「rate of diffusion」に関連した英語例文の一覧と使い方(3ページ目) - Weblio英語例文検索

A sensor element 10 of an A/F sensor has a gas diffusion rate determining part, a solid electrolyte and a pair of electrodes, and an element current flows in response to the concentration of a specified component in each time in accompaniment with voltage impression to the sensor element 10.例文帳に追加

Ａ／Ｆセンサのセンサ素子１０はガス拡散律速部、固体電解質体及び一対の電極を有し、該センサ素子１０への電圧印加に伴いその都度の特定成分濃度に応じた素子電流が流れる。 - 特許庁

Brightness L_2 is defined by mutual multiple diffusion reflections on an inner wall in a second integrating sphere S_2, wherein the brightness L_2 is brightness L_1 on the inner wall of the second integrating sphere S_2 further attenuated by a fixed attenuation rate in inverse proportion to the square of a radius of the second integrating sphere S_2.例文帳に追加

第２の積分球Ｓ_２内の内壁上相互拡散反射によって、その内壁に輝度Ｌ_１を積分球Ｓ_２の半径の２乗に反比例する一定の減衰率でさらに減衰させた輝度Ｌ_２が定義される。 - 特許庁

A sensor element 10 of an A/F sensor has a gas diffusion rate-determining part, a solid electrolyte, and a pair of electrodes, and an element current corresponding to a specific component concentration flows in every of voltage impression in accompaniment to the voltage impression to the sensor element 10.例文帳に追加

Ａ／Ｆセンサのセンサ素子１０はガス拡散律速部、固体電解質体及び一対の電極を有し、該センサ素子１０への電圧印加に伴いその都度の特定成分濃度に応じた素子電流が流れる。 - 特許庁

To provide a film deposition system in which the diffusion of a magnetic field in the vicinity of the surface of the object to be film-deposited is suppressed to secure a prescribed magnetic field in the vicinity of the surface of the object to be film-deposited, and the amount of plasma particles arrived at the vicinity of the surface is increased to improve a film deposition rate.例文帳に追加

被成膜物の表面近傍での磁場の拡散を抑制し被成膜物の表面近傍に所定の磁場を確保し、表面近傍に到達するプラズマ粒子量を増加させることによって成膜速度を向上させる成膜装置を提供する。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of a gas sensor element, constituted so as to suppress the occurrence of irregularity in the length dimension in the passing direction of a measuring target gas in a diffusion rate-determining part, even when the shift of a cutting position at the cutting of the end part of a laminate is varied for each gas sensor element.例文帳に追加

積層体の端部を切断する際の切断位置のズレがガスセンサ素子毎にばらついた場合においても、拡散律速部のうち測定対象ガスの通過方向における長さ寸法にバラツキが生じるのを抑制するガスセンサ素子製造方法を提供する。 - 特許庁

A coverage rate representing the area of a region that is the sum of an impurity diffusion layer forming region and a gate electrode forming region per given area is determined to be different between the first region A1 and the second region A2 of the semiconductor substrate.例文帳に追加

ここで、所定面積あたりの不純物拡散層の形成領域とゲート電極の形成領域の和で示される領域の面積である被覆率が、半導体基板の第１の領域と第２の領域間で異なるようにする。 - 特許庁

To provide an air diffuser in which the distribution state and the discharge flow rate of a bubble demanded in the air diffuser of a membrane separation type activated sludge treatment apparatus are fulfilled without occluding a diffusion hole, and the treatment efficiency of MBR is improved, thereby reducing the energy consumption.例文帳に追加

散気孔を閉塞させることなく膜分離活性汚泥処理装置の散気装置に要求される気泡の分布状態と吐出流量とを充足させてＭＢＲの処理効率を高めることで消費エネルギーを削減する。 - 特許庁

Since liquid absorbing rate of the second highly water-absorbing material is slow, permeation of a liquid into the pulverized pulp layer 41 is not prevented and diffusion of urine can be suppressed by the first highly water-absorbing material 42 positioned in the pulverized pulp layer 41.例文帳に追加

第２の高吸水性材料は液吸収速度が遅いので、粉砕パルプ層４１への液の透過を妨げず、さらに粉砕パルプ層４１内に位置する第１の高吸水性材料４２によって、尿の拡散を抑制できる。 - 特許庁

The falling hulled rice from the rice hulling chamber 8 is diffused by a diffusing board 28 of the diffusing chamber, and subsequently supplied to the winnowing passage 10 at the lower part by lowering the rate of diffusion and fall of falling hulled rice.例文帳に追加

籾摺室８からの摺落米は拡散室２９の拡散板２８により拡散され、次いで、拡散室２９の底部の噴気部３０からの噴気により、摺落米はその拡散落下速度を弱められて下方の摺落米風選路１０に供給される。 - 特許庁

The bulk density is greater, a placement thickness is relatively smaller and the rate of short or small coals is higher to improve the diffusion efficiency of noises, while a specific surface area is larger to improve moisture control performance.例文帳に追加

この発明は、嵩密度を大きくして敷設厚みを相対的に薄くし、短いもしくは小さな炭の占める割合を高くして音の拡散効率を高めつつ、比表面積を大きくして調湿性能も向上させる。 - 特許庁

To provide an LED illumination device with long life requiring no diffusion plate, uniformly illuminating by a small number of LEDs by using a brushless motor as a motive force, and by dividing a reflection face of a rotative reflection mirror into a prescribed shape, and rotating it with a rotation rate higher than a prescribed rate.例文帳に追加

動力源としてブラシレスモータを用い、回転反射ミラーの反射面を所定の角形に分割し所定の回転数以上で回転させることにより、長寿命で拡散板を必要としない、少ないＬＥＤ数で幅広く、均一な照明を行なうことができるブラシレスモータを用いたＬＥＤ照明装置を提供する。 - 特許庁

When performing the spark assist diffusion combustion, a soot quantity of sticking and depositing on the spark plug 11 is predicted, and a mixing rate of the fuel of the low soot sticking depositing risk is enhanced more than the case of less predicted soot content when the predicted soot is much.例文帳に追加

スパークアシスト拡散燃焼を行ったときに点火栓１１に付着堆積する煤量を予測し、予測された煤量が多いときには予測された煤量が少ないときに比べて、煤付着堆積危険性が低い燃料の混合割合を高くする。 - 特許庁

To provide a coral-breeding method by which planulae incapable of contributing to the breeding of coral due to the advection and diffusion of the planulae to an offshore and a land can effectively be used to imbed at a high imbedding rate and simply realize the breeding of the coral at a low cost.例文帳に追加

沖合や陸地に移流・拡散してしまい、サンゴの増殖に寄与し得ないプラヌラ幼生の有効利用を図り、高い着生率で着生し得るとともに、簡易かつ低コストでサンゴの増殖を実現し得るサンゴの増殖方法を提供すること。 - 特許庁

A plated steel plate for a positive electrode can of an alkaline manganese battery has an Fe-Ni diffusion plate layer on the surface of an inner face of the can, of which, Fe exposure rate of the outermost surface is to be 10% or more, and preferably, 30% or more.例文帳に追加

本発明の要旨は、アルカリマンガン電池正極缶用のメッキ鋼板であって、缶内面になる面の表層にＦｅ−Ｎｉ拡散メッキ層を有し、その最表層のＦｅ露出率が１０％以上、望ましくは３０％以上であることを特徴とするものである。 - 特許庁

A complex correlator 28 inversely diffuses the thinned signals I(j), Q(j) at timings (j) of the second sampling rate (n) one after another to obtain correlation values Ci(j), Cq(j), using corresponding diffusion code strings thereto.例文帳に追加

複素相関器２８は、間引き済み信号Ｉ（ｊ），Ｑ（ｊ）をそれに対応する拡散符号列を用いて第二のサンプリングレートｎの各タイミングｊで順次逆拡散して相関値Ｃｉ（ｊ），Ｃｑ（ｊ）を取得する。 - 特許庁

The gas to be measured thus controlled in the concentration of hydrogen is introduced into a second measuring chamber 4 through a second diffusion rate limiting part 3 and second predetermined voltage is applied across third and fourth electrodes 9 and 10.例文帳に追加

このように水素濃度が制御された被測定ガスを第２拡散律速部３を介して第２測定室４内に導入し、第３電極９と第４電極１０間に第２所定電圧を印加する。 - 特許庁

The diffusion rate determining layer 6 is disposed in contact with the opposite surface 1B of the solid electrolyte substrate 1, and the ceramic board 7 is disposed so as to form a space 14 between the solid electrolyte substrate 1 and the atmospheric poles 2, 4.例文帳に追加

拡散律速層６は、固体電界質基板１の反対面１Ｂに接して配設され、セラミック板７は、固体電解質基板１および大気極２，４との間に空間１４を形成するように配設される。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a semiconductor device including a MOS field effect transistors or the like which can be manufactured by eliminating an inversion layer formed with ion implantation, thereby preventing diffusion at an increased rate.例文帳に追加

イオン注入により生成させる反転層を消滅させ、これにより増速拡散を防止して製造することができるＭＯＳ型電界効果トランジスタなどを有する半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

The method for evaluating physiologically active substance comprises following steps, fusing a fluorescent protein gene with a gene KIAA0290 encoding the amino acid sequence of the protein, introducing fused gene into live cells, culturing the cells, measuring the repeating time of the assemble-diffusion of the protein or rate of eliminated cells after repeating period of the assemble-diffusion of the protein.例文帳に追加

タンパク質のアミノ酸配列を規定している遺伝子ＫＩＡＡ０２９０に蛍光タンパク質遺伝子を融合した後、該融合遺伝子を生細胞に導入し、該細胞を培養して、該タンパク質の集合−拡散の繰り返し時間もしくは該タンパク質の集合−拡散の繰り返し周期を消失した細胞の割合を計測することを利用して、生理活性物質を評価する方法を提供する。 - 特許庁

Energy of a level at which the desorption of an odorous material does not occur is applied by using a heating means 4 to the adsorbent 2 simultaneously with the irradiation of the photocatalyst 3 with light, by which the diffusion rate of the odorous material from the adsorbent 2 to the photocatalyst 3 is increased and the deodorizing rate in a low concentration region may be improved and the deodorizing capability of the adsorbent may be efficiently regenerated.例文帳に追加

光触媒３に光に照射すると同時に、吸着剤２に対して加温手段４を用いて臭気物質１２の脱離が起きないレベルのエネルギーを加えることにより、吸着剤２から光触媒３への臭気物質１２の拡散速度を増加し、低濃度域での脱臭速度が向上することが、また吸着剤の脱臭能力も効率良く再生できる。 - 特許庁

To provide a membrane filtering septic tank enabling to secure a flow rate of a circulation flow ascending in the inside of a circulation flow plate by preventing the plate from being deformed, enabling to prevent deterioration of the washing performance on a membrane module surface, and also to stably keep an air diffusion pipe.例文帳に追加

回流板の変形が防止されてその内側で上昇する回流の流速を確保することができ、膜モジュール表面の洗浄能力低下を防止することができ、散気管も安定して保持される膜濾過式浄化槽を提供する。 - 特許庁

By using this constitution, even when the magnitude of the shift between actual cutting position and the cutting scheduled position is varied at each gas sensor element, irregularities in the length dimension of the diffusion rate-determing part 13, after baking, can be prevented in the arranging region of the sublimation material 41 for the opening part.例文帳に追加

このことから、実際の切断位置と切断予定位置とのズレの大きさがガスセンサ素子毎にばらついた場合であっても、開口部用昇華材４１の配置領域内であれば、焼成後の拡散律速部１３の長さ寸法のバラツキを防止できる。 - 特許庁

To provide a lead-acid storage battery capable of remarkably increasing a utilization rate without causing early capacity drop, which is achieved by forming a conductive oxide such as a tin oxide in porous silica gel as to satisfy both of the conductivity and a diffusion path of electrolytic solution in a positive-electrode active material.例文帳に追加

多孔シリカゲルに導電性の酸化スズ系酸化物を形成し、正極活物質中に導電性と電解液拡散パスを両立させることにより、早期容量低下なしに正極利用率を飛躍的に高めた鉛蓄電池を提供する。 - 特許庁

According to the heat resistant alloy, since a dense chromium oxide film is formed on the surface even when being used in high temperature atmosphere for a long period of time, inner diffusion of oxygen is cut off, the oxidative consumption of W and Mo can be suppressed, and the mass change rate of the heat resistant alloy is reduced as well.例文帳に追加

本発明の耐熱合金によれば、高温大気中で長時間使用しても、表面に緻密な酸化クロム被膜を形成するため、酸素の内方拡散を遮断し、W及びMoの酸化消耗を抑えることができ、耐熱合金の質量変化率も小さくなる。 - 特許庁

The microchannel 15 is designed to satisfy an inequality of 0.25≤d_cha^2_V/L_chaD_m≤2, wherein the mean flow rate of the gaseous mixture is v, the length of the microchannel 15 is d_cha, and the effective diffusion coefficient of the carbon monoxide gas in the microchannel 15 is D_m.例文帳に追加

ここで、混合気の平均流速をｖとし、マイクロ流路１５の長さをＬ_chaとし、マイクロ流路１５の深さをｄ_chaとし、マイクロ流路１５における一酸化炭素ガスの有効拡散係数をＤ_mとした場合、０．２５≦ｄ_cha^2ｖ／Ｌ_chaＤ_m≦２を満たすように、マイクロ流路１５が設計されている。 - 特許庁

Also, an incident light to be incident toward the top of the specific texture structure is reflected from a mirror surface 19A of a quadrangular reflection mirror 19 toward a diffusion layer 12 as a light receiving surface, and thus, as an increase in reflection rate of an incident light is suppressed, more amount of incident light increases.例文帳に追加

また、特定のテクスチャ構造の頂部に向けて入射される入射光は、四角錐状の反射鏡１９の鏡面１９Ａから受光面である拡散層１２に向けて反射されるため、入射光の反射率の増加が抑制され、その分、入射光量が増大する。 - 特許庁

To inexpensively provide quartz glass usable for various kinds of optical material, a member for manufacturing a semiconductor and a member for manufacturing a liquid crystal and having high transmittance to ultraviolet light, visible light and infrared light, high purity and high heat resistance and the low diffusion rate of Cu ion.例文帳に追加

各種光学材料、半導体製造用部材、液晶製造用部材に利用可能な、紫外線、可視光線、赤外線の透過率が高く、高純度で耐熱性の高く、Ｃｕイオンの拡散速度の遅い石英ガラスを安価に提供する。 - 特許庁

By forming the catalyst layer 31 on the gas diffusion layer 32 with the small arithmetic mean roughness Ra, namely, a smooth layer, the reaction gas is distributed to a whole part of the thin and uniform catalyst layer 31, and the utilization rate of the catalyst layer 31 is enhanced.例文帳に追加

算術平均粗さＲａが小さい、即ち、平滑なガス拡散層３２上に触媒層３１を形成することにより、薄く均一な触媒層３１全体に反応ガスが行き渡り、触媒層３１の利用率が向上する。 - 特許庁

Between the catalyst layer 23 and the diffusion layer 21, an auxiliary catalyst layer 22 having Pt-supported carbon black and an electrolyte, having platinum supported thereto at a rate of content lower than that of the catalyst layer 23, thicker than the catalyst layer 23 and having an integrated pore volume greater than that of the catalyst layer 23 is arranged.例文帳に追加

触媒層２３と拡散層２１との間には、Ｐｔ担持カーボンブラックと電解質とを有し、触媒層２３よりも低い含有率で白金が担持され、触媒層２３よりも厚く、かつ触媒層２３よりも積算細孔容積が大きい副触媒層２２が設けられている。 - 特許庁

Gas, such as air, containing oxygen or the oxygen is blown into the etchant in order to increase the diffusion rate of the components at the reaction boundary of the lead-containing copper alloy material and the etchant during immersion and to prevent the readhesion of the copper alloy to the treated surface, by which the etchant is stirred.例文帳に追加

浸漬中、鉛含有銅合金材とエッチング液との反応界面での成分の拡散速度を大きくすることと、処理面への鉛化合物の再付着を防止することを目的に、エッチング液に空気等の酸素を含む気体又は酸素を吹込み、撹拌する。 - 特許庁

To provide a silicon-substrate evaluating method for evaluating rapidly and surely the diffusion length of the minority carriers of a semiconductor silicon substrate by using an SPV method, in order to attempt rapid adjustment of the manufacturing condition of a semiconductor device, to improve thereby its yield and its productivity efficiency, and to increase the rate of its research and its development.例文帳に追加

半導体装置の製造条件の迅速な調整とそれによる歩留まり、生産能率の向上、また研究開発のスピードアップを図るために、ＳＰＶ法を用いた半導体のシリコン基板の少数キャリア拡散長評価を迅速かつ確実に行うためのシリコン基板の評価方法を提供する。 - 特許庁

To solve a problem that wearing of a kimono sash has been conventionally contrived, the diffusion rate of Japanese clothes almost remains at the same level or has a down trend because dressing of Japanese clothes is complicated, a woman can not dress alone, needs aid of a specialist, a worn-out shape is not easy to correct and this is one of big factors.例文帳に追加

従来から和装用帯の装着に関する工夫がなされているが、和服の普及率はほとんど横ばいか、下落傾向にあるのは、和服の帯着付けが複雑で一人では着付けられず専門家の補助が必要で、また着崩れの直しも容易でないことが大きな要因のひとつである。 - 特許庁

In this digital portable telephone equipment, a phase 129 of a reception signal and a cumulative correction value 155 are added by an adder 1 and are outputted as reception data 133a via a noise error diffusion delay detection part 2 and a decoder 3 to prevent the deterioration of the error rate due to deviation in received frequency.例文帳に追加

受信信号の位相１２９と累積補正値１５５は加算器１で加算され、ノイズ誤差拡散遅延検波部２、デコーダ３を介して受信データ１３３ａとして出力されるため受信周波数ズレによる誤り率の劣化を防止し得る。 - 特許庁

A dopant is diffused by heating a plastic optical fiber up to temperature at which a high-rate diffusion state is caused while the transmission band of the plastic optical fiber is measured after a stepped refractive index plastic optical fiber is extruded or drawn.例文帳に追加

ステップ屈折率プラスチック光ファイバの押し出し、あるいは延伸の後、プラスチック光ファイバの伝送帯域を測定している間に、高レート拡散状態を引き起こす温度にプラスチック光ファイバを加熱することによって、ドーパントは拡散される。 - 特許庁

To provide an air battery suppressing concentrated deposition of a discharge product by enhancing an oxygen diffusion coefficient in a nonaqueous electrolyte even during high rate operation, and obtaining high output and high capacity, and to provide an air battery stack.例文帳に追加

高負荷運転時にも非水系電解液内の酸素拡散率を向上させて放電生成物が集中的に析出することを抑制し、高出力および高容量を実現可能な空気電気と空気電池スタックを提供する。 - 特許庁

The heater 33 is a coil-like heater (nichrome wire heater) with an insulating coating attached woundly onto an outer circumference in a base end side of the casing 31, and a diffusion rate determining part 19 is heated by electrifying the heater 33 to prevent the dew condensation.例文帳に追加

前記ヒータ（３３）は、筐体（３１）の基端側の外周に巻き付ける様にして取り付けられた絶縁被覆付きのコイル状ヒータ（ニクロム線ヒータ）であり、このヒータ（３３）に通電することにより、拡散律速部（１９）を加熱して、結露を防止する。 - 特許庁

To solve the following problem: eaves occurs due to a difference in etching rate of a multilayer film at a peripheral part to cause contamination diffusion to a next process in a conventional substrate peripheral processing method for making constant the number of rotations of the substrate, in a substrate processing method for supplying a processing liquid to a substrate having a multilayer film formed, from backside of the substrate, while rotating the substrate.例文帳に追加

多層膜成膜した基板を、回転させながら基板に裏面側から処理液を供給する基板処理方法では、基板の回転数を一定にした従来の基板の周辺処理方法では、周辺部の多層膜のエッチングレートの差により、庇（ひさし）が発生し、次工程への汚染拡散の原因となる。 - 特許庁

Plasma oxidation with high oxidation rate is performed by changing to higher RF electric power from a point when ashing of the resist 301 is completed, and the plasma oxidation silica film 401 as an outside diffusion prevention film of dopant is formed on surfaces of an n-type wiring 103 and a p-type wiring 104 which are composed of polysilicon.例文帳に追加

レジスト３０１の灰化が終了した時点から高めのＲＦ電力に切り替えることで酸化レートの高いプラズマ酸化を行い、ポリシリコンからなるＮ型配線部１０３、Ｐ型配線部１０４の表面に不純物の外方拡散防止膜としてのプラズマ酸化珪素膜４０１を形成する。 - 特許庁

Before or during the step (ii), a nitride or oxynitride layer (5) of a semiconductor of the thin layer (3) is formed on the exposed region (3a) with a thickness sufficient to provide a ratio of the rate of oxygen diffusion though the exposed region (3a) to that through the region (3b) covered with the mask (4) that is greater than 2.例文帳に追加

ステップ（ii）の前又は最中に、薄い層（３）の半導体の窒化物又は酸窒化物の層（５）は、露出領域（３ａ）上に形成され、上記層（５）の厚さは、露出領域（３ａ）を通る酸素の拡散速度とマスク（４）で覆われる領域（３ｂ）を通る酸素の拡散速度との比が２より大きくなるようにする。 - 特許庁

In an outer peripheral part of the semiconductor substrate 1, a first material film 2 and a second material film 3 having a metal diffusion preventing function, and a third material film 4 sufficiently slow in an etching rate to a first chemical relative to the first material film 2 and sufficiently slow in an etching rate to a second chemical relative to the second material film 3 are formed in that order.例文帳に追加

半導体基板１の外周部に、金属拡散の防止機能を有する第１材料膜２及び第２材料膜３、第１薬液に対するエッチングレートが第１材料膜２よりも十分遅く、且つ、第２薬液に対するエッチングレートが第２材料膜３よりも十分遅い第３材料膜４、をこの順に順次成膜する。 - 特許庁

According to the heat resistant alloy, a dense chromium oxide film is formed on the surface even when used for a long time in a high temperature atmosphere, thus the internal diffusion of oxygen can be cut off, the oxidative consumption of W can be suppressed, the mass change rate in the heat resistant alloy is extremely low, and further, collapse is not caused therein.例文帳に追加

本発明の耐熱合金によれば、高温大気中で長時間使用しても、表面に緻密な酸化クロム被膜を形成するため、酸素の内方拡散を遮断し、Wの酸化消耗を抑えることができ、耐熱合金の質量変化率がごく小さく、しかも崩壊することがない。 - 特許庁

To provide a film, in which fine projections are provided on the surface and both writing properties and tracing properties are excellent and the whole beam transmittance and light diffusion transmittance are large and a rate of heat shrinkage is small and heat resistance is excellent, in the film- making process of an ordinary polyester film at a low cost together with stabilized quality.例文帳に追加

表面に微小突起を有し、筆記性とトレース性に優れ、全光線透過率と光拡散透過率の大きな、熱収縮率の小さい耐熱性に優れたフィルムを通常のポリエステルフィルムの製膜工程内で安定した品質とともに安価に提供する。 - 特許庁

To provide an improved optical analytical system of enhanced reaction rate and sensitivity, by increasing a surface area of a solid phase, by reducing a diffusion distance, and by making firm optical coupling to an excitation light source between the solid phases, and coupling between the solid phase and a detected object.例文帳に追加

固相の表面積の増加、拡散距離の低下、および固相間の励起光源に対する光学的結合ならびに固相と検出物との結合の強化により反応速度および感度が向上した改善された光学的分析システムを提供するものである。 - 特許庁

In a decorative material having minute indentations formed on the surface of a base, the indentations are formed of a set of minute projections 1 arranged with prescribed pitches and having light diffusion properties, and shape parameters of the projections 1, such as a rate of flatness, are changed continuously in the horizontal direction so that they correspond to a surface pattern to be expressed.例文帳に追加

基材表面に微小な凹凸形状が形成された化粧材であって、該凹凸形状を、所定のピッチをもって配列してなる光拡散性を有する微小な凸部の集合によって形成し、前記凸部の偏平率等の形状パラメータを水平方向において、表現すべき表面パターンに対応させて連続的に変化させる。 - 特許庁

To provide a positive type resist material which has an extremely high alkaline dissolution-rate contrast before and after exposure, a high resolution, a high sensitivity, and good roughness (LWR) after exposure, and further which suppresses acid diffusion rate, in particular, a positive type resist material using a high molecular compound suitable as a base resin of a chemical amplification positive type resist material, and to provide a pattern forming method.例文帳に追加

露光前後のアルカリ溶解速度コントラストが大幅に高く、高解像性を有し、高感度で、露光後のラフネス（ＬＷＲ）が良好であり、その上特に酸拡散速度を抑制できるポジ型レジスト材料、特に化学増幅ポジ型レジスト材料のベース樹脂として好適な高分子化合物を用いたポジ型レジスト材料、及びパターン形成方法を提供することを目的とする。 - 特許庁