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Spherical Aberrationとは？ わかりやすく解説

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球面収差　spherical aberration

レンズへの電子線の入射角の違いから生じる収差。光軸上の一点から出た電子線がレンズに入射するとき、理想的には光軸上の一点に集まるが、実際には大きな角度で入射したものは光軸付近のものに比べてより大きく屈折されるため、一点に集まらず拡がりを持つ。この拡がりの半径 rは、r=Csα3で表され、入射角の3乗に比例する量である。比例係数は球面収差係数（spherical aberration coefficient）と呼ばれる。球面収差を小さくするために小さな絞りを入れてレンズの中心部だけ使うと、回折収差のために点電子源の像はある大きさを持つことになり、これがSEMの分解能を決めることになる。
球面収差

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球面収差

【英】：spherical aberration

物面の光軸上の点から光軸と傾いて出射した電子線がレンズを通ると、理想像面で光軸上に来ず、像面でない位置で光軸と交わる（電子顕微鏡の場合は少し手前（レンズ側））ために、円状のぼけた像を理想像面上に作る収差。ボケの量は物体面上でCsα3で与えられる。ここでCsは係数、αは物体から出射する電子線が光軸となす角。対物レンズの収差のうちで最も重要な収差。軸対称レンズではCsは常に正の値をとる。現在、の補正は可能になっており、6極子と転送レンズを使った収差補正器が主流になっている。

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