Depositionとは？ わかりやすく解説

別表記：デポジション

「deposition」とは、堆積・罷免・宣誓証言のことを意味する英語表現である。

「deposition」の基本的な意味

「deposition」には、（物質の）沈殿や沈殿物の意味がある。ほかにも（高位者の）罷免や廃位、法律における宣誓証言や宣誓供述書の意味でも使われている。また沈着や沈殿、預け入れなどの意味で使われるほか、気体から個体へ変化する凝結の意味もある。

「deposition」の語源

「deposition」は、「de-（下へ）」と「posit（置く）」、さらに「-ion（こと、もの）」の3つの表現が由来となっている。3つの表現を合わせると、「積み重ねていくこと」を意味するので、そこから堆積物や沈殿物、さらには預け入れなどの意味で使われている。

「deposition」の発音・読み方

「deposition」における発音記号は、「dèpəzíʃən, dìːpə-」である。カタカナで表記する場合は「デポジション」となることが多いが、「ディセパァズィシャン」もしくは「ディィーパァズィシャン」と表記したほうが実際の発音に近い。

「成膜（deposition）」とは

「成膜（deposition）」とは、物体の表面に特定の材料を使用してごく薄い膜を形成することである。半導体チップの製造における「成膜（deposition）」では、基盤の表面に素子や配線の材料となる物質の薄膜を形成する工程のことを指している。また成膜の方法は、「スパッタ」「CDV」「熱酸化」の3つに分けられる。このうち「スパッタ」とは、アルミニウムなどのメタル配線材料の膜を作るとき、アルミニウムの塊にイオンをぶつけて、アルミ原子を剥がして積もらせることで層を作る方法である。一方「CDV」は化学反応を利用する方法で、「熱酸化」は酸素などのガスが入った処理室に入れて加熱し、酸化シリコンの膜を作る。バッチ処理で行える「熱酸化」は生産性が高い「成膜（deposition）」の方法である。

「化学気相堆積（CVD: chemical vapor deposition）」とは

「化学気相堆積（CVD: chemical vapor deposition）」とは、化学反応を利用して薄い膜を作る技術のことである。例えば基盤となる物質上に、堆積させたい薄膜の成分となる原料ガスを供給して、基板表面もしくは気相の化学反応によって膜を形成できる。常圧や加圧した状態でも利用できる堆積方法で、切削工具の表面処理や半導体素子の製造工程などで使われている。また供給する化学種もしくは求める特性などの違いによって、「化学気相堆積（CVD: chemical vapor deposition）」にはいくつかの種類がある。中でも、熱による分解反応や化学反応を利用する方式の「熱CDV」は基本的な種類の1つである。プラズマを利用して原料ガスの原子や分子を励起・反応させる方式である「プラズマCDV」も多く使われている。

「deposition」を含む英熟語・英語表現

「vapor deposition」とは

「vapor deposition」とは、「蒸着」もしくは「蒸着法」を意味している。「蒸着法」は、加熱などで真空中の材料を蒸発させ、基板に膜を形成する方法のことである。蒸発温度程度の熱エネルギーしか粒子は持っていないため、到着エネルギーが小さく基盤との付着力が小さい方法となっている。例えば「physical vapor deposition」は、「物理蒸着」もしくは「物理気相成長法」となる。

「energy deposition」とは

「energy deposition」は、「エネルギー付与」もしくは「エネルギーデポジション」と訳される。また「DED（Directed Energy Deposition）方式」は金属3Dプリンターの造形方法の1つで、「指向性エネルギー堆積法」もしくは「デポジション方式」と呼ばれている。収束させた熱エネルギーを利用して、材料を溶かして結合や堆積させるプロセスのことを示している。

「deposition」の使い方・例文

「deposition」における使い方には、以下のような例文があげられる。
・They analyzed the collected depositions.（彼らは採集した堆積物を分析した）
・This stratum was created by depositions.（堆積したものによってこの地層は作られた）
・The crown prince had supported the attempt at the king's deposition.（皇太子は王の廃位計画を支援していた）
・He gave a deposition in the lawsuit, which is declaring his testimony to be true in law.（彼は訴訟で宣誓証言を行ったが、これは法律において自分の証言が真だと宣言することである）
・The amount of deposition was measured outdoors.（屋外で沈殿量の計測を行った）
・They observed deposition of pigment in the experiment.（彼らは実験で色素沈着を観察した）