-ionを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 30833件
Introduction of the ion exchange group through the hydrolytic process of a post-drawing laminated body 3a with the impregnated electrolyte resin material 2 followed by the drying process can obtain the reinforced electrolyte film with the characteristics identical to that manufactured by the conventional method.例文帳に追加
電解質樹脂2が含浸した延伸後の積層体3aを加水分解処理してイオン交換基を導入した後、乾燥することにより、従来法により製造したのと同等な特性を持つ補強型電解質膜が得られる。 - 特許庁
Then the water repellent agent 14a entering the inside of the nozzle 2 is removed, and moreover ashing is carried out by reactive ion etching with an oxygen gas introduced from a rear face of the nozzle plate 6 so as to alter an inner wall of the nozzle 2 to be hydrophilic.例文帳に追加
次に、ノズル2の内部に入り込んだ撥水剤14aを除去し且つノズル2の内壁を親水性に変質させるように、ノズル板6の裏面側から酸素ガスを導入した反応性イオンエッチング処理により、アッシングを行う。 - 特許庁
This interior board material is manufactured by fixing a coating material generating the negative ion, onto a surface layer of a cemented excelsior board having a bulk density 0.7 or less, or a surface layer of a board for building having a surface property (surface roughness) equal to the cemented excelsior board.例文帳に追加
本発明の建築用内装板材は、かさ比重0.7以下の木毛セメント板の表層、若しくは前記木毛セメント板と同等の表面性状(表面粗さ)を有する建築用板の表層に陰イオンを発生する塗料を定着させた。 - 特許庁
When the etching residue is stripped, at least two kinds of the removers are used together, wherein one is the remover having the solubility of titanium and a titanium compound, and the other is the remover including at least salt of a hydrofluoric acid and a metal ion-free base.例文帳に追加
エッチング残渣物を剥離するに際し、剥離液として、チタンおよびチタン化合物の溶解性を有する剥離液と、少なくともフッ化水素酸と金属イオンを含まない塩基との塩を含有する剥離液との少なくとも2液を併用する。 - 特許庁
Accordingly, pH of the eluting solvent sent by a sending pump 1 is made slightly acidic (pH3-5), and mass spectrometry is carried out in the negative ionization mode by using the sonic spray ion source 6, thereby enabling the neutral sugar chain and the acid sugar chain to be analyzed with high sensitivity and concurrently.例文帳に追加
このため、送液ポンプ1で送液する溶離液のpHを弱酸性(pH3〜5)とし、ソニックスプレーイオン源6を用いて負イオンモードで質量分析を行なえば中性糖鎖と酸性糖鎖を高感度に一斉分析することができる。 - 特許庁
The ion beam processor has a shield electrode 20 arranged between the dielectric window 22 and the dielectric plate 24 and having a plurality of first conductive wirings mutually isolated with each other and a second conductive wiring connected to the plurality of the whole first conductive wirings at one location.例文帳に追加
また、誘電体窓22と誘電体板24の間に配置され、互いに孤立した複数の第1導電配線と複数の第1導電配線の全てと一箇所で接続された第2導電配線を有するシールド電極20を有する。 - 特許庁
According to this method, field concentration in the end of the electrode 6 due to a damage generated in the end of the electrode 6 upon pouring ion for forming an n-type semiconductor region 7 around the electrode 6 is mitigated and the generation of abnormal leakage current is suppressed.例文帳に追加
これにより、電極6の周囲にn型半導体領域7を形成するイオン注入の際に電極6の端部に生じたダメージによる、電極6の端部における電界集中を緩和して異常なリーク電流の発生を抑える。 - 特許庁
By removing using the ion exchange resin before the biological treatment of the triazol-containing organic waste water, the triazol is removed at a remarkably low cost compared to a method conventionally using an oxidizing agent or an oxidation accelerating method using the oxidizing agent.例文帳に追加
トリアゾール類含有有機性排水の生物処理に先立ち、イオン交換樹脂で除去することにより、従来の酸化剤を用いる方法や促進酸化法による処理に比べて、遥かに低コストでトリアゾール類を除去することができる。 - 特許庁
When two or more metal parts 4 and 5, where ion migration can occur, are located in an electromigration process, they are set at the same potential, by electrically interconnecting them or electrically connecting them to an auxiliary cathode 23 to connecting wires 24a and 24b.例文帳に追加
電気泳動工程においてイオンマイグレーションが生じ得る金属部分4,5が2カ所以上存在する場合に、それらを相互もしくは補助陰極23に電気的に結線24a、24bしておくことにより同電位となるようにする。 - 特許庁
By such a structure, the ion conducting film excelling in mechanical strength, flexibility and heat resistance, and exerting sufficient proton conductivity not smaller than 10^-3 S/cm in a low-humidity condition in an intermediate temperature range around 100-200 °C.例文帳に追加
かかる構成により、機械的強度、柔軟性および耐熱性に優れ、100℃〜200℃程度の中温域において低湿度条件下で10^-3S/cm以上の十分なプロトン伝導性を発揮するイオン伝導膜を得ることができる。 - 特許庁
While ions are being implanted, when the measured result of the vacuum gage 109 is lower than the prescribed value, the work station 111 issues an order to a beam controller 112 so as to control a power supply relating to the operation of an ion source 101 for example lower than usual.例文帳に追加
イオン注入中、真空計109の測定結果が上記所定の値を下回ったとき、ワークステーション111はビームコントローラ112に対し、例えばイオン源101の動作に関わる電源を通常より低く制御するよう命令を出す。 - 特許庁
To provide a dielectric barrier discharge lamp device, a dielectric barrier discharge lamp lighting device using the same and a ultraviolet irradiation device that can suppress the deposition of ion into a irradiated matter without causing the increase of irradiation non-uniform for the irradiated matter.例文帳に追加
被照射物に対する照射むらの増大を来すことなく、被照射物へのイオン付着を抑制できる誘電体バリヤ放電ランプ装置、これを用いた誘電体バリヤ放電ランプ点灯装置および紫外線照射装置を提供すること。 - 特許庁
To improve the battery properties such as charge and discharge cycle characteristics of the non-aqueous electrolyte battery by restraining the degradation of conductivity due to the separation of the positive electrode material and the conductive agent or the degradation of the performance of the positive electrode material in the positive electrode material used for the non-aqueous electrolyte secondary battery such as a lithium ion secondary battery.例文帳に追加
リチウムイオン二次電池のような非水電解液二次電池に用いる正極材料において、正極活物質と導電剤との分離に起因する導電性の低下や正極活物質の機能低下を抑制する。 - 特許庁
The nonaqueous electrolyte for the lithium secondary battery, containing a lithium salt and an organic solvent, contains a salt containing 1-ethyl-2, 3-dimethyl imidzolium ion represented by chemical formula (1) as a cation, and the lithium secondary battery includes this electrolyte.例文帳に追加
リチウム塩及び有機溶媒を含むリチウム二次電池用非水系電解液であり、下記の化学式で表示される1—エチル—2,3—ジメチルイミダゾリウムイオンを陽イオンとして含む塩が含有されることを特徴とする電解液及びこれを含むリチウム二次電池。 - 特許庁
A nonaqueous electrolyte solution used for a lithium ion secondary cell further contains a compound of silicon fluoride such as 1,2-bis-(dimethylfluorosilyl)ethane together with a lithium salt having an oxalato complex as anion, or these two components and carbonate ester having halogen atoms.例文帳に追加
リチウムイオン二次電池に用いられる非水電解液に、オキサラト錯体をアニオンとするリチウム塩と共に、1,2−ビス(ジメチルフルオロシリル)エタンの如きフッ化ケイ素化合物とを、又はそれら二成分と、ハロゲン原子を有する炭酸エステルとを、更に含有させた。 - 特許庁
The chemical amplification type radiation sensitive resist composition containing a sulfonium salt having a group linked or ring condensed with ≥2 aromatic structures having small ionization potential and high sensitivity to ion beams and iodonium salt is used.例文帳に追加
イオン化ポテンシャルが小さくイオンビームに対する感度の高い芳香族構造が2つ以上連結または縮環している基を有するスルホニウム塩およびヨードニウム塩を含むことを特徴とする化学増幅型感放射線レジスト組成物を用いる。 - 特許庁
Reducing alkali ion water produced by the electrolysis of water is used in the degumming of silk to achieve excellent degumming effect with a simple operation without using a degumming chemical or applying a severe degumming condition.例文帳に追加
水の電気分解によって得られる還元性のアルカリイオン水を絹の精錬に用いれば、精錬薬剤を必要とせず、また過激な精錬条件を適用する必要も無く、簡単な操作で優れた精錬効果を挙げることが出来る事を見出した。 - 特許庁
To provide an iron lithium phosphate positive electrode material having both excellent electron conductivity and lithium ion conductivity i.e. excellent performance as an electrode material caused by carbon coating using less carbon material, and a manufacturing method thereof.例文帳に追加
少ない炭素材料を用いた炭素被覆により、電子伝導性およびリチウムイオン伝導性が共に良好な、すなわち、電極材料として優れた性能を有するリン酸鉄リチウム正極材料およびその製造方法を提供する。 - 特許庁
The anion exchange film is selected from a group including a polyvinylpyridine film, a fluorine-based ion exchange film having ammonium salt derivative, a vinylbenzene polymer film having ammonium salt derivative, and a film formed by laminating a copolymer of chloromethylstyrene and vinylbenzene.例文帳に追加
上記アニオン交換膜は、ポリビニルピリジン膜、アンモニウム塩誘導基を有するフッ素系イオン交換膜、アンモニウム塩誘導基を有するビニルベンゼンポリマー膜およびクロロメチルスチレンとビニルベンゼンとの共重合体をアミノ化した膜からなる群より選ばれる。 - 特許庁
Ion sensing is performed by using the fact that transfer of electrons or excitation is performed through mutual approach of the electron-donating molecules 12 and the electron-attracting molecules 13 caused by the glycol chain 11 winding itself around a cation or a cationic molecule.例文帳に追加
エチレングリコール鎖11がカチオンまたはカチオン性分子に巻き付くことによって電子供与性分子12および電子吸引性分子13が互いに近づくことにより電子または励起の授受を行うことを利用してイオンのセンシングを行う。 - 特許庁
The thermally developable compositions include non-photosensitive reducible silver ion sources and reducing agent compositions for reducible silver ions and further include certain quaternary phthalazine compounds.例文帳に追加
非感光性の還元されることのできる銀イオン源と、前記還元されることのできる銀イオン用還元剤組成物とを含む熱現像性組成物であって、 一定の第4級フタラジン化合物をさらに含むことを特徴とする、熱現像性組成物。 - 特許庁
This lithium secondary battery comprises a positive electrode 1 formed by using a binder containing sulfur simple substance as active material, styrene-butadiene rubber and polytetrafluoroethylene, a negative electrode 2 formed by using material absorbing and discharging lithium ion, and nonaqueous electrolyte 5.例文帳に追加
このリチウム二次電池は、活物質として、硫黄単体を含み、スチレン−ブタジエンラバーとポリテトラフルオロエチレンとを含むバインダを用いた正極1と、リチウムイオンを吸蔵および放出する材料を用いた負極2と、非水電解液5とを備える。 - 特許庁
To provide an ion capturing treatment apparatus capable of efficiently capturing metal ions or ions containing a metalloid element using a powdery chelate capturing material and a regeneration apparatus capable of efficiently regenerating the powdery chelate capturing material.例文帳に追加
粉末状キレート捕捉材を使用して金属イオン又は類金属元素を含むイオンを効率よく捕捉することができるイオン捕捉処理装置及び粉末状キレート捕捉材を効率よく再生することができる再生装置を提供する。 - 特許庁
The polyester composition contains a ligand which is capable to coordinate with a metal or metallic ion, and the ligand as a donor is at least one selected from the group consisting of nitrogen atom, sulfur atom and oxygen atom.例文帳に追加
金属または金属イオンに配位可能な配位子を含むポリエステル組成物であって、該配位子はドナー原子として窒素原子、硫黄原子および酸素原子からなる群から選ばれる少なくとも1種の原子を含んでいるポリエステル組成物とする。 - 特許庁
The method for producing the cupric oxide particulates includes forming the cupric oxide particulates by reacting a copper ion source with an alkali source through a double-jet method in the presence of a nitrogen-containing heterocyclic compound having a mercapto or thione group.例文帳に追加
メルカプト基もしくはチオン基を有する含窒素複素環化合物の存在下で銅イオン源とアルカリ源をダブルジェット法により反応させることにより酸化第二銅微粒子を形成することを特徴とする酸化第二銅微粒子の製造方法。 - 特許庁
Electrons are moved between the catalyst A 1 and the catalyst B 2 through the electron conductive substance C, and ions are moved through the ion conductive substance D.例文帳に追加
NO_x吸収物質とNO_x還元触媒を有する触媒A1と、炭化水素の吸着物質と炭化水素の酸化触媒を有する触媒B2と、電子伝導性物質Cおよびイオン伝導性物質Dの混合物3とを混合して構成する。 - 特許庁
There is also provided a production method of half frozen state foods by freezing a food composition containing low methoxyl pectin and high methoxyl pectin and then mixing with an aqueous medium containing a bivalent metal ion to prepare the half frozen state foods.例文帳に追加
ローメトキシルペクチン及びハイメトキシルペクチンを含む食品組成物を凍結した後、二価金属イオンを含む水性媒体と混合することにより、半凍結状の食品を調製することを特徴とする半凍結状の食品の製造方法。 - 特許庁
To provide a nonaqueous electrolyte lithium ion secondary battery of higher capacity than a battery using a conventional lithium-manganese compound oxide of spinel structure and excellent in cyclic durability at a high temperature compared with the one using the lithium-manganese compound oxide of layer structure.例文帳に追加
従来のスピネル構造リチウムマンガン複合酸化物を用いた電池よりも高容量で、層状構造リチウムマンガン複合酸化物を用いたものよりも高温でのサイクル耐久性に優れた非水電解質リチウムイオン二次電池を提供する。 - 特許庁
The method for producing glycerin from a glycerin fluid obtained by transesterification of fats and oils with an alcohol comprises performing the transesterification with the use of a solid catalyst and subjecting the obtained glycerin fluid to adsorption treatment with an ion-exchange resin.例文帳に追加
油脂をアルコールでエステル交換反応することによって得られたグリセリン液からグリセリンを製造する方法であって、固体触媒を用いてエステル交換反応させ、得られたグリセリン液をイオン交換樹脂により吸着処理する、グリセリンの製造方法。 - 特許庁
The conductive polymer composition contains a polymer of cation morphology comprising a repetitive structural unit of 3,4-ethylenedioxy-thiophene, and naphthalene sulfonic acid as additive for the conductive polymer, obtained by using polystyrene sulfonic acid as a negative ion.例文帳に追加
導電性高分子組成物は、3,4−エチレンジオキシチオフェンの反復構造単位からなる陽イオン形態のポリマーと、ポリスチレンスルホン酸を陰イオンとして用いることにより得られる導電性高分子に対して、添加物としてナフタレンスルホン酸を含有する。 - 特許庁
To provide an electrode for a high molecular electrolyte fuel cell having electrode catalyst particles of high performance sufficiently coated with hydrogen ion conductive high molecular catalyst, and properly including a water- repellent material for controlling the water content.例文帳に追加
水素イオン伝導性高分子電解質で十分に被覆され、しかも水分を制御する撥水材料が適度に導入された高性能の電極触媒粒子を有する高分子電解質型燃料電池用電極を提供する。 - 特許庁
The active material layer has mixtures containing a lithium-ion conductive polymer, and a complex consisting of a compound with an alkylene oxide structure and lithium salt existing at least on a part of the surface of the active material.例文帳に追加
そして、前記活物質層において、リチウムイオン伝導性ポリマーと、アルキレンオキシド構造を有する化合物およびリチウム塩からなる錯体とを含む混合物が、活物質表面の少なくとも一部に存在することで、上記課題が解決されうる。 - 特許庁
The electrochemical catalyst comprises an NOx reducing catalyst 1, a hydrocarbon oxidizing catalyst 2, an ion conductive substance 3 enabling the movement of ions between both catalysts, an electron conductive substance 3 enabling the movement of electrons between both catalysts and an NOx absorbing substance 4.例文帳に追加
NO_x還元触媒2と、炭化水素の酸化触媒1と、これらの触媒間をイオン移動可能とするイオン伝導性物質3と、上記触媒間を電子移動可能とする電子伝導性物質3と、炭化水素の吸着物質4とを有する。 - 特許庁
This skin care preparation contains (A) a silver ion support antifungal zeolite, (B) 700-4,000 number-average molecular weight polypropylene glycol, and either a copolymer polypropylene glycol and polybutylene glycol or a derivative of polypropylene glycol.例文帳に追加
(A)銀イオン担持抗菌性ゼオライトと、(B)数平均分子量が700〜4000のポリプロピレングリコール、ポリプロピレングリコールとポリブチレングリコールとの共重合体、又は、ポリプロピレングリコールの誘導体の何れかを含有することを特徴とする皮膚外用剤である。 - 特許庁
A nonaqueous electrolyte solution used for a lithium ion secondary cell is designed to contain a lithium salt of a carboxylic acid or a sulfonic acid containing an acid anhydride containing fluorine atoms and/or fluorine atoms together with a lithium salt having an oxalato complex as anion.例文帳に追加
リチウムイオン二次電池に用いられる非水電解液に、オキサラト錯体をアニオンとするリチウム塩と共に、フッ素原子を含有する酸無水物及び/又はフッ素原子を含有するカルボン酸若しくはスルホン酸のリチウム塩を、更に含有させた。 - 特許庁
A graphite sheet having a thickness of less than 250 micrometers and an in-plane conductivity of at least 100 S/cm is used as a cathode current collector in a lithium or a lithium ion cell containing fluorinated lithium imide or methide electrolyte salt.例文帳に追加
250マイクロメートル未満の厚さおよび少なくとも100S/cmの面内導電率を有するグラファイトシートを、フッ素化リチウムイミドまたはメチド電解質塩を含むリチウムまたはリチウムイオン電池中でカソード電流コレクターとして使用する。 - 特許庁
The catalyst layer for the polymer electrolyte fuel cell contains (1) catalyst-carrying carbon particles, a hydrogen-ion conductive polymer electrolyte and carbon nanotubes, and the carbon nanotubes have an aspect ratio of 100 or more.例文帳に追加
本発明は、固体高分子型燃料電池用触媒層であって、(1)触媒担持炭素粒子、水素イオン伝導性高分子電解質及びカーボンナノチューブを含有し、(2)当該カーボンナノチューブのアスペクト比が100以上である、ことを特徴とする。 - 特許庁
This lithium ion secondary battery is equipped with a positive electrode formed by using a mixture containing lithium contained metal oxide and phosphoric acid alkali metal salt, and an electrolyte obtained by dissolving lithium phosphate-hexafluoride and lithium bis(perfluoroalkanesulfonyl)imide.例文帳に追加
本発明のリチウムイオン二次電池は、含リチウム金属酸化物とリン酸アルカリ金属塩とを含む混合物を用いて形成された正極と、六フッ化リン酸リチウムとリチウムビス(パーフルオロアルカンスルホニル)イミドとを溶解させた電解液と、を備えることを要旨とする。 - 特許庁
The method for synthesizing ethyl tertiary butyl ether (ETBE) from a mixture consisting of ethanol and tertiary-butyl alcohol comprises synthesizing ETBE in the presence of a catalyst such as a strong acid ion exchange resin by heating with microwave irradiation.例文帳に追加
エタノールとターシャリーブチルアルコールとを含有する混合物からエチルターシャリーブチルエーテル(ETBE)を合成する方法であって、強酸性イオン交換樹脂などの触媒の存在下、マイクロ波照射により加熱することにより、ETBEを合成する。 - 特許庁
This paste composition for forming a catalyst layer contains carbon particles 1 carrying a catalyst, a hydrogen ion conductive polymer electrolyte 2, electron beam curing monomer and/or oligomer 3, and a solvent 4.例文帳に追加
本発明の触媒層形成用ペースト組成物は、(1)触媒を担持した炭素粒子、(2)水素イオン伝導性高分子電解質、(3)電子線硬化型モノマー及び/又はオリゴマー並びに(4)溶剤を含有する触媒層形成用ペースト組成物を含有する。 - 特許庁
To provide an inspection method and an inspection device using the same that precisely determine the size of the fine sealing material protruding outside from the outside package along the lead electrode in a thin nonaqueous gel electrolyte lithium ion battery and the like.例文帳に追加
薄型の非水系ゲル電解質リチウムイオン電池のような電池における、リード電極に沿って外装材の外部に突出する微小なシール材の大きさを精確に判断する検査方法およびそれに用いられる検査装置を提供する。 - 特許庁
Among other features, this structure enables a lithium ion secondary battery having an organic electrolyte-free polymer electrolyte and a solid electrolyte, which is high in energy density but exhibits poor battery characteristics at low temperatures, to exert a sufficient battery performance irrespective of the ambient temperature environment.例文帳に追加
特に、エネルギー密度は高いが低温時に電池特性が悪い、有機電解液を含まないポリマー電解質、固体電解質を有するリチウムイオン二次電池において、温度環境に関係なく十分な電池性能を引き出することができる。 - 特許庁
The electrolytic cell 100 has negative electrode plates 11, 12 facing each other with an electrolysis diaphragm 124 in between and a positive electrode plate 21, and applies electrolysis to the flowing-in raw water, thereby enabling alkali ion water and acid water to be taken in.例文帳に追加
本発明に係る電解槽100は、電解間隔膜124を挟んで対向する陰極板11,12及び陽極板21を有し、流入される原水を電気分解することによって、アルカリイオン水及び酸性水に取水可能である。 - 特許庁
The lithium ion battery electrode is created by the manufacturing method which is skipped or simplified the rolling process using electric conduction agent fine particles for positive electrodes and negative electrode active material fine particles in which high molecular compound components are carried out chemical covalent bonding on grain surfaces.例文帳に追加
高分子化合物成分が、粒子表面に化学共有結合した負極活物質粉体や正極用導電剤粉体を用い、圧延工程を省略もしくは簡略化した製造方法により、リチウムイオン電池電極を作成する。 - 特許庁
To improve the quality of film formation by eliminating ion bombardment onto a processed substrate and reduce the cost of a plasma processing apparatus by efficiently removing particles in a processing chamber with a simple configuration in the apparatus and a plasma cleaning method thereof.例文帳に追加
プラズマプロセス装置及びそのプラズマクリーニング方法について、被処理基板へのイオン衝撃を無くして成膜の質を向上させると共に、簡単な構成により処理室内のパーティクルを効率よく除去できるようにして、装置コストの低減を図る。 - 特許庁
To provide a composite ion exchange film with high mechanical strength and the adhesiveness of a catalyst layer and fit for use as a polymer solid electrolyte film with a restrained change in dimension, particularly at an aqueous state, and its manufacturing method.例文帳に追加
機械的強度が高く、触媒層の密着性に優れ、特に含水時の寸法変化が抑制された高分子固体電解質膜として使用するのに適した複合イオン交換膜ならびに、その製造方法を提供するものである。 - 特許庁
The surface of an n-type Si wafer 10 is made hydrophobic by hydrofluoric acid and immersed in a Cu ion aqueous solution having a work function greater than that of the semiconductor, and a Schottky barrier is formed from an Si-Cu contact of one atom level, thereby manufacturing a semiconductor device.例文帳に追加
n型Siウエーハ10の表面をフッ化水素酸で疎水性とし、該半導体より大きな仕事関数を有するCuイオン水溶液に浸漬し、1原子レベルのSi—Cuコンタクトで形成されるショットキー障壁を形成して半導体素子を製造する。 - 特許庁
The fuel cell is constituted with a plate-shaped fuel electrode- side collector 11, a fuel electrode 12, an ion-exchange membrane 13, an oxygen electrode 14, and a oxygen electrode-side collector 15 connected in that order.例文帳に追加
燃料電池1は、それぞれ板状をした燃料極側集電体11と燃料電極12とイオン交換膜13と酸素電極14と燃料極側集電体15とが、この順に接続されることによって構成されている。 - 特許庁
To form a ferromagnetic tunnel junction without using an ion milling method, to surely connect an upper wiring electrode to the fine ferromagnetic tunnel junction, and to manufacture a ferromagnetic tunnel junction device having a high yield and excellent reproducibility at a lower cost.例文帳に追加
イオンミリング法を用いずに強磁性トンネル接合部を形成することができ、且つ微細な強磁性トンネル接合部に対して上部配線電極の接続を確実に取ることができ、歩留まりと再現性に優れ、製造コストの低減をはかる。 - 特許庁
A halftone film 2 is formed on a quartz substrate 1 and ions 3 are injected by ion injection to the predetermined depth of the halftone film so as to impregnate the halftone phase shift mask with impurities 4 which are to act as the color centers to obtain a photomask blank.例文帳に追加
石英基板1上にハーフトーン膜2を形成して、ハーフトーン膜の予め規定された深さにイオン注入によってイオン3を注入してハーフトーン位相シフト膜に色中心となる不純物4を含ませて、フォトマスクブランクとする。 - 特許庁
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