セーフサーチ：オン
| 意味 | 例文 (1件) |
Deoxygenizationを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
An oxide, existing on the exposed semiconductor surface, is decomposed, and the chamber in the process is excavated by a cleaning pressure so that a cleaning condition for deoxygenization is satisfied, so as to heat the substrate at a cleaning temperature.例文帳に追加
前記露出した半導体表面上に存在する酸化物が分解されて酸素を除去する洗浄条件が成立するように前記工程チャンバ内を洗浄圧力で排気させて前記基板を洗浄温度で加熱する。 - 特許庁
| 意味 | 例文 (1件) |
| Copyright © Japan Patent office. All Rights Reserved. |
こんにちは ゲスト さん
|
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|
こんにちは ゲスト さん
|
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|