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spsiを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 2件
The pulse width of the time base of a laser SXL is modulated, and an almost band-shaped crystal silicon film SPSI is formed in a desired region, while a substrate SUB1 is scanned backward and forward in an X direction and -X direction.例文帳に追加
レーザSXLの時間ベースのパルス幅を変調し、基板SUB1をX方向と−X方向とに往復で走査しながら所望の領域に略帯状結晶シリコン膜SPSIを形成する。 - 特許庁
A silicon film, where the laser SXL is turned off, is formed with a protrusion TOKI when the silicon film is lateral crystallization SPSI, and the inspection light PRO1 is scattered by the protrusion TOKI, and observed by a detector (not shown).例文帳に追加
レーザSXLがオフになる箇所のシリコン膜には、当該シリコン膜がラテラル結晶SPSIであれば突起TOKIが形成され、検査光PRO1は突起TOKIで散乱されて図示しない検出器で観測される。 - 特許庁
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