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JPH1070043A - Method for manufacturing solid electrolytic capacitor - Google Patents
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JPH1070043A - Method for manufacturing solid electrolytic capacitor - Google Patents

Method for manufacturing solid electrolytic capacitor

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Publication number
JPH1070043A
JPH1070043A JP8224868A JP22486896A JPH1070043A JP H1070043 A JPH1070043 A JP H1070043A JP 8224868 A JP8224868 A JP 8224868A JP 22486896 A JP22486896 A JP 22486896A JP H1070043 A JPH1070043 A JP H1070043A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chemical oxidation
phase chemical
oxide film
oxidation polymerization
electrolytic capacitor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8224868A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Shimada
博司 島田
Chiharu Hayashi
千春 林
Yoshihiko Tsujikawa
義彦 辻川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP8224868A priority Critical patent/JPH1070043A/en
Publication of JPH1070043A publication Critical patent/JPH1070043A/en
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  • Polyoxymethylene Polymers And Polymers With Carbon-To-Carbon Bonds (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 誘電体酸化皮膜上に導電性高分子からなる固
体電解質層を形成する場合、均一かつ緻密で密着性に優
れたものが得られる固体電解コンデンサの製造方法を提
供することを目的とする。 【解決手段】 多孔質弁金属よりなる陽極体11の表面
に誘電体酸化皮膜12を形成し、さらにこの誘電体酸化
皮膜12上に2種の異なる液相化学酸化重合と気相化学
酸化重合を用いて導電性高分子からなる固体電解質層1
3を形成するようにしたものである。
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a solid electrolytic capacitor capable of obtaining a uniform, dense and excellent adhesion when a solid electrolyte layer made of a conductive polymer is formed on a dielectric oxide film. The purpose is to do. SOLUTION: A dielectric oxide film 12 is formed on the surface of an anode body 11 made of a porous valve metal, and two kinds of different liquid phase chemical oxidation polymerization and gas phase chemical oxidation polymerization are formed on the dielectric oxide film 12. Used solid electrolyte layer 1 made of conductive polymer
No. 3 is formed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は複素環式化合物およ
びその誘導体を化学酸化重合することにより形成される
導電性高分子からなる固体電解質層を備えた固体電解コ
ンデンサの製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a solid electrolytic capacitor having a solid electrolyte layer made of a conductive polymer formed by chemically oxidatively polymerizing a heterocyclic compound and a derivative thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子機器の高機能化に伴い、電子
部品に対しても従来品より優れた機能を有するものが求
められている。この要望に応えるべく数多くの機能性材
料が開発され供給されているが、その一つに複素環式化
合物およびその誘導体を化学酸化重合することにより形
成される導電性高分子からなる固体電解質層を用いたも
のがある。
2. Description of the Related Art In recent years, as electronic devices have become more sophisticated, electronic components having functions superior to conventional products have been demanded. Numerous functional materials have been developed and supplied to meet this demand, and one of them is a solid electrolyte layer made of a conductive polymer formed by chemically oxidizing and polymerizing a heterocyclic compound and its derivative. Some have been used.

【0003】陽極材料としてアルミニウムやタンタルを
用い、かつ電解質として無機の固体電解質である二酸化
マンガンや二酸化鉛を用いた固体電解コンデンサは、図
5(a),(b)に示すように、そのほとんどは製造工
法上の制約から、内部端子部1を備え、かつ微粉末を焼
結してなる陽極体2、または内部端子部3を備え、かつ
粗面化により実質の表面積を大きくした陽極箔あるいは
陽極板4に、熱分解反応を利用して固体電解質5を焼き
付け形成し、その後、カーボン、導電性接着剤などによ
り陰極層6を順次形成する構造を採用している。これら
の固体電解コンデンサは、その電解質の特徴から、電解
液を用いるアルミ電解コンデンサに比べて温度依存性が
小さく、高周波領域でのレジスタンスが低いという利点
を有しているが、反面、耐電圧が低く、かつ生産工法の
制約から生産性の面でやや不利であるという面も抱えて
いる。
As shown in FIGS. 5A and 5B, most of the solid electrolytic capacitors using aluminum or tantalum as an anode material and using manganese dioxide or lead dioxide as an inorganic solid electrolyte as an electrolyte. The anode foil 2 provided with the internal terminal portion 1 and sintering fine powder, or the anode foil provided with the internal terminal portion 3 and having a substantial surface area increased by roughening, A structure is employed in which the solid electrolyte 5 is baked on the anode plate 4 using a thermal decomposition reaction, and then the cathode layer 6 is sequentially formed with carbon, a conductive adhesive or the like. These solid electrolytic capacitors have the advantage that they are less temperature-dependent and have lower resistance in the high-frequency region than aluminum electrolytic capacitors that use an electrolytic solution, due to the characteristics of their electrolytes. It is also low and has a disadvantage in productivity due to restrictions on production methods.

【0004】さらにこの固体電解質5の低レジスタンス
化を追求したものとして、電荷移動錯体であるTCNQ
塩を利用した有機半導体コンデンサや、複素環式化合物
であるピロール,チオフェン,フランなどを重合して導
電化してなる導電性高分子を利用した固体電解コンデン
サなどが実用化されている。
In order to further reduce the resistance of the solid electrolyte 5, a charge transfer complex, TCNQ
An organic semiconductor capacitor using a salt, a solid electrolytic capacitor using a conductive polymer obtained by polymerizing a heterocyclic compound such as pyrrole, thiophene, or furan to make it conductive have been put into practical use.

【0005】この中でも導電性高分子はその固有抵抗が
著しく低いという特徴を有するため、コンデンサの低レ
ジスタンスのためには有力な固体電解質であるが、多孔
質弁金属よりなる陽極体の表面の誘電体酸化皮膜に対
し、均一かつ緻密で密着性に優れた導電性高分子からな
る固体電解質層を被覆形成するには極めて大きな制約を
抱えているものである。
[0005] Among them, conductive polymers have the characteristic that their specific resistance is remarkably low. Therefore, they are effective solid electrolytes for low resistance of capacitors, but the dielectric of the surface of the anode body made of porous valve metal is important. There is an extremely large restriction in forming a solid electrolyte layer made of a conductive polymer that is uniform, dense, and excellent in adhesion to a body oxide film.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】導電性高分子はその固
有抵抗が著しく低いという特徴を有することから、とり
わけ近年その製造方法に関し種々提唱、改善が進められ
ている固体電解質であるが、多孔質弁金属よりなる陽極
体の表面に形成した誘電体酸化皮膜上に導電性高分子か
らなる固体電解質層を被覆形成する場合、細孔部からな
る誘電体酸化皮膜表面は、浸漬する液体の表面張力と誘
電体酸化皮膜表面の濡れ性により大きな影響を受けるた
め、細孔内部まで均一かつ緻密で密着性に優れた導電性
高分子からなる固体電解質層を被覆形成することは極め
て困難を有するものである。
SUMMARY OF THE INVENTION Since conductive polymers have the characteristic that their specific resistance is extremely low, various kinds of solid electrolytes have been proposed and improved with respect to their production methods in recent years. When a solid electrolyte layer made of a conductive polymer is coated on a dielectric oxide film formed on the surface of an anode body made of a valve metal, the surface of the dielectric oxide film consisting of pores has a surface tension of the liquid to be immersed. Since it is greatly affected by the wettability of the dielectric oxide film surface and the surface of the dielectric oxide film, it is extremely difficult to form a solid electrolyte layer made of a conductive polymer that is uniform, dense and has excellent adhesion to the inside of the pores. is there.

【0007】また、細孔内部まで均一かつ緻密で密着性
に優れた導電性高分子からなる固体電解質層を被覆形成
するのに有利な方法としては、複素環式化合物およびそ
の誘導体を液相化学酸化重合することにより導電性高分
子からなる固定電解質層を形成する方法がある。この方
法では複素環式化合物およびその誘導体を酸化重合する
ために酸化剤およびあるいは酸化を助長する酸化触媒を
含む酸化液で処理するのが一般的となっている。しかし
ながら、この方法では目的は達せられるが、外層部への
被覆効率は極めて悪く、多量の廃液処理に係わる製造原
価の高騰や生産性上の問題など大きな課題を抱えてい
る。
In order to form a solid electrolyte layer made of a conductive polymer having uniform, dense and excellent adhesion to the inside of the pores, a heterocyclic compound and a derivative thereof are prepared by a liquid phase chemical method. There is a method of forming a fixed electrolyte layer made of a conductive polymer by oxidative polymerization. In this method, in order to carry out the oxidative polymerization of the heterocyclic compound and its derivative, it is general to treat with an oxidizing solution containing an oxidizing agent and / or an oxidation catalyst for promoting the oxidation. However, although this method can achieve its purpose, the coating efficiency on the outer layer is extremely poor, and there are large problems such as a rise in production cost and a problem in productivity associated with treatment of a large amount of waste liquid.

【0008】さらに液相化学酸化重合では、反応する重
合液と酸化液の反応速度と拡散速度のバランスが、誘電
体酸化皮膜上に被覆形成される導電性高分子からなる固
体電解質層の被覆状態を大きく左右するものであるた
め、誘電体酸化皮膜上に均一かつ緻密で密着性に優れた
導電性高分子からなる固体電解質層を一定厚みで形成す
ることはかなり難しいものであった。
Further, in the liquid phase chemical oxidation polymerization, the balance between the reaction rate and the diffusion rate of the reacting polymerization liquid and the oxidizing liquid depends on the coating state of the solid electrolyte layer made of a conductive polymer formed on the dielectric oxide film. Therefore, it is very difficult to form a solid electrolyte layer made of a conductive polymer having a uniform, dense and excellent adhesion on the dielectric oxide film with a constant thickness.

【0009】本発明は上記従来の課題を解決するために
なされたもので、誘電体酸化皮膜上に導電性高分子から
なる固体電解質層を形成する場合、均一、かつ緻密で密
着性に優れたものが得られる固体電解コンデンサの製造
方法を提供することを目的とするものである。
The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems. When a solid electrolyte layer made of a conductive polymer is formed on a dielectric oxide film, it is uniform, dense, and excellent in adhesion. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a solid electrolytic capacitor that can obtain the same.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の固体電解コンデンサの製造方法は、多孔質弁
金属よりなる陽極体の表面に誘電体酸化皮膜を形成し、
さらにこの誘電体酸化皮膜上に2種の異なる液相化学酸
化重合と気相化学酸化重合を用いて導電性高分子からな
る固体電解質層を形成するようにしたもので、この製造
方法によれば、誘電体酸化皮膜上に均一かつ緻密で密着
性に優れた導電性高分子からなる固体電解質層を形成す
ることができるものである。
In order to achieve the above object, a method for manufacturing a solid electrolytic capacitor according to the present invention comprises forming a dielectric oxide film on a surface of an anode body made of a porous valve metal,
Further, a solid electrolyte layer made of a conductive polymer is formed on the dielectric oxide film by using two kinds of liquid phase chemical oxidation polymerization and gas phase chemical oxidation polymerization. In addition, a solid electrolyte layer made of a conductive polymer having uniform, dense, and excellent adhesion can be formed on the dielectric oxide film.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、多孔質弁金属よりなる陽極体の表面に誘電体酸化皮
膜を形成し、さらにこの誘電体酸化皮膜上に2種の異な
る液相化学酸化重合と気相化学酸化重合を用いて導電性
高分子からなる固体電解質層を形成するようにしたもの
で、この製造方法によれば、2種の異なる液相化学酸化
重合と気相化学酸化重合の組み合わせにより、多孔質弁
金属よりなる陽極体の細孔内部から外層部に至るまで均
一かつ緻密で密着性に優れた導電性高分子からなる固体
電解質層を形成することができるため、高周波領域で低
インピーダンスを要望される製品に適用することができ
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION According to the first aspect of the present invention, a dielectric oxide film is formed on the surface of an anode body made of a porous valve metal, and two different types of different oxide films are formed on the dielectric oxide film. A solid electrolyte layer made of a conductive polymer is formed by using liquid phase chemical oxidation polymerization and gas phase chemical oxidation polymerization. According to this production method, two different liquid phase chemical oxidation polymerizations and gas By the combination of phase chemical oxidation polymerization, it is possible to form a solid electrolyte layer made of a conductive polymer with uniform, dense and excellent adhesion from the inside of the pores of the anode body made of a porous valve metal to the outer layer. Therefore, the present invention can be applied to a product requiring low impedance in a high frequency region.

【0012】請求項2に記載の発明は、液相化学酸化重
合と気相化学酸化重合を交互に適用するようにしたもの
で、この製造方法によれば、固体電解質である導電性高
分子からなる固体電解質層を化学酸化重合により形成す
る場合、多孔質弁金属よりなる陽極体の細孔内部から外
層部に至るまで均一かつ緻密で密着性に優れた導電性高
分子からなる固体電解質層を効率よく形成することがで
きるものである。
According to a second aspect of the present invention, a liquid-phase chemical oxidation polymerization and a gas-phase chemical oxidation polymerization are alternately applied. When the solid electrolyte layer is formed by chemical oxidation polymerization, a solid electrolyte layer made of a conductive polymer having uniform, dense, and excellent adhesion from the inside of the pores of the anode body made of a porous valve metal to the outer layer is formed. It can be formed efficiently.

【0013】請求項3に記載の発明は、液相化学酸化重
合と気相化学酸化重合をそれぞれ複数回ずつ交互に適用
するようにしたもので、この製造方法によれば、導電性
高分子からなる固体電解質層を化学酸化重合により形成
する場合、多孔質弁金属よりなる陽極体の細孔内部から
外層部に至るまで均一かつ緻密で密着性に優れた導電性
高分子膜を高い生産性で形成することができるものであ
る。
According to a third aspect of the present invention, the liquid-phase chemical oxidation polymerization and the gas-phase chemical oxidation polymerization are alternately applied a plurality of times, respectively. When the solid electrolyte layer is formed by chemical oxidation polymerization, a uniform, dense, and highly adherent conductive polymer film is formed from the inside of the pores of the anode body made of porous valve metal to the outer layer with high productivity. It can be formed.

【0014】請求項4に記載の発明は、それぞれ数回ず
つ交互に適用するようにした液相化学酸化重合と気相化
学酸化重合の繰り返し単位毎に、酸化剤残渣除去と陽極
酸化皮膜修復を行うようにしたもので、この製造方法に
よれば、化学酸化重合の繰り返し単位毎に酸化剤残渣除
去と陽極酸化皮膜修復を行うようにしているため、漏れ
電流特性の優れたものを得ることができるものである。
According to a fourth aspect of the present invention, the removal of the oxidizing agent residue and the repair of the anodic oxide film are performed for each of the repeating units of the liquid-phase chemical oxidation polymerization and the gas-phase chemical oxidation polymerization which are applied alternately several times. According to this manufacturing method, since the oxidizing agent residue is removed and the anodic oxide film is repaired for each repeating unit of chemical oxidation polymerization, it is possible to obtain an excellent leakage current characteristic. You can do it.

【0015】以下、本発明の実施の形態について添付図
面にもとづいて説明する。図1は本発明の固体電解コン
デンサの模式断面図を示したもので、11は多孔質弁金
属よりなる陽極体で、この陽極体11の表面には陽極酸
化などの手段により誘電体酸化皮膜12を形成し、そし
てこの誘電体酸化皮膜12の上に液相化学酸化重合と気
相化学酸化重合を1回あるいは複数回交互に適用するこ
とにより、導電性高分子からなる固体電解質層13を形
成し、この後、導電性高分子からなる固体電解質層13
の上にコロイダルグラファイト14、銀塗装15を順次
塗布し、その後、所定の外装16を施して固体電解コン
デンサを構成している。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a solid electrolytic capacitor according to the present invention. Reference numeral 11 denotes an anode body made of a porous valve metal, and the surface of the anode body 11 has a dielectric oxide film 12 formed by means such as anodic oxidation. Is formed, and a solid electrolyte layer 13 made of a conductive polymer is formed on the dielectric oxide film 12 by alternately applying liquid phase chemical oxidation polymerization and gas phase chemical oxidation polymerization once or a plurality of times. Thereafter, the solid electrolyte layer 13 made of a conductive polymer is formed.
, A colloidal graphite 14 and a silver coating 15 are sequentially applied, and thereafter, a predetermined exterior 16 is applied to form a solid electrolytic capacitor.

【0016】次に本発明の具体的な実施の形態1,2,
3と比較例について説明する。 (実施の形態1)図2に示すように、厚み0.9mm、幅
2.0mm、長さ1.3mmの多孔質弁金属であるタンタル
粉末を加圧成形、真空焼結して得られた陽極体21の表
面に、濃度が5重量%の燐酸水溶液中で30Vの陽極酸
化を行って誘電体酸化皮膜22を形成した。次いでこの
陽極体21を、複素環式化合物およびその誘導体である
ピロールモノマー0.7モル/lと、界面活性剤および
ドーパントであるナフタレンスルホン酸0.05モル/
lを含む水溶液に浸漬した後、引き続き界面活性剤と、
ナフタレンスルホン酸の鉄塩0.05モル/lを含む酸
化液に浸漬して液相化学酸化重合を行い、その後、その
まま0℃のピロールモノマー蒸気に30分間晒して気相
化学酸化重合を行い、さらにその後、酸化剤残渣をイオ
ン交換水の流水中で10分間洗浄して除去し、105℃
で10分間乾燥を行うという単位化学酸化重合を15回
繰り返して導電性高分子からなる固体電解質層23を形
成した。そしてこの後は、導電性高分子からなる固体電
解質層23の上にコロイダルグラファイト24、銀塗料
25を塗布し、その後、所定の外装を施して固体電解コ
ンデンサを構成した。
Next, specific embodiments 1, 2, 2
3 and a comparative example will be described. (Embodiment 1) As shown in FIG. 2, a tantalum powder as a porous valve metal having a thickness of 0.9 mm, a width of 2.0 mm and a length of 1.3 mm was obtained by pressure molding and vacuum sintering. Anodizing was performed on the surface of anode body 21 at 30 V in a phosphoric acid aqueous solution having a concentration of 5% by weight to form dielectric oxide film 22. Next, this anode body 21 was prepared by mixing 0.7 mol / l of a pyrrole monomer which is a heterocyclic compound and its derivative, and 0.05 mol / l of naphthalenesulfonic acid which was a surfactant and a dopant.
After immersion in an aqueous solution containing
Liquid phase chemical oxidation polymerization is performed by immersing in an oxidizing solution containing 0.05 mol / l of an iron salt of naphthalene sulfonic acid, and then gas phase chemical oxidation polymerization is performed by directly exposing to a pyrrole monomer vapor at 0 ° C. for 30 minutes. Thereafter, the oxidizing agent residue was removed by washing in running water of ion-exchanged water for 10 minutes.
The unit chemical oxidative polymerization of drying for 10 minutes was repeated 15 times to form a solid electrolyte layer 23 made of a conductive polymer. Thereafter, colloidal graphite 24 and silver paint 25 were applied on solid electrolyte layer 23 made of a conductive polymer, and thereafter, a predetermined exterior was provided to form a solid electrolytic capacitor.

【0017】(実施の形態2)図2に示すように、厚み
0.9mm、幅2.0mm、長さ1.3mmの多孔質弁金属で
あるタンタル粉末を加圧成形、真空焼結して得られた陽
極体21の表面に、濃度が5重量%の燐酸水溶液中で3
0Vの陽極酸化を行って誘電体酸化皮膜22を形成し
た。次いでこの陽極体21を複素環式化合物およびその
誘導体であるピロールモノマー0.7モル/lと、界面
活性剤およびドーパントであるナフタレンスルホン酸
0.05モル/lを含む水溶液に浸漬した後、引き続き
界面活性剤と、ナフタレンスルホン酸の鉄塩0.05モ
ル/lを含む酸化液に浸漬して液相化学酸化重合を行
い、その後、そのまま0℃のピロールモノマー蒸気に3
0分間晒して気相化学酸化重合を行い、続いて前記酸化
液に再び浸漬して液相化学酸化重合を行った後、0℃の
ピロールモノマー蒸気に30分間晒す気相化学酸化重合
を繰り返して行い、さらにその後、酸化剤残渣をイオン
交換水の流水中で10分間洗浄して除去し、105℃で
10分間乾燥を行うという単位化学酸化重合を8回繰り
返して導電性高分子からなる固体電解質層23を形成し
た。そしてこの後は、導電性高分子からなる電解質層2
3の上にコロイダルグラファイト24、銀塗料25を順
次塗布し、その後、所定の外装を施して固体電解コンデ
ンサを構成した。
(Embodiment 2) As shown in FIG. 2, tantalum powder, which is a porous valve metal having a thickness of 0.9 mm, a width of 2.0 mm and a length of 1.3 mm, is subjected to pressure molding and vacuum sintering. A phosphoric acid solution having a concentration of 5% by weight
The dielectric oxide film 22 was formed by anodic oxidation of 0V. Next, the anode body 21 is immersed in an aqueous solution containing 0.7 mol / l of a pyrrole monomer which is a heterocyclic compound and a derivative thereof, and 0.05 mol / l of naphthalenesulfonic acid which is a surfactant and a dopant, and subsequently Liquid phase chemical oxidative polymerization is carried out by immersion in an oxidizing solution containing a surfactant and 0.05 mol / l of an iron salt of naphthalenesulfonic acid.
After performing gas phase chemical oxidation polymerization by exposing for 0 minute, and then immersing again in the oxidizing solution to perform liquid phase chemical oxidation polymerization, repeating gas phase chemical oxidation polymerization by exposing to pyrrole monomer vapor at 0 ° C. for 30 minutes. After that, a solid electrolyte composed of a conductive polymer is obtained by repeating unit chemical oxidation polymerization eight times, in which the oxidizing agent residue is removed by washing in running water of ion-exchanged water for 10 minutes and then drying at 105 ° C. for 10 minutes. Layer 23 was formed. Thereafter, the electrolyte layer 2 made of a conductive polymer is used.
3 was coated with colloidal graphite 24 and silver paint 25 in that order, and then provided with a predetermined exterior to form a solid electrolytic capacitor.

【0018】(実施の形態3)実施の形態2と同様にし
て酸化重合を行うとともに酸化剤残渣を洗浄して除去し
た後、電導度100mS/cmの電解液中で10分間陽極
酸化皮膜修復を行い、その後、105℃で10分間乾燥
を行うという単位化学酸化重合を8回繰り返して導電性
高分子からなる固体電解質層23を形成した。そしてこ
の後は、導電性高分子からなる固体電解質層23の上に
コロイダルグラファイト24、銀塗料25を順次塗布
し、その後、所定の外装を施して固体電解コンデンサを
構成した。
(Embodiment 3) Oxidative polymerization is carried out in the same manner as in Embodiment 2, and the oxidizing agent residue is washed and removed. Then, the anodic oxide film is repaired for 10 minutes in an electrolytic solution having a conductivity of 100 mS / cm. After that, the unit chemical oxidation polymerization of drying at 105 ° C. for 10 minutes was repeated eight times to form a solid electrolyte layer 23 made of a conductive polymer. Thereafter, a colloidal graphite 24 and a silver paint 25 were sequentially applied on a solid electrolyte layer 23 made of a conductive polymer, and thereafter, a predetermined exterior was provided to form a solid electrolytic capacitor.

【0019】(比較例)図3に示すように、厚み0.9
mm、幅2.0mm、長さ1.3mmの多孔質弁金属であるタ
ンタル粉末を加圧成形、真空焼結して得られた陽極体3
1の表面に、濃度が5重量%の燐酸水溶液中で30Vの
陽極酸化を行って誘電体酸化皮膜32を形成した。次い
でこの陽極体31を、濃度が15重量%の硝酸マンガン
水溶液に浸漬した後、250℃の熱分解炉中で10分間
の熱分解を行い、さらにその後、イオン交換水の流水中
で10分間洗浄を行った後、電導度100mS/cmの電
解液中で10分間陽極酸化皮膜修復を行うという単位熱
分解を6回繰り返した後、続いて30重量%の硝酸マン
ガン水溶液に浸漬するという単位熱分解を4回繰り返す
ことにより、前記誘電体酸化皮膜32の上に二酸化マン
ガンよりなる固体電解質層33を形成した。そしてこの
後は、固体電解質層33の上に、コロイダルグラファイ
ト34、銀塗料35を順次塗布し、その後、所定の外装
を施して固体電解コンデンサを構成した。
Comparative Example As shown in FIG.
Anode body 3 obtained by pressing and vacuum sintering tantalum powder, which is a porous valve metal having a diameter of 2.0 mm, a width of 2.0 mm and a length of 1.3 mm.
A dielectric oxide film 32 was formed on the surface of No. 1 by performing anodization at 30 V in a phosphoric acid aqueous solution having a concentration of 5% by weight. Next, the anode body 31 is immersed in an aqueous solution of manganese nitrate having a concentration of 15% by weight, and then thermally decomposed in a pyrolysis furnace at 250 ° C. for 10 minutes, and then washed in running water of ion-exchanged water for 10 minutes. Is performed, the unit thermal decomposition of repairing the anodic oxide film in an electrolytic solution having a conductivity of 100 mS / cm for 10 minutes is repeated six times, and then the unit is thermally immersed in a 30% by weight manganese nitrate aqueous solution. Is repeated four times to form a solid electrolyte layer 33 made of manganese dioxide on the dielectric oxide film 32. Thereafter, a colloidal graphite 34 and a silver paint 35 were sequentially applied onto the solid electrolyte layer 33, and then a predetermined exterior was provided to form a solid electrolytic capacitor.

【0020】(表1)は本発明の実施の形態1,2,3
と比較例により得られたタンタル固体電解コンデンサの
それぞれについて基本的な電気性質(静電容量、損失角
の正接、漏れ電流)測定した結果を示したものであり、
また図4はそれらのインピーダンスの周波数特性を示し
たものである。
Table 1 shows Embodiments 1, 2, and 3 of the present invention.
FIG. 9 shows the results of measurement of basic electrical properties (capacitance, loss angle tangent, and leakage current) of each of the tantalum solid electrolytic capacitors obtained by Comparative Examples and Comparative Examples.
FIG. 4 shows the frequency characteristics of these impedances.

【0021】[0021]

【表1】 [Table 1]

【0022】(表1)から明らかなように、本発明の実
施の形態1,2,3は比較例と比べて基本的な電気性能
において優れており、また図4から明らかなようにイン
ピーダンスの周波数特性についても、本発明の実施の形
態1,2,3は比較例と比べて導電性高分子からなる固
体電解質層の低レジスタンスの効果が明確となっている
ものである。
As apparent from Table 1, the first, second, and third embodiments of the present invention are superior in the basic electric performance as compared with the comparative example, and as is clear from FIG. Regarding the frequency characteristics, the effects of the low resistance of the solid electrolyte layer made of the conductive polymer are clear in the first, second, and third embodiments of the present invention as compared with the comparative example.

【0023】本発明の実施の形態1と2においては、両
者とも基本的な液相化学酸化重合の有利な点をそのまま
保持しているが、本発明の実施の形態2ではさらにその
被覆効率が優れているものである。
In Embodiments 1 and 2 of the present invention, both retain the advantages of basic liquid phase chemical oxidative polymerization as they are, but in Embodiment 2 of the present invention, the coating efficiency is further improved. It is excellent.

【0024】また、本発明の実施の形態2と3において
は、比較例で示した熱分解を利用した二酸化マンガンの
場合のような陽極酸化皮膜の熱劣化は伴わないが、本発
明の実施の形態3のように単位化学酸化重合毎に陽極酸
化皮膜修復を行うことにより漏れ電流特性の優れたもの
が得られるものである。
In Embodiments 2 and 3 of the present invention, the anodic oxide film is not thermally degraded as in the case of manganese dioxide utilizing thermal decomposition shown in the comparative example. By repairing the anodic oxide film for each unit of chemical oxidation polymerization as in Embodiment 3, a material having excellent leakage current characteristics can be obtained.

【0025】なお、上記本発明の実施の形態1,2,3
においては陽極体21としてタンタル粉末を加圧成形、
真空焼結したものを用いたが、これに限定されるもので
はなく、多孔質弁金属で陽極体を構成したものであれば
いかなるものでも用いることができるものである。また
液相化学酸化重合の溶液としては一般的なものとして水
溶液を用いたが、複素環式化合物およびその誘導体、ベ
ンゼン、ナフタレンおよびその誘導体などの溶解を高め
る溶媒を単一または混合した溶液を用いてもよいもので
ある。
The first, second, and third embodiments of the present invention are described.
, Pressure molding of tantalum powder as the anode body 21,
Vacuum sintered was used, but the material is not limited to this, and any material can be used as long as the anode body is made of a porous valve metal. An aqueous solution is generally used as a solution for liquid phase chemical oxidation polymerization, but a single or mixed solution of a solvent that enhances the dissolution of a heterocyclic compound and its derivative, benzene, naphthalene and its derivative, and the like is used. It may be.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上のように本発明の固定電解コンデン
サの製造方法は、多孔質弁金属よりなる陽極体の表面に
誘電体酸化皮膜を形成し、さらにこの誘電体酸化皮膜上
に2種の異なる液相化学酸化重合と気相化学酸化重合を
用いて導電性高分子からなる固体電解質層を形成するよ
うにしたもので、この製造方法によれば、導電性高分子
からなる固体電解質層を化学酸化重合により誘電体酸化
皮膜上に形成する場合、液相化学酸化重合の導入によ
り、陽極体の細孔内部に電気特性に優れた均一かつ緻密
で密着性に優れた導電性高分子からなる固体電解質層を
被覆形成することができ、また気相化学酸化重合の導入
により陽極体の外装部に均一な導電性高分子からなる固
体電解質層を被覆形成することができ、さらに前記気相
化学酸化重合はモノマーの有効活用が可能なこと、廃液
を生じないことなどの利点があるため、省資源の観点、
環境保全の観点からも望ましく、また誘電体酸化皮膜の
表面に保持された酸化液の拡散による逸失もなく、かつ
その表層部から気相化学酸化重合が進むため、特に誘電
体酸化皮膜の外層部に対し均一な導電性高分子からなる
固体電解質層を少ない回数で一定厚みまで形成すること
ができるという特徴を有するもので、これにより得られ
る固体電解コンデンサの電気諸特性は安定して優れたも
のが得られるものである。
As described above, according to the method for manufacturing a fixed electrolytic capacitor of the present invention, a dielectric oxide film is formed on the surface of an anode body made of a porous valve metal, and two types of dielectric oxide films are formed on the dielectric oxide film. A solid electrolyte layer made of a conductive polymer is formed by using different liquid phase chemical oxidation polymerization and gas phase chemical oxidation polymerization. When formed on a dielectric oxide film by chemical oxidative polymerization, the liquid phase chemical oxidative polymerization introduces a uniform, dense and highly adherent conductive polymer inside the pores of the anode body. The solid electrolyte layer can be formed by coating, and a solid electrolyte layer made of a uniform conductive polymer can be formed by coating on the outer part of the anode body by introducing gas phase chemical oxidation polymerization. Oxidative polymerization is mono What can be effectively used over, because of the advantages such that no waste, in view of resource saving,
It is also desirable from the viewpoint of environmental protection. Also, since there is no loss due to diffusion of the oxidizing solution held on the surface of the dielectric oxide film, and gas phase chemical oxidation polymerization proceeds from the surface layer, the outer layer portion of the dielectric oxide film is particularly preferable. It has the characteristic that a solid electrolyte layer made of a uniform conductive polymer can be formed to a certain thickness in a small number of times, and the electrical characteristics of the resulting solid electrolytic capacitor are stable and excellent. Is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の固体電解コンデンサを示す模式断面図FIG. 1 is a schematic sectional view showing a solid electrolytic capacitor of the present invention.

【図2】本発明の実施の形態1,2,3における固体電
解コンデンサを示す破断斜視図
FIG. 2 is a cutaway perspective view showing a solid electrolytic capacitor according to Embodiments 1, 2, and 3 of the present invention.

【図3】比較例における固体電解コンデンを示す破断斜
視図
FIG. 3 is a cutaway perspective view showing a solid electrolytic condenser in a comparative example.

【図4】本発明の実施の形態1,2,3と比較例により
得られた固体電解コンデンサのインピーダンスと測定周
波数との関係を示す特性図
FIG. 4 is a characteristic diagram showing the relationship between the impedance and the measurement frequency of the solid electrolytic capacitors obtained by the first, second, and third embodiments of the present invention and the comparative example.

【図5】(a)従来の固体電解コンデンサにおける陽極
体からなるコンデンサ素子の破断斜視図 (b)従来の固体電解コンデンサにおける陽極箔または
陽極板からなるコンデンサ素子の破断斜視図
5A is a cutaway perspective view of a capacitor element formed of an anode body in a conventional solid electrolytic capacitor, and FIG. 5B is a cutaway perspective view of a capacitor element formed of an anode foil or an anode plate in a conventional solid electrolytic capacitor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11,21 陽極体 12,22 誘電体酸化皮膜 13,33 導電性高分子からなる固体電解質層 11, 21 Anode body 12, 22 Dielectric oxide film 13, 33 Solid electrolyte layer made of conductive polymer

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 多孔質弁金属よりなる陽極体の表面に誘
電体酸化皮膜を形成し、さらにこの誘電体酸化皮膜上に
2種の異なる液相化学酸化重合と気相化学酸化重合を用
いて導電性高分子からなる固体電解質層を形成する固体
電解コンデンサの製造方法。
1. A dielectric oxide film is formed on the surface of an anode body made of a porous valve metal, and two different liquid-phase chemical oxidation polymerizations and gas-phase chemical oxidation polymerizations are formed on the dielectric oxide film. A method for manufacturing a solid electrolytic capacitor that forms a solid electrolyte layer made of a conductive polymer.
【請求項2】 液相化学酸化重合と気相化学酸化重合を
交互に適用するようにした請求項1記載の固体電解コン
デンサの製造方法。
2. The method for producing a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein liquid phase chemical oxidation polymerization and gas phase chemical oxidation polymerization are alternately applied.
【請求項3】 液相化学酸化重合と気相化学酸化重合を
それぞれ複数回ずつ交互に適用するようにした請求項1
記載の固体電解コンデンサの製造方法。
3. The method according to claim 1, wherein the liquid-phase chemical oxidation polymerization and the gas-phase chemical oxidation polymerization are alternately applied a plurality of times.
The manufacturing method of the solid electrolytic capacitor described in the above.
【請求項4】 それぞれ複数回ずつ交互に適用するよう
にした液相化学酸化重合と気相化学酸化重合の繰り返し
単位毎に、酸化剤残渣除去と陽極酸化皮膜修復を行うよ
うにした請求項3記載の固体電解コンデンサの製造方
法。
4. The method according to claim 3, wherein the oxidizing agent residue is removed and the anodic oxide film is repaired for each repeating unit of the liquid phase chemical oxidation polymerization and the gas phase chemical oxidation polymerization, which are applied alternately a plurality of times. The manufacturing method of the solid electrolytic capacitor described in the above.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006269693A (en) * 2005-03-23 2006-10-05 Sanyo Electric Co Ltd Solid electrolytic capacitor and manufacturing method thereof

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