は本発明の超清浄度の評価方法に使用される測定
装置の要部を示す側面図である。 １……クリーンルーム、２……フィルタ、３……グレー
チング床、４、５……ダクト、６……フィルタ、７……
空調機、８……ファン、９……クリーンユニット、10…
…超清浄度測定装置、11……無塵空気発生器、12……微
粒子測定器、13、14……台車、15……ファン、16……UL
PAフィルタ、17……サンプリング管、18……サンプリン
グ管固定器具、19……測定器本体、20……支持具、21…
…可撓性管、22……溝。
に使用される測定装置の１実施例を説明するための図、
第２図は本発明の超清浄度の評価方法に使用される測定
装置の要部を示す側面図である。 １……クリーンルーム、２……フィルタ、３……グレー
チング床、４、５……ダクト、６……フィルタ、７……
空調機、８……ファン、９……クリーンユニット、10…
…超清浄度測定装置、11……無塵空気発生器、12……微
粒子測定器、13、14……台車、15……ファン、16……UL
PAフィルタ、17……サンプリング管、18……サンプリン
グ管固定器具、19……測定器本体、20……支持具、21…
…可撓性管、22……溝。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−68641（ＪＰ，Ａ) 十代田 三知男「品質管理」Ｐ．52− Ｐ．55 コロナ社（昭和39年８月20日発 行)
Claims (2)
- 【請求項１】クリーンルーム内に無塵空気発生器と微粒
子測定器を配し、前記無塵空気発生器から発生する無塵
空気の清浄度であるバックグランド計数値と、クリーン
ルーム内の対象空気の清浄度とを前記微粒子測定器によ
り測定し、これらバックグランド計数値と対象空気の清
浄度とを統計的に検定し、有意であれば両者の平均値の
差をその対象空気の清浄度とし、有意でないならば、そ
の対象空気の清浄度を無塵空気の清浄度と同じと見做す
ことを特徴とする超清浄度の評価方法。 - 【請求項２】クリーンルーム内に無塵空気発生器と微粒
子測定器を配し、前記無塵空気発生器から発生する無塵
空気の清浄度であるバックグランド計数値と、クリーン
ルーム内の対象空気の清浄度とを前記微粒子測定器によ
り測定し、これらバックグランド計数値と対象空気の清
浄度とを統計的に検定し、有意であれば両者の平均値の
差をその対象空気の清浄度とし、有意でないならば、そ
の対象空気の清浄度を無塵空気の清浄度と同じと見做す
ことを特徴とする超清浄度の評価方法に使用される測定
装置であって、 前記微粒子測定器は、測定器本体と、該測定器本体空気
に接続されたサンプリング管と、サンプリング管に支持
具を介して接続された可撓性管と、サンプリング管固定
器具と、該固定器具に形成された溝とを備え、該溝に沿
って前記支持具を回動可能にすることにより、前記無塵
空気発生器から発生する無塵空気と対象空気の両者の清
浄度を測定可能にしたことを特徴とする清浄度の評価方
法に使用される測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62015775A JPH0830675B2 (ja) | 1987-01-26 | 1987-01-26 | 超清浄度の評価方法および該評価方法に使用される測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62015775A JPH0830675B2 (ja) | 1987-01-26 | 1987-01-26 | 超清浄度の評価方法および該評価方法に使用される測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63182548A JPS63182548A (ja) | 1988-07-27 |
| JPH0830675B2 true JPH0830675B2 (ja) | 1996-03-27 |
Family
ID=11898188
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62015775A Expired - Lifetime JPH0830675B2 (ja) | 1987-01-26 | 1987-01-26 | 超清浄度の評価方法および該評価方法に使用される測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0830675B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014044135A (ja) * | 2012-08-28 | 2014-03-13 | Ntt-At Creative Corp | 検出対象物の測定方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3426307B2 (ja) * | 1993-11-30 | 2003-07-14 | 株式会社住化分析センター | クリーンルーム用サンプリングキットとクリーンルーム用サンプリング及び分析方法 |
| JP2002357346A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-12-13 | Ricoh Co Ltd | クリーンルーム |
| JP5907787B2 (ja) * | 2012-04-10 | 2016-04-26 | アズビル株式会社 | 粒子測定装置の位置記録システム及び粒子測定装置の位置記録方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5868641A (ja) * | 1981-10-20 | 1983-04-23 | Masabumi Kato | クリ−ンル−ムの空気分析・報告システム並びに同システムに使用されるモニタ−カ−ド |
-
1987
- 1987-01-26 JP JP62015775A patent/JPH0830675B2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 十代田三知男「品質管理」Ｐ．５２−Ｐ．５５コロナ社（昭和３９年８月２０日発行） |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014044135A (ja) * | 2012-08-28 | 2014-03-13 | Ntt-At Creative Corp | 検出対象物の測定方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63182548A (ja) | 1988-07-27 |
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