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KR950025911A - 포토 공정 도포장치의 드레인 포토레지스트 재사용 시스템 - Google Patents
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KR950025911A - 포토 공정 도포장치의 드레인 포토레지스트 재사용 시스템 - Google Patents

포토 공정 도포장치의 드레인 포토레지스트 재사용 시스템 Download PDF

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김정곤
박경신
신동화
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김광호
삼성전자 주식회사
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    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
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  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Abstract

본 발명은 반도체 포토(photo) 공정의 포토레지스트(photoresist : 이하 P/R이라 한다)도포장치에 사용되는 P/R 공급 시스템에 관한 것으로 1) 스텍필터부의 카트리지를 통해 자동 드레인되는 감광액을 P/R 바틀부로 리턴되도록 배관계를 형성하거나, 2) 중간 탱크부에서 기포를 제거하기 위하여 자동 드레인 되는 감광액 및 스텍 필터부의 카트리지를 통해 드레인되는 감광액을 모두 P/R 바틀부로 리턴되도록 배관계를 형성함으로써 P/R 손실을 줄여 원가절감 및 생산성 증가를 달성할 수 있을 뿐 아니라 바틀 교체 주기 연장으로 인해 가동을 향상에 기여할 수 있는 고신뢰성의 포토 공정 도포장치의 드레인 P/R 재사용 시스템을 실현할 수 있게 된다.

Description

포토 공정 도포장치의 드레인 포토레지스트 재사용 시스템
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 제1 실시예에 따른 감광액 계통도를 나타낸 개략도.

Claims (4)

  1. P/R을 담아두는 통 역할을 하는 P/R 바틀부(bpttle)부와, 상기 P/R 바틀부와 연결되어 파티클(particle)을 제거시키기 위한 필터 역할을 하는 스텍 필터(stack filter)부와, 상기 스텍 필터부에서 P/R 토출시 기포성에 의한 코팅 불량 방지용으로 사용되는 상기 스텍 필터부에 연결된 드레인과, 웨이퍼에 P/R을 분사하는 노즐(nozzle)로 구성되는 감광액 공급 배관 시스템에 있어서, 배관의 기포제거를 위하여 드레인시키는 감광액을 P/R바틀부로 리턴하여 재사용할수 있도록 배관이 형성된 것을 특징으로 하는 포토 공정 도포장치의 드레인 P/R재사용 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 시스템은 상기 배관 시스템상에서의 P/R유무를 판단하는 중간 탱크부와, 상기 P/R바틀부와 연결되어 P/R을 펌핑시키는 P/R 펌프부와, 상기 노즐을 통해 웨이퍼에 P/R 도포시P/R 방울의 떨어짐을 막아주기 위해서 상기 P/R액을 관 안쪽으로 빨아당기는 역할을 하는 석 백 유니트(suck back unit)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 포토 공정 도포장치의 드레인 P/R 재사용 시스템.
  3. 제2항에 있어서, 상기P/R 바틀부로 리턴되도록 구성된 배관계는 스텍 필터부의 카트리지를 통해 자동드레인 되는 감광액을 모두 P/R바틀부로 리턴되도록 구성시킨 것을 특징으로 하는 포토 공정 도포장치의 드레인 P/R재사용 시스템.
  4. 제2항에 있어서, 상기 P/R 바틀부로 리턴되도록 구성된 배관계는 중간 탱크부에서 기포를 제거하기 위하여 자동 트레인되는 감광액 및 스텍필터부의 카트리지를 통해 드레인 되는 감광액을 모두 P/R 바틀부로 리턴되도록 구성시킨 것을 특징으로 하는 포토 공정 도포장치의 드레인 P/R 재사용 시스템.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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