「radiation defect」に関連した英語例文の一覧と使い方(3ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide an actinic ray- or radiation-sensitive resin composition which simultaneously satisfies sensitivity, resolution, pattern shape, line edge roughness and development defect performance, in lithography especially using an electron beam, an X-ray or an EUV ray as an exposure light source, and to provide a resist-film and pattern formation method utilizing the same.例文帳に追加

特に露光光源として電子線、Ｘ線又はＥＵＶ光を用いるリソグラフィーにおいて、感度、解像力、パターン形状、及びラインエッジラフネス、現像欠陥性能を同時に満足する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物並びにそれを用いたレジスト膜及びパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

To provide a radiation-sensitive resin composition that can give a resist coating showing a high dynamic contact angle during exposure in an immersion exposure process, thereby showing excellent draining capability on the surface of the resist coating as well as high solubility with an alkali developing solution and with a rinsing liquid, and suppressing occurrence of a development defect.例文帳に追加

液浸露光プロセスにおいて、露光時には高い動的接触角を示すことにより、レジスト被膜表面が優れた水切れ性を示す一方で、アルカリ現像液及びリンス液に対する高い溶解性を示し、現像欠陥の発生が抑制されるレジスト被膜を与えることができる感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a radiation sensitive composition for color liquid crystal display device, which is used for forming a colored layer on a driving substrate of a thin film transistor(TFT) color liquid crystal display device without causing any display defect due to malfunction on a part to which voltage is not applied, and to provide the color liquid crystal display device provided with pixels formed of the composition.例文帳に追加

電圧を印可していない部分における誤作動に起因する表示不良を起こすことがない、薄膜トランジスター（ＴＦＴ）方式カラー液晶表示装置の駆動用基板上に着色層を形成するために用いられるカラー液晶表示装置用感放射線性組成物、およびそれから形成された画素を有するカラー液晶表示装置を提供すること。 - 特許庁