例文 (2件) |
"ion-exchange purification"を含む例文一覧と使い方
該当件数 : 2件
The method of cleaning silicon for semiconductor materials includes: a step for preparing silicon for semiconductor materials; a step for preparing pure water by performing reverse osmosis purification treatment and ion exchange purification treatment; a step for cleaning the silicon for semiconductor materials using the pure water; and a step for obtaining silicon for semiconductor materials wherein amounts of aluminum and iron remaining on the surface of the silicon are reduced by the cleaning.例文帳に追加
半導体材料用シリコンを用意する工程と、逆浸透精製処理と、イオン交換精製処理とを行った純水を用意する工程と、前記純水を用いて半導体材料用シリコンを洗浄する工程と、前記洗浄によって、純水洗浄後のシリコン表面に残留するアルミニウムおよび鉄が低減された半導体材料用シリコンを得る工程と、を含む。 - 特許庁
The cleaning method and cleaning apparatus includes: a step for preparing silicon for semiconductor materials; a step for preparing pure water by performing reverse osmosis purification treatment and ion exchange purification treatment; a step for cleaning the silicon for semiconductor materials using the pure water; and a step for obtaining silicon for semiconductor materials wherein amounts of aluminum and iron remaining on the surface of the silicon after pure water cleaning are reduced by the cleaning.例文帳に追加
半導体材料用シリコンを用意する工程と、逆浸透精製処理と、イオン交換精製処理とを行った純水を用意する工程と、前記純水を用いて半導体材料用シリコンを洗浄する工程と、前記洗浄によって、純水洗浄後のシリコン表面に残留するアルミニウムおよび鉄が低減された半導体材料用シリコンを得る工程と、を含む洗浄方法および洗浄装置。 - 特許庁
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