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nanoscratchを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
To provide a polishing liquid composition capable of providing a small surface roughness of a polished object and remarkably reducing nanoscratch, and a manufacturing method of a substrate having a small surface roughness and a remarkable reduction of the nano scratch.例文帳に追加
研磨後の被研磨物の表面粗さが小さく、且つナノスクラッチを顕著に低減できる研磨液組成物、及び表面粗さが小さく、且つナノスクラッチが顕著に低減した基板の製造方法を提供すること。 - 特許庁
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