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xymを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
During exposure of the wafer W, the rough movement stage WRS and fine movement stage WFS are relatively moved to move the wafer W and then output from an XY driving system or XYM driving the rough movement stage is suppressed.例文帳に追加
そして、ウエハＷの露光動作中においては、粗動ステージＷＲＳと微動ステージＷＦＳとを相対移動することによりウエハＷの移動を行うことで、粗動ステージを駆動するＸＹ駆動系かＸＹＭらの出力を抑制する。 - 特許庁
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