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"Plasma activation"を含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
The plasma apparatuses 20A and 20B are provided with cavities 22A and 22B made of a conductive material, respectively, which are connected to the gas flow paths, plasma generators 23A and 23B for generating plasma within the cavities 22A and 22B, and microwave irradiators 24A and 24B for exposing plasma generated by the plasma activation parts 23A and 23B to microwaves.例文帳に追加
各プラズマ装置２０Ａ，２０Ｂは、ガスの流路に連通する導電体からなるキャビティ２２Ａ，２２Ｂと、このキャビティ２２Ａ，２２Ｂ内にプラズマを発生させるプラズマ発生器２３Ａ，２３Ｂと、このプラズマ始動部２３Ａ，２３Ｂの発生するプラズマにマイクロ波を照射するマイクロ波照射器２４Ａ，２４Ｂとを有する。 - 特許庁
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