JPH086704B2

JPH086704B2 - Sliding structure and sliding structure of oilless compressor

Info

Publication number: JPH086704B2
Application number: JP24332290A
Authority: JP
Inventors: 克己河原; 幸弘烏鷹
Original assignee: Daikin Industries Ltd
Current assignee: Daikin Industries Ltd
Priority date: 1990-09-12
Filing date: 1990-09-12
Publication date: 1996-01-29
Anticipated expiration: 2011-01-29
Also published as: JPH04121488A

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、互いに当接して相対的に摺動する２つの摺
動部材を組合せてなる摺動部構造に係り、特に、摺動部
材間の摩擦力の低減対策に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sliding portion structure formed by combining two sliding members that come into contact with each other and relatively slide, and particularly, between sliding members. Regarding reduction measures of frictional force.

（従来の技術）一般に、各種機械を構成している部材として、相対的
に摺動する複数の摺動部材がある。例えば、実開平２−
74585号公報に示されるような冷凍機に設けられるロー
タリ式圧縮機は、シリンダの両端面にサイドケースが取
付けられ、このシリンダ及びサイドケースによって形成
された空間にロータリピストンが、前記シリンダに対し
て偏心し、且つその一部がシリンダの内周面に当接する
ように配設されている。また、前記シリンダにはブレー
ド溝が穿設されており、このブレード溝にブレードが挿
通され、該ブレードの先端面が前記ロータリピストンの
外周面に当接されてシリンダ内部には低圧室及び高圧室
からなる圧縮室が形成されている。そして、この圧縮機
の運転時には、シリンダ内でロータリピストンが回転
し、この回転に伴って、低圧室及び高圧室の容積を変化
させることにより冷媒ガスを圧縮する。従って、このロ
ータリ式圧縮機の運転時には、ブレードの側面とブレー
ド溝の内壁面、ブレードの先端面とロータリピストンの
外周面が夫々相対的に摺動している。(Prior Art) Generally, there are a plurality of sliding members that relatively slide as a member that constitutes various machines. For example, the actual Kaihei 2-
In a rotary compressor provided in a refrigerator as shown in Japanese Patent No. 74585, side cases are attached to both end surfaces of a cylinder, and a rotary piston is provided in a space formed by the cylinder and the side case with respect to the cylinder. It is arranged so as to be eccentric and a part of it is in contact with the inner peripheral surface of the cylinder. Further, a blade groove is bored in the cylinder, the blade is inserted into the blade groove, and the tip end surface of the blade is brought into contact with the outer peripheral surface of the rotary piston so that a low pressure chamber and a high pressure chamber are provided inside the cylinder. A compression chamber consisting of is formed. When the compressor is in operation, the rotary piston rotates in the cylinder, and the volumes of the low pressure chamber and the high pressure chamber are changed in accordance with the rotation, thereby compressing the refrigerant gas. Therefore, during operation of this rotary compressor, the side surface of the blade and the inner wall surface of the blade groove, the tip end surface of the blade and the outer peripheral surface of the rotary piston slide relative to each other.

また、このロータリ式圧縮機は、従来、摺動部分の摩
擦力を低減させ、且つ各部材間のクリアランスをシール
して冷媒ガスの漏れを防ぐために潤滑オイルを用いてい
る。In addition, this rotary compressor has conventionally used lubricating oil to reduce the frictional force of the sliding portion and to seal the clearance between each member to prevent refrigerant gas from leaking.

ところで、近年、このロータリ式圧縮機として潤滑オ
イルを用いないオイルレス圧縮機が提案されている。こ
のオイルレス圧縮機は、ロータリピストンの端面とサイ
ドケースのフェース面とのクリアランスをシールするた
めに、ロータリピストンの各端面に円環状の凹溝を刳設
すると共に、この凹溝に自己潤滑性を持ったリング状の
チップシールを嵌入することによって、ロータリピスト
ンの内部空間（高圧側）と外部（低圧側）とを隔離して
冷媒の漏れを防止するようにしている。従って、このオ
イルレス圧縮機の運転時には、上述した各摺動部分に加
えて、チップシールの端面とサイドケースのフェース面
とにおいても同様に相対的に摺動している。By the way, in recent years, an oilless compressor that does not use lubricating oil has been proposed as this rotary compressor. In order to seal the clearance between the end surface of the rotary piston and the face surface of the side case, this oilless compressor has annular recessed grooves formed in each end surface of the rotary piston and self-lubricating in the recessed grooves. By inserting a ring-shaped tip seal having a seal, the internal space (high pressure side) and the outside (low pressure side) of the rotary piston are isolated to prevent refrigerant leakage. Therefore, when the oilless compressor is in operation, in addition to the above-mentioned sliding portions, the end surface of the tip seal and the face surface of the side case also slide relatively.

（発明が解決しようとする課題）ところが、このようなオイルレス圧縮機では、各摺動
部分に潤滑オイルが存在していないために、運転時にお
ける各摺動部分での摩擦損失が大きく、また、この運転
時における摺動部分での摩擦力によって互いに摺動する
部分が摩耗するといった問題があった。つまり、従来、
ロータリピストンにはモニクロ鋳鉄などが用いられ、該
ロータリピストンとブレードとの間などの摺動部につい
て適切な材料選定が行われておらず、第３図に示すよう
に、チップシールとサイドケースとの間の機械損失γが
最も大きく、続いてブレードとシリンダ間及びブレード
とロータリピストン間の損失α，βが大きかった。従っ
て、このオイルレス圧縮機においては、圧縮機効率を大
幅に向上させることが難しかった。また、特に、前記ブ
レードの側面とブレード溝の内壁面、チップシールの端
面とサイドケースのフェース面、ロータリピストンの外
周面とブレードの先端の各摺動部分においては、ブレー
ド及びチップシールが摩耗し易く、この摩耗によって冷
媒漏れが発生するおそれがあり圧縮機の信頼性が十分に
確保されているとは言い難かった。また、このような摩
擦による機械損失や摺動部材の摩耗に関する課題は、オ
イルレス圧縮機に限らず各種機械においても同様に発生
する。(Problems to be Solved by the Invention) However, in such an oilless compressor, since lubricating oil does not exist in each sliding portion, friction loss in each sliding portion during operation is large, and However, there is a problem that the sliding parts are worn by the frictional force at the sliding parts during this operation. In other words, conventionally
For the rotary piston, monichrome cast iron or the like is used, and an appropriate material selection has not been made for the sliding portion between the rotary piston and the blade. As shown in FIG. Between the blades and the cylinder, and between the blades and the rotary piston, the losses α and β were the largest. Therefore, in this oilless compressor, it was difficult to significantly improve the compressor efficiency. Further, in particular, the blade and the tip seal are worn at the sliding portions of the side surface of the blade and the inner wall surface of the blade groove, the end surface of the tip seal and the face surface of the side case, the outer peripheral surface of the rotary piston and the tip of the blade. It is easy to say that the refrigerant may leak due to this abrasion, and it is difficult to say that the reliability of the compressor is sufficiently secured. In addition, such problems regarding mechanical loss due to friction and wear of sliding members occur not only in oilless compressors but also in various machines.

そこで、本発明は各摺動部材の成形材料を選定するこ
とにより、摺動部分における摩擦による機械損失及び摩
耗を低減させることを目的とする。Therefore, an object of the present invention is to reduce mechanical loss and wear due to friction in sliding parts by selecting a molding material for each sliding member.

（課題を解決するための手段）上記の目的を達成するために本発明では、相対的に摺
動する２つの摺動部材の成形材料の組合せにより、摩擦
損失及び摩耗を低減させるようにした。そして、請求項
（１）記載の発明が講じた解決手段は、互いに摺動する
摺動部材のうち一方を攻撃性の低い材料とし、他方を前
記材料との間における摩擦係数の小さい材料とした。具
体的には、互いに当接して相対的に摺動する第１部材
（12），（15）と第２部材（3b），（４），（５）とを
組合せてなる摺動部構造を前提としている。そして、第
１部材（12），（15）の少なくとも第２部材（3b），
（４），（５）に対する摺動面部分（12c），（15a），
（15b）を焼結カーボン（Ｃ）で構成し、一方、第２部
材（3b），（４），（５）の少なくとも第１部材（1
2），（15）に対する摺動面部分（3c），（4a），（5
a）をコバルト添加炭化タングステン（WC−Co）で構成
するようにした。(Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, in the present invention, friction loss and wear are reduced by combining molding materials of two sliding members that relatively slide. And the solution means taken by the invention according to claim (1) is that one of the sliding members that slide with each other is made of a material having a low aggression property, and the other is made of a material having a small friction coefficient with the material. . Specifically, a sliding part structure is formed by combining first members (12), (15) and second members (3b), (4), (5) that are in contact with each other and relatively slide. It is assumed. Then, at least the second member (3b) of the first members (12) and (15),
Sliding surface parts (12c), (15a) for (4) and (5),
(15b) is made of sintered carbon (C), while at least the first member (1) of the second members (3b), (4) and (5)
Sliding surface parts (3c), (4a), (5) for 2) and (15)
a) was made of cobalt-added tungsten carbide (WC-Co).

請求項（２）記載の発明は、摺動部材のうち一方を攻
撃性の低い材料とし、他方を前記材料との間における摩
擦係数が比較的小さく、且つ攻撃性の低い材料とした。
具体的には、互いに当接して相対的に摺動する第１部材
（12）と第２部材（６）とを組合せてなる摺動部構造を
前提としている。そして、第１部材（12）の少なくとも
第２部材（６）に対する摺動面部分（12b）を焼結カー
ボン（Ｃ）で構成し、一方、第２部材（６）の少なくと
も第１部材（12）に対する摺動面部分（6a）を酸化ジル
コニウム（ZrO₂）で構成するようにした。In the invention according to claim (2), one of the sliding members is made of a material having a low aggression property, and the other is made of a material having a relatively small friction coefficient with the material and a low aggression property.
Specifically, it is premised on a sliding portion structure that is a combination of a first member (12) and a second member (6) that abut each other and slide relatively. Then, at least the sliding surface portion (12b) of the first member (12) with respect to the second member (6) is made of sintered carbon (C), while at least the first member (12) of the second member (6). ), The sliding surface portion (6a) is made of zirconium oxide (ZrO ₂ ).

請求項（３）記載の発明が講じた解決手段は、摺動部
材のうち一方を攻撃性の低い材料とし、他方を耐摩耗性
の高い材料とした。具体的には、互いに当接して相対的
に摺動する第１部材（12）と第２部材（６）とを組合せ
てなる摺動部構造を前提としている。そして、第１部材
（12）の少なくとも第２部材（６）に対する摺動面部分
（12b）を焼結カーボン（Ｃ）で構成し、一方、第２部
材（６）の少なくとも第１部材（12）に対する摺動面部
分（6a）を窒化チタン含有窒化珪素（Si₃N₄−TiN）で構
成するようにした。According to the solution provided by the invention described in claim (3), one of the sliding members is made of a material having low aggression and the other is made of a material having high abrasion resistance. Specifically, it is premised on a sliding portion structure that is a combination of a first member (12) and a second member (6) that abut each other and slide relatively. Then, at least the sliding surface portion (12b) of the first member (12) with respect to the second member (6) is made of sintered carbon (C), while at least the first member (12) of the second member (6). The sliding surface portion (6a) for (1) is composed of titanium nitride-containing silicon nitride (Si ₃ N ₄ —TiN).

請求項（４）記載の発明は、請求項（１）記載の摺動
部構造を、オイルレス圧縮機に適用したものである。つ
まり、シリンダ（３）の両端面にサイドケース（４），
（５）を取付け、このシリンダ（３）及びサイドケース
（４），（５）によって形成された空間に、ロータリピ
ストン（６）を、前記シリンンダ（３）に対して偏心
し、且つシリンダ（３）の内周面（3a）にその一部が接
するように配設し、前記シリンダ（３）にブレード溝
（3b）を形成し、該ブレード溝（3b）に、ブレード（1
2）を、該ブレードの側面（12c）がブレード溝（3b）の
内壁面（3c）に摺動しながらシリンダ（３）内に出没す
るように挿通し、前記ロータリピストン（６）の回転に
よって前記空間内に形成される圧縮空間（13），（14）
を縮小するオイルレス圧縮機を前提としている。そし
て、前記ブレード（12）を焼結カーボン（Ｃ）により形
成し、ブレード溝（3b）の内壁面（3c）をコバルト添加
炭化タングステン（WC−Co）により形成するような構成
とした。The invention according to claim (4) is an application of the sliding portion structure according to claim (1) to an oilless compressor. That is, the side cases (4),
(5) is attached, the rotary piston (6) is eccentric with respect to the cylinder (3) in the space formed by the cylinder (3) and the side cases (4), (5), and the cylinder (3 ) Is arranged so that a part thereof is in contact with the inner peripheral surface (3a), and a blade groove (3b) is formed in the cylinder (3), and the blade (1
2) so that the side surface (12c) of the blade slides in and out of the cylinder (3) while sliding on the inner wall surface (3c) of the blade groove (3b), and the rotary piston (6) rotates. Compressed spaces (13), (14) formed in the space
It is premised on an oilless compressor that reduces. The blade (12) is made of sintered carbon (C), and the inner wall surface (3c) of the blade groove (3b) is made of cobalt-added tungsten carbide (WC-Co).

請求項（５）記載の発明は、請求項（１）記載の摺動
部構造をオイルレス圧縮機に適用したものである。つま
り、シリンダ（３）の両端面にサイドケース（４），
（５）を取付け、このシリンダ（３）及びサイドケース
（４），（５）によって形成された空間に、ロータリピ
ストン（６）を、前記シリンダ（３）に対して偏心し、
且つシリンダ（３）の内周面（3a）にその一部が接する
ように配設し、前記シリンダ（３）とロータリピストン
（６）との間にブレード（12）を設ける一方、前記ロー
タリピストン（６）の端面（6b），（6c）に円環状の凹
溝（6d）を刳設し、該凹溝（6d）に、リング状チップシ
ール（15）を、該チップシール（15）の端面（15a），
（15b）がサイドケース（４），（５）のフェース面（4
a），（5a）に接するように嵌装し、前記ロータリピス
トン（６）の回転によって前記空間内に形成される圧縮
空間（13），（14）を縮小するオイルレス圧縮機を前提
としている。そして、前記チップシール（15）を焼結カ
ーボン（Ｃ）により形成し、サイドケース（４），
（５）のフェース面（4a），（5a）をコバルト添加炭化
タングステン（WC−Co）により形成するような構成とし
た。The invention according to claim (5) is an application of the sliding portion structure according to claim (1) to an oilless compressor. That is, the side cases (4),
(5) is attached, and the rotary piston (6) is eccentric with respect to the cylinder (3) in the space formed by the cylinder (3) and the side cases (4) and (5),
The rotary piston is arranged such that a part of the cylinder (3) is in contact with the inner peripheral surface (3a) of the cylinder (3) and a blade (12) is provided between the cylinder (3) and the rotary piston (6). An annular groove (6d) is formed in the end faces (6b), (6c) of (6), and a ring-shaped tip seal (15) is provided in the groove (6d). End face (15a),
(15b) is the face surface (4) of the side cases (4), (5)
It is premised on an oilless compressor which is fitted so as to come into contact with a) and (5a) and which reduces the compression spaces (13) and (14) formed in the space by the rotation of the rotary piston (6). . Then, the tip seal (15) is formed of sintered carbon (C), and the side case (4),
The face surfaces (4a) and (5a) of (5) are made of cobalt-added tungsten carbide (WC-Co).

請求項（６）記載の発明は、請求項（２）記載の摺動
部構造を、オイルレス圧縮機に適用したものである。つ
まり、シリンダ（３）の両端面にサイドケース（４），
（５）を取付け、このシリンダ（３）及びサイドケース
（４），（５）によって形成された空間（13），（14）
に、ロータリピストン（６）を、前記シリンダ（３）に
対して偏心し、且つシリンダ（３）の内周面（3a）にそ
の一部が接するように配設し、前記シリンダ（３）にブ
レード溝（3b）が形成し、該ブレード溝（3b）に、ブレ
ード（12）を、シリンダ（３）内に出没するように挿通
され、該ブレード（12）の先端（12b）を前記ロータリ
ピストン（６）の外周面（6a）に圧接し、前記ロータリ
ピストン（６）の回転によって前記空間内に形成される
圧縮空間（13），（14）を縮小するオイルレス圧縮機を
前提としている。そして、前記ブレード（12）が焼結カ
ーボン（Ｃ）により形成され、ロータリピストン（６）
が酸化ジルコニウム（ZrO₂）により形成されていること
を特徴とするオイルレス圧縮機の摺動部構成とした。The invention according to claim (6) is an application of the sliding portion structure according to claim (2) to an oilless compressor. That is, the side cases (4),
The space (13), (14) formed by the cylinder (3) and the side cases (4) and (5) is attached with (5).
In addition, the rotary piston (6) is arranged so as to be eccentric with respect to the cylinder (3) and a part of the rotary piston (6) is in contact with the inner peripheral surface (3a) of the cylinder (3). A blade groove (3b) is formed, and the blade (12) is inserted into and out of the cylinder (3) in the blade groove (3b), and the tip (12b) of the blade (12) is inserted into the rotary piston. It is premised on an oilless compressor that comes into pressure contact with the outer peripheral surface (6a) of (6) and reduces the compression spaces (13) and (14) formed in the space by the rotation of the rotary piston (6). The blade (12) is made of sintered carbon (C), and the rotary piston (6)
Is formed of zirconium oxide (ZrO ₂ ), which is a sliding portion structure of an oilless compressor.

請求項（７）記載の発明は、請求項（３）記載の摺動
部構造を、オイルレス圧縮機に適用したものである。つ
まり、シリンダ（３）の両端面にサイドケース（４），
（５）が取付け、このシリンダ（３）及びサイドケース
（４），（５）によって形成された空間（13），（14）
に、ロータリピストン（６）を、前記シリンダ（３）に
対して偏心し、且つシリンダ（３）の内周面（3a）にそ
の一部が接するように配設し、前記シリンダ（３）にブ
レード溝（3b）が形成し、該ブレード溝（3b）に、ブレ
ード（12）を、シリンダ（３）内に出没するように挿通
され、該ブレード（12）の先端（12b）を前記ロータリ
ピストン（６）の外周面（6a）に圧接し、前記ロータリ
ピストン（６）の回転によって前記空間内に形成される
圧縮空間（13），（14）を縮小するオイルレス圧縮機を
前提としている。そして、前記ブレード（12）が焼結カ
ーボン（Ｃ）により形成され、ロータリピストン（６）
が窒化チタン含有窒化珪素（Si₃N₄−TiN）により形成さ
れていることを特徴とするオイルレス圧縮機の摺動部構
成とした。The invention according to claim (7) is an application of the sliding portion structure according to claim (3) to an oilless compressor. That is, the side cases (4),
The space (13), (14) formed by the cylinder (3) and the side cases (4) and (5) is attached with (5).
In addition, the rotary piston (6) is arranged so as to be eccentric with respect to the cylinder (3) and a part of the rotary piston (6) is in contact with the inner peripheral surface (3a) of the cylinder (3). A blade groove (3b) is formed, and the blade (12) is inserted into and out of the cylinder (3) in the blade groove (3b), and the tip (12b) of the blade (12) is inserted into the rotary piston. It is premised on an oilless compressor that comes into pressure contact with the outer peripheral surface (6a) of (6) and reduces the compression spaces (13) and (14) formed in the space by the rotation of the rotary piston (6). The blade (12) is made of sintered carbon (C), and the rotary piston (6)
Is made of titanium nitride-containing silicon nitride (Si ₃ N ₄ —TiN).

（作用）上記の構成により、本発明では以下のような作用が得
られる。(Operation) With the above configuration, the following operation is obtained in the present invention.

先ず、請求項（１）記載の発明では、第１部材（1
2），（15）と第２部材（3b），（４），（５）とが摺
動する際、第１部材（12），（15）の少なくとも第２部
材（3b），（４），（５）に対する摺動面部分（12
c），（15a），（15b）が、第２部材（3b），（４），
（５）への攻撃性が低い焼結カーボン（Ｃ）で構成され
ているために、第２部材（3b），（４），（５）は第１
部材（12），（15）による摩耗量が低減される。また、
第２部材（3b），（４），（５）の少なくとも第１部材
（12），（15）に対する摺動面部分（3c），（4a），
（5a）が、第１部材（12），（15）との間における摩擦
係数が小さいコバルト添加炭化タングステン（WC−Co）
で構成されているために、第１部材（12），（15）と第
２部材（3b），（４），（５）との間における摩擦力は
小さく、機械摺動部材に適用した場合の機械損失を低減
できる。First, in the invention according to claim (1), the first member (1
When the second members (3), (15) and the second members (3b), (4), (5) slide, at least the second members (3b), (4) of the first members (12), (15). , (5) sliding surface part (12
c), (15a), (15b) are the second members (3b), (4),
The second members (3b), (4), and (5) are made of the first material because they are made of sintered carbon (C) that has low attack on (5).
The amount of wear due to the members (12) and (15) is reduced. Also,
Sliding surface portions (3c), (4a) of at least the first members (12), (15) of the second members (3b), (4), (5),
(5a) is a cobalt-added tungsten carbide (WC-Co) having a small friction coefficient between the first member (12) and (15)
The frictional force between the first member (12), (15) and the second member (3b), (4), (5) is small because it is composed of The mechanical loss of can be reduced.

一方、請求項（２）記載の発明では、第１部材（12）
と第２部材（６）とが摺動する際、第１部材（12）の少
なくとも第２部材（６）に対する摺動面部分（12b）
が、第２部材（６）への攻撃性が低い焼結カーボン
（Ｃ）で構成されているために、第２部材（６）は第１
部材（12）による摩耗量が低減される。また、第２部材
（６）の少なくとも第１部材（12）に対する摺動面部分
（6a）が、第１部材（12）及びその他の部材への攻撃性
が低く、且つ第１部材（12）との間における摩擦係数が
小さい酸化ジルコニウム（ZrO₂）で構成されているため
に、第１部材（12）と第２部材（６）との間における摩
擦力は小さく、機械摺動部材に適用した際の機械損失が
低減できるばかりでなく、第２部材（６）が第１部材
（12）以外の部材と摺動する場合でも、その部材の摩耗
が抑制される。On the other hand, in the invention of claim (2), the first member (12)
And the second member (6) slide, the sliding surface portion (12b) of the first member (12) at least with respect to the second member (6).
However, since the second member (6) is made of sintered carbon (C), which has a low attack property to the second member (6),
The amount of wear due to the member (12) is reduced. Further, at least the sliding surface portion (6a) of the second member (6) with respect to the first member (12) has low aggression to the first member (12) and other members, and the first member (12). The frictional force between the first member (12) and the second member (6) is small because it is made of zirconium oxide (ZrO ₂ ) having a small friction coefficient between Not only can the mechanical loss at the time of reduction be reduced, but also when the second member (6) slides on a member other than the first member (12), wear of the member is suppressed.

また、請求項（３）記載の発明では、第１部材（12）
と第２部材（６）とが摺動する際、第１部材（12）の少
なくとも第２部材（６）に対する摺動面部分（12b）
が、第２部材（６）への攻撃性が低い焼結カーボン
（Ｃ）で構成されているために、第２部材（６）は第１
部材（12）による摩耗量が低減される。また、第２部材
（６）の少なくとも第１部材（12）に対する摺動面部分
（6a）が、耐摩耗性の高い窒化チタン含有窒化珪素（Si
₃N₄−TiN）で構成されているために、これによっても第
２部材（６）の摩耗は大幅に軽減されており、機械摺動
部材に適用した際には、その部材の耐久性が向上する。Further, in the invention according to claim (3), the first member (12)
And the second member (6) slide, the sliding surface portion (12b) of the first member (12) at least with respect to the second member (6).
However, since the second member (6) is made of sintered carbon (C), which has a low attack property to the second member (6),
The amount of wear due to the member (12) is reduced. In addition, at least the sliding surface portion (6a) of the second member (6) with respect to the first member (12) has titanium nitride-containing silicon nitride (Si) having high wear resistance.
_Since it is composed of ₃ N ₄ -TiN), the wear of the second member (6) is greatly reduced also by this, and the durability of the member when applied to a mechanical sliding member. improves.

また、請求項（４）記載の発明では、ロータリピスト
ン（６）が回転すると、この回転に伴ってブレード（1
2）がブレード溝（3b）の内壁面（3c）と相対的に摺動
しながらシリンダ（３）内に出没移動する。そして、前
記ロータリピストン（６）の回転によって圧縮空間の容
積が縮小されて流体が圧縮される。そして、前記ブレー
ド（12）が焼結カーボン（Ｃ）で構成され、ブレード溝
（3b）の内壁面（3c）がコバルト添加炭化タングステン
（WC−Co）で構成されているために、この圧縮機の駆動
時において、ブレード溝（3b）の内壁面（3c）のブレー
ド（12）による摩耗量は低減され、且つ、この両者間
（3b）、（12）での摩擦係数は小さいために摩擦による
機械損失が低減される。In the invention according to claim (4), when the rotary piston (6) rotates, the blade (1
2) moves in and out of the cylinder (3) while sliding relative to the inner wall surface (3c) of the blade groove (3b). The rotation of the rotary piston (6) reduces the volume of the compression space and compresses the fluid. The blade (12) is made of sintered carbon (C), and the inner wall surface (3c) of the blade groove (3b) is made of cobalt-added tungsten carbide (WC-Co). When driving, the amount of wear of the inner wall surface (3c) of the blade groove (3c) due to the blade (12) is reduced, and the friction coefficient between the both (3b) and (12) is small, so it is caused by friction. Mechanical loss is reduced.

そして、請求項（５）記載の発明では、圧縮機の駆動
時には、ロータリピストン（６）の端面（6b），（6c）
に刳設された円環状の凹溝（6d）に嵌装されているリン
グ状チップシール（15）がサイドケース（４），（５）
のフェース面（4a），（5a）に当接して相対的に摺動し
ていることで、ロータリピストン（６）の端面（6b），
（6c）とサイドケース（４），（５）のフェース面（4
a），（5a）との間はシールされている。そして、前記
チップシール（15）が焼結カーボン（Ｃ）で構成され、
サイドケース（４），（５）のフェース面（4a），（5
a）がコバルト添加炭化タングステン（WC−Co）で構成
されているために、この圧縮機の駆動時において、サイ
ドケース（４），（５）のフェース面（4a），（5a）の
ブレード（12）による摩耗量は低減され、且つ、この両
者（４），（５）、（12）間での摩擦係数は小さいため
に摩擦による機械損失が低減される。In the invention according to claim (5), the end faces (6b), (6c) of the rotary piston (6) are driven when the compressor is driven.
The ring-shaped tip seal (15) fitted in the annular groove (6d) provided in the side case has side cases (4) and (5).
Of the rotary piston (6) by abutting against the face surfaces (4a) and (5a) of the
(6c) and the face surfaces (4) of the side cases (4) and (5)
There is a seal between a) and (5a). The tip seal (15) is made of sintered carbon (C),
Face surfaces (4a), (5) of the side cases (4), (5)
Since a) is composed of cobalt-added tungsten carbide (WC-Co), the blades (4a) and (5a) of the side cases (4) and (5) are driven when the compressor is driven. The wear amount due to 12) is reduced, and since the friction coefficient between the two (4), (5), and (12) is small, mechanical loss due to friction is reduced.

更に、請求項（６）記載の発明では、圧縮機の駆動時
には、ブレード（12）の先端（12b）がロータリピスト
ン（６）の外周面（6a）に当接されて摺動していること
で、シリンダ（３）内に縮小自在な圧縮空間を形成して
いる。そして、前記ブレード（12）が焼結カーボン
（Ｃ）で構成され、ロータリピストン（６）が酸化ジル
コニウム（ZrO₂）で構成されているために、この圧縮機
の駆動時において、ロータリピストン（６）の外周面
（6a）のブレード（12）による摩耗量は低減され、且
つ、この両者（６），（12）間での摩擦係数は小さいた
めに摩擦による機械損失が低減される。また、ロータリ
ピストン（６）がサイドケース（４），（５）のフェー
ス面（4a），（5a）を破損させることもない。Further, in the invention according to claim (6), the tip end (12b) of the blade (12) is in contact with the outer peripheral surface (6a) of the rotary piston (6) and slides when the compressor is driven. Thus, a compression space that can be reduced is formed in the cylinder (3). Since the blade (12) is made of sintered carbon (C) and the rotary piston (6) is made of zirconium oxide (ZrO ₂ ), the rotary piston (6) is driven when the compressor is driven. The amount of wear of the outer peripheral surface (6a) by the blade (12) is reduced, and since the friction coefficient between the two (6) and (12) is small, mechanical loss due to friction is reduced. Further, the rotary piston (6) does not damage the face surfaces (4a), (5a) of the side cases (4), (5).

そして、請求項（７）記載の発明では、ロータリピス
トン（６）が回転すると、ブレード（12）の先端（12
b）がロータリピストン（６）の外周面（6a）に当接さ
れて摺動していることで、シリンダ（３）内に縮小自在
な圧縮空間を形成しており、この回転に伴って圧縮空間
の容積が縮小されて流体が圧縮される。そして、前記ブ
レード（12）が焼結カーボン（Ｃ）が構成され、ロータ
リピストン（６）が窒化チタン含有窒化珪素（Si₃N₄−T
iN）で構成されているために、この圧縮機の駆動時にお
いて、ロータリピストン（６）の外周面（6a）のブレー
ド（12）による摩耗量は低減され、ロータリピストン
（６）の摩耗による流体の洩れが防止される。In the invention according to claim (7), when the rotary piston (6) rotates, the tip (12) of the blade (12) is rotated.
Since b) is in contact with the outer peripheral surface (6a) of the rotary piston (6) and is sliding, a compressible compression space is formed in the cylinder (3), and the compression space is compressed by this rotation. The volume of space is reduced and the fluid is compressed. The blade (12) is made of sintered carbon (C), and the rotary piston (6) is made of titanium nitride-containing silicon nitride (Si ₃ N ₄ -T).
iN), the amount of wear of the outer peripheral surface (6a) of the rotary piston (6) due to the blade (12) is reduced when the compressor is driven, and the fluid due to wear of the rotary piston (6) is reduced. Leakage is prevented.

（第１実施例）次に、本発明における第１実施例について図面に沿っ
て説明する。この実施例では本発明を縦型ロータリ式オ
イルレス圧縮機に適用した場合について説明する。First Embodiment Next, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In this embodiment, a case where the present invention is applied to a vertical rotary type oilless compressor will be described.

先ず、縦型ロータリ式オイルレス圧縮機の構成につい
て説明する。第５図及び第６図に示すように、このオイ
ルレス圧縮機（１）は、冷凍機等に設けられて冷媒ガス
等を圧縮するものである。このオイルレス圧縮機（１）
は、固定翼形圧縮機であって、ケーシング（２）の内側
面に固定支持されたシリンダ（３）の上下両端面にサイ
ドケース（４），（５）が取付けられ、このシリンダ
（３）とサイドケース（４），（５）とによってピスト
ン収容空間が形成されている。そして、このピストン収
容空間にはロータリピストン（６）が配設されている。
このロータリピストン（６）は、クランク軸（７）の下
端部に、カム（８）およびニードルベアリング（９）を
介して前記シリンダ（３）に対し偏心して配設されてお
り、前記クランク軸（７）は図示しないモータに直結さ
れ且つサイドケース（４），（５）にそれぞれベアリン
グ（10），（11）を介して回転自在に支持されている。
そして、前記ロータリピストン（６）は、その外周面
（6a）の一部がシリンダ（３）の内周面（3a）に当接し
ている。また、前記シリンダ（３）の適所には、シリン
ダ（３）を貫通するブレード溝（3b）が形成されてお
り、該ブレード溝（3b）には、ブレード（12）がシリン
ダ（３）内に出没自在となるように挿通されており、該
ブレード（12）の側面が前記ブレード溝（3b）の内壁面
（3c）に当接するようになっている。また、該ブレード
（12）の上面には上側のサイドケース（４）との間に平
板状のシール材（12a）が介在されて冷媒ガスの洩出を
阻止している。そして、該ブレード（12）はスプリング
等により、その先端（12b）がロータリピストン（６）
の外周面（6a）に当接し、該ブレード（12）とロータリ
ピストン（６）によりシリンダ（３）内に吸入口（3d）
側の低圧室（13）と吐出口（3e）側の高圧室（14）とが
形成されている。First, the configuration of the vertical rotary oilless compressor will be described. As shown in FIGS. 5 and 6, this oilless compressor (1) is provided in a refrigerator or the like and compresses a refrigerant gas or the like. This oilless compressor (1)
Is a fixed vane compressor, in which side cases (4) and (5) are attached to the upper and lower end surfaces of a cylinder (3) fixedly supported on the inner surface of the casing (2). A piston housing space is formed by the side cases (4) and (5). A rotary piston (6) is arranged in this piston housing space.
The rotary piston (6) is arranged at the lower end of the crankshaft (7) eccentrically with respect to the cylinder (3) via a cam (8) and a needle bearing (9), and the crankshaft (6) is 7) is directly connected to a motor (not shown) and is rotatably supported by side cases (4) and (5) via bearings (10) and (11), respectively.
A part of the outer peripheral surface (6a) of the rotary piston (6) is in contact with the inner peripheral surface (3a) of the cylinder (3). Further, a blade groove (3b) penetrating the cylinder (3) is formed at an appropriate position of the cylinder (3), and the blade (12) is provided in the cylinder (3) in the blade groove (3b). The blade (12) is inserted so as to be retractable, and the side surface of the blade (12) abuts the inner wall surface (3c) of the blade groove (3b). Further, a flat plate-like sealing material (12a) is interposed between the upper surface of the blade (12) and the upper side case (4) to prevent the refrigerant gas from leaking out. The tip of the blade (12) is fixed to the rotary piston (6) by a spring or the like.
The outer peripheral surface (6a) of the blade, and the suction port (3d) into the cylinder (3) by the blade (12) and the rotary piston (6).
Side low pressure chamber (13) and the discharge port (3e) side high pressure chamber (14) are formed.

次に、ロータリピストン（６）について説明する。 Next, the rotary piston (6) will be described.

ロータリピストン（６）は、円筒状の部材であって、
第７図に示すように、その上下両端面（6b），（6c）に
は円環状の凹溝（6d）が刳設されている。また、該凹溝
（6d）にはリング状部材でなるチップシール（15）が嵌
入されている。また、前記凹溝（6d）の底面（6e）とチ
ップシール（15）との間にはスプリング（16）が縮装さ
れ、該スプリング（16）によってチップシール（15）の
端面（15a），（15b）はサイドケース（４），（５）の
フェース面（4a），（5a）に向かって押圧されて、サイ
ドケース（４），（５）とロータリピストン（６）の上
下各端面（6b），（6c）との間のクリアランスを閉塞し
ている。The rotary piston (6) is a cylindrical member,
As shown in FIG. 7, annular concave grooves (6d) are formed in the upper and lower end surfaces (6b) and (6c). Further, a tip seal (15) made of a ring-shaped member is fitted in the groove (6d). Further, a spring (16) is contracted between the bottom surface (6e) of the groove (6d) and the tip seal (15), and the end surface (15a) of the tip seal (15) by the spring (16), (15b) is pressed toward the face surfaces (4a), (5a) of the side cases (4), (5), and the upper and lower end surfaces of the side cases (4), (5) and the rotary piston (6) ( The clearance between 6b) and (6c) is blocked.

次に、チップシール（15）について説明する。 Next, the tip seal (15) will be described.

このチップシール（15）はその内周径が前記凹溝（6
d）の内側壁の径と同径か若しくは僅かに小さく形成さ
れていると共に、割り溝が形成されて、自己の弾性力を
もってその径を変更可能に形成されており、ロータリピ
ストン（６）の凹溝（6d）へ嵌入した状態では第７図に
示すように、前記凹溝（6d）の外側面に当接するように
なっている。The inner diameter of the tip seal (15) is the above-mentioned groove (6
The diameter is the same as or slightly smaller than the diameter of the inner wall of d), and a split groove is formed so that its diameter can be changed by its own elastic force. When fitted in the groove (6d), as shown in FIG. 7, it comes into contact with the outer surface of the groove (6d).

次に、このオイルレス圧縮機（１）の圧縮動作につい
て説明する。先ず、ロータリピストン（６）が第５図の
矢印の方向に回転すると、低圧室（13）の容積が拡大す
るに伴って冷媒ガスが吸入口（3d）より低圧室（13）に
吸込まれる。その後、ロータリピストン（６）の回転に
よって、この低圧室（13）の容積が縮小して高圧室（1
4）となる。これにより、冷媒ガスが圧縮される。その
後、この圧縮されて高温、高圧となった冷媒ガスは吐出
口（3e）よりケーシング（２）内に吐出される。この動
作に伴って、ロータリピストン（６）の内部が高圧状態
となるが該ロータリピストン（６）の端面（6b），（6
c）とサイドケース（４），（５）のフェース面（4
a），（5a）との間はチップシール（15）でシールされ
ているために、冷媒の洩れが発生することはない。Next, the compression operation of the oilless compressor (1) will be described. First, when the rotary piston (6) rotates in the direction of the arrow in FIG. 5, the refrigerant gas is sucked into the low pressure chamber (13) from the suction port (3d) as the volume of the low pressure chamber (13) increases. . Thereafter, the volume of the low pressure chamber (13) is reduced by the rotation of the rotary piston (6) and the high pressure chamber (1
4) becomes. As a result, the refrigerant gas is compressed. After that, the compressed refrigerant gas having high temperature and high pressure is discharged into the casing (2) through the discharge port (3e). Along with this operation, the inside of the rotary piston (6) is in a high pressure state, but the end faces (6b), (6) of the rotary piston (6) are
c) and the face surfaces (4) of the side cases (4) and (5)
Since the tip seal (15) is provided between a) and (5a), the refrigerant does not leak.

そして、本発明の特徴とするところは、このオイルレ
ス圧縮機（１）における摺動部材の成形材料として当接
する相手側の摺動部材との間での摩擦力が小さいセラミ
ック材料を選定したことにある。つまり、上述したオイ
ルレス圧縮機（１）における摺動部材としてのブレード
（12）、チップシール（15）、サイドケース（４），
（５）のフェース面（4a），（5a）、ブレード溝（3b）
の内壁面（3c）及びロータリピストン（６）にセラミッ
ク材料を選定したことである。The feature of the present invention is that a ceramic material having a small frictional force between the sliding member on the other side with which it abuts is selected as a molding material for the sliding member in the oilless compressor (1). It is in. That is, the blade (12) as the sliding member in the oilless compressor (1) described above, the tip seal (15), the side case (4),
Face surfaces (4a) and (5a) of (5), blade groove (3b)
The ceramic material was selected for the inner wall surface (3c) and the rotary piston (6).

そして、本発明では、各摺動部材の成形材料を以下の
第１表に示すように選定した。Then, in the present invention, the molding material of each sliding member was selected as shown in Table 1 below.

そこで、各摺動部材の成形材料として上記の材料を選
定した理由について摩擦摩耗試験結果に基づき説明す
る。 Therefore, the reason why the above materials are selected as the molding material for each sliding member will be described based on the friction and wear test results.

先ず、第４図に示すものは、この試験に使用される試
験装置（21）であっで、２つの異種材料を互いに摺動さ
せてその摩耗量及び摩擦係数を測定するものである。本
試験装置（21）は、駆動ユニット（22）と測定ユニット
（23）とから成っている。First, FIG. 4 shows a test device (21) used in this test, in which two different materials are slid on each other to measure the amount of wear and the coefficient of friction. The test apparatus (21) comprises a drive unit (22) and a measuring unit (23).

駆動ユニット（22）は回転軸（24）を備えており、こ
の回転軸（24）は、複数のＶベルト（25），（25）及び
プーリ（26），（26），…を介してVSモータ（27）が連
繋され、このVSモータ（27）の駆動によって回転軸（2
4）が回転するようになっている。そしてこの回転軸（2
4）の上端には回転側試験材料（Ｉ）を取付ける試験材
料取付部（28）が設けられていて、この試験材料取付部
（28）の上面に回転側試験材料（Ｉ）が取付固定される
ようになっている。また、この回転軸（24）の下端に
は、この回転軸（24）を上下方向へ移動させるエアシリ
ンダ（29）のロッド部材（29a）が接続されている。The drive unit (22) includes a rotary shaft (24), and the rotary shaft (24) is VS through a plurality of V belts (25), (25) and pulleys (26), (26) ,. The motor (27) is linked, and the rotation shaft (2
4) is designed to rotate. And this rotation axis (2
The upper end of 4) is provided with a test material attachment part (28) for attaching the rotation side test material (I), and the rotation side test material (I) is attached and fixed to the upper surface of this test material attachment part (28). It has become so. A rod member (29a) of an air cylinder (29) that moves the rotating shaft (24) in the vertical direction is connected to the lower end of the rotating shaft (24).

一方、測定ユニット（23）は固定軸（30）を備えてお
り、この固定軸（30）は、その上端部に、試験材料間の
摩擦係数を算出するために固定軸（30）に作用するトル
クを測定するトルクセル（31）が配設され、このトルク
セル（31）の上部には、固定軸（30）に垂直方向に加え
られる荷重を測定するロードセル（32）が設けられてい
る。また、前記固定軸（30）の下端には固定側試験材料
（II）を取付ける試験材料取付部（33）が設けられてい
て、この試験材料取付部（33）の下面の３箇所に固定側
試験材料（II）が取付固定されるようになっている。On the other hand, the measuring unit (23) comprises a fixed shaft (30), which acts on the upper end of the fixed shaft (30) to calculate the coefficient of friction between the test materials. A torque cell (31) for measuring a torque is provided, and a load cell (32) for measuring a load applied to the fixed shaft (30) in a vertical direction is provided on an upper portion of the torque cell (31). Further, a test material attachment portion (33) for attaching the fixed side test material (II) is provided at the lower end of the fixed shaft (30), and the fixed side is provided at three locations on the lower surface of the test material attachment portion (33). The test material (II) is attached and fixed.

そして、この試験装置（21）による試験を行う際に
は、先ず、各試験材料取付部（28），（33）に夫々試験
材料（Ｉ），（II）を取付固定し、駆動ユニット（22）
のエアシリンダ（29）内に圧搾空気を送込んでロッド部
材（29a）を上方へ押出すことで回転軸（24）を固定軸
（30）に向って上方へ移動させる。そして、この移動に
よって回転側試験材料（Ｉ）を固定側試験材料（II）に
押付け、ロードセル（32）によって固定軸（30）側に加
わる垂直方向の荷重、つまり両試験材料（Ｉ），（II）
の押付け荷重を測定しながら試験条件に応じた荷重でも
って両試験材料（Ｉ），（II）を当接させる。その後、
VSモータ（27）を駆動させて、その駆動力を回転軸（2
4）に伝達し、該回転軸（24）を回転させることによ
り、両試験材料（Ｉ），（II）を相対的に摺動させる。
そして、この摺動状態において固定軸（30）に作用する
トルクをトルクセル（31）によって検出して両試験材料
（Ｉ），（II）間での摩擦係数を算出する。そして、試
験条件に応じた時間だけ両試験材料（Ｉ），（II）を摺
動させた後、VSモータ（27）を停止して各試験材料
（Ｉ），（II）の摩耗量を測定する。When performing the test by the test device (21), first, the test materials (I) and (II) are attached and fixed to the test material attachment portions (28) and (33), respectively, and the drive unit (22). )
The compressed air is sent into the air cylinder (29) to push the rod member (29a) upward, thereby moving the rotary shaft (24) upward toward the fixed shaft (30). By this movement, the rotating side test material (I) is pressed against the fixed side test material (II), and the load in the vertical direction applied to the fixed shaft (30) side by the load cell (32), that is, both test materials (I), ( II)
While measuring the pressing load of, both test materials (I) and (II) are brought into contact with each other with a load according to the test conditions. afterwards,
Drive the VS motor (27) and apply its driving force to the rotary shaft (2
4) and the rotating shaft (24) is rotated to relatively slide both test materials (I) and (II).
Then, in this sliding state, the torque acting on the fixed shaft (30) is detected by the torque cell (31) to calculate the friction coefficient between the test materials (I) and (II). Then, after sliding both test materials (I) and (II) for a time according to the test conditions, the VS motor (27) is stopped and the wear amount of each test material (I) and (II) is measured. To do.

次に、この試験装置を用いて行ったブレード（12）の
成形材料についての試験結果について説明する。このブ
レード（12）の成形材料の選定に関し、ブレード（12）
は、先端（12b）がロータリピストン（６）の外周面（6
a）に、側面（12c）がブレード溝（3b）の内壁面（3c）
に夫々当接して摺動することになり、２個所の摺動部分
を有していることから、摺動する２部材の摩耗を抑制す
るために、この成形材料には、攻撃性が低いことが要求
される。Next, the test results of the molding material of the blade (12) conducted using this test apparatus will be described. Regarding the selection of molding material for this blade (12), the blade (12)
Has a tip (12b) on the outer peripheral surface (6) of the rotary piston (6).
In (a), the side surface (12c) is the inner wall surface (3c) of the blade groove (3b).
Since each of them comes into contact with each other and slides, and since it has two sliding portions, this molding material has low aggression in order to suppress wear of the two sliding members. Is required.

この試験では、回転側試験材料（Ｉ）を現行のローリ
ングピストン成形材料であるモニクロ鋳鉄とし、固定側
試験材料（II）を以下の第２表に示すような各種の材料
（Ａ〜Ｇ）を適用して、両試験材料（Ｉ），（II）夫々
の摩耗体積及び両試験材料（Ｉ），（II）間における摩
擦係数を測定した。In this test, the rotating side test material (I) was the current rolling piston molding material, monichrome cast iron, and the stationary side test material (II) was various materials (A to G) as shown in Table 2 below. When applied, the wear volumes of both test materials (I) and (II) and the coefficient of friction between both test materials (I) and (II) were measured.

また、この試験における試験条件は以下の第３表の通
りである。 The test conditions in this test are as shown in Table 3 below.

この試験結果を第１図に示す。第１図に示す縦軸の0m
m³より上側は固定側試験材料（II）、つまり各種セラミ
ック材料（Ａ〜Ｇ）の摩耗体積を示し、下側は回転側試
験材料（Ｉ）、つまりモニクロ鋳鉄の摩耗体積を示して
いる。また、図中の＊は両部材間の摩擦係数を示してい
る。 The test results are shown in FIG. 0m on the vertical axis shown in FIG.
The upper side of m ³ shows the wear volume of the fixed side test material (II), that is, the various ceramic materials (A to G), and the lower side shows the rotation side test material (I), that is, the wear volume of the monikro cast iron. Also, * in the figure indicates the coefficient of friction between both members.

この試験結果によるモニクロ鋳鉄に対する各材料（Ａ
〜Ｇ）の耐摩耗性（固定側試験材料の摩耗量mm）、攻撃
性（回転側試験材料の摩耗量mm）及びモニクロ鋳鉄との
間における摩擦係数とその評価を以下の第４表に示す。Based on this test result, each material (A
~ G) wear resistance (wear amount of fixed side test material mm), aggression (wear amount of rotating side test material mm) and friction coefficient with monichrome cast iron and its evaluation are shown in Table 4 below. .

この第４表に示すように、材料Ｅの焼結カーボンが特
に攻撃性の面で優れていることから、ブレード（12）の
成形材料として適用することにしている。 As shown in Table 4, since the sintered carbon of the material E is particularly excellent in aggressiveness, it is decided to apply it as a molding material for the blade (12).

次に、ブレード（12）の成形材料として選定した焼結
カーボンに対する各種材料の摩擦係数を測定する。この
試験では、回転側試験材料（Ｉ）を焼結カーボン材と
し、固定側試験材料（II）を以下の第５表に示す各種材
料（Ｈ〜Ｏ）を適用してその比摩耗量及び摩擦係数を測
定した。Next, the friction coefficient of various materials with respect to the sintered carbon selected as the molding material of the blade (12) is measured. In this test, the rotating-side test material (I) was a sintered carbon material, and the stationary-side test material (II) was various materials (HO) shown in Table 5 below. The coefficient was measured.

また、この試験における試験条件を以下の第６表に示
すように設定する。 The test conditions in this test are set as shown in Table 6 below.

この実験結果を第２図に示す。第２図においては、縦
軸を各種セラミック材料の比摩耗量及び焼結カーボンと
の間における摩擦係数としている。また、各比摩耗量の
うち白抜きの棒グラフが窒素雰囲気中での試験結果であ
り、斜線を付した棒グラフが冷媒R22雰囲気中での試験
結果である。また、図中の＊印は両部材間の摩擦係数を
示している。この図に示すように、材料Ｍのコバルト添
加炭化タングステン（WC−Co）が特にカーボン材との間
において摩擦係数が約0.05と小さく、摩擦損失の面で優
れており、且つ、比摩耗量も比較的小さいことが確認さ
れた。 The results of this experiment are shown in FIG. In FIG. 2, the vertical axis represents the specific wear amount of various ceramic materials and the coefficient of friction with the sintered carbon. In each specific wear amount, the white bar graph shows the test result in the nitrogen atmosphere, and the shaded bar graph shows the test result in the refrigerant R22 atmosphere. Also, the * mark in the figure indicates the coefficient of friction between both members. As shown in this figure, the cobalt-doped tungsten carbide (WC-Co) of the material M has a small coefficient of friction of about 0.05, especially with the carbon material, and is excellent in terms of friction loss, and the specific wear amount is also high. It was confirmed to be relatively small.

以上の結果によって、本発明の請求項（１）でいう第
１部材としてのブレード（12）の成形材料を焼結カーボ
ン材に選定し、且つ第２部材としてのブレード溝（3b）
及びロータリピストン（６）の夫々の摺動面部分にコバ
ルト添加炭化タングステンの溶射被膜を形成することと
している。一方、ロータリピストン（６）にコバルト添
加炭化タングステンのような硬質材料を選定した場合、
このロータリピストン（６）の重量が大きくなるために
圧縮機運転時の効率が低下するばかりでなく、このロー
リングピストン（６）はサイドケース（４），（５）の
フェース面（4a），（5a）に当接して、このフェース面
（4a），（5a）と相対的に摺動するので、該フェース面
（4a），（5a）を摩耗させるおそれがあり、適用し難
い。そこで、本発明では、請求項（２）でいう第２部材
としてのロータリピストン（６）の成形材料としては、
第２図に示すように、焼結カーボンとの間での摩擦係数
がR22雰囲気中で約0.08と比較的低く、且つ、耐摩耗性
に優れた材料Ｉの酸化ジルコニウム（以下ジルコニアと
する）を適用することとしている。また、このジルコニ
アとしては、生成時に安定化剤を少量に迎えることで不
安定相の正方晶を残すようにして強度及び破壊靭性を向
上させた部分安定化ジルコニアを採用することが最適で
ある。From the above results, the molding material of the blade (12) as the first member in claim (1) of the present invention is selected as the sintered carbon material, and the blade groove (3b) as the second member is selected.
Further, a sprayed coating of cobalt-added tungsten carbide is formed on each sliding surface portion of the rotary piston (6). On the other hand, when a hard material such as cobalt-added tungsten carbide is selected for the rotary piston (6),
Since the rotary piston (6) becomes heavier in weight, the efficiency of the compressor during operation is reduced, and the rolling piston (6) is attached to the side faces (4) and (5) of the face surfaces (4a), (5). Since it abuts against the face surface (4a) and (5a) and contacts the face surface (4a) and (5a), the face surfaces (4a) and (5a) may be worn, which is difficult to apply. Therefore, in the present invention, as the molding material of the rotary piston (6) as the second member in claim (2),
As shown in FIG. 2, zirconium oxide (hereinafter referred to as zirconia) of material I, which has a relatively low coefficient of friction with sintered carbon in the R22 atmosphere of about 0.08 and is excellent in wear resistance, was used. It is supposed to apply. Further, as the zirconia, it is optimal to employ partially stabilized zirconia in which the amount of the stabilizer is small at the time of formation to leave tetragonal crystals of the unstable phase and the strength and the fracture toughness are improved.

更に、このような焼結カーボンとコバルト添加炭化タ
ングステンとの組合せは、他の摺動部であるチップシー
ル（15）とサイドケース（４），（５）のフェース面
（4a），（5a）との間にも適用できる。つまり、特に耐
摩耗性の要求されるサイドケース（４），（５）のフェ
ース面（4a），（5a）にはコバルト添加炭化タングステ
ンの溶射被膜を成形し、チップシール（15）には前記コ
バルト添加炭化タングステンとの間での摩擦係数が小さ
い焼結カーボンを選定する。Further, such a combination of sintered carbon and cobalt-added tungsten carbide is used for other sliding parts such as the tip seal (15) and the face cases (4a), (5a) of the side cases (4), (5). It can be applied between and. In other words, the sprayed coating of cobalt-added tungsten carbide is formed on the face surfaces (4a) and (5a) of the side cases (4) and (5), which are particularly required to have wear resistance, and the tip seal (15) is formed of the above-mentioned. Select sintered carbon that has a small coefficient of friction with cobalt-doped tungsten carbide.

このように、オイルレス圧縮機（１）の各摺動部分に
摩擦係数の小さい組合せで、且つ耐摩耗性に優れた材料
を選定したことによって、摩擦による機械損失が低減で
き、圧縮機効率（１）の向上が図れる。具体的に説明す
ると、第３図に示すように、これまでのオイルレス圧縮
機（１）では、その運転時における機械損失（全体とし
て360W）に対し、ブレード（12）の側面（12c）とブレ
ード溝（3b）の内壁面（3c）との摩擦による機械損失は
45W（第３図α領域）、ブレード（12）の先端（12b）と
ロータリピストン（６）の外周面（6a）との摩擦による
機械損失は40W（第３図β領域）、チップシール（15）
の端面（15a），（15）とサイドケース（４），（５）
のフェース面（4a），（5a）との摩擦による機械損失は
130W（第３図γ領域）であった。そして、上述したよう
な成形材料によって各摺動部材を成形した場合には、ブ
レード（12）とブレード溝（3b）間は15W、ブレード（1
2）とロータリピストン（６）間は20W、チップシール
（15）とサイドケース（４），（５）間は43W程度まで
低減することができ、全体としての機械損失を220W程度
まで低減することができ、圧縮機効率を大幅に向上させ
ることができる。As described above, by selecting a material having a small friction coefficient and excellent wear resistance for each sliding portion of the oilless compressor (1), mechanical loss due to friction can be reduced and the compressor efficiency ( 1) can be improved. Specifically, as shown in FIG. 3, in the conventional oilless compressor (1), the side surface (12c) of the blade (12) is different from the mechanical loss (360W as a whole) during the operation. Mechanical loss due to friction with the inner wall surface (3c) of the blade groove (3b)
45W (α area in Fig. 3), mechanical loss due to friction between the tip (12b) of the blade (12) and the outer peripheral surface (6a) of the rotary piston (6) was 40W (β area in Fig. 3), tip seal (15 area). )
End faces (15a), (15) and side cases (4), (5)
Loss due to friction with the face surfaces (4a) and (5a) of
It was 130 W (γ region in FIG. 3). When each sliding member is molded with the molding material as described above, 15 W is provided between the blade (12) and the blade groove (3b), and the blade (1
20W between 2) and rotary piston (6), 43W between tip seal (15) and side cases (4), (5), and overall mechanical loss to 220W. Therefore, the compressor efficiency can be significantly improved.

（第２実施例）次に、本発明における第２実施例について説明する。
本例では、前述した第１実施例と選定材料が異なってい
るために、その特徴とする部分について述べるに止め
る。また、本例においては、オイルレス圧縮機（１）に
おける摺動部材としてのロータリピストン（６）及びブ
レード（12）夫々の成形材料を、特にロータリピストン
（６）の外周面（6a）の摩耗を抑制し、且つ機械損失も
低減されるセラミック材料に選定するようにした。Second Example Next, a second example of the present invention will be described.
In this example, since the selected material is different from that in the above-described first example, only the characteristic part will be described. Further, in this example, the molding materials of the rotary piston (6) and the blade (12) as sliding members in the oilless compressor (1), especially the outer peripheral surface (6a) of the rotary piston (6), are worn. Is selected and a ceramic material that reduces mechanical loss is also selected.

そして、各摺動部材の成形材料を以下の第７表に示す
ように選定した。Then, the molding material of each sliding member was selected as shown in Table 7 below.

そこで、各摺動部材の成形材料として上記の材料を選
定した理由について説明する。 Therefore, the reason why the above material is selected as the molding material for each sliding member will be described.

先ず、ブレード（12）の成形材料の選定に関しては、
第１図に示す第１実施例で説明した試験結果によって、
材料Ｅの焼結カーボンが特に攻撃性が低いという面で優
れていることから（第４表参照）、このブレード（12）
の成形材料として適用することにしている。First, regarding the selection of the molding material for the blade (12),
According to the test result described in the first embodiment shown in FIG.
Since the sintered carbon of the material E is excellent in that it has a particularly low aggressiveness (see Table 4), this blade (12)
Will be applied as a molding material.

次に、ブレード（12）の成形材料として選定した焼結
カーボンに対する各種材料の摩耗量を測定する。この試
験では、回転側試験材料（Ｉ）を焼結カーボン材とし、
固定側試験材料（II）を第１実施例で行った実験と同様
に前記第５表に示す各種材料（Ｈ〜Ｏ）を適用してその
比摩耗量及び摩擦係数を測定した。Next, the amount of wear of various materials with respect to the sintered carbon selected as the molding material for the blade (12) is measured. In this test, the rotating side test material (I) was a sintered carbon material,
As the fixed side test material (II), various materials (H to O) shown in Table 5 were applied in the same manner as the experiment conducted in the first embodiment, and the specific wear amount and the friction coefficient were measured.

そして、第２図に示す試験結果により、材料Ｌの窒化
チタン含有窒化珪素（Si₃N₄−TiN）が特にカーボン材と
の間において比摩耗量が略０（mm³/Kgfm）に等しく、耐
摩耗性の面で優れていることが確認された。From the test results shown in FIG. 2, the specific wear amount of the titanium nitride-containing silicon nitride (Si ₃ N ₄ —TiN) of the material L is approximately 0 (mm ³ / Kgfm), especially with the carbon material, It was confirmed that the wear resistance was excellent.

以上の結果によって、本発明の請求項（３）でいう第
１部材としてのブレード（12）の成形材料を焼結カーボ
ン材に選定し、且つ第２部材としてのロータリピストン
（６）の成形材料を窒化チタン含有窒化珪素に選定する
こととしている。From the above results, the molding material of the blade (12) as the first member in claim (3) of the present invention is selected as the sintered carbon material, and the molding material of the rotary piston (6) as the second member. Is selected as the titanium nitride-containing silicon nitride.

このように、オイルレス圧縮機（１）の各摺動部材の
一方に攻撃性の低い材料、他方に耐摩耗性の高い材料を
夫々選定したことによって、片方の部材（本例ではロー
タリピストン）の摩耗が低減でき、シリンダ内周面（3
a）との間からの冷媒洩れの発生が防止されて圧縮機効
率及び圧縮機の信頼性の向上が図れる。In this way, by selecting a material with low aggression as one of the sliding members of the oilless compressor (1) and a material with high abrasion resistance as the other, one member (rotary piston in this example) is selected. Wear on the cylinder inner surface (3
It is possible to prevent the leakage of the refrigerant between and a) and improve the efficiency of the compressor and the reliability of the compressor.

尚、上述した各実施例はオイルレス圧縮機（１）に関
して述べたが、本発明のような材料の組合せはオイルレ
ス圧縮機（１）への適用に限るものではなく、摺動部材
を備えた各種機械へ適用することが可能である。Although each of the above-described embodiments has been described with reference to the oilless compressor (1), the combination of materials as in the present invention is not limited to the application to the oilless compressor (1), and includes a sliding member. It can be applied to various machines.

（発明の効果）上述したように、本発明によれば以下のような効果が
発揮される。(Effects of the Invention) As described above, according to the present invention, the following effects are exhibited.

請求項（１）記載の発明では、第１部材の摺動面部分
が焼結カーボンで構成され、第２部材の摺動面部分がコ
バルト添加炭化タングステンで構成されていることによ
り第２部材の第１部材による摩耗量の低減を図りなが
ら、且つ、第１部材と第２部材との間における摩擦力を
小さくするために、機械摺動部における機械損失の低減
を図ることができる。In the invention according to claim (1), the sliding surface portion of the first member is made of sintered carbon, and the sliding surface portion of the second member is made of cobalt-added tungsten carbide. It is possible to reduce the mechanical loss in the mechanical sliding portion in order to reduce the wear amount of the first member and reduce the frictional force between the first member and the second member.

請求項（２）記載の発明では、第１部材の摺動面部分
が焼結カーボンで構成され、第２部材の摺動面部分が、
部分安定化酸化ジルコニウムで構成されていることによ
り、第２部材の第１部材による摩耗量の低減を図りなが
ら、且つ、第１部材と第２部材との間における摩擦力を
小さくするために、機械摺動部における機械損失が低減
できる。更には、第２部材が第１部材以外の部材と摺動
する場合でも、その部材を摩耗させることがなく、第２
部材が複数の部材と摺動する場合の組合せとして有効で
ある。In the invention according to claim (2), the sliding surface portion of the first member is made of sintered carbon, and the sliding surface portion of the second member is
By using the partially stabilized zirconium oxide, in order to reduce the amount of wear of the second member by the first member, and to reduce the frictional force between the first member and the second member, The mechanical loss in the mechanical sliding portion can be reduced. Further, even when the second member slides on a member other than the first member, the second member does not wear, and
This is effective as a combination when a member slides on a plurality of members.

請求項（３）記載の発明では、第１部材の摺動面部分
が焼結カーボンで構成され、第２部材の摺動面部分が窒
化チタン含有窒化珪素で構成されていることにより第２
部材の第１部材による摩耗量を大幅に低減することがで
き、機械摺動部材に適用した際の機械の信頼性の向上が
図れる。In the invention according to claim (3), the sliding surface portion of the first member is made of sintered carbon, and the sliding surface portion of the second member is made of titanium nitride-containing silicon nitride.
The amount of wear of the member due to the first member can be significantly reduced, and the reliability of the machine when applied to the machine sliding member can be improved.

請求項（４）記載の発明では、ブレードが焼結カーボ
ンで構成され、ブレード溝の内壁面がコバルト添加炭化
タングステンで構成されていることにより、オイルレス
圧縮機の駆動時において、ブレード溝内壁面のブレード
による摩耗量は低減され、且つ、この両者間での摩擦係
数は小さいために摩擦による機械損失が低減され、圧縮
機効率の向上が図れる。In the invention according to claim (4), since the blade is made of sintered carbon and the inner wall surface of the blade groove is made of cobalt-added tungsten carbide, the inner wall surface of the blade groove is driven when the oilless compressor is driven. The amount of wear by the blade of No. 2 is reduced, and since the friction coefficient between the two is small, the mechanical loss due to friction is reduced, and the compressor efficiency can be improved.

請求項（５）記載の発明では、チップシールが焼結カ
ーボンで構成され、サイドケースのフェース面がコバル
ト添加炭化タングステンで構成されていることにより、
オイルレス圧縮機の駆動時において、サイドケースのフ
ェース面のブレードによる摩耗量は低減され、且つ、こ
の両者間での摩擦係数は小さいために摩擦による機械損
失が低減され、圧縮機効率の向上が図れ、サイドケース
のフェース面の摩耗による流体の洩れが抑制でき、圧縮
機の信頼性が向上される。According to the invention of claim (5), since the tip seal is made of sintered carbon and the face surface of the side case is made of cobalt-added tungsten carbide,
When the oilless compressor is driven, the amount of wear by the blade on the face surface of the side case is reduced, and since the friction coefficient between the two is small, mechanical loss due to friction is reduced and the compressor efficiency is improved. As a result, leakage of fluid due to wear of the face surface of the side case can be suppressed, and the reliability of the compressor is improved.

請求項（６）記載の発明では、前記ブレードが焼結カ
ーボンで構成され、ロータリピストンが部分安定化ジル
コニアで構成されていることにより、この圧縮機の駆動
時において、ロータリピストンの外周面のブレードによ
る摩耗量は低減され、且つ、この両者間での摩擦係数は
小さいために摩擦による機械損失が低減され、圧縮機効
率の向上が図れる。また、サイドケースのフェース面と
も摺動するロータリピストンが、このサイドケースのフ
ェース面を破損させることもなく、圧縮機の信頼性の向
上が図れる。In the invention according to claim (6), since the blade is made of sintered carbon and the rotary piston is made of partially stabilized zirconia, the blade on the outer peripheral surface of the rotary piston is driven when the compressor is driven. The amount of wear due to is reduced, and since the friction coefficient between the two is small, the mechanical loss due to friction is reduced, and the compressor efficiency can be improved. Further, the rotary piston that also slides on the face surface of the side case does not damage the face surface of the side case, and the reliability of the compressor can be improved.

請求項（７）記載の発明では、前記ブレードが焼結カ
ーボンで構成され、ロータリピストンが窒化チタン含有
窒化珪素で構成されていることにより、この圧縮機の駆
動時において、ロータリピストン外周面のブレードによ
る摩耗量は低減され、ロータリピストンの摩耗による流
体の洩れが防止されるために、圧縮機の耐久性の向上が
図れると共に、圧縮機効率の向上が図れる。In the invention according to claim (7), since the blade is made of sintered carbon and the rotary piston is made of titanium nitride-containing silicon nitride, the blade on the outer peripheral surface of the rotary piston is driven when the compressor is driven. As a result, the amount of wear due to wear is reduced, and fluid leakage due to wear of the rotary piston is prevented, so that the durability of the compressor can be improved and the efficiency of the compressor can be improved.

[Brief description of drawings]

第１図〜第７図は本発明の実施例を示し、第１図及び第
２図は本発明を確認するための摩擦摩耗試験の試験結果
を示し、第１図は第１部材の成形材料の適性を確認する
ために行った摩擦摩耗試験の結果を示す図、第２図は第
２部材の摺動部材の成形材料の適性を確認するために行
った摩擦摩耗試験の結果を示す図である。第３図はロー
タリ式オイルレス圧縮機の運転時における機械損失割合
を示す図、第４図は異種セラミック材料の摩擦摩耗試験
を行う試験装置の縦断面図、第５図はロータリ式オイル
レス圧縮機の内部構造を示す横断面図、第６図はその周
辺の縦断面図、第７図はロータリピストンの縦断面図で
ある。（１）……オイルレス圧縮機（３）……シリンダ（3a）……内周面（3b）……ブレード溝（第２部材）（3c）……内壁面（４），（５）……サイドケース（第２部材）（4a），（5a）……フェース面（６）……ロータリピストン（第２部材）（6a）……外周面（6b），（6c）……端面（6d）……凹溝（12）……ブレード（第１部材）（12b）……先端（12c）……側面（13）……低圧室（14）……高圧室（15）……チップシール（第１部材）（15a），（15b）……端面1 to 7 show an embodiment of the present invention, FIGS. 1 and 2 show test results of a friction and wear test for confirming the present invention, and FIG. 1 shows a molding material for the first member. FIG. 2 is a diagram showing the results of a friction and wear test conducted to confirm the suitability of the above, and FIG. 2 is a diagram showing the results of a friction wear test conducted to confirm the suitability of the molding material of the sliding member of the second member. is there. FIG. 3 is a diagram showing a mechanical loss ratio during operation of a rotary oilless compressor, FIG. 4 is a vertical sectional view of a test device for performing a friction and wear test of different ceramic materials, and FIG. 5 is a rotary oilless compression. FIG. 6 is a vertical cross-sectional view showing the internal structure of the machine, FIG. 6 is a vertical cross-sectional view of the periphery thereof, and FIG. 7 is a vertical cross-sectional view of the rotary piston. (1) …… Oilless compressor (3) …… Cylinder (3a) …… Inner peripheral surface (3b) …… Blade groove (second member) (3c) …… Inner wall surface (4), (5)… … Side case (2nd member) (4a), (5a) …… Face surface (6) …… Rotary piston (2nd member) (6a) …… Outer peripheral surface (6b), (6c) …… End surface (6d ) …… Groove (12) …… Blade (first member) (12b)… Tip (12c)… Side (13) …… Low pressure chamber (14) …… High pressure chamber (15) …… Tip seal ( 1st member) (15a), (15b) ... End face

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｃ１０Ｍ 103:00）Ｚ (Ｃ１０Ｍ 103/00 103:02 Ｚ 103:04 103:06）Ｚ (Ｃ１０Ｍ 103/00 103:02 Ｚ 103:06）ＡＣ１０Ｎ 40:02 40:30 50:08 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. ⁶ Identification code Office reference number FI Technical display location C10M 103: 00) Z (C10M 103/00 103: 02 Z 103: 04 103: 06) Z (C10M 103/00 103: 02 Z 103: 06) AC10N 40:02 40:30 50:08

Claims

[Claims]

1. A sliding part structure comprising a combination of first members (12), (15) and second members (3b), (4), (5) which are in contact with each other and slide relatively to each other. , The first member (12),
At least the sliding surface portions (12c), (15a) and (15b) of (15) with respect to the second members (3b), (4) and (5) are made of sintered carbon (C), while Second member (3
b), (4), (5) at least the first member (12), (1
Sliding part structure characterized in that the sliding surface parts (3c), (4a), (5a) against 5) are composed of cobalt-added tungsten carbide (WC-Co).

2. A sliding portion structure comprising a first member (12) and a second member (6) which come into contact with each other and slide relative to each other, wherein at least a second member of the first member (12) is provided. The sliding surface portion (12b) for (6) is made of sintered carbon (C), while at least the sliding surface portion (6a) for the first member (12) of the second member (6) is oxidized. A sliding part structure characterized by being composed of zirconium (ZrO ₂ ).

3. A sliding part structure comprising a first member (12) and a second member (6) which come into contact with each other and slide relative to each other, wherein at least a second member of the first member (12) is provided. The sliding surface portion (12b) for (6) is made of sintered carbon (C), while at least the sliding surface portion (6a) for the first member (12) of the second member (6) is nitrided. A sliding portion structure characterized by being composed of titanium-containing silicon nitride (Si ₃ N ₄ —TiN).

4. Side cases (4) and (5) are attached to both end surfaces of the cylinder (3), and a rotary is provided in a space formed by the cylinder (3) and the side cases (4) and (5). The piston (6) is arranged so as to be eccentric with respect to the cylinder (3) and a part of the piston (6) contacts the inner peripheral surface (3a) of the cylinder (3), and the cylinder (3) has a blade groove. (3b) is formed, and in the blade groove (3b), the blade (12) has a side surface (12).
compression space formed in the space by the rotation of the rotary piston (6) when the rotary piston (6) is inserted into the cylinder (3) while the c) slides on the inner wall surface (3c) of the blade groove (3b). In the oilless compressor for reducing (13) and (14), the blade (12) is made of sintered carbon (C), and the inner wall surface (3c) of the blade groove (3b) is made of cobalt-doped tungsten carbide (WC). -The structure of the sliding part of the oilless compressor, which is characterized by being formed of (Co).

5. Side cases (4) and (5) are attached to both end surfaces of a cylinder (3), and a rotary is provided in a space formed by the cylinder (3) and the side cases (4) and (5). A piston (6) is arranged so as to be eccentric with respect to the cylinder (3) and a part of the piston (6) is in contact with the inner peripheral surface (3a) of the cylinder (3), and the cylinder (3) and the rotary piston ( The blade (12) is provided between the rotary piston (6) and the end surface (6) of the rotary piston (6).
An annular groove (6d) is formed in b) and (6c), and a ring-shaped tip seal (15) is formed in the groove (6d).
However, the end faces (15a) and (15b) of the tip seal (15) are face faces (4a) and (5a) of the side cases (4) and (5).
The rotary piston (6) fitted so as to come into contact with
The compression space (1
In the oilless compressor for reducing 3) and (14), the tip seal (15) is formed of sintered carbon (C), and the face surfaces (4) of the side cases (4) and (5) are
a) and (5a) are cobalt-doped tungsten carbide (WC-C
The structure of the sliding part of the oilless compressor is characterized by being formed by o).

6. A side case (4), (5) is attached to both end surfaces of a cylinder (3), and a rotary is provided in a space formed by the cylinder (3) and the side cases (4), (5). The piston (6) is arranged so as to be eccentric with respect to the cylinder (3) and a part of the piston (6) contacts the inner peripheral surface (3a) of the cylinder (3), and the cylinder (3) has a blade groove. (3b) is formed, and the blade (12) is inserted into the blade groove (3b) so as to project and retract in the cylinder (3), and the tip (12) of the blade (12) is formed.
b) is an oilless compression that is pressed against the outer peripheral surface (6a) of the rotary piston (6) and reduces the compression spaces (13) and (14) formed in the space by the rotation of the rotary piston (6). In the machine, the blade (12) is made of sintered carbon (C), and the rotary piston (6) is made of zirconium oxide (Zr).
The sliding part structure of the oilless compressor is characterized by being formed of O ₂ ).

7. A side case (4), (5) is attached to both end surfaces of a cylinder (3), and a rotary is provided in a space formed by the cylinder (3) and the side cases (4), (5). The piston (6) is arranged so as to be eccentric with respect to the cylinder (3) and a part of the piston (6) contacts the inner peripheral surface (3a) of the cylinder (3), and the cylinder (3) has a blade groove. (3b) is formed, and the blade (12) is inserted into the blade groove (3b) so as to project and retract in the cylinder (3), and the tip (12) of the blade (12) is formed.
b) is an oilless compression that is pressed against the outer peripheral surface (6a) of the rotary piston (6) and reduces the compression spaces (13) and (14) formed in the space by the rotation of the rotary piston (6). Machine, the blade (12) is made of sintered carbon (C), and the rotary piston (6) is made of titanium nitride-containing silicon nitride (Si ₃ N ₄ —TiN). Sliding structure of compressor.