JPH088385B2 - エキシマレーザ装置 - Google Patents
エキシマレーザ装置Info
- Publication number
- JPH088385B2 JPH088385B2 JP3273044A JP27304491A JPH088385B2 JP H088385 B2 JPH088385 B2 JP H088385B2 JP 3273044 A JP3273044 A JP 3273044A JP 27304491 A JP27304491 A JP 27304491A JP H088385 B2 JPH088385 B2 JP H088385B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capacitor
- preionization
- pin
- excimer laser
- magnetic switch
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 34
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 6
- 238000010278 pulse charging Methods 0.000 claims description 5
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 2
- 238000007600 charging Methods 0.000 description 13
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 5
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、自動予備電離容量移行
型の放電励起方式を利用したエキシマレーザ装置に関す
る。
型の放電励起方式を利用したエキシマレーザ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来例のエキシマレーザ装置を示
し、直流▲高▼電圧によってチャージングコイルＬ１を
介して充電されているコンデンサＣ１を、サイラトロン
のような▲高▼速スイッチ素子ＳＷをオンとすることに
よって放電させる。この放電による放電電流Ｉ１によっ
て、コンデンサＣ２に電荷が移行し、パルス充電され
る。
し、直流▲高▼電圧によってチャージングコイルＬ１を
介して充電されているコンデンサＣ１を、サイラトロン
のような▲高▼速スイッチ素子ＳＷをオンとすることに
よって放電させる。この放電による放電電流Ｉ１によっ
て、コンデンサＣ２に電荷が移行し、パルス充電され
る。
【０００３】このパルス充電は予備電離ＰＩピンを介し
て行なわれるため、予備電離ピンＰＩ間でアーク放電を
起こし、これにより自動的に紫外線予備電離が行なわれ
る。コンデンサＣ２が充電を完了したとき、可飽和リア
クトルからなる磁気スイッチＭＳが飽和し、放電電流Ｉ
２が流れて主電極ＭＥ１，ＭＥ２間で主放電が発生す
る。
て行なわれるため、予備電離ピンＰＩ間でアーク放電を
起こし、これにより自動的に紫外線予備電離が行なわれ
る。コンデンサＣ２が充電を完了したとき、可飽和リア
クトルからなる磁気スイッチＭＳが飽和し、放電電流Ｉ
２が流れて主電極ＭＥ１，ＭＥ２間で主放電が発生す
る。
【０００４】ところでこのような構成において、磁気ス
イッチＭＳが飽和するまでは主電極ＭＥ１は、コイルＬ
１２を介してアース電位とされているので、磁気スイッ
チＭＳにはコンデンサＣ２のほぼ全充電電圧が印加され
る。そしてコンデンサＣ２の充電が完了するまでは磁気
スイッチＭＳは飽和しないので、大きな断面積のコアー
が必要となる。
イッチＭＳが飽和するまでは主電極ＭＥ１は、コイルＬ
１２を介してアース電位とされているので、磁気スイッ
チＭＳにはコンデンサＣ２のほぼ全充電電圧が印加され
る。そしてコンデンサＣ２の充電が完了するまでは磁気
スイッチＭＳは飽和しないので、大きな断面積のコアー
が必要となる。
【０００５】また主電極ＭＥ１，ＭＥ２と予備電離ピン
ＰＩとの間には、磁気スイッチＭＳが飽和するまで、コ
ンデンサＣ２のほぼ全充電電圧に相当する電位差が生ず
る。一方主電極ＭＥ１，ＭＥ２と予備電離ピンＰＩと
は、互いに接近した位置に設置する必要があるので、こ
のような大きな電位差が生じた場合、両者間の絶縁設計
が困難となる欠点がある。
ＰＩとの間には、磁気スイッチＭＳが飽和するまで、コ
ンデンサＣ２のほぼ全充電電圧に相当する電位差が生ず
る。一方主電極ＭＥ１，ＭＥ２と予備電離ピンＰＩと
は、互いに接近した位置に設置する必要があるので、こ
のような大きな電位差が生じた場合、両者間の絶縁設計
が困難となる欠点がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、予備自動電
離容量移行型の放電励起方式を採用したエキシマレーザ
装置において、容量移行まで主電極間での放電を抑制す
るのに使用する磁気スイッチの小型化を図るとともに、
予備電離ピンの絶縁設計の簡易化を図ることを目的とす
る。
離容量移行型の放電励起方式を採用したエキシマレーザ
装置において、容量移行まで主電極間での放電を抑制す
るのに使用する磁気スイッチの小型化を図るとともに、
予備電離ピンの絶縁設計の簡易化を図ることを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、パルス充電に
よって容量移行されるコンデンサにまたがり、磁気スイ
ッチとエキシマレーザ励起の放電を行う主電極との直列
回路からなる主放電回路を接続し、また一対の分圧コン
デンサ間に予備電離ピンを直列に接続した予備電離ピン
回路を、前記コンデンサにまたがって接続し、前記予備
電離ピンの一方を前記主電極の一方に接続したことを特
徴とする。
よって容量移行されるコンデンサにまたがり、磁気スイ
ッチとエキシマレーザ励起の放電を行う主電極との直列
回路からなる主放電回路を接続し、また一対の分圧コン
デンサ間に予備電離ピンを直列に接続した予備電離ピン
回路を、前記コンデンサにまたがって接続し、前記予備
電離ピンの一方を前記主電極の一方に接続したことを特
徴とする。
【０００８】コンデンサがパルス充電されるとき、その
一部の充電電流は予備電離ピンに流れ、予備電離ピンで
アーク放電が発生して予備電離が行われる。また両分圧
コンデンサの間に予備電離ピンが接続されてあることに
より、その電位は分圧コンデンサの比で定まる値（０〜
充電電圧の間の値）となる。そしてその予備電離ピンに
主電極の一方が接続されていて同電位となっているの
で、その主電極の電位も０〜充電電圧の間の値となる。
一部の充電電流は予備電離ピンに流れ、予備電離ピンで
アーク放電が発生して予備電離が行われる。また両分圧
コンデンサの間に予備電離ピンが接続されてあることに
より、その電位は分圧コンデンサの比で定まる値（０〜
充電電圧の間の値）となる。そしてその予備電離ピンに
主電極の一方が接続されていて同電位となっているの
で、その主電極の電位も０〜充電電圧の間の値となる。
【０００９】このように主電極の電位が低くなることに
より、磁気スイッチには充電電圧よりも低い電圧が加わ
る。これによりコンデンサがパルス充電されるまで未飽
和である磁気スイッチとして大きな断面積のものを必要
としないようになる。そして予備電離ピンと主電極とは
同電位となることにより、両者間の絶縁設計は容易とな
る。
より、磁気スイッチには充電電圧よりも低い電圧が加わ
る。これによりコンデンサがパルス充電されるまで未飽
和である磁気スイッチとして大きな断面積のものを必要
としないようになる。そして予備電離ピンと主電極とは
同電位となることにより、両者間の絶縁設計は容易とな
る。
【００１０】
【実施例】図１に本発明の実施例を示す。なお図２と同
じ符号を付した部分は、同一または対応する部分を示
す。本発明にしたがい、パルス充電によって容量移行さ
れるコンデンサＣ２にまたがって磁気スイッチＭＳと一
対の主電極ＭＥ１，ＭＥ２との直列回路からなる主放電
回路を形成する。
じ符号を付した部分は、同一または対応する部分を示
す。本発明にしたがい、パルス充電によって容量移行さ
れるコンデンサＣ２にまたがって磁気スイッチＭＳと一
対の主電極ＭＥ１，ＭＥ２との直列回路からなる主放電
回路を形成する。
【００１１】また一対の分圧コンデンサＣＰ１，ＣＰ２
を用意し、両コンデンサ間に予備電離ピンＰＩを接続し
た予備電離ピン回路を構成する。そしてこの予備電離ピ
ン回路をコンデンサＣ２にまたがって接続する。さらに
予備電離ピンＰＩの一方を主電極ＭＥ１に接続し、コン
デンサＣ２をパルス充電するときの、その充電電流の一
部の電流Ｉ１′が予備電離ピン回路に流れるようにす
る。
を用意し、両コンデンサ間に予備電離ピンＰＩを接続し
た予備電離ピン回路を構成する。そしてこの予備電離ピ
ン回路をコンデンサＣ２にまたがって接続する。さらに
予備電離ピンＰＩの一方を主電極ＭＥ１に接続し、コン
デンサＣ２をパルス充電するときの、その充電電流の一
部の電流Ｉ１′が予備電離ピン回路に流れるようにす
る。
【００１２】コンデンサＣ１の充電が完了したとき、▲
高▼速スイッチ素子ＳＷをオンとして放電させ、コンデ
ンサＣ２に電荷を移行させる。このときのコンデンサＣ
２のパルス充電電流の一部は予備電離ピン回路に流れ、
ここで予備電離が行なわれる。
高▼速スイッチ素子ＳＷをオンとして放電させ、コンデ
ンサＣ２に電荷を移行させる。このときのコンデンサＣ
２のパルス充電電流の一部は予備電離ピン回路に流れ、
ここで予備電離が行なわれる。
【００１３】この場合、両分圧コンデンサＣＰ１，ＣＰ
２の容量をほぼ等しく設定していたとすると、予備電離
ピンＰＩの電位はコンデンサＣ２の充電電圧のほぼ半分
となる。コンデンサＣ２への電荷の移行が完了すると、
磁気スイッチが飽和し、放電電流Ｉ２が流れて、主電極
間で放電が発生し、レーザ励起を行なうことは従来構成
と同様である。
２の容量をほぼ等しく設定していたとすると、予備電離
ピンＰＩの電位はコンデンサＣ２の充電電圧のほぼ半分
となる。コンデンサＣ２への電荷の移行が完了すると、
磁気スイッチが飽和し、放電電流Ｉ２が流れて、主電極
間で放電が発生し、レーザ励起を行なうことは従来構成
と同様である。
【００１４】しかし前記のように予備電離ピンＰＩの電
位はコンデンサＣ２の充電電圧のほぼ半分となり、かつ
予備電離ピンＰＩの一方と主電極ＭＥ１とは同電位であ
ることにより、磁気スイッチＭＳの両端にかかる電圧
も、コンデンサＣ２の充電電圧のほぼ半分となる。すな
わち従来構成に比較して半分となることにより、磁気ス
イッチＭＳとして必要なコアーの断面積もほぼ半分です
み、それだけ小型化に製作できる。
位はコンデンサＣ２の充電電圧のほぼ半分となり、かつ
予備電離ピンＰＩの一方と主電極ＭＥ１とは同電位であ
ることにより、磁気スイッチＭＳの両端にかかる電圧
も、コンデンサＣ２の充電電圧のほぼ半分となる。すな
わち従来構成に比較して半分となることにより、磁気ス
イッチＭＳとして必要なコアーの断面積もほぼ半分です
み、それだけ小型化に製作できる。
【００１５】また予備電離ピンＰＩと主電極ＭＥ１とは
同電位であるため、両者間の絶縁設計は、従来構成に比
較して容易となり、信頼性の▲高▼い装置が設計できる
こととなる。
同電位であるため、両者間の絶縁設計は、従来構成に比
較して容易となり、信頼性の▲高▼い装置が設計できる
こととなる。
【００１６】なお分圧コンデンサＣＰ１，ＣＰ２の容量
は、前記した例ではほぼ同じとしたが、これに限定され
るものではなく、磁気スイッチＭＳの小型化に最適な範
囲内で両容量の比を設定すればよい。たとえば分圧コン
デンサＣＰ１の容量として、分圧コンデンサＣＰ２の容
量の半分乃至２倍の範囲内で設定すればよい。
は、前記した例ではほぼ同じとしたが、これに限定され
るものではなく、磁気スイッチＭＳの小型化に最適な範
囲内で両容量の比を設定すればよい。たとえば分圧コン
デンサＣＰ１の容量として、分圧コンデンサＣＰ２の容
量の半分乃至２倍の範囲内で設定すればよい。
【００１７】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、予
備自動電離容量移行型の放電励起方式を採用したエキシ
マレーザ装置において、容量移行まで主電極間での放電
を抑制するのに使用する磁気スイッチを小型に製作でき
るとともに、予備電離ピンの絶縁設計の簡易化が可能と
なるといった効果を奏する。
備自動電離容量移行型の放電励起方式を採用したエキシ
マレーザ装置において、容量移行まで主電極間での放電
を抑制するのに使用する磁気スイッチを小型に製作でき
るとともに、予備電離ピンの絶縁設計の簡易化が可能と
なるといった効果を奏する。
【図１】本発明の実施例を示す回路図である。
【図２】従来例の回路図である。
Ｃ２ コンデンサ ＭＳ 磁気スイッチ ＭＥ１ 主電極 ＭＥ２ 主電極 ＰＩ 予備電離ピン ＣＰ１ 分圧コンデンサ ＣＰ２ 分圧コンデンサ
Claims (1)
- 【請求項１】パルス充電によって容量移行されるコンデ
ンサにまたがり、磁気スイッチとエキシマレーザ励起の
放電を行う主電極との直列回路からなる主放電回路を接
続し、また一対の分圧コンデンサ間に予備電離ピンを直
列に接続した予備電離ピン回路を、前記コンデンサにま
たがって接続し、前記予備電離ピンの一方を前記主電極
の一方に接続してなるエキシマレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3273044A JPH088385B2 (ja) | 1991-07-22 | 1991-07-22 | エキシマレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3273044A JPH088385B2 (ja) | 1991-07-22 | 1991-07-22 | エキシマレーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0529691A JPH0529691A (ja) | 1993-02-05 |
| JPH088385B2 true JPH088385B2 (ja) | 1996-01-29 |
Family
ID=17522385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3273044A Expired - Lifetime JPH088385B2 (ja) | 1991-07-22 | 1991-07-22 | エキシマレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH088385B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002283275A (ja) | 2001-03-21 | 2002-10-03 | Fanuc Ltd | ロボットの手首構造 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62249493A (ja) * | 1986-04-23 | 1987-10-30 | Hitachi Ltd | 自動予備電離エキシマレ−ザ装置 |
| JP2743075B2 (ja) * | 1988-11-28 | 1998-04-22 | 株式会社小松製作所 | パルス放電型ガスレーザの充放電回路 |
-
1991
- 1991-07-22 JP JP3273044A patent/JPH088385B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0529691A (ja) | 1993-02-05 |
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